CN101797394A - 射频电感耦合等离子体灭菌器 - Google Patents

射频电感耦合等离子体灭菌器 Download PDF

Info

Publication number
CN101797394A
CN101797394A CN200910008635A CN200910008635A CN101797394A CN 101797394 A CN101797394 A CN 101797394A CN 200910008635 A CN200910008635 A CN 200910008635A CN 200910008635 A CN200910008635 A CN 200910008635A CN 101797394 A CN101797394 A CN 101797394A
Authority
CN
China
Prior art keywords
radio
vacuum chamber
frequency
shell
power supply
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN200910008635A
Other languages
English (en)
Inventor
王龙哲
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN200910008635A priority Critical patent/CN101797394A/zh
Publication of CN101797394A publication Critical patent/CN101797394A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

本发明提供一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：在该壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒腔体上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是一个盖面，该盖面通过电极控制的升降杆来实现开和闭，下密封板上设有真空泵抽气口和放气阀口，在该圆筒腔体的外壁包覆有电感线圈形式的射频电极天线，在该真空室内设有载物框架，等离子体是产生在真空室内。该等离子体灭菌器，不会对人体和环境造成污染，不会对敏感医疗器械造成热损伤。

Description

射频电感耦合等离子体灭菌器
【技术领域】
本发明涉及一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，尤其是在真空室中的等离子体是采用电感耦合的方式产生的等离子体灭菌装置。
【背景技术】
在医疗领域随着各种高新医疗仪器和器材的日益广泛应用，如何对这些器械进行低温灭菌和高效消毒成为医疗领域的新难题。传统高温湿灭菌已不能适应快速、高效、无腐蚀、无变性的新要求。液态灭菌剂，如戊二醛类，由于其刺激性、毒性及腐蚀性，已无法实现对精密医疗器械，如口腔类器材的灭菌，只能用于一般的消毒。而常用的环氧乙烷灭菌耗时长，对器要求高，具毒性大。用简单的气体过氧化氢及液态过氧乙酸灭菌，其操作复杂，待灭菌材料，如葡聚酸，塑料和橡胶等常用的医疗器械材料的化学变性，以及对医疗人员的刺激，损伤，也是其无法避免的缺陷。
射频真空低温等离子体技术已广泛的应用于：(1)薄膜材料的制备。(2)材料表面的改性。(3)表面溅射和表面刻蚀等。(4)材料表面的清洗以及材料表面的消毒和灭菌。
但是，通常的射频低温真空等离子体灭菌柜是采用射频电容耦合的放电产生形式，与电感耦合的放电形式比较：(1)由于电容极板放置在真空室内中占有一定的空间，使实际的灭菌空间变小，等离子体的利用率也较低。(2)采用电容耦合放电时真空室的造价较高。(3)真空室制造成本低。
【发明内容】
为了提高真空室内的等离子体的放电效率和增加消毒灭菌区域，本发明提供一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：在该壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒腔体上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是一个盖面，该盖面通过电极控制的升降杆来实现开和闭，下密封板上设有真空泵抽气口和放气阀口，在该圆筒腔体的外壁包覆有电感线圈形式的射频电极天线，在该真空室内设有载物框架，等离子体是产生在真空室内。
所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于：在壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是个盖面，下密封板上设有密封垫圈、真空泵抽气口和放气阀口，在该真空室的中间位置设有载物灭菌框架。
所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于：在该圆筒腔体的外壁包覆有电感射频电极，该射频电极是缠绕在圆筒壁的外侧形成一个电感线圈，其线圈一端与射频电源的输出端连接，另一端与壳体连接并接地，等离子体放电是通过该射频线圈天线激发的电场能量电离圆筒腔体内的气体产生的。
所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于：该灭菌器壳体内还包括一个射频电源、一个直线电极、进气和抽气系统、自动控制系统。射频电源选用频率为13.56MHz或27.12MHz的电源及相应的匹配器；直线电机带动与盖面连接的升降杆来实现开和闭，在该盖面上设有密封槽、密封圈和通气口，该通气口通过气体阀门与一个超声雾化装置连接，打开电磁阀开关，可以让雾化罐中被超声后的雾化液体进入到真空室内。
所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，其特征在于：该壳体面板上设有PLC控制操作系统来控制进气开关、电磁阀开关、抽气泵开关、电机开关以及射频电源开关。
本发明是一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，其优点是：电感耦合等离子体效率高，真空室的等离子体生产空间大，真空室成本低。
【附图说明】
图(1)为本发明射频电感耦合等离子体灭菌器结构剖视视示意图；
图(2)为本发明射频电感耦合等离子体灭菌器局部真空室盖面结构示意图。
首先，请参阅图(1)和图(2)，该射频电感耦合等离子体灭菌器，该灭菌器壳体内还包括一个壳体100，及壳体内的真空室200、射频电源115、一个直线电机113、进气和抽气系统、以及一个自动控制系统。
在该壳体内的真空室200是一个由绝缘材料制成的圆筒型腔体105及在圆筒105上下的两个密封板面108和103构成，其中上密封板面108是一个盖面，该盖面通过电机113控制的升降杆107来实现开和闭，在该盖面108上设有密封圈109和一个与通气导管118连接的进气口119，气体通过气体控制阀门与一个超声雾化罐117连接，打开气体导管的阀开关可以让雾化罐中被超声后的雾化液体进入到真空室200腔体内。
下密封板103上设有密封垫圈、真空泵抽气口102和放气阀口104，在该真空室的中间位置设有载物灭菌框架114，被灭菌的物体是放置在该灭菌框架114上。在该真空室圆筒105的外壁包覆有电感射频电极106，该射频电极106是缠绕在圆筒105壁外侧形成一个电感，其一端与射频电源115的输出端连接，另一端与壳体连接并接地，等离子体放电是通过该射频电极106天线激发电离圆筒105腔体内的气体产生的。
在壳体100的上面一侧安装触摸屏110以及PLC控制系统，由PLC控制的打印机111。超声雾化罐117中的液面高度可以由一个透明玻璃管112显示；在壳体100下部安装一个机械泵101。
该壳体100可以采用金属材料也可以采用聚合物材料制成，真空室腔体圆筒105是采用玻璃或玻璃钢材料制成，射频电极106是采用金属薄片或金属线制成，被消毒的器械可以放置在灭菌框架114中进行消毒。
上面参考附图结合具体的实施例对本发明进行了描述，然而，需要说明的是，对于本领域的技术人员而言，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对上述实施例作出许多改变和修改，这些改变和修改都落在本发明的权利要求限定的范围内。

Claims (8)

1.一种新型的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：在该壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒腔体上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是一个盖面，该盖面通过电极控制的升降杆来实现开和闭，下密封板上设有真空泵抽气口和放气阀口，在该圆筒腔体的外壁包覆有电感线圈形式的射频电极天线，在该真空室内设有载物框架，等离子体是产生在真空室内。
2.如权利要求1所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：在壳体内的真空室是一个由绝缘材料制成的圆筒腔体及在圆筒上下的两个密封板面构成，其中上密封板面是个盖面，在该盖面上设有密封圈和充气口，下密封板上设有密封垫圈、真空泵抽气口和放气阀口；在该圆筒腔体真空室的中间位置设有载物框架。
3.如权利要求1和2所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：在该圆筒腔体的外壁包覆有电感射频电极，该射频电极是缠绕在圆筒壁的外侧形成一个电感线圈，其线圈的一端与射频电源的输出端连接，另一端与壳体连接并接地，等离子体放电是通过该射频线圈天线激发的电场能量电离圆筒腔体内的气体产生的。
4.如权利要求1所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：该灭菌器壳体内还包括一个射频电源、一个直线电机、升降杆和支架、进气和抽气系统、自动控制系统。
5.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：该壳体内的射频电源选用频率为13.56MHz或27.12MHz的电源及相应的匹配器。
6.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：该壳体内的直线电机带动与盖面连接的升降杆来实现盖面的开和闭，在该盖面上充气口通过气体阀门与一个超声雾化装置连接。
7.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：该壳体内的进气系统是包括一个对液体的超声雾化罐、一个电磁控制阀以及一个与之连接的气体导管，打开电磁阀开关，可以让雾化罐中被超声后的雾化液体进入到真空室内。
8.如权利要求1和4所述的射频电感耦合等离子体灭菌器，包括一个壳体及壳体内的真空室、射频电源、抽气系统，其特征在于：该壳体面板上设有PLC控制操作系统来控制进气开关、电磁阀开关、抽气泵开关、电机开关以及射频电源开关。
CN200910008635A 2009-02-09 2009-02-09 射频电感耦合等离子体灭菌器 Pending CN101797394A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910008635A CN101797394A (zh) 2009-02-09 2009-02-09 射频电感耦合等离子体灭菌器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN200910008635A CN101797394A (zh) 2009-02-09 2009-02-09 射频电感耦合等离子体灭菌器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101797394A true CN101797394A (zh) 2010-08-11

Family

ID=42593335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200910008635A Pending CN101797394A (zh) 2009-02-09 2009-02-09 射频电感耦合等离子体灭菌器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101797394A (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102395243A (zh) * 2011-10-19 2012-03-28 中微半导体设备(上海)有限公司 改进等离子均匀性和效率的电感耦合等离子装置
CN103037613A (zh) * 2012-12-07 2013-04-10 常州中科常泰等离子体科技有限公司 全自动冷等离子体种子处理器控制系统
CN104582228A (zh) * 2015-01-16 2015-04-29 上海大学 电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置
CN104898540A (zh) * 2015-04-07 2015-09-09 哈尔滨工业大学 一种基于plc的icp等离子体发生系统控制方法
CN107812745A (zh) * 2017-12-15 2018-03-20 廖仁良 一种电子内镜清洁消毒装置
CN112584597A (zh) * 2019-09-30 2021-03-30 中国科学院大连化学物理研究所 加热与射频放电等离子体激活大体积吸气剂并增强吸附速率的装置
CN113739513A (zh) * 2021-08-04 2021-12-03 广西壮族自治区农业科学院 一种用于接种器具的快速冷却装置

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102395243A (zh) * 2011-10-19 2012-03-28 中微半导体设备(上海)有限公司 改进等离子均匀性和效率的电感耦合等离子装置
CN103037613A (zh) * 2012-12-07 2013-04-10 常州中科常泰等离子体科技有限公司 全自动冷等离子体种子处理器控制系统
WO2014086128A1 (zh) * 2012-12-07 2014-06-12 中国科学院南京土壤研究所 全自动冷等离子体种子处理器控制系统
CN103037613B (zh) * 2012-12-07 2016-01-20 常州中科常泰等离子体科技有限公司 全自动冷等离子体种子处理器控制系统
US9782740B2 (en) 2012-12-07 2017-10-10 Changzhou Zhongke Changtai Plasma Technology Co., Ltd. Control system of full-automatic cold plasma seed processor
CN104582228A (zh) * 2015-01-16 2015-04-29 上海大学 电火花式真空检漏器产生等离子体及清洗装置
CN104898540A (zh) * 2015-04-07 2015-09-09 哈尔滨工业大学 一种基于plc的icp等离子体发生系统控制方法
CN107812745A (zh) * 2017-12-15 2018-03-20 廖仁良 一种电子内镜清洁消毒装置
CN112584597A (zh) * 2019-09-30 2021-03-30 中国科学院大连化学物理研究所 加热与射频放电等离子体激活大体积吸气剂并增强吸附速率的装置
CN113739513A (zh) * 2021-08-04 2021-12-03 广西壮族自治区农业科学院 一种用于接种器具的快速冷却装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101797394A (zh) 射频电感耦合等离子体灭菌器
CN105899240B (zh) 包括可单独运输的器皿的等离子设备
CN102343106B (zh) 大气压低温等离子体杀菌装置及杀菌方法
CN201020055Y (zh) 并联式低温等离子体灭菌装置
CN101791418A (zh) 隔离器
CN101797395A (zh) 高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器
CN100563723C (zh) 臭氧灭菌装置及用于该灭菌装置的消毒灭菌的方法
CN102350003A (zh) 一种过氧化氢低温灭菌设备及其使用方法
CN1981876A (zh) 射频多电容耦合等离子体表面处理设备
WO2009078361A1 (ja) プラズマ滅菌装置
CN101848595A (zh) 大气压下单极射频电容耦合低温等离子体发生方法及装置
CN102961767A (zh) 便携式快速灭菌器
CN201586238U (zh) 过氧化氢等离子体增强灭菌器
CN201018709Y (zh) 低温等离子灭菌装置中等离子体的检测装置
CN202283362U (zh) 一种过氧化氢低温灭菌设备
CN103071166B (zh) 一种手术器械麻醉导管的灭菌方法
CN112121212A (zh) 一种物品消毒柜
CN101721724A (zh) 过氧化氢等离子体增强灭菌器
CN200957197Y (zh) 射频多电容耦合等离子体表面处理设备
US20160008500A1 (en) Method and device for plasma-treating hollow bodies
CN103841995A (zh) 蒸汽灭菌器
CN210215342U (zh) 一种细胞培养液的分装装置
CN212678252U (zh) 一种基于等离子体技术的食品杀菌装置
CN2832155Y (zh) 过氧化氢等离子低温灭菌设备
CN105744961B (zh) 用于刚性容器的等离子体处理系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
DD01 Delivery of document by public notice

Addressee: Wang Longzhe

Document name: Notification that Application Deemed to be Withdrawn

C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20100811