CN104582228A

CN104582228A - 电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置

Info

Publication number: CN104582228A
Application number: CN201510022194.XA
Authority: CN
Inventors: 张建华; 张志林; 蒋雪茵
Original assignee: University of Shanghai for Science and Technology
Current assignee: University of Shanghai for Science and Technology
Priority date: 2015-01-16
Filing date: 2015-01-16
Publication date: 2015-04-29

Abstract

本发明涉及一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，由腔体和腔体盖形成一个真空腔体，在腔体和腔体盖之间设置密封胶垫，在腔体外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极，在感应电极外面包上一层透明的绝缘膜，将感应电极用导线连接到电火花式真空检漏器的放电头上；在真空腔体有一个抽气口，抽气口与三通阀门的一个接口连接，三通阀门的另一个接口与真空机械泵连接，三通阀门的第三个接口连接到大气、氧气或其他气体。本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置用火花式真空检漏器来替代一般使用的高频电源和匹配器降低成本达数十倍，简化了结构，缩小了体积，降低了能耗，操作简便可靠。

Description

电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置

技术领域

本发明涉及真空系统中的等离子体的产生及其应用领域，特别是一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置。

背景技术

在有机薄膜电致发光、有机薄膜太阳电池、有机薄膜晶体管等器件及无机材料的薄膜制备及各种半导体器件的制备过程中，基板的清洁度对器件的性能有很大的影响，因此，经过一般的清洗后还需要进行深度清洗，其中比较好的清洗方法是等离子体清洗方法。等离子体清洗的原理是：应用氧等离子体的活泼的氧离子与基板上的有机分子化合成二氧化碳被抽出而得到无有机分子的清洁表面。一般的等离子体清洗装置都是由高频电源加上匹配器把高频功率传输到真空装置中以产生等离子体。由于高频电源和匹配器比较昂贵，体积庞大，而且多半是金属装置易产生金属污染，使该清洗技术在实验室应用受到了很大的限制。

发明内容

本发明的目的在于针对已有技术存在的缺陷，提供一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，可以降低成本，提高效率，便于推广等离子体清洗、等离子体反应及蚀刻技术。

为达到上述目的，本发明采用下述技术方案：

一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，由腔体和腔体盖形成一个真空腔体，在腔体和腔体盖之间设置密封胶垫，在腔体外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极，在感应电极外面包上一层透明的绝缘膜，将感应电极用导线连接到电火花式真空检漏器的放电头上；在真空腔体有一个抽气口，抽气口与三通阀门的一个接口连接，三通阀门的另一个接口与真空机械泵连接，三通阀门的第三个接口连接到大气、氧气或其他气体；在真空腔体内放有待清洗的基板，控制三通阀门使真空腔体只连接到真空机械泵上，打开真空机械泵对真空腔体抽真空，使真空腔体的真空度低于10pa后，接通电火花式真空检漏器的电源开关，产生高频高压脉冲，通过放电头经导线传到感应电极上，使真空腔体内产生均匀的等离子体，应用氧等离子体的对有机污染反应生成二氧化碳被抽走的过程来清洗待清洗的基板。

所述的腔体是由耐压的高温玻璃、石英玻璃或不透气的精密陶瓷制成。

所述的腔体的形状是管状、罐状、钟罩状的容器。

所述的腔体盖是由玻璃、石英、不透气的陶瓷或金属材料制成。

所述的感应电极是由金属丝以线圈缠绕的方式、之字形的方式或其他方式粘贴在腔体的表面。

所述的抽气口在腔体上或在腔体盖上。

所述的其他气体包括各种惰性气体和各钟有机及无机的活性气体，在等离子体状态下能够与金属或化合物产生反应的气体。

与现有技术相比，本发明具有如下突出的实质性特点和显著的优点：

本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置用火花式真空检漏器来替代一般使用的高频电源和匹配器降低成本达数十倍，简化了结构，缩小了体积，降低了能耗，操作简便可靠。

本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置可使用全玻璃腔体内部结构非常简洁从而可以减少一般的等离子体清洗装置由于引入金属电极而可能导致的金属污染。

本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置由于使用玻璃腔体所以可以清晰的观察其整个处理过程。

本发明的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置的玻璃腔体可以用一般的玻璃瓶作为腔体所以整个装置的体积可以做得很小巧从而可以把整个装置放到一般的净化工作台里这就更能保证基板的处理的洁净度。

附图说明

图1瓶罐式的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置结构示意图。

图2钟罩式的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置结构示意图。

具体实施方式

本发明的优选实施例结合附图详述如下：

实施例1

如图1所示，一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，由腔体1和腔体盖3形成一个真空腔体9，在腔体1和腔体盖3之间设置密封胶垫2，在腔体1外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极4，在感应电极4外面包上一层透明的绝缘膜5，将感应电极4用导线6连接到电火花式真空检漏器7的放电头8上；在真空腔体9有一个抽气口10，抽气口10与三通阀门12的一个接口连接，三通阀门12的另一个接口与真空机械泵13连接，三通阀门12的第三个接口11连接到大气；在真空腔体9内放有待清洗的基板14，控制三通阀门12使真空腔体9只连接到真空机械泵13上，打开真空机械泵13对真空腔体9抽真空，使真空腔体9的真空度低于10pa后，接通电火花式真空检漏器7的电源开关，产生高频高压脉冲，通过放电头8经导线6传到感应电极4上，使真空腔体9内产生均匀的等离子体，应用氧等离子体的对有机污染反应生成二氧化碳被抽走的过程来清洗待清洗的基板14。

所述的腔体1是由耐压的高温玻璃制成，形状是罐状的容器。所述的抽气口10在腔体1上。所述的腔体盖3是由玻璃材料制成。所述的感应电极4是由金属丝以线圈缠绕的方式粘贴在腔体1的表面。

实施例2

如图2所示，本实施例与实施例1基本相同，不同之处在于，所述的腔体1的形状是钟罩状的容器。所述的腔体盖3是由金属材料制成。所述的抽气口10在在腔体盖3上。

Claims

1.一种电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，由腔体（1）和腔体盖（3）形成一个真空腔体（9），在腔体（1）和腔体盖（3）之间设置密封胶垫（2），在腔体（1）外表面缠绕金属丝网或金属薄片的感应电极（4），在感应电极（4）外面包上一层透明的绝缘膜（5），将感应电极（4）用导线（6）连接到电火花式真空检漏器（7）的放电头（8）上；在真空腔体（9）有一个抽气口（10），抽气口（10）与三通阀门（12）的一个接口连接，三通阀门（12）的另一个接口与真空机械泵（13）连接，三通阀门（12）的第三个接口（11）连接到大气、氧气或其他气体；在真空腔体（9）内放有待清洗的基板（14），控制三通阀门（12）使真空腔体（9）只连接到真空机械泵（13）上，打开真空机械泵（13）对真空腔体（9）抽真空，使真空腔体（9）的真空度低于10pa后，接通电火花式真空检漏器（7）的电源开关，产生高频高压脉冲，通过放电头（8）经导线（6）传到感应电极（4）上，使真空腔体（9）内产生均匀的等离子体，应用氧等离子体的对有机污染反应生成二氧化碳被抽走的过程来清洗待清洗的基板（14）。

2.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的腔体（1）是由耐压的高温玻璃、石英玻璃或不透气的精密陶瓷制成。

3.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的腔体（1）的形状是管状、罐状、钟罩状的容器。

4.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的腔体盖（3）是由玻璃、石英、不透气的陶瓷或金属材料制成。

5.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的感应电极（4）是由金属丝以线圈缠绕的方式、之字形的方式或其他方式粘贴在腔体（1）的表面。

6.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的抽气口（10）在腔体（1）上或在腔体盖（3）上。

7.根据权利要求1所述的电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置，其特征在于，所述的其他气体包括各种惰性气体和各钟有机及无机的活性气体，在等离子体状态下能够与金属或化合物产生反应的气体。