CN104662608B - 压电促动器及其制造方法、磁盘装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷的粒子的脱落的压电促动器及其制造方法。压电促动器(10)具备：(a)长方体形状的压电体(12)，由压电陶瓷构成，具有互相对置的2个主面(12a、12b)和4个侧面(12s～12v)；(b)外部电极(14a、14b)，设置于主面(12a、12b)；(c)凹部，形成于4个侧面(12s～12v)；和(d)涂层(16)，设置于4个侧面(12s～12v)，且由树脂构成。涂层(16)覆盖4个侧面(12s～12v)中的凹部。
Description
技术领域
本发明涉及压电促动器及其制造方法、以及搭载了压电促动器的磁盘装置。
背景技术
在现有技术中，在磁盘装置中，为了使磁性头部高精度地移动至盘上的期望位置，搭载了使磁性头部大致移动至期望位置的附近的第1促动器、和使磁性头部从通过第1促动器移动的位置开始向期望位置微量移动的第2促动器。
例如，图19是表示现有技术的磁盘装置结构的俯视图。如图19所示，磁性头部(未图示)设置在与悬架200的一端侧连接的平衡环210，作为第1促动器的音圈电机250设置在悬架支撑部件230中。在悬架200与悬架支撑部件230之间，设有作为第2促动器的压电促动器100。
压电促动器100具备由锆钛酸铅(PZT)等压电陶瓷构成的长方体形状的压电体、和分别在压电体的互相对置的两个面设置的外部电极，若对外部电极施加电压，则压电体伸缩。
在现有技术的磁盘装置中，设有由覆盖压电促动器100的表面的树脂构成的涂层101，通过涂层101，防止从压电促动器100的压电体脱落压电陶瓷的微细粒子。由此，在驱动压电促动器100时，因压电促动器100的压电体的伸缩等而使压电陶瓷的微细粒子从压电体脱落，脱落的粒子附着于磁性头部、磁性记录圆板310，从而防止向磁性记录圆板310的信息写入或来自磁性记录圆板310的信息读出的可靠性的降低。(例如，参照专利文献1)。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2002-163870号公报
发明内容
发明要解决的课题
涂层101是在悬架200与悬架支撑部件230之间安装压电促动器100之后设置的。因此，用于涂层101的树脂有可能附着在磁盘装置内的不期望的部位(例如，磁性头部附近)上。此外，磁盘装置的制造工序变得复杂，良品率的降低、制造成本的上升等成为原因。
此外，专利文献1公开了，用于涂层101的树脂优选使用未固化状态的粘度为1000mPa·s以下的低粘度树脂，低粘度环氧树脂系粘接剂最佳，低粘度环氧树脂系粘接剂由含有量小于20％的环氧低聚物和含有量为80％以上的环氧单体构成，至少包含在热或者光下进行反应的聚合开始剂、催化剂、添加剂。
但是，在树脂的未固化状态的粘度为100～1000mPa·s程度的情况下，树脂无法进入到在压电体的表面存在多个的微细的凹部的底部，涂层101容易被剥离。若涂层101被剥离，则压电体的表面被曝光，有时会从被曝光的部分脱落压电陶瓷的粒子。
此外，树脂的未固化状态的粘度越高い，覆盖压电体表面的涂层101就越厚。若涂层101厚，则涂层101会阻碍压电促动器100的位移，导致压电促动器100的位移特性劣化，有时使磁性头部移动的精度会下降。
本发明鉴于上述情况而完成，提供一种能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷粒子的脱落的压电促动器及其制造方法、以及搭载压电促动器的磁盘装置。
用于解决课题的手段
本发明为了解决上述课题，提供如下构成的压电促动器。
本发明的压电促动器具备(a)长方体形状的压电体，由压电陶瓷构成，具有互相对置的2个主面和连接所述2个主面的4个侧面；(b)外部电极，设置于所述主面；(c)凹部，形成于所述4个侧面；和(d)涂层，设置于所述4个侧面，且由树脂构成。所述涂层覆盖所述4个侧面中的所述凹部。
在上述构成中，压电体的主面以及侧面的6个面被外部电极和涂层覆盖着。涂层覆盖着压电体的凹部，因此不易剥离。由于能够可靠地保持压电体的6个面被外部电极和涂层覆盖的状态，因此能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷的粒子的脱落。
在本发明的压电促动器中，优选还具备：增强部件，在至少一个所述外部电极的和与所述压电体相连的面相反的一侧的面沿着该面的周边而设置，且由树脂构成。
此时，由于外部电极的端部被增强部件和涂层覆盖，因此压电促动器的角部的强度得到提高。
在优选的一个方式中，与所述涂层一体地形成所述增强部件。
在本发明的压电促动器中，优选所述涂层是未固化状态的粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s的树脂固化而成的。
若未固化状态的树脂的粘度大于1mPa·s，则能够将涂层设置成与压电体的凹部的底部接触。若未固化状态的树脂的粘度小于100mPa·s，则不会使压电体的4个面中的涂层的厚度太厚。
在本发明的压电促动器中，优选所述涂层在所述4个侧面上的厚度为1μm以下。
此时，通过涂层几乎不会阻碍压电促动器的位移，因此能够提高压电促动器的位移特性。
在本发明的压电促动器中，优选所述压电体是通过切断集合基板而形成的单片，所述4个侧面是该单片的切断面。
在本发明的压电促动器中，优选所述涂层与所述4个侧面的所述凹部的底部接触。
本发明提供一种搭载了上述的任一种结构的压电促动器的磁盘装置。
此时，压电促动器防止了来自压电体的陶瓷粒子的脱落，因此在磁盘装置搭载压电促动器之后，无需在压电促动器的表面进一步设置涂层。
此外，本发明为了解决上述课题而提供如下那样构成的压电促动器的制造方法。
压电促动器的制造方法具备第1至第6工序。在所述第1工序中，准备在由压电陶瓷构成的压电体母基板的相互对置的2个面分别设有金属层的集合基板。在所述第2工序中，在所述集合基板上粘贴具有粘合性的薄膜，经由所述薄膜而将所述集合基板固定于基准面。在所述第3工序中，在被固定的所述集合基板上设置掩模。在所述第4工序中，与所述掩模一起切断所述集合基板来形成槽，形成长方体形状的多个单片。在所述第5工序中，在所述多个单片的切断面涂敷未固化状态的树脂之后使其固化，由此设置涂层。在所述第6工序中，从所述单片去除所述掩模，从所述薄膜剥离所述单片。
根据上述方法，能够制造压电体的6个面中的互相对置的2个面被金属层覆盖而其他4个面被涂层覆盖的压电促动器。
在本发明的压电促动器的制造方法中，所述未固化状态的树脂的粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s。
优选，在所述第1工序之后且在所述第2工序之前，具备：第7工序，在所述集合基板的至少一个所述金属层上，以向在所述第4工序中形成所述槽的部分的两侧突出的方式设置由树脂构成的增强部件图案。在所述第4工序中，将与所述掩模以及所述集合基板一起切断的所述增强部件图案作为增强部件。
此时，由于至少一个外部电极的端部被增强部件和涂层覆盖，因此压电促动器的角部的强度得到提高。
优选，在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述薄膜与所述集合基板或所述增强部件图案之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
优选，在所述第3工序中，所述掩模是第2薄膜，在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述第2薄膜与所述集合基板或所述增强部件图案之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
发明效果
根据本发明，能够可靠地防止来自压电体的压电陶瓷粒子的脱落。
附图说明
图1是本发明的第1实施方式的压电促动器的(a)俯视图、(b)侧视图、(c)剖视图、(d)剖视图。
图2是本发明的第1实施方式的压电促动器的主要部分放大剖视图。
图3是表示本发明的第1实施方式的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
图4是表示本发明的第1实施方式的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
图5是表示本发明的第1实施方式的压电促动器的制造工序的说明图。
图6是表示本发明的实施例1的压电促动器和比较例1的压电促动器的磁带测试的结果的图表。
图7是实施例3的压电促动器中的压电体的侧面的照片。
图8是本发明的实施例2的压电促动器中的压电体的侧面的照片。
图9是本发明的实施例1的压电促动器中的压电体的侧面的照片。
图10是实施例4的压电促动器中的压电体的侧面的扫描型电子显微镜照片。
图11是表示本发明的第1实施方式的变形例1的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
图12是表示本发明的第1实施方式的变形例2的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
图13是本发明的第2实施方式的压电促动器的(a)俯视图、(b)侧视图、(c)剖视图、(d)剖视图。
图14是表示本发明的第2实施方式的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
图15是表示本发明的第2实施方式的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
图16是表示本发明的第2实施方式的压电促动器的制造工序的主要部分俯视图。
图17是表示本发明的第2实施方式的变形例1的压电促动器的制造工序的主要部分放大剖视图。
图18是表示本发明的第2实施方式的变形例2的压电促动器的制造工序的主要部分俯视图。
图19是表示现有技术中的磁盘装置的构成的俯视图。
具体实施方式
以下，参照图1～图18来说明本发明的实施方式。
<第1实施方式>
参照图1～图10来说明本发明的第1实施方式的压电促动器10。
图1(a)是压电促动器10的俯视图，图1(b)是侧视图，图1(c)是沿着图1(a)的线A-A切断的剖视图，图1(d)是沿着图1(b)的线B-B切断的剖视图。如图1(a)～(d)所示，压电促动器10具备压电体12、一对外部电极14a、14b和涂层16。
压电体12由锆钛酸铅(PZT)等压电陶瓷构成，是长方体形状，具有6个面、即12a、12b、12s～12v。压电体12的互相对置的2个面12a、12b是2个主面12a、12b。压电体12的其他4个面12s～12v是连接2个主面12a、12b的4个侧面12s～12v。
在压电体12的2个主面12a、12b设有例如通过由NiCr构成的层和由Au构成的层构成的外部电极14a、14b。压电体12的4个侧面12s～12v被涂层16覆盖，该涂层16由环氧树脂、聚酰亚胺树脂等树脂构成。压电体12的6个面12a、12b、12s～12v分别被外部电极14a、14b或者涂层16中的至少一个覆盖着所有部分。另外，涂层16还覆盖着外部电极14a、14b的外周面14u、14v。
如图1(c)所示，外部电极14a、14b的面中，与压电体12相连的面和相反侧的面14s、14t的全部暴露于外部，没有被涂层16覆盖。因此，外部电极14a、14b容易与搭载压电促动器10的磁盘装置的电极等连接。
另外，压电体12的6个面12a、12b、12s～12v只要被外部电极14a、14b或者涂层16中的任一个覆盖所有部分即可，压电体12的2个主面12a、12b中的一部分也可以不是外部电极14a、14b而是被涂层16覆盖着，或者压电体12的4个侧面12s～12v的一部分分也可以不是涂层16而是被外部电极14a、14b覆盖着
图2是压电促动器10的主要部分放大剖视图。如图2示意性图示那样，压电体12由压电陶瓷构成，因此在被涂层16覆盖的压电体12的4个侧面12s～12v，因后述的切割(dicing)加工引起的缺陷或压电陶瓷的气孔等，会形成多个裂痕12z。并且，该裂痕发展而导致表面脱落的部分会成为凹部12w。在侧面12s～12v的表面、凹部12w附近，形成有这种因切割时的破坏引起的裂痕12z。认为该裂痕12z是压电陶瓷的粒子脱落的根源之一。涂层16是通过涂敷低粘度的树脂而形成的，因此由于表面张力，会选择性地在凹部12w附着地较厚，与凹部12w的底部12x接触而覆盖凹部12w。涂层16并不是设置在压电体12的4面12s～12v的平坦的部分上，而是被设置成进入凹部12w的深处与底部12x接触，因此不易从压电体12的4个侧面12s～12v剥离。
因此，可靠地保持压电体12的6个面12a、12b、12s～12v的所有部分被外部电极14a、14b或者涂层16中的任一个覆盖着的状态。因此，能够可靠地防止来自压电体12的压电陶瓷的粒子的脱落。
涂层16是使未固化状态的粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s的树脂固化而成。如后述那样，若未固化状态的树脂的粘度大于1mPa·s，则能够将涂层16设置成与压电体12的凹部12w的底部12x接触。若未固化状态的树脂的粘度小于100mPa·s，则能够设置成压电体12的4个侧面12s～12v的涂层16的厚度t(参照图2)不易变大。另外，涂层16的厚度t是在压电体12的4个侧面12s～12v的平坦的部分上设置的部分的厚度。
接着，参照图3～图5来说明压电促动器10的制造工序。图3以及图4是表示压电促动器10的制造工序的主要部分放大剖视图。图5是表示压电促动器10的制造工序的说明图。
首先，如图3(a)所示，准备在由压电陶瓷构成的压电体母基板11的2个主面11a、11b的整体分别设置了金属层13a、13b的集合基板20。金属层13a、13b层叠由NiCr构成的层和由Au构成的层而构成。关于集合基板20，也可以制作压电体母基板11之后设置金属层13a、13b，也可以通过在未烧成的陶瓷印刷电路基板的双面涂敷包含金属的膏剂之后进行烧成等方法，同时设置压电体母基板11和金属层13a、13b。压电体母基板11包括成为压电促动器10的压电体12的部分，金属层13a、13b包括成为压电促动器10的外部电极14a、14b的部分。
接着，如图3(b)以及图5(a)所示，在具有粘合性的薄膜、即切割胶带(dicingtape，切割蓝膜)30上粘贴1个或者2个以上的集合基板20，经由切割胶带30，在夹具2的基准面2a固定1个或者2个以上的20。此时，以金属层13b与切割胶带30接触的方式，将切割胶带30粘贴到集合基板20。
接着，如图3(c)以及图5(b)所示，设置在集合基板20上涂敷由树脂构成的掩模材料而覆盖金属层13a的掩模32。
接着，如图4(d)以及图5(c)所示，通过如箭头6所示那样移动切割刮刀(ブレ一ド)4的同时进行切割加工，或者通过激光加工等，与掩模32以及金属层13a、13b一起切断压电体母基板11，在集合基板20形成槽22，分割成具有长方体形状的多个单片10s。相邻的单片10s的切断面24彼此对置，在对置的切断面24之间形成槽22。在压电体母基板11的切断面24，存在因切割加工的缺陷或压电陶瓷的气孔等引起的多个凹部。
接着，如图5(d)所示，利用喷雾器8等，将未固化状态的树脂34涂敷到单片10s的切断面24。此时，若涂敷粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s的未固化状态的树脂34，则未固化状态的树脂34通过毛细管现象而进入存在于压电体母基板11的切断面24中的多个凹部，在凹部中填充未固化状态的树脂34。
特别是，为了消除在涂敷未固化状态的树脂时形成的、未固化状态的树脂中或未固化状态的树脂与压电体母基板11的切断面24之间的界面的气泡，在真空状态下放置一定时间的脱泡处理是有效的。
接着，如图4(e)所示，通过加热或紫外线照射等来使未固化状态的树脂34固化，设置涂层16。
接着，如图4(f)所示，去除掩模32，从切割胶带30剥离而取出各个压电促动器10。
接着，说明对通过上述制造工序制造出的实施例1的压电促动器进行的试验。
作为第1试验，对通过上述制造工序制造出的实施例1的压电促动器，进行了磁带测试。准备30个利用未固化状态的粘度为10mPa·s的树脂34而制造出的实施例1的压电促动器、3个只有不具备涂层这一点不同于实施例1的比较例1的压电促动器，进行了磁带测试。详细而言，对压电体12的4个侧面12s～12v按压具有粘合性的胶带之后，利用扫描型电子显微镜放大宽度为200μm的部分，数粘贴在胶带上的压电陶瓷的粒子、即从压电体12被剥离的压电陶瓷的粒子的个数。图6的图表表示试验结果。
从图6可知，实施例1的压电促动器与不具备涂层的比较例1的压电促动器相比，从压电体12脱落的压电陶瓷的粒子数少很多。
作为第2试验，在压电体的侧面涂敷粘度不同的未固化状态的树脂，调查使树脂固化后的状态。具体而言，除了上述实施例1的压电促动器之外，还分别准备了利用未固化状态的粘度为5mPa·s的树脂34而制造的实施例2的压电促动器、只有利用未固化状态的粘度为1mPa·s的树脂而制造这一点不同于实施例1、2的实施例3的压电促动器、和只有利用未固化状态的粘度为100mPa·s的树脂而制造至一点不同于实施例1、2的实施例4的压电促动器。图7是实施例3的压电促动器中的压电体的侧面的照片。图8是实施例2的压电促动器中的压电体的侧面的照片。图9是实施例1的压电促动器中的压电体的侧面的照片。图10是实施例4的压电促动器中的压电体的侧面的扫描型电子显微镜照片。在图7～图10中，树脂相对厚的部分更黑。
如图7所示，根据在实施例3的压电促动器中几乎无法在凹部识别黑的部分的情况可知，涂层16没有进入到覆盖压电体的凹部的底部为止，涂层没有充分与凹部12的底部接触。如图8、图9所示，从在实施例1、2的压电促动器中在凹部能够识别黑的部分的情况可知，涂层16进入到覆盖压电体12的凹部12w的底部为止，涂层16充分与凹部12的底部12x接触。如图10所示，可知在实施例4的压电促动器中，涂层不仅覆盖着凹部，还下垂成覆盖压电体的侧面的较宽的部分，涂层的厚度不均匀。从图7～图10可知，优选未固化状态的树脂34的粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s。若未固化状态的树脂34的粘度为5mPa·s以上且15mPa·s以下，则容易将涂层16的厚度(t)抑制在1μm以下的同时涂层16与凹部12w的底部充分接触，因此更优选。
以上说明的本发明的第1实施方式的压电促动器10能够很好地搭载于磁盘装置。
即，本发明的第1实施方式的压电促动器10中，压电体12的6个面12a、12b、12s～12v被外部电极14a、14b或者由树脂构成的涂层16中的任一个覆盖着，因此在磁盘装置的悬架安装压电促动器10之后，无需进一步用涂层覆盖压电促动器10的表面。因此，树脂不会附着于磁盘装置内的不期望的部位(例如，磁性头部附近)，能够提高磁盘装置的可靠性。此外，磁盘装置的制造工序简单，能够实现良品率的提高、制造成本的降低。
另外，在本发明的第1实施方式的压电促动器10中，由于涂层16与压电体12的凹部12w的底部12x接触，因此涂层16不易被剥离，能够可靠地防止压电陶瓷的粒子从压电体12脱落。另外，由于涂层16与压电体12的凹部12w的底部12x接触，因此在压电体12不易产生裂痕。
在本发明的第1实施方式的压电促动器10中，通过利用未固化状态的粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s的树脂34设置涂层16，从而未固化状态的树脂34通过毛细管现象进入至压电体12的凹部12w的底部12x为止，因此涂层16能够可靠地与压电体12的凹部12w的底部12x接触。
在本发明的第1实施方式的压电促动器10中，若压电体12的4个侧面12s～12v的涂层16的厚度t(除了在凹部12w设置的部分的厚度)在1μm以下，则涂层16几乎不会阻碍压电促动器10的位移，因此压电促动器10的位移特性得到提高。其结果，在搭载了将涂层16的厚度设为1μm以下的本发明的第1实施方式的压电促动器10的磁盘装置中，能够提高使磁性头部移动的精度。此外，由于涂层16的厚度薄，因此能够实现压电促动器10的小型化。
<第1实施方式的变形例1>
如图11(e)所示，在压电促动器的制造工序中涂敷未固化状态的树脂时，由于切割条件、切割胶带30的粘度，切割胶带30与金属层13b之间的密闭性降低，或者会在切割胶带30与金属层13b之间产生间隙，由此低粘度的树脂进入切割胶带30与金属层13b之间后被固化。通过该固化的树脂16m，如图11(f)所示，压电促动器10m中，与涂层16一体地形成增强部件18m。
<第1实施方式的变形例2>
如图12(e)所示，在金属层13a上粘贴如切割胶带30这样具有粘合性的第2薄膜31作为掩模，覆盖金属层13a，涂敷未固化状态的树脂。未固化状态的树脂进入切割胶带30与金属层13b之间后被固化，并且由于切割条件、第2薄膜31的粘度，低粘度的树脂还进入第2薄膜31与金属层13a之间后被固化。通过这些固化后的树脂16m、16n，如图12(f)所示，在压电促动器10n的上表面侧和下表面侧，与涂层16一体地形成增强部件18m、18m。
<第2实施方式>
参照图13～图16来说明本发明的第2实施方式的压电促动器10a。
图13(a)是压电促动器10a的俯视图，图13(b)是侧视图，图13(c)是沿着图13(a)的线A-A切断的剖视图，图13(d)是沿着图13(b)的线B-B切断的剖视图。压电促动器10a与第1实施方式的压电促动器10大致相同地构成，可通过大致相同的方法来制造。以下，对与第1实施方式相同的构成部分附加相同的符号，主要说明与第1实施方式的不同点。
如图13(a)～(d)所示，第2实施方式的压电促动器10a与第1实施方式的压电促动器10的不同点在于，还具备增强部件18a、18b，具备被设置成覆盖增强部件18a、18b的一部分的涂层16。增强部件18a、18b由树脂构成，在外部电极14a、14b的面中与压电体12相连的面的相反侧的面14s、14t，沿着面14s、14t的周边14p、14q，被设置成框状。
涂层16覆盖压电体12的4个侧面12s～12v、外部电极14a、14b的外周面14u、14v、增强部件18a、18b的外周面18u、18v。
在第2实施方式的压电促动器10a中，外部电极14a、14b中，周边14p、14q附近的端部14m、14n被增强部件18a、18b和涂层16覆盖着。因此，压电促动器10a的角部的强度得到提高。
压电促动器10a的其他构成与第1实施方式的压电促动器10相同。
接着，针对压电促动器10a的制造工序，参照图14～图16来进行说明。图14以及图15是表示压电促动器10a的制造工序的主要部分放大剖视图。图16是表好似压电促动器10a的制造工序的主要部分俯视图。
与第1实施方式相同，首先，如图14(a)所示，准备集合基板20。
接着，如图14(b)以及图16(a)所示，在金属层13a、13b上设置增强部件图案17a、17b。利用由环氧树脂或聚酰亚胺树脂等树脂构成的图案，通过印刷或涂敷等方法，设置增强部件图案17a、17b。为了包含成为压电促动器10a的增强部件18a、18b的部分，增强部件图案17a、17b被设置成在与后续工序中形成的槽22对应的位置处宽度比槽22宽、且向形成槽22的部分的两侧突出。
接着，如图14(c)所示，在具有粘合性的切割胶带30上粘贴1个或者2个以上的集合基板20，经由切割胶带30，将1个或者2个以上的集合基板20固定到夹具2的基准面2a。此时，以金属层13b以及增强部件图案17b与切割胶带30接触的方式，在集合基板20上粘贴切割胶带30。
接着，如图14(d)所示，在集合基板20上设置涂敷由树脂构成的掩模材料来覆盖金属层13a以及增强部件图案17a的掩模32。
接着，如图15(e)以及图16(b)所示，通过切割加工或激光加工，切断掩模32、增强部件图案17a、17b、金属层13a、13b和压电体母基板11，在集合基板20形成槽22，分割为具有长方体形状的多个单片10t。相邻的单片10t的切断面24彼此对置，在对置的切断面24之间形成槽22。在压电体母基板11的切断面24中存在多个因切割加工引起的缺陷或因压电陶瓷的气孔等引起的多个凹部。此时，槽22形成在增强部件图案17a、17b的宽度方向的中央部分，在槽22的两侧，通过沿着切断面24残留的增强部件图案17a、17b来设置增强部18a、18b。
接着，利用喷雾器等，将未固化状态的树脂涂敷到单片10t的切断面24。此时，若涂敷粘度大于1mPa·s且小于100mPa·s的未固化状态的树脂，则未固化状态的树脂通过毛细管现象进入存在于压电体母基板11的切断面24中的多个凹部，在凹部填充未固化状态的树脂。然后，如图15(f)所示，通过加热或紫外线照射等来使未固化状态的树脂固化，设置涂层16。涂层16覆盖压电母基板11、金属层13a、13b、增强部件图案17a、17b的切断面24。
接着，如图15(g)所示，去除掩模32，从切割胶带30剥离后去除各个压电促动器10a。
若通过以上的制造工序制造压电促动器10a，则与压电母基板11以及金属层13a、13b一起切断增强部件图案17a、17b，因此切断时的破坏对压电体母基板11的切断面的影响小。因此，压电体母基板11的切断面、即压电促动器10a的压电体12的4个侧面12s～12v与第1实施方式相比更不易产生裂痕。
第2实施方式的压电促动器10a与第1实施方式的压电促动器10相同，能够将其很好地搭载于磁盘装置。
<第2实施方式的变形例1>
如图17(b)所示，在一个金属层13t上设置增强部件图案17b，在另一个金属层13s上不设置增强部件图案，从而如图17(g)所示，能够制造仅在一个外部电极14b形成了增强部件18b的压电促动器10p。
<第2实施方式的变形例2>
如图18(f)所示，与第1实施方式的变形例1相同，通过进入切割胶带30与增强部件图案17b之间后被固化的树脂16p，如图18(g)所示，在压电促动器10q的下表面侧的增强部件18b上与涂层16一体地形成增强部件18p。此外，如图18(f)所示，与第1实施方式的变形例2相同，通过进入到粘贴在金属层13a上的第2薄膜31与增强部件图案17a之间后被固化的树脂16q，如图18(g)所示，在压电促动器10q的上表面侧的增强部件18a上也与涂层16一体地形成增强部件18q。
<小结>
如以上所述，通过设置涂层，能够防止来自压电体的压电陶瓷的粒子的脱落。
另外，本发明并不限于上述实施方式，能够实施各种变更。
例如，本发明的压电促动器还可用在磁盘装置以外的用途中。
符号说明
2 夹具
2a 基准面
10，10a，10m，10n，10p，10q 压电促动器
10s，10t 单片
11 压电体母基板
11a、11b 主面
12 压电体
12a、12b 主面
12s～12v 侧面
12w 凹部
12x 底部
12z 裂痕
13a、13b 金属层
14a、14b 外部电极
14m、14n 端部
14p、14q 周边
14s、14t 面
14u、14v 外周面
16 涂层
16m，16n，16p，16q 固化后的树脂
17a、17b 增强部件图案
18a、18b 增强部件
18m，18n，18p，18q 增强部件
18u、18v 外周面
20 集合基板
22 槽
24 切断面
30 切割胶带(薄膜)
31 第2薄膜
32 掩模
34 树脂
Claims (9)
1.一种压电促动器，其特征在于，具备：
长方体形状的压电体，由压电陶瓷构成，具有互相对置的2个主面和连接所述2个主面的4个侧面；
外部电极，设置于所述主面；
凹部，形成于所述4个侧面；和
涂层，设置于所述4个侧面，且由树脂构成，
所述涂层覆盖所述4个侧面中的所述凹部，
所述压电促动器还具备：
增强部件，在至少一个所述外部电极的和与所述压电体相连的面相反的一侧的面沿着该面的周边而设置，且由树脂构成。
2.根据权利要求1所述的压电促动器，其特征在于，
与所述涂层一体地形成所述增强部件。
3.一种压电促动器的制造方法，其特征在于，包括：
第1工序，准备在由压电陶瓷构成的压电体母基板的相互对置的2个面分别设有金属层的集合基板；
第2工序，在所述集合基板上粘贴具有粘合性的薄膜，经由所述薄膜而将所述集合基板固定于基准面；
第3工序，在被固定的所述集合基板上设置掩模；
第4工序，与所述掩模一起切断所述集合基板来形成槽，形成长方体形状的多个单片；
第5工序，在所述多个单片的切断面涂敷未固化状态的树脂之后使其固化，由此设置涂层；和
第6工序，从所述单片去除所述掩模，从所述薄膜剥离所述单片，
在所述第1工序之后且在所述第2工序之前，具备：
第7工序，在所述集合基板的至少一个所述金属层上，以向在所述第4工序中形成所述槽的部分的两侧突出的方式设置由树脂构成的增强部件图案，
在所述第4工序中，将与所述掩模以及所述集合基板一起切断的所述增强部件图案作为增强部件。
4.根据权利要求3所述的压电促动器的制造方法，其特征在于，
在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述薄膜与所述集合基板或所述增强部件图案之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
5.根据权利要求4所述的压电促动器的制造方法，其特征在于，
在所述第3工序中，所述掩模是第2薄膜，
在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述第2薄膜与所述集合基板或所述增强部件图案之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
6.根据权利要求3所述的压电促动器的制造方法，其特征在于，
在所述第3工序中，所述掩模是第2薄膜，
在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述第2薄膜与所述集合基板或所述增强部件图案之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
7.一种压电促动器的制造方法，其特征在于，包括：
第1工序，准备在由压电陶瓷构成的压电体母基板的相互对置的2个面分别设有金属层的集合基板；
第2工序，在所述集合基板上粘贴具有粘合性的薄膜，经由所述薄膜而将所述集合基板固定于基准面；
第3工序，在被固定的所述集合基板上设置掩模；
第4工序，与所述掩模一起切断所述集合基板来形成槽，形成长方体形状的多个单片；
第5工序，在所述多个单片的切断面涂敷未固化状态的树脂之后使其固化，由此设置涂层；和
第6工序，从所述单片去除所述掩模，从所述薄膜剥离所述单片，
在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述薄膜与所述集合基板之间的间隙后被固化，由此成为增强部件。
8.根据权利要求7所述的压电促动器的制造方法，其特征在于，
在所述第3工序中，所述掩模是第2薄膜，
在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述第2薄膜与所述集合基板之间的间隙后被固化，由此成为所述增强部件。
9.一种压电促动器的制造方法，其特征在于，包括：
第1工序，准备在由压电陶瓷构成的压电体母基板的相互对置的2个面分别设有金属层的集合基板；
第2工序，在所述集合基板上粘贴具有粘合性的薄膜，经由所述薄膜而将所述集合基板固定于基准面；
第3工序，在被固定的所述集合基板上设置掩模；
第4工序，与所述掩模一起切断所述集合基板来形成槽，形成长方体形状的多个单片；
第5工序，在所述多个单片的切断面涂敷未固化状态的树脂之后使其固化，由此设置涂层；和
第6工序，从所述单片去除所述掩模，从所述薄膜剥离所述单片，
在所述第3工序中，所述掩模是第2薄膜，
在所述第5工序中，所述未固化状态的树脂进入所述第2薄膜与所述集合基板之间的间隙后被固化，由此成为增强部件。
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |