CN104749390B - 定位框架结构 - Google Patents

定位框架结构 Download PDF

Info

Publication number
CN104749390B
CN104749390B CN201310752418.3A CN201310752418A CN104749390B CN 104749390 B CN104749390 B CN 104749390B CN 201310752418 A CN201310752418 A CN 201310752418A CN 104749390 B CN104749390 B CN 104749390B
Authority
CN
China
Prior art keywords
integrated chip
positioning
frame structure
cavity
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310752418.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104749390A (zh
Inventor
吴天顺
黄程伟
徐小迟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SENSATA TECHNOLOGY (CHANGZHOU) CO LTD
Original Assignee
SENSATA TECHNOLOGY (CHANGZHOU) CO LTD
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SENSATA TECHNOLOGY (CHANGZHOU) CO LTD filed Critical SENSATA TECHNOLOGY (CHANGZHOU) CO LTD
Priority to CN201310752418.3A priority Critical patent/CN104749390B/zh
Priority to JP2014263987A priority patent/JP6291412B2/ja
Priority to US14/584,207 priority patent/US9564351B2/en
Priority to KR1020140193614A priority patent/KR20150079466A/ko
Priority to EP14200644.4A priority patent/EP2896966B1/en
Publication of CN104749390A publication Critical patent/CN104749390A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104749390B publication Critical patent/CN104749390B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245Housings for sensors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/30Supports specially adapted for an instrument; Supports specially adapted for a set of instruments
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P1/00Details of instruments
    • G01P1/02Housings
    • G01P1/026Housings for speed measuring devices, e.g. pulse generator
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/481Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals
    • G01P3/488Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage of pulse signals delivered by variable reluctance detectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735Closed carriers
    • H01L21/67353Closed carriers specially adapted for a single substrate

Abstract

本发明涉及定位框架结构,其用于集成芯片的定位和对中,该定位框架结构包括:集成芯片承载构件,其中限定有第一腔室;和集成芯片定位磁体,其设置在集成芯片承载构件的第一腔室内。定位框架结构还包括集成芯片保持器,集成芯片保持器设置在集成芯片定位磁体之上,集成芯片保持在集成芯片保持器上,以提供集成芯片相对于集成芯片定位磁体的定位和对中。本发明可以较好地控制集成芯片与定位磁体在承载构件上的定位和对中。同时,定位磁体可以制成为比集成芯片大。此外,还可以获得较大的空气间隙,以有利于对集成芯片进行后续的操作。另外,本发明的技术方案由于省略了粘接操作,而节省了操作成本。

Description

定位框架结构
技术领域
本发明涉及一种定位框架结构,具体地,本发明涉及用于精确地集成芯片与定位磁体之间的对中和定位的定位框架结构。
背景技术
采用磁性传感器的非接触式编码器来检测目标车轮的速度是众所周知的,例如可以采用霍尔传感器、各向异性磁阻传感器和大磁阻传感器。这样的传感器可以被称为速度传感器,例如双线霍尔效应方向性输出速度传感器(TOSS,Two-Wire Hall EffectDirectional Output Speed Sensor)、集成方向性离合器输入速度传感器(CISS,Integrated Directional Clutch Input Speed Sensor)和非方向性输入速度传感器(TISS,Non-directional Input Speed Sensor),它们的功能、性能和设计要求是本领域中公知的。速度传感器能够感测汽车传动应用中所采用的目标的转速。
这些速度传感器可以在目标旋转期间用于输入或输出编码器应用。它们通常具有较小封装的集成芯片(IC,Integrated Chip),该集成芯片处于磁体的顶侧上,而磁体处于承载构件中。在操作过程中,需要控制集成芯片在磁体上的定位和对中。在现有技术中,集成芯片通常是组装在承载构件上,通过承载构件中的孔的内径来控制集成芯片与磁体之间的对中,而集成芯片的定位则通过承载构件上的肋来控制。这种方案要求磁体的尺寸比集成芯片的尺寸小,否则无法进行对中,同时集成芯片需要用胶进行粘接来固定,增加了生产成本。
由于磁体的尺寸要求比集成芯片小,使得该方案不适用于集成芯片较小的情况。同时,需要用胶粘接集成芯片,也增加了操作的复杂性。因此,本领域中需要一种定位结构,其能够适用于集成芯片比定位磁体小的情况,并且能够简化结构和操作且降低成本。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种定位框架结构,用于精确地集成芯片与定位磁体之间的对中和定位的定位框架结构,能够适用于集成芯片比定位磁体小的情况,并且能够省略现有技术中的粘接操作,从而节省成本。
本发明的上述目的是通过一种定位框架结构来实现的,该定位框架结构用于集成芯片的定位和对中,所述定位框架结构包括:
集成芯片承载构件,所述集成芯片承载构件中限定有第一腔室;以及
集成芯片定位磁体,所述集成芯片定位磁体设置在所述集成芯片承载构件的第一腔室内;
其中所述定位框架结构还包括集成芯片保持器,所述集成芯片保持器设置在所述集成芯片定位磁体之上,所述集成芯片保持在所述集成芯片保持器上,以提供所述集成芯片相对于所述集成芯片定位磁体的定位和对中。
在一个实施例中,所述集成芯片保持器形成有容纳部,所述集成芯片保持在所述容纳部中。
在一个实施例中,所述容纳部的形状和尺寸与所述集成芯片的形状和尺寸相对应,使得所述集成芯片固定不动地设置在所述容纳部中。
在一个实施例中,所述集成芯片定位磁体的尺寸与所述集成芯片承载构件的第一腔室的尺寸相对应,使得所述集成芯片定位磁体固定不动地设置在所述第一腔室中。
在一个实施例中,所述集成芯片定位磁体的尺寸比所述集成芯片的尺寸大。
在一个实施例中,所述集成芯片承载构件中还限定有第二腔室,所述第二腔室处于所述第一腔室上方。
在一个实施例中,所述集成芯片保持器处于所述集成芯片承载构件的第二腔室内。
在一个实施例中,所述集成芯片承载构件的第二腔室的尺寸大于所述集成芯片承载构件的第一腔室的尺寸。
在一个实施例中,所述第一腔室与所述第二腔室之间形成台肩部,所述集成芯片保持器处于所述集成芯片承载构件的第二腔室内且靠在所述台肩部上。
在一个实施例中,其特征在于,所述集成芯片保持器的外围尺寸与所述集成芯片承载构件的第二腔室的尺寸相对应,使得所述集成芯片保持器固定不动地设置在所述第二腔室中。
通过上述技术方案,本发明的定位框架结构可以较好地控制和保证集成芯片与定位磁体在承载构件上的定位和对中。同时,由于集成芯片保持器的存在,使得定位磁体可以制成为比集成芯片大,从而可以对较小的集成芯片进行操作。此外,还可以获得较大的空气间隙,以有利于对集成芯片进行后续的操作。
另外,与现有技术的集成芯片定位方案相比,本发明的技术方案由于省略了粘接操作,而节省了操作成本。
附图说明
以下将参考附图,详细描述本发明的定位框架结构的实施例,其中:
图1是根据本发明的定位框架结构的纵向剖视图;
图2是根据本发明的定位框架结构的横向剖视图。
具体实施方式
参考附图,以下将详细描述本发明的定位框架结构。本发明的定位框架结构用于集成芯片的定位和对中,尤其适用于较小的集成芯片在较大的集成芯片定位磁体上的定位和对中。
请参考图1和2,其分别为根据本发明的定位框架结构100的纵向剖视图和横向剖视图。在图1和图2中,定位框架结构100主要包括集成芯片承载构件101和集成芯片定位磁体102。集成芯片承载构件101中限定有第一腔室103。在所示的实施例中,该第一腔室103的横截面为方形,但是也可以想到,第一腔室103可以具有任何可选的其它形状。
集成芯片定位磁体102设置在集成芯片承载构件101的第一腔室103中。优选地,集成芯片定位磁体102的尺寸与集成芯片承载构件101的第一腔室103的尺寸相对应,使得集成芯片定位磁体102能够固定不动地设置在第一腔室103中,由此能够控制和保证集成芯片定位磁体102与集成芯片承载构件101之间的定位和对中。
本发明的定位框架结构100设置有集成芯片保持器300,集成芯片保持器300设置在集成芯片定位磁体102之上。在实际操作过程中,集成芯片200被保持在该集成芯片保持器300中,由此通过该集成芯片保持器300实现集成芯片200相对于集成芯片定位磁体102的定位和对中。
需要注意的是,由于设置有集成芯片保持器300,所以集成芯片定位磁体102的尺寸可以比集成芯片200的尺寸大,由此满足本领域中芯片封装的一些特殊要求。同时,由于具有集成芯片保持器300,集成芯片200的尺寸可以做到很小,以克服现有技术中一旦集成芯片较小就无法定位和对中的缺陷。
在一个优选的实施例中,集成芯片保持器300设置有容纳部301,集成芯片200可以容纳在该容纳部301中。优选地,容纳部301的形状和尺寸与集成芯片200的形状和尺寸相对应,使得集成芯片200能够固定不动地但是可移除地设置在容纳部301中。
集成芯片承载构件101还可以设置有第二腔室104,在所示的实施例中,第二腔室104处于第一腔室103的上方。在具有第二腔室104的实施例中,集成芯片保持器300可以设置在集成芯片承载构件101的第二腔室104内。
集成芯片承载构件101的第二腔室104的尺寸可以大于、等于或小于集成芯片承载构件101的第一腔室103的尺寸。在图示的优选实施例中,第二腔室104的尺寸大于第一腔室103的尺寸。在这种情况下,在一个实施例中,第一腔室103与第二腔室104之间形成台肩部105。在具有台肩部105的情况下,集成芯片保持器300可以靠在该台肩部105上。
在优选的实施例中,集成芯片保持器300的外围尺寸与集成芯片承载构件101的第二腔室104的尺寸相对应,使得集成芯片保持器300能够固定不动地但是可移除地设置在该第二腔室104中。通过上述集成芯片承载构件101、集成芯片定位磁体102和集成芯片保持器300的结构关系,可以确保集成芯片200与集成芯片定位磁体102之间的对中和定位。
集成芯片保持器300和第二腔室104可以具有适当的形状,例如,在图示的实施例中,第二腔室104的横截面为对称的六边形,相应地,集成芯片保持器300的横截面也为对称的六边形,与第二腔室104的横截面大致相对应。在所示的实施例中,集成芯片保持器300的多个侧边(可以不是全部侧边)抵靠第二腔室104的对应内侧边,以使得集成芯片保持器300相对于第二腔室104固定就位。
显然,本领域技术人员可以想到,集成芯片保持器300和第二腔室104也可以具有任何其它合适的形状,只要能确保集成芯片200与集成芯片定位磁体102之间的对中和定位即可。
此外,为了进一步加强集成芯片200在集成芯片保持器300的容纳部301中的固定,还可以设置额外的固定结构,例如,集成芯片200可以卡扣配合在容纳部301中。
本发明的定位框架结构的上述实施例可以较好地控制和保证集成芯片与定位磁体在承载构件上的定位和对中。同时,由于集成芯片保持器的存在,使得定位磁体可以制成为比集成芯片大,从而可以对较小的集成芯片进行操作。此外,还可以获得较大的空气间隙,以有利于对集成芯片进行后续的操作。
另外,与现有技术的集成芯片定位方案相比,本发明的技术方案由于省略了粘接操作,而节省了操作成本。
虽然以上借助于优选实施例对本发明进行较为详细的说明,但是本领域技术人员应当理解,本发明并不限于上述实施例。在不脱离本发明的精神和范围的情况下,可以对本发明进行各种修改、变化和替换,这些修改、变化和替换均涵盖在本发明的范围内。

Claims (7)

1.一种定位框架结构,其用于集成芯片的定位和对中,所述定位框架结构包括:
集成芯片承载构件,所述集成芯片承载构件中限定有第一腔室;以及
集成芯片定位磁体,所述集成芯片定位磁体设置在所述集成芯片承载构件的第一腔室内;
其中所述定位框架结构还包括集成芯片保持器,所述集成芯片保持器设置在所述集成芯片定位磁体之上,所述集成芯片保持在所述集成芯片保持器上,以提供所述集成芯片相对于所述集成芯片定位磁体的定位和对中,
其中所述集成芯片承载构件中还限定有第二腔室,所述第二腔室处于所述第一腔室上方,所述第一腔室与所述第二腔室之间形成台肩部,所述集成芯片保持器处于所述集成芯片承载构件的第二腔室内且靠在所述台肩部上。
2.根据权利要求1所述的定位框架结构,其特征在于,所述集成芯片保持器形成有容纳部,所述集成芯片保持在所述容纳部中。
3.根据权利要求2所述的定位框架结构,其特征在于,所述容纳部的形状和尺寸与所述集成芯片的形状和尺寸相对应,使得所述集成芯片固定不动地设置在所述容纳部中。
4.根据权利要求1所述的定位框架结构,其特征在于,所述集成芯片定位磁体的尺寸与所述集成芯片承载构件的第一腔室的尺寸相对应,使得所述集成芯片定位磁体固定不动地设置在所述第一腔室中。
5.根据权利要求1所述的定位框架结构,其特征在于,所述集成芯片定位磁体的尺寸比所述集成芯片的尺寸大。
6.根据权利要求1所述的定位框架结构,其特征在于,所述集成芯片承载构件的第二腔室的尺寸大于所述集成芯片承载构件的第一腔室的尺寸。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的定位框架结构,其特征在于,所述集成芯片保持器的外围尺寸与所述集成芯片承载构件的第二腔室的尺寸相对应,使得所述集成芯片保持器固定不动地设置在所述第二腔室中。
CN201310752418.3A 2013-12-31 2013-12-31 定位框架结构 Active CN104749390B (zh)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310752418.3A CN104749390B (zh) 2013-12-31 2013-12-31 定位框架结构
JP2014263987A JP6291412B2 (ja) 2013-12-31 2014-12-26 位置決めフレーム構造
US14/584,207 US9564351B2 (en) 2013-12-31 2014-12-29 Positioning frame structure
KR1020140193614A KR20150079466A (ko) 2013-12-31 2014-12-30 포지셔닝 프레임 구조체
EP14200644.4A EP2896966B1 (en) 2013-12-31 2014-12-30 Positioning frame structure

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310752418.3A CN104749390B (zh) 2013-12-31 2013-12-31 定位框架结构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104749390A CN104749390A (zh) 2015-07-01
CN104749390B true CN104749390B (zh) 2020-07-03

Family

ID=52423542

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310752418.3A Active CN104749390B (zh) 2013-12-31 2013-12-31 定位框架结构

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9564351B2 (zh)
EP (1) EP2896966B1 (zh)
JP (1) JP6291412B2 (zh)
KR (1) KR20150079466A (zh)
CN (1) CN104749390B (zh)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203772882U (zh) * 2013-12-31 2014-08-13 森萨塔科技(常州)有限公司 定位框架结构

Family Cites Families (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2965235A (en) * 1958-03-07 1960-12-20 Daline Gordon Perforated display panel with magnetic attachment means
DE8711744U1 (zh) * 1987-08-29 1988-12-29 Heidelberger Druckmaschinen Ag, 6900 Heidelberg, De
KR960000342B1 (ko) * 1989-03-14 1996-01-05 미쯔비시 덴끼 가부시끼가이샤 홀 효과형 센서 장치
JPH0344588A (ja) * 1989-07-12 1991-02-26 Tdk Corp 移動物体検出センサ
US5007290A (en) * 1989-10-31 1991-04-16 New Sd, Inc Method and apparatus for producing preload of an accelerometer assembly
US5115194A (en) * 1990-09-27 1992-05-19 Kearney-National Inc. Hall effect position sensor with flux limiter and magnetic dispersion means
US5255795A (en) * 1991-12-05 1993-10-26 Vlsi Technology, Inc. Test fixture
JPH07101163B2 (ja) * 1992-10-14 1995-11-01 カーニー−ナショナル・インコーポレーテッド 磁束制限器及び磁気分散手段を備えるホール効果位置センサ
US7876188B2 (en) * 2006-11-06 2011-01-25 Tang System Green technologies: the killer application of EMI-free on-chip inductor
US5414355A (en) * 1994-03-03 1995-05-09 Honeywell Inc. Magnet carrier disposed within an outer housing
JPH08139429A (ja) * 1994-11-07 1996-05-31 Sumitomo Electric Ind Ltd 電子回路装置
US5500589A (en) * 1995-01-18 1996-03-19 Honeywell Inc. Method for calibrating a sensor by moving a magnet while monitoring an output signal from a magnetically sensitive component
US5581179A (en) * 1995-05-31 1996-12-03 Allegro Microsystems, Inc. Hall-effect ferrous-article-proximity sensor assembly
JPH09133743A (ja) * 1995-11-08 1997-05-20 Murata Mfg Co Ltd 磁気センサ
US6355885B1 (en) * 1996-05-02 2002-03-12 William J. Rintz Sub frame assembly for light switch assembly
EP0916074B1 (en) * 1997-05-29 2003-07-30 AMS International AG Magnetic rotation sensor
JPH11153452A (ja) * 1997-11-20 1999-06-08 Hitachi Ltd 回転検出装置
US6291990B1 (en) * 1997-09-29 2001-09-18 Hitachi, Ltd. Revolution sensor
US6346811B1 (en) * 1997-10-20 2002-02-12 Wolff Controls Corp. Methods for mounting a sensor and signal conditioner to form sensing apparatus having enhanced sensing capabilities and reduced size
US5868251A (en) * 1997-11-06 1999-02-09 Lin; Wan-Chang Disk-shaped storage case for screwdriver tips
US6018130A (en) * 1998-05-20 2000-01-25 Breed Automotive Technology, Inc. Roll-over sensor with pendulum mounted magnet
JP4041797B2 (ja) * 2001-06-28 2008-01-30 ポラック ラボラトリーズ インコーポレイテッド 内蔵型センサ装置
US6707293B2 (en) * 2001-11-15 2004-03-16 Honeywell International Inc. 360-degree rotary position sensor having a magnetoresistive sensor and a hall sensor
JP4179083B2 (ja) * 2003-07-08 2008-11-12 株式会社デンソー 回転検出装置
US7462317B2 (en) * 2004-11-10 2008-12-09 Enpirion, Inc. Method of manufacturing an encapsulated package for a magnetic device
DE102005047414B4 (de) * 2005-02-21 2012-01-05 Infineon Technologies Ag Magnetoresistives Sensormodul und Verfahren zum Herstellen desselben
US7425824B2 (en) * 2005-05-20 2008-09-16 Honeywell International Inc. Magnetoresistive sensor
JP4232771B2 (ja) * 2005-09-30 2009-03-04 株式会社デンソー 回転検出装置
US8701272B2 (en) * 2005-10-05 2014-04-22 Enpirion, Inc. Method of forming a power module with a magnetic device having a conductive clip
FR2902872B1 (fr) * 2006-06-27 2008-11-14 Arvinmeritor Light Vehicle Sys Dispositif de mesure de champ magnetique.
US20080013298A1 (en) * 2006-07-14 2008-01-17 Nirmal Sharma Methods and apparatus for passive attachment of components for integrated circuits
JP2008216043A (ja) * 2007-03-05 2008-09-18 Honda Lock Mfg Co Ltd 回転センサ
US7570047B2 (en) * 2007-06-18 2009-08-04 Key Safety Systems, Inc. Hall effect based angular position sensor
US7710110B2 (en) * 2007-07-07 2010-05-04 Honeywell International Inc. Rotary sensor with rotary sensing element and rotatable hollow magnet
US7920042B2 (en) * 2007-09-10 2011-04-05 Enpirion, Inc. Micromagnetic device and method of forming the same
US9518815B2 (en) * 2008-08-06 2016-12-13 Haas Automation, Inc. Rotary position encoder for rotatable shafts
DE102009006529A1 (de) * 2009-01-28 2010-08-26 Continental Automotive Gmbh Positionssensor
CN201681086U (zh) * 2010-05-11 2010-12-22 杭州南科汽车传感器有限公司 主动式轮速传感器
US9201123B2 (en) * 2011-11-04 2015-12-01 Infineon Technologies Ag Magnetic sensor device and a method for fabricating the same
CN103094778A (zh) * 2011-11-04 2013-05-08 深圳富泰宏精密工业有限公司 便携式电子装置及其芯片卡装取装置
US8727326B2 (en) * 2012-03-21 2014-05-20 Cheng Uei Precision Industry Co., Ltd. Assembly jig
US8779635B2 (en) * 2012-04-10 2014-07-15 Kla-Tencor Corporation Arrangement of reticle positioning device for actinic inspection of EUV reticles
DE102013219017A1 (de) * 2012-12-20 2014-06-26 Continental Teves Ag & Co. Ohg Sensor zum Ausgeben eines elektrischen Signals
DE102012224424A1 (de) * 2012-12-27 2014-07-17 Robert Bosch Gmbh Sensorsystem und Abdeckvorrichtung für ein Sensorsystem
US20140254835A1 (en) * 2013-03-05 2014-09-11 Analog Devices, Inc. Packaged Microphone System with a Permanent Magnet
US9446745B2 (en) * 2013-09-10 2016-09-20 KSR IP Holdings, LLC Integrated rotary and linear sensor

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203772882U (zh) * 2013-12-31 2014-08-13 森萨塔科技(常州)有限公司 定位框架结构

Also Published As

Publication number Publication date
US9564351B2 (en) 2017-02-07
JP2015132601A (ja) 2015-07-23
KR20150079466A (ko) 2015-07-08
CN104749390A (zh) 2015-07-01
JP6291412B2 (ja) 2018-03-14
EP2896966A1 (en) 2015-07-22
EP2896966B1 (en) 2021-06-23
US20150187623A1 (en) 2015-07-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10718633B2 (en) Rotation sensor
US10684141B2 (en) Magnetic angle sensor device and method of operation
WO2008146184A3 (en) External magnetic field angle determination
WO2013009461A3 (en) Absolute angular position sensor using two magnetoresistive sensors
EP2713148A1 (en) Mechanically coupled force sensor on flexible platform assembly structure
CN106164621B (zh) 用于检测在运动的部件上的位移的传感器组件
US20170082462A1 (en) Multi-turn angle position sensor (extendible for more than 10 turns)
CN104976949A (zh) 用于无接触式旋转角检测的测量装置
KR102142532B1 (ko) 토크 센서
WO2010060851A3 (de) Sensoreinrichtung zur drehmomentmessung in lenksystemen
KR102499547B1 (ko) 모터
CN104749390B (zh) 定位框架结构
JP2017215148A5 (zh)
JP2017015425A5 (zh)
CN203772882U (zh) 定位框架结构
CN105406650A (zh) 具有电枢的电机
US9470558B2 (en) Encoder alignment structure
US10383240B2 (en) Housing to retain integrated circuit package
CN102761225A (zh) 一种无刷电机用霍尔传感器的线路板安装结构
CN203616336U (zh) 一种差动式齿轮转速传感器
CN104197000A (zh) 外置式空档位置传感器结构
CN203572505U (zh) 传感器密封结构
CN202255170U (zh) 游标卡尺
US20210285980A1 (en) Sensor devices and methods for producing sensor devices
CN102980611A (zh) 一种汽车用温湿度传感器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant