CN104620147B - 光合波分波器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种为了制作实现高速的以太网(注册商标)用收发器中所需的小型且廉价的收发模块，而作为特别小的AWG型滤光器来发挥作用的合波分波器。光合波分波器具备：至少一条输入波导，其在一端具有输入部；第一片状波导，其一端与所述输入波导的另一端连接；阵列波导组，其具有一端与所述片状波导的另一端连接的多条波导；第二片状波导，其一端与所述阵列波导组的另一端连接；以及至少一条输出波导，其一端与所述第二片状波导的另一端连接，且在另一端具有输出部，所述阵列波导组的各波导具有：第一弯曲部，其波导的延伸方向变化180度以上；以及第二弯曲部，在与该第一弯曲部相反的方向上其波导的延伸方向变化180度以上。

Description

光合波分波器
技术领域
本发明涉及一种作为进行光通信的小型光收发器的滤光器而起作用的光合波分波器。进一步详细而言，涉及一种在数据中心内及数据中心间的连接所需的光通信装置中使用的光合波分波器。
背景技术
互联网的发展、尤其是从向云的期待到以太网系的通信容量扩大成为了紧迫的话题。作为下一代的高速40G/100G以太网(注册商标)标准，2010年发布了IEEE802.3ba(非专利文献1)，并进行讨论。尤其是在传输距离上从数十米到数十公里这样的范围相当于数据中心内及数据中心间的连接中所需要的距离，由于潜在需求的大小而受到关注。在该标准中从超过数十米的范围内电信号的衰减较大的问题考虑推荐使用光通信，并鉴于经济性，推荐使用能够回避大量使用高速的LSI(Large Scale Integration：大规模集成电路)的多波道传输方式。尤其是在数百米以上的传输距离使用中，推荐使用1.3μm频带的LAN-WDM(Local Area Network Wavelength Division Multiplexing：局域网-密集波分复用)或者CWDM(Couse Wavelength Division Multiplexing：粗波分复用)这样的波长配置中的四波的波长多重方式。
光收发器负责在离物理介质最近的地点实现这些传输方式。光收发器一般由负责光信号和电信号的输入输出的连接器部、负责光电转换的TOSA(Transmitter OpticalSub-Assembly：光发射次模块)及ROSA(Receiver Optical Sub-Assembly：光接收次模块)、进一步进行各部的控制和监视的电路、以及根据需要进行信号转换的电路构成。并且，在这些传输方式中使用的ROSA中安装有对被分为1.3μm频带的四波的多波道的信号进行分波的滤光器、四个PD(Photo diode：光电二极管)，并且靠近PD安装有TIA(Trans-impedanceAmplifier：转阻放大器)等。例如，存在将安装了较小的四片TFF(Thin Film Filter：薄膜滤光片)和全反射镜的光学模块作为4ch分波滤光器使用而作成的ROSA的报告(参照非专利文献2)。在该文献中报告的ROSA竭尽TFF的小片和安装技术的精粹的结果，实现了极为小型的模块尺寸。但是使用了多个TFF的光模块的制造如果越想推进多通道化、小型化则其制造越难，小型化和低价格化之间的谐调并不容易。
另一方面，作为由石英系PLC(Planar lightwave Circuits：平面光波导)制作的多通道滤光器的阵列波导格子型滤光器(AWG：Arrayed Waveguide Grating：阵列波导光栅)不仅是波长分波特性好而且批量生产性、可靠性好，因此，在电信系的传输装置中广泛地使用。另外，尤其是在通道数较多的情况下、要求小型化的情况下，与排列使用TFF的滤光器相比，从制造工序数较少、并且所需的机械精度(TFF设置精度和波导曝光精度)的公差较大的方面考虑，存在经济性、批量生产性较好的特征。
但是，AWG中曾经也存在过问题。在AWG的开发当初，存在过如果设计数十纳米以上的通道间隔的AWG则芯片尺寸变成大型这样的问题。但是，通过使用阵列波导配置的方法大大地缓解了限制，因此，现在变得能够很容易地实现通道间隔为100nm以上的AWG(参照专利文献1、2)。
关于AWG的设计方法，首先使用图1对第一以往例进行说明。图1表示以往的阵列波导格子型滤光器的概略。如图1所示，阵列波导格子型滤光器由片状波导1和2、阵列波导组3、输入波导4及输出波导5构成。在这里，为了使阵列波导格子型滤光器适当地动作，需要满足如下条件，在连结片状波导1、2的波导组中，与片状波导1、2之间的连接点存在于从片状波导1、2的输入输出波导侧的焦点以放射状放出来的直线的延长线上，并且，互相邻接的所有的波导的长度仅相差某一恒定量(d0)，且长度单调增加或者减少。
在图1所示的阵列波导格子型滤波器中，阵列波导组3依次连接直线波导3a、圆弧波导3c、直线波导3b的各波导。在这里，在第一以往例中圆弧波导3c的圆弧的凸方向仅设为一个方向、在图1的情况下仅设为上方向，因此，对于阵列波导组3的下方的波导，上方的波导变长。但是，如果适当地选择直线波导3a和直线波导3b的长度、圆弧波导3c的半径，则能够以使邻接的所有波导的长度仅相差某一恒定量(d0)的方式来配置阵列波导组3。
另一方面，上述阵列波导组3的邻接的波导的长度的差(d0)与阵列波导格子型滤光器的各参数(λ0：中心波长、ng：组折射率、FSR：自由光谱区)之间存在下述式(1)表示的关系。此外，在下面将d0称为波导长差、将乘以波导的有效折射率ne的d0×ne称为光程差。
波长间隔×最大通道数＜λ0 2/(d0×ng)＝FSR…式(1)
所需的波长间隔广或者需要许多通道数的情况下，需要将波导长差d0设短，而波导长差d0极为短的情况下，在上述的阵列波导组3中，上方的波导和下方的波导之间接触、或者交叉，从而很难使阵列波导格子型滤光器适当地动作。即、在上述的第一以往技术中从几何学性限制考虑，能够设定的波导长差存在下限，因此，在第一以往例的设计方法中，往往存在从几何学方面很难找到将光程差设定得特短的情况、或者即使实现了其回路的大小也异常变大的情况。
如果想以波导型来实现这样的设备，则能够使用的基板材料的大小有一定的限度，因此，在当回路的大小超过其限度的情况下，实际上不可能制造出这样的设备。因而，需要将光程差设定得特短的广FSR的阵列波导格子、即分离和/或合波的波长间隔广、或者通道数较多的阵列波导格子很难决定其结构。
下面，利用图2说明第二以往例。此外，在专利文献1中公开了由作为第二以往例的S字光波导构成的阵列波导格子型滤波器。图2表示作为第二以往例的阵列波导格子型滤光器的概略。在图2中，阵列波导格子型滤光器由片状波导1和2、阵列波导组3、以及扇型圆弧波导组6构成。
如图2所示，片状波导1、2通过S字状的阵列波导组3连接，整体的回路结构大致成为点对称。该S字状的光波导的左圆弧波导3c和右圆弧波导3d的圆弧的朝向为反朝向。因而，在省略上述圆弧波导组6而直接连接圆弧波导3c和圆弧波导3d的情况下，能够以各波导长全部成为相等的方式设计。即，S字光波导在拐点上暂且抵消几何学性配置上所需的波导长差，使其成为零(0)。
在图2所示的以往例中，滤波器动作上所需的光程差是通过在上述S字光波导的拐点上插入的扇型圆弧波导组6被赋予。该扇型圆弧波导组6由具备相同的中心点、孔径角相同、间隔恒定、并且半径增加恒定量的圆弧波导构成。该回路的光程差由扇型圆弧波导组6的波导之间的波导长差(半径差×孔径角)决定，因此，即使广FSR、即光程差特短，也能够设计所希望的回路。
然而，在如该图2的结构中，由于波导由S字状结构点对称地配置，因此存在回路的长度L变大这样的问题。因而，存在回路的大小超过有效的基板的大小、或者假设能够在基板上配置也是能够在一张基板上配置的回路数变少、这样的缺点。
下面，使用图3对第三以往例进行说明。图3是作为第三以往例的阵列波导格子型滤光器的概略。第三以往例是由大致线对称的波导组构成的阵列波导格子型滤波器(参照专利文献2)。如图3所示，阵列波导格子型滤光器具备片状波导1和2、阵列波导组3、输入波导4及输出波导5、以及扇型圆弧波导组6。尤其是阵列波导组3之中左侧的部分由将直线波导3a、圆弧波导3c和直线波导3e的各波导依次连接而成的阵列波导组3g构成，阵列波导组3之中右侧的部分由将直线波导3f、圆弧波导3d和直线波导3b的各波导依次连接而成的阵列波导组3h构成。
对于阵列波导组3g和阵列波导组3h，与使用图1说明的第一以往例的设计方法同样地，如果适当地选择各直线波导的长度和各圆弧波导的半径，则能够恒定地设计邻接的上方的波导和下方的波导之间的长度差。但是，由于圆弧波导3c和圆弧波导3d的圆弧的凸方向都朝上，因此，上方的波导相对于下方的波导必然变长。即，仅仅靠圆弧的凸方向相等的阵列波导组3g和阵列波导组3h，不可能将波导长差变成零。
但是在图3中扇型圆弧波导6的圆弧的凸方向与圆弧波导3c和圆弧波导3d的凸方向相反，因此，如果能够适当地选择由具有相同的中心点、孔径角相同、间隔恒定并且半径增加恒定量的圆弧波导构成的扇型波导组6的孔径角和圆弧的半径，则能够暂且抵消波导长差、并使其成为零。其后，通过使扇型波导的孔径角增加或者减少所需量，能够将阵列波导组3的波导长差容易地设定为FSR的广AWG所需的值。在由根据使用图3说明的第三以往例的设计方法来设计AWG的情况下，与根据使用图2来说明的第二以往例的设计方法相比，圆弧波导的组合自由度不同，因此，有时能够设计回路尺寸更小的AWG。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第2693354号公报
专利文献2：日本专利第3222810号公报
非专利文献
非专利文献1：IEEE Std 802.3ba-2010http：//www.ieee802.org/3/ba/
非专利文献2：K.Mochizuki，et al.，“Built-in Optics for 4ch－WDM ROSA in100Gbps Ethernet”，OECC2010
非专利文献3：CFP Multi-Source Agreement http：//www.cfp-msa.org/
非专利文献4：S.Kamei，et al.，“Low－loss and flat/wide-passband CWDMdemultiplexer using silica-based AWG with multi-mode output waveguide”，TuI2OFC2004
发明内容
本发明要解决的问题
但是光收发器除了IEEE的建议之外，由被称为MSA(Multi Source Agreement：多源协议)的业界标准规定了尺寸、插脚配置等，从而在40G/100G以太网用的光收发器中强烈要求小型化和省电(非专利文献3)。尤其是作为CFP4被议论的模块的外尺寸特别小，约9.5×21.7×88mm(CFP：100G Form-factor Pluggable的略称。C在罗马数字中表示100。)。而且，在该寸法的模块内必须并联ROSA和TOSA、并且串联配置收发器所需的电路等，因此，ROSA单体并且内置在ROSA内的滤光器被许可的空间特别小。
通过使用扇型圆弧波导组能够设计出对IEEE建议的如LAN－WDM、CWDM的通道间隔较广的波长范围进行合波分波的AWG，但是存在如下问题，可制造的AWG的回路形状细长，如果要收藏到CFP4等的模块内，则需要将回路形状变短并将AWG自身的尺寸进一步变小。
通过将波导的折射率系数差(Δ)设高并将最小弯曲半径设小，在一定程度上能够将AWG主体的回路尺寸变小，但是存在如下问题，用于与个别的PD结合的输出扇形扩大部分其大小也特别依赖于PD间隔(或者是与PD连接的TIA的端子间隔)，因此只提高Δ是不可能实现充分的小型化。
并且，在IEEE建议的规格中，不仅包括光波长的通道间隔还包括各通道中的波长带宽。因此也需要确保滤光器的透射波长带宽。曾报告过如果将输出波导作成多模波导则透射波长带宽扩大的情况(非专利文献4)，但是与单模波导相比，多模波导的最小弯曲半径大。因此，在根据以往例的设计方法的AWG中，存在输出扇形扩大部分(展开部分)的大小也在回路布局上取较大的空间这样的问题。
另一方面，设想以太网用的光收发器在数据中心内及数据中心间的连接中使用的情况较多，因此，为了和低廉的电信号的收发器竞争，与电信用的光收发器相比需要格外的低成本化。
在ROSA中使用的滤光器需要在输入侧上经由被称为插座的光学零件与光缆的连接器进行光结合，需要在输出侧上经由光学透镜与四个PD进行光结合。在装配ROSA时，需要将这些精密地调心并固定以使相互之间不产生位置偏移。
作为调心方法最简单的方法是如下方法，从上述的光缆中输入实际使用的信号光波长的光，依次通过插座用部件、滤光器、光学透镜、以及PD之后，一边监测来自PD的电输出、一边将所有的零件汇总起来进行多体调心。但是，在该方法中，需要非常复杂的多体调心装置，存在成本变得特别大这样的问题。
另外，相互光连接的PD和滤光器及光纤不得不选择折射率大大不同的异种材料，因此在材料边界中产生反射。并且，为了提高各自的光结合的结合效率而使用了透镜系的情况下，由于在每个透镜表面嵌入空气层故进一步产生大量的反射。为了提高接收S/N而作为电信用途一般赋予反射防止膜，但是作为以太网用途存在想避开伴随着工序数增加的成本增加这样的问题。
本发明是鉴于上述以往的问题而完成的，其目的在于，提供一种能够构成实现高速的以太网用收发器所需的小型且廉价的ROSA模块的、作为特别小的AWG型滤光器来发挥作用的合波分波器。并且，将抑制AWG型滤光器中追加的回路及芯片形状引起的ROSA模块的制造成本为另一个目的。
用于解决问题的方法
为了解决上述的课题，实施方式记载的发明提供具有如下特征的光合波分波器，该光合波分波器具备：至少一条输入波导，其在一端具有输入部；第一片状波导，其一端与所述输入波导的另一端连接；阵列波导组，其具有一端与所述第一片状波导的另一端连接的多条波导；第二片状波导，其一端与所述阵列波导组的另一端连接；以及至少一条输出波导，其一端与所述第二片状波导的另一端连接，且在另一端具有输出部，所述阵列波导组的各波导具有：第一弯曲部，其波导的延伸方向变化180度以上；以及第二弯曲部，在与该第一弯曲部相反的方向上其波导的延伸方向变化180度以上。
附图说明
图1是第一以往例涉及的阵列波导格子型滤光器的概略图。
图2是第二以往例涉及的阵列波导格子型滤光器的概略图。
图3是第三以往例涉及的阵列波导格子型滤光器的概略图。
图4是第一实施例涉及的阵列波导格子型滤光器的概略图。
图5是第一实施例中设计的CWDM信号四通道分波用阵列波导格子型滤光器的波导配置图。
图6是第二以往例中设计的CWDM信号四通道分波用阵列波导格子型滤光器的波导配置图。
图7是第三以往例中设计的CWDM信号四通道分波用阵列波导格子型滤光器的波导配置图。
图8是第二实施例中设计的带有调心波导的LAN－WDM信号分波用阵列波导格子型滤光器的波导配置图。
图9A是在相对于第二实施例中设计的带有调心波导的阵列波导格子型滤光器而对输入侧部件(插座)和输出侧部件(除PD阵列以外)进行调心的作业中说明第一阶段的图。
图9B是在相对于第二实施例中设计的带有调心波导的阵列波导格子型滤光器而对输入侧部件(插座)和输出侧部件(除PD阵列以外)进行调心的作业中说明第二阶段的图。
图9C是在相对于第二实施例中设计的带有调心波导的阵列波导格子型滤光器而对输入侧部件(插座)和输出侧部件(除PD阵列以外)进行调心的作业中说明第三阶段的图。
图9D是在相对于第二实施例中设计的带有调心波导的阵列波导格子型滤光器而对输入侧部件(插座)和输出侧部件(除PD阵列以外)进行调心的作业中说明第四阶段的图。
图10是表示第二实施例中制造的ROSA模块的转换效率的波长依赖性的图表。
具体实施方式
以下对本发明的实施方式进行详细说明。
本发明的光合波分波器具备如下结构，在具备至少一条的输入波导、与输入波导连接的第一片状波导、与第一片状波导连接并由多条并联的波导构成的阵列波导组、与阵列波导组连接的第二片状波导、以及与第二片状波导连接的至少一条输出波导的阵列波导格子型的光合波分波器中，在与第一片状连接的阵列波导的各波导将各自的波导的延伸方向改变180度以上之后进而在相反方向上将波导的延伸方向改变180度以上的后段与第二片状连接。在这里“波导的延伸方向”可认为等同于在波导内进行导波的光的光轴方向。另外，换句话说阵列波导组可认为具备下述(1)到(3)的结构。
(1)所述阵列波导组的各波导由第一部分和第二部分构成，所述第一部分是从输入片状波导(第一片状波导)的射出端到所述第二部分的连接点为止的部分，且光程从所述射出端向第一方向弯曲180度以上，所述第二部分是从所述第一部分的连接点到输出片状波导(第二片状波导)的射入端为止的部分，且光程从所述连接点向与所述第一方向相反的第二方向弯曲180度以上。此外，在本说明书中，“弯曲”的光程不一定是光程的所有部分都弯曲，也包括具有光程的曲率为零的部分的方案。
(2)所述阵列波导组的各波导由第一部分和第二部分构成，所述第一部分包括从输入片状波导的射出端到所述第二部分的连接点为止、向第一方向弯曲180度以上的圆弧波导，所述第二部分包括从所述第一部分的连接点到输出片状波导的射入端为止、向与所述第一方向相反的第二方向弯曲180度以上的圆弧波导。此外，在本说明书中，“圆弧波导”不一定是波导的所有部分都弯曲，也包括具有光程的曲率为零的部分的方案。
(3)所述阵列波导组的各波导由第一圆弧波导和第二圆弧波导构成，所述第一圆弧波导从输入片状波导的射出端向第一方向弯曲180度以上，并与所述第二圆弧波导连接，所述第二圆弧波导从与所述第一圆弧波导之间的连接点向与所述第一方向相反的第二方向弯曲180度以上，并与输出片状波导的射入端连接。
与第一片状波导连接的各阵列波导将波导的延伸方向暂且改变180度以上，并且向相反方向改变180度以上之后与第二片状连接。通过该结构，即使是FSR的广AWG也不用作成细长的形状，能够缩小AWG主体的面积。
优选地在配置有由多根并联的波导构成的阵列波导组的区域的最右端和最左端的内侧上，配置输入波导和第一片状波导之间的连接点、第二片状波导和输出波导之间的连接点，并且，在配置有由多根并联的波导构成的阵列波导组的区域的最上端和最下端的内侧上，配置有输入波导和第一片状波导之间的连接点、第二片状波导和输出波导之间的连接点。
通过将两个片状波导配置在内侧而不是配置在干涉回路的布局上的两端，能够有效地配置AWG的输入输出扇形扩大部，并能够缩小包括输出扇形扩大部的AWG的占用空间。
另外优选地具有到达至与输入波导到达的光合波分波器的第一边、及输出波导的至少一条到达的第二边不同的第三边的调心用输入波导，并且，调心用输入波导与第一片状波导连接，并且，多个输出波导之中两条没有与第二片状波导连接的输出波导的一端相互连接，从而变成环状。
调心用输入波导的一端与一片状波导连接，在另一片状波导上配置环状的波导。通过该结构，选择向调心用输入波导输入的光波长，从而能够从AWG的输入输出两方的波导中发出调心用的光。
并且优选地、输入波导或者输出波导或者调心用输入波导之中至少一条以上的波导相对于芯片边以比垂直具有8度以上的倾斜地到达至芯片边。
仅仅通过切割输入输出波导或者调心用输入波导到达的芯片边，而不需要进行斜研磨或者反射防止膜施加工序就能够抑制反射衰减量。其结果能够省去了研磨工序，从而相应地降低成本。
(实施例1)
图4表示本实施例涉及的阵列波导格子型滤光器的概略。如图4所示，本实施例涉及的阵列波导格子型滤光器具备第一片状波导11、第二片状波导12、阵列波导组13、输入波导14、以及输出波导15。
阵列波导组13是由将直线波导13a、圆弧波导13b、圆弧波导13c、直线波导13d、圆弧波导13e、圆弧波导13f、第一波导长差调整用的直线波导17a、圆弧波导13g、直线波导13h、圆弧波导13i、第二波导长差调整用的直线波导17b、圆弧波导13j、以及直线波导13k串联连接的S字状的波导构成的阵列波导组，S字状的各波导的全长在每个邻接的波导之间单调增加或单调减少恒定值。
此外，从上述的直线波导13a到直线波导13k之间的各波导的长度、及第一波导长差调整用的直线波导17a和第二波导长差调整用的直线波导17b的各波导的长度也可以各自是零。
构成阵列波导组13的S字状的各波导从第一片状波导11经过直线波导13a和圆弧波导13b与第一基准线18a正交，经过圆弧波导13c和直线波导13d与第二基准线18b正交，经过圆弧波导13e与第三基准线18c正交，经过圆弧波导13f与第四基准线18d正交，经过第一波导长差调整用的直线波导17a和圆弧波导13g与第五基准线18e正交，经过直线波导13h、圆弧波导13i和第二波导长差调整用的直线波导17b与第六基准线18f正交，经过圆弧波导13j和直线波导13k向第二片状波导12结合。
构成阵列波导组13的S字状的各波导当将光信号的传播方向设定为从第一片状波导11向第二片状波导12时，圆弧波导13c和圆弧波导13e向传播方向左朝向凹入，圆弧波导13f、圆弧波导13g和圆弧波导13i向传播方向右朝向凹入。另外，将圆弧波导13c和圆弧波导13e的孔径角的合计同圆弧波导13f、圆弧波导13g和圆弧波导13i的孔径角的合计设计成相同值。因此如果除去第一波导长差调整用的直线波导17a和第二波导长差调整用的直线波导17b，则S字状的各波导的长度成为大概相等。
从第一片状波导11到与第一基准线18a正交为止的直线波导13a和圆弧波导13b的长度、从与第六基准线18f正交到与第二片状波导12结合为止的圆弧波导13j和直线波导13k的长度之和，严格地讲按照每个S字状的波导不同。另外，直线波导13d及直线波导13h的长度也按照每个S字状的波导不同。这些长度之差是由直线波导13a的延长线在第一基准点19a交叉、直线波导13k的延长线在第二基准点19b交叉而引起的。在设计中对以第一基准点19a为中心的直线波导13a的孔径角20a、以第二基准点19b为中心的直线波导13k的孔径角20b赋予与输入波导14和输出波导15的数值孔径同程度的值。其结果，相互邻接的S字状的波导的总延长之差收敛在数μm左右。但是，每个S字状的波导的总延长之差是有限值，因此，通过相应地调整第一波导长差调整用的直线波导17a的长度和第二波导长差调整用的直线波导17b的长度，能够设计成使得每个S字状的波导的总延长之差严格地成为零。
阵列波导组13具有由从第一基准线18a到第三基准线18c为止的波导形成的第一弯曲部、由从第三基准线18c到第六基准线18f为止的波导形成的第二弯曲部。第一弯曲部是构成阵列波导组13的波导弯曲了180度以上的部分。第二弯曲部是构成阵列波导组13的波导在与第一弯曲部相反的方向上弯曲了180度以上的部分。因而，在阵列波导组13内导波的光的光轴方向在从第一基准线18a到第三基准线18c之间变化180度以上，在从第三基准线18c到第六基准线18f之间，在与第一弯曲部相反的方向上变化180度以上。
为使图4所示的阵列波导格子型滤光器作为波长合波分波滤波器进行动作，首先从所需的FSR中使用前述的式(1)(在下述中再表示公式)来计算出波导长差d0，以使在邻接的S字状的波导之间与总延长之差相等的方式来设计第一波导长差调整用的直线波导17a的长度和第二波导长差调整用的直线波导17b的长度即可。
波长间隔×最大通道数＜λ0 2/(d0×ng)＝FSR…式(1)
在上式(1)中，λ0：中心波长、ng：组折射率、FSR：自由光谱区。
图5是上述的设计方法中实际设计的CWDM信号四通道分波用阵列波导格子型滤光器的波导配置图。使用的波导是在石英玻璃中添加锗的嵌入式波导，将折射率系数差设为2％、标准的波导的芯部的高度设为4μm、芯部的宽度设为4μm。在该标准波导中，1300nm频带的最小弯曲半径是上述的750μm。将分波的光信号的波长设为1271nm、1291nm、1311nm、1331nm，为了减少透射损失的通道间隔差而将FSR设为3250GHz。其结果，对邻接的S字状阵列波导之间赋予的波导长差设为6.498μm。
另外为了使得出现合波分波特性的透射域中的平坦性，将输入波导14和输出波导15的波导宽度设为不同值。具体而言将与第一片状波导11连接的输入波导14的宽度设为8.0μm、将与第二片状波导12连接的四条输出波导15的宽度设为15μm。此外，为了在宽度15μm的输出波导15中还传播高次模光而将最小弯曲半径设为1200μm。由于准备好的四连PD阵列的受光面的间隔为250μm，因此将输出波导的间隔设为250μm。由于可预想到输出波导的扇形扩大部分22比最小弯曲半径和输出波导间隔大的情况，因此，将第二片状波导12和输出波导15之间的连接点配置在对阵列波导组13进行配置的区域的最右端和最左端的内侧并且最上端和最下端的内侧。即，将第二片状波导12和输出波导15之间的连接点配置成如下方式，从形成了波导的芯片边(在图5中用包围波导的方形的框来表示)到到达至第二片状波导12为止的距离大于从芯片边到到达至阵列波导组13为止的距离。
另外，如图5所示，将第一片状波导11和输入波导14之间的连接点配置成使其存在于配置有阵列波导组13的区域的最右端和最左端的内侧并且最上端和最下端的内侧。即，第一片状波导11和输入波导14之间的连接点配置成如下，从形成了波导的芯片边到到达至第一片状波导11为止的距离大于从芯片边到到达至阵列波导组13为止的距离。在这里，根据使用图4说明的设计方法设计了阵列波导组13的具体配置。
并且，为了抑制输出波导的芯片端上的反射，设计成相对于输出侧的芯片边比垂直具有8度的倾斜地到达至芯片边。此外，对于输入侧的芯片边同样地也可以设计成具有8度的倾斜地到达至芯片边。
如此，按照本发明的设计方法具体设计阵列波导格子型光合波分波器的布局的结果，和图5所示的一样地，能够在芯片尺寸为长度8.2mm、宽度4.9mm这样的较小的占用空间中容纳了AWG。
并且，由于将第二片状波导12和输出波导15之间的连接点配置在对阵列波导组13进行配置的区域的最右端和最左端的内侧并且最上端和最下端的内侧，因此，得到了将芯片端上的输出波导15的位置配置在芯片中央的副属性效果。如果能够将芯片端的输出波导15的位置配置在芯片中央，则在安装PD、TIA及取出电极时在上下方向上不需要无用的展开空间，因此，最终得到了能够小型化ROSA的模块尺寸这样的优点。
图6是为了进行比较而将具有相同的波长配置的阵列波导格子型光合波分波器以相同的波导结构、通过第二以往例的设计方法布局计算出的结果。图6所示的阵列波导格子型光合波分波器的阵列波导组13由并行的S字状的光波导构成，作为整体具有大致点对称的结构。完成了的芯片尺寸为长度11.8mm、宽度3.9mm。芯片宽度3.9mm比图5所示的阵列波导格子型光合波分波器狭窄。但是，如果追加将芯片边上的输出波导15的位置设在芯片中央这样的限制，则芯片宽度需要作成6.4mm。即，芯片宽度变得比根据本发明的设计方法的阵列波导格子型光合波分波器更大。另外芯片长11.8mm比根据本发明的设计方法的图5所示的阵列波导格子型光合波分波器大3.6mm、即用比例表示则变长了大约44％。
另外，图7是为了进行比较而将具有相同的波长配置的阵列波导格子型光合波分波器以相同的波导结构、通过第三以往例的设计方法布局计算出的结果。图7所示的阵列波导格子型光合波分波器的阵列波导组13作为整体具有大致线对称的结构。阵列波导组13的中央部分和两边的部分中，其圆弧波导的圆弧突出的方向为反朝向。完成了的芯片尺寸为长度14.3mm、宽度3.1mm。芯片宽度即使追加了芯片边的输出波导15的位置设在芯片中央的这样的限制也可以狭窄为4.1mm。但是，芯片长14.3mm比根据本发明的设计方法的图5所示的阵列波导格子型光合波分波器大6.1mm、即用比例表示则变长了大约75％。
在去除输出波导的位置设在芯片中央的这样的限制的情况下，根据图5所示的本发明的设计方法的阵列波导格子型光合波分波器、根据图6所示的第二以往例的设计方法的阵列波导格子型光合波分波器、以及根据图7所示的第三以往例的设计方法的阵列波导格子型光合波分波器各自的芯片面积为大约40平方毫米、大约46平方毫米、大约44平方毫米。因而，如果从平均晶片收获率估计芯片单价，则通过使用根据本发明的设计方法的阵列波导格子型光合波分波器，能够得知取得如下效果，芯片单价与第一以往例的光合波分波器相比大约降低15％，芯片单价与第二以往例的光合波分波器相比大约降低10％。
本实施例的阵列波导格子型光合波分波器的阵列波导组的波导将其延伸方向暂且改变180度以上之后，在相反方向上将延伸方向改变180度以上。并且，将第一片状波导和第二片状波导配置在配置有阵列波导组的区域的最右端和最左端的内侧并且最上端和最下端的内侧。其结果，实现较小的芯片尺寸。
进一步地在本实施例中，将波导的延伸方向改变180度以上并且低损失地实现小型化。这是通过使用与通常的石英系玻璃波导(折射率系数差1％以下)相比能够耐于更陡峭的弯曲的波导而实现。在普通的石英系玻璃波导中，使波导弯曲的最小弯曲半径是2mm以上。如果比这个更陡峭地弯曲，则在普通的石英系玻璃波导中，透射光不能彻底弯曲，作为放射光向波导外放出。因此如果在陡峭的弯曲中使用普通的波导，则阵列波导型合波分波器的损失变大。
在这里，如果使用折射率系数差2％以上的波导，则最小弯曲半径(在波长1300nm频带中)成为750μm以下并且使得比普通的波导更陡峭地弯曲。
在本实施例中，通过使用折射率系数差为2％以上的波导，在将波导的延伸方向改变180度以上且小型的结构中，实现低损失的阵列波导型合波分波器。
(实施例2)
在本实施例中，为了作为带有调心用波导的LAN-WDM信号分波用阵列波导格子型滤光器而起作用，将实施例1的阵列波导格子型光合波分波器作成其分波的光信号的波长不同的结构。图8是在本实施例中设计的带有调心用波导的LAN-WDM信号分波用阵列波导格子型滤光器的波导配置图。使用的波导的材质和波导参数与图5所示的阵列波导格子型光合波分波器相同，但进行分波的光信号的波长不同。四波的波长设成1295.56nm、1300.05nm、1304.58nm、1309.14nm，考虑透射损失的通道间隔差而将FSR设成7830GHz。其结果，向邻接的S字状阵列波导之间赋予的波导长差设成25.79μm。另外，与图5所示的阵列波导格子型光合波分波器同样地，为了使得出现合波分波特性的透射域中的平坦性，将输入波导14和输出波导15之间的波导宽度设成了不同的值。具体而言与第一片状波导11连接的输入波导14的宽度设成8.0μm，将与第二片状波导12连接的四条输出波导15的宽度设成15μm。
另外，将宽度15μm的输出波导的最小弯曲半径设成1200μm、将芯片边的输出波导15的间隔设成250μm。为了有效地配置输出波导15的扇形扩大部分22，与图5所示的阵列波导格子型光合波分波器同样地，配置成使第一片状波导11和输入波导14之间的连接点、第二片状波导12和输出波导15之间的连接点配置于对阵列波导组13进行配置的区域的最右端和最左端的内侧并且最上端和最下端的内侧。
在本实施例中，在由图8所示的四条多模波导构成的输出波导15的两边，追加了由用于对光学透镜-阵列进行调心的单模波导构成的第一调心用光输出波导的一组(两个)30、由用于进行PD阵列调心的单模波导构成的第二调心用光输出波导的一组(两个)31从而进行了配置。并且，由于在阵列波导格子型光合波分波器的芯片的左右边分别连接光零件，因此将调心用光输入波导32设置在芯片的上边。此外，调心用光输入波导32向由阵列波导格子型光合波分波器的输入波导14进行连接的第一片状波导11连接。另外，在由阵列波导格子型光合波分波器的输出波导15进行连接的第二片状波导12中，以使从调心用光输入波导32进入的光信号折回的方式连接了环状波导33。并且在环状的波导33的旁边设置了向芯片下边输出的第三调心用光输出波导34。
在这里，为了将反射衰减量作成40dB以上，将设置在芯片右边的输出波导15、第一调心用光输出波导的一组(两个)30、第二调心用光输出波导的一组(两个)31的各波导与芯片右边形成的角度设定为8度。另外，将调心用光输入波导32的相对于芯片的上边的角度及第三调心用光输出波导34的相对于芯片的下边的角度设定为8度。但是，由于在芯片左边的端面上实施了以1.3频带抑制反射量的AR(Anti-Reflection：抗反射)涂层，因此，输入波导14与芯片左边形成的角度，在这里作成了垂直。
通过以上的设计结果，如果从芯片的上边的调心用光输入波导32中输入1.3m频带的光，则从芯片下边的第三调心用光输出波导34中输出1324.2nm的波长的光，从光学透镜-阵列调心用的第一调心用光输出波导一组30中分别输出1287.8nm和1308.0nm的波长的光，从PD阵列调心用的第二调心用光输出波导一组31中分别输出1285.6nm和1310.28nm的波长的光，从而向对插座用部件进行调心和设置的阵列波导格子型滤光器的输入波导14中输出1319.5nm的波长的光。此外，通过以下的路线向输入波导14输出光。进入到调芯用光输入波导32中的光之中波长为1319.5nm的光经过第一片状波导11、第二片状波导12、以及环状的波导33，再次入射到第二片状波导12，并从第一片状波导11向输入波导14输出。
图9A、图9B、图9C、以及图9D是表示在图8所示的带有调心用波导的LAN-WDM信号分波用阵列波导格子型滤光器-芯片35上安装有光学透镜-阵列36、插座用部件37、集成了PD阵列的部件38的工序的概略图。
首先，不是在应该安装光零件的滤光器-芯片35的左右边上而是在芯片上边的调心用光输入波导32上，使用波长为1324.2nm的波长的光，临时固定一芯的光纤-模块39(图9A)。更具体而言，滤光器-芯片35下边的第三调心用光输出波导34的射出光使用大口径PD40来受光，在进行滤光器-芯片35和一芯的光纤-模块39之间的二体调芯之后进行临时固定。此外，在临时固定中，在进行组装工序之后，使用粘合力较弱的粘合剂或者粘合条件来进行固定，以可除去一芯的光纤-模块39。另外，这里使用的一芯的光纤-模块39的端面研磨成8度，因此，能够在将芯片上边上的损失及反射抑制成较小的状态下进行光结合。
然后，当经由临时固定了的一芯的光纤-模块39而向芯片上边的调心用光输入波导32输入波长为1287.8nm和1308.0nm的光时，则光从第一调心用光输出波导30中输出。使用该输出的光在二体调芯装置中对光学透镜-阵列36进行调心，在结束调心之后粘合固定。(图9B)
作为第三步骤，当经由临时固定了的一芯的光纤-模块39而向芯片上边的调心用光输入波导32输入波长为1319.5nm的光时，则光从阵列波导格子型滤光器的输入波导14中输出。使用该输出的光在二体调芯装置中对插座用部件37进行调心，在结束调心之后粘合固定。(图9C)
作为第四步骤，当经由临时固定了的一芯的光纤-模块39而向芯片上边的调心用光输入波导32输入波长为1285.6nm和1310.28nm的光时，则光从第二调心用光输出波导31中输出。使用该输出的光在二体调芯装置中对集成了PD阵列的部件38进行调心，在结束调心之后粘合固定。(图9D)
最后施加扭转应力，从滤光器-芯片35中拆卸临时固定了的一芯的光纤-模块39，则结束滤光器-芯片35周边的安装。
在这里重要的是如下点，使用图9A、图9B、图9C、以及图9D说明的向本发明的阵列波导格子型光合波分波器的周边部件的安装中，完全不使用昂贵且使用方法复杂的三体以上的多体调心装置，而是仅使用二体调心装置就能够进行安装。即，如果使用本发明的阵列波导格子型光合波分波器，则能够很大地抑制向组装线的初期投资。其结果，能够提供廉价的ROSA。
即，在与输入输出不同的第三芯片边上，来自调心用光输入波导的光与第一片状波导连接、并且在第二片状波导上连接有环状的波导，从而能够向输入输出两方的波导输出调心光。其结果，具有能够抑制周边部件的安装时的作业成本这样的优点。
另外，在使用图9A、图9B、图9C、图9D来说明的安装工序中，作为光学透镜-阵列36，使用了并排固定八个GRIN(Gradient Index：渐变折射)透镜之后将端面研磨为8度而成的构件。在光学透镜-阵列36的两端面之中，在PD阵列侧实施了AR(Anti-Reflection：抗反射)涂层，而在滤光器-芯片35侧省略了AR涂层只作了研磨。另外图9A、图9B、图9C、图9D所示的本发明的阵列波导格子型光合波分波器也在安装光学透镜-阵列36的端面上省略了AR涂层只作了研磨。并且在滤光器-芯片35和光学透镜-阵列36的粘合上使用了硬化后的折射率与石英玻璃大致一致的粘合剂。
并且，存在调心时使用了的调心用光输入波导32的端部的芯片上边及存在调心用光输出波导34的端部的芯片下边也省略了AR涂层只作了研磨。
对来自这样安装的滤光器-芯片35和光学透镜-阵列36的边界的反射衰减量进行实际测试的结果为40dB以上。即如果使用本发明的阵列波导格子型光合波分波器，则最多能够省略四次AR涂层的实施，该AR涂层的实施成为增加工序数从而增加成本的主要原因。其结果，能够提供更廉价的ROSA。
理所当然，上述的效果在滤光器-芯片35和插座用部件37之间也能够得到同样的效果。在该情况下总共最多能够省略六次AR涂层的实施，从而能够提供更廉价的ROSA。
图10是表示在使用图8说明的带有调心用波导的LAN-WDM信号分波用阵列波导格子型滤光器上、通过使用图9A、图9B、图9C、图9D来说明的安装方法安装了插座用部件37、光学透镜-阵列36、以及集成了PD阵列的部件38的ROSA模块的受光灵敏度的波长依赖性的图。能够判断出虽然滤光器-芯片35的尺寸为长度8.2mm、宽度4.9mm的小型构件，但是满足充分的分波特性。
在以上的实施方式中，举例说明了作为ROSA而使用的光合波分波器，但是不限于此，从光的对称性来判断，上述光合波分波器也能够作为TOSA使用。
附图标记说明
1：第一片状波导，2：第二片状波导，3：阵列波导组，3a、3b、3e、3f：直线波导，3c、3d：圆弧波导，4：输入波导，5：输出波导，6：扇型圆弧波导组，11：第一片状波导，12：第二片状波导，13：阵列波导组，13a、13d、13h、13k：直线波导，13b、13c、13e、13f、13g、13i、13j：圆弧波导，14：输入波导，15：输出波导，17：波导长差调整用的直线波导组，17a：第一波导长差调整用的直线波导，17b：第二波导长差调整用的直线波导，18a：第一基准线，18b：第二基准线，18c：第三基准线，18d：第四基准线，18e：第五基准线，18f：第六基准线，19a：第一基准点，19b：第二基准点，20a：以第一基准点19a为中心的直线波导13a的孔径角，21a：以第二基准点19b为中心的直线波导13b的孔径角，22：输出波导的扇形扩大部分，30：第一调心用光输出波导，31：第二调心用光输出波导，32：调心用光输入波导，33：环状波导，34：第三调心用光输出波导，35：滤光器-芯片，36：光学透镜-阵列，37：插座用部件，38：集成了PD阵列的部件，39：一芯的光纤-模块，40：大口径PD。

Claims (6)

1.一种光合波分波器，其特征在于，具备：
至少一条输入波导，其在一端具有输入部；
第一片状波导，其一端与所述输入波导的另一端连接；
阵列波导组，其具有一端与所述第一片状波导的另一端连接的多条波导；
第二片状波导，其一端与所述阵列波导组的另一端连接；以及
至少一条输出波导，其一端与所述第二片状波导的另一端连接，且在另一端具有输出部，
所述阵列波导组的各波导由S字状的波导构成，
所述S字状的波导具有：
第一具有曲率的弯曲部，其一端与所述第一片状波导连接，且波导的延伸方向变化180度以上；以及
第二具有曲率的弯曲部，其一端与所述第一具有曲率的弯曲部的另一端连接，另一端与所述第二片状波导连接，且在与该第一具有曲率的弯曲部相反的方向上波导的延伸方向变化180度以上。
2.根据权利要求1所述的光合波分波器，其特征在于，
所述光合波分波器形成在长方形的平板状的芯片上，所述输入波导的输入部和所述输出波导的输出部分别设置在所述芯片的对置的芯片边上，
所述输入波导与所述第一片状波导的连接点配置成：从设有所述输入部的所述芯片边到到达至所述第一片状波导为止的距离大于从设有所述输入部的所述芯片边到到达至所述阵列波导组为止的距离，
所述第二片状波导与所述输出波导的连接点配置成：从设有所述输出部的所述芯片边到到达至所述第二片状波导为止的距离大于从设有所述输出部的所述芯片边到到达至所述阵列波导组为止的距离。
3.根据权利要求1所述的光合波分波器，其特征在于，
所述输入波导的输入部和所述输出波导的输出部分别设置在所述光合波分波器的对置的端部上，
所述光合波分波器还具备调心用光输入波导，所述调心用光输入波导的一端与所述第一片状波导的一端连接，且在另一端具有输入部，
所述调心用光输入波导的输入部设置在作为与所述输入波导的输入部及所述输出波导的输出部相同的平面内的、不同于所述对置的端部的所述光合波分波器的端部上，
所述输出波导之中两条的另一端相互连接，由此形成环状。
4.根据权利要求1所述的光合波分波器，其特征在于，
所述光合波分波器形成在长方形的平板状的芯片上，所述输入波导的输入部及所述输出波导的输出部之中至少一个相对于所对应的芯片边形成比垂直具有8度以上的倾斜。
5.根据权利要求2所述的光合波分波器，其特征在于，
所述光合波分波器形成在长方形的平板状的芯片上，所述输入波导的输入部及所述输出波导的输出部之中至少一个相对于所对应的芯片边形成比垂直具有8度以上的倾斜。
6.根据权利要求3所述的光合波分波器，其特征在于，
所述光合波分波器形成在长方形的平板状的芯片上，所述输入波导的输入部、所述输出波导的输出部及所述调心用光输入波导之中至少一个相对于所对应的芯片边形成比垂直具有8度以上的倾斜。
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US9401773B1 (en) * 2015-03-04 2016-07-26 Alliance Fiber Optic Products, Inc. Compact multi-channel WDM devices for high-speed data communications
US9729243B2 (en) 2015-04-23 2017-08-08 Centera Photonics Inc. Optoelectronic transmitter, optoelectronic receiver and optoelectronic transceiver
JP2017090575A (ja) * 2015-11-05 2017-05-25 株式会社フジクラ 光合分波素子及び光変調器
KR101978913B1 (ko) * 2015-11-16 2019-05-16 한국전자통신연구원 다채널 광 수신기 및 그의 제조 방법
US9711930B2 (en) * 2015-12-01 2017-07-18 Seagate Technology Llc Optical signal waveguide dispersion filter
CN108700718A (zh) * 2017-11-15 2018-10-23 索尔思光电（成都）有限公司 波导阵列模块及光接收子器件
US10634844B1 (en) * 2019-02-21 2020-04-28 Applied Optoelectronics, Inc. Optical multiplexer\demultiplexer with input and output ports on a single side, and an optical transceiver implementing same
CN110596813B (zh) * 2019-08-02 2020-07-14 浙江大学 一种支持低损耗基模传输的硅基多模螺旋波导延迟线

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1273941A1 (en) * 2001-07-04 2003-01-08 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Waveguide-type optical signal processing circuit
TW200622329A (en) * 2004-12-22 2006-07-01 Ind Tech Res Inst Equivalent apparatus of dynamic optical power
WO2009142109A1 (ja) * 2008-05-21 2009-11-26 Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 平面光波回路
CN101965530A (zh) * 2008-02-28 2011-02-02 赛斯帕瑞集团有限责任公司 适合于cwdm的改善的波导光栅光学路由器

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03222810A (ja) 1990-01-26 1991-10-01 Calsonic Corp 車両の排気ガス導出装置
US5212758A (en) 1992-04-10 1993-05-18 At&T Bell Laboratories Planar lens and low order array multiplexer
EP0823647B1 (en) 1996-08-06 2003-07-23 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Arrayed-waveguide grating
JP3222810B2 (ja) 1996-08-06 2001-10-29 日本電信電話株式会社 アレイ導波路格子
JP3962227B2 (ja) * 2001-07-04 2007-08-22 日本電信電話株式会社 導波路型光信号処理回路
JP3650348B2 (ja) 2001-08-13 2005-05-18 日本電信電話株式会社 周波数選択光フィルタ
JP2003090925A (ja) * 2001-09-17 2003-03-28 Fdk Corp 光導波路デバイス
JP4263027B2 (ja) * 2003-06-18 2009-05-13 日本電信電話株式会社 導波路型光信号処理器
US8340484B2 (en) * 2010-01-05 2012-12-25 Board Of Regents, The University Of Texas System Compact multi-port optical signal processor

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1273941A1 (en) * 2001-07-04 2003-01-08 Nippon Telegraph and Telephone Corporation Waveguide-type optical signal processing circuit
TW200622329A (en) * 2004-12-22 2006-07-01 Ind Tech Res Inst Equivalent apparatus of dynamic optical power
CN101965530A (zh) * 2008-02-28 2011-02-02 赛斯帕瑞集团有限责任公司 适合于cwdm的改善的波导光栅光学路由器
WO2009142109A1 (ja) * 2008-05-21 2009-11-26 Ｎｔｔエレクトロニクス株式会社 平面光波回路

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Compact Arrayed-Waveguide Grating with Multiple-Arrowhead Structures;T.Suzuki等;《Japanese Journal of Applied Physics》;20060707;第45卷(第7期);第5775-5781页 *
Small Bend Structures Using Trenches Filled With Low-Refractive Index Material for Miniaturizing Silica Planar Lightwave Circuits;Jiro Ito等;《JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY》;20090315;第27卷(第6期);第786-790页 *

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