CN104553235B - 贴膜机 - Google Patents

Abstract

本发明属于贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机，旨在解决现有贴膜机中掩膜版定位机构与掩膜版夹具难以适应不同尺寸规格的掩膜版的技术问题。将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件推向压边组件保证相对两边上的压制效果，两个压杆间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构与掩膜版夹具的成本。

Description

贴膜机

技术领域

本发明属于贴膜设备领域，尤其涉及一种贴膜机。

背景技术

贴膜机用于蒙版(Pellicle)贴付在掩膜版(Mask)上，现有技术仅能够满足第3.5代至第6代的掩膜版贴付蒙版的制作。根据国内外TFT(薄膜场效应晶体管)行业发展趋势，各地均开始建立第8代的TFT液晶面板生产线。TFT液晶面板的代数越高，掩膜版尺寸越大。现有贴膜机无法满足第8代的大尺寸掩膜版贴付蒙版的需求。现有技术需要多套掩膜版定位机构来满足贴膜要求，即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版定位机构，且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版定位机构。现有技术需要多套掩膜版夹具来满足贴膜要求，即每一种尺寸规格的掩膜版需要有一套与之匹配的掩膜版夹具，且每次贴膜时都需要人工根据掩膜版尺寸来更换掩膜版夹具。该方案操作麻烦，经济成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种贴膜机，旨在解决现有贴膜机中掩膜版定位机构与掩膜版夹具难以适应不同尺寸规格的掩膜版的技术问题。

本发明是这样实现的，一种贴膜机，用于将蒙版贴付在掩膜版上，所述贴膜机包括固定支架及安装于所述固定支架上的夹具组件，所述夹具组件包括平台、安装在所述平台上且用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直；所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于与所述掩膜版的背离所述蒙版的一侧相抵的压边组件及用于推顶所述平台以使所述夹具组件与所述压边组件相抵的第一动力组件,所述压边组件包括两个平行分布且可调间距的压杆，两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上。

进一步地，所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有定位孔，所述夹具组件还包括安装在所述平台上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件及由所述第一驱动件驱动的定位销，所述定位销穿设在所述定位孔中，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。

进一步地，所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有盲孔，所述盲孔中设置有夹紧法兰且该夹紧法兰上开设有型孔，所述夹具组件还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的卡接件及用于驱动所述第二驱动件沿Y轴方向移动的第三驱动件，所述卡接件包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴，所述卡接件的横截面形状与所述型孔的横截面形状相同，所述卡接件的所述转动轴与所述第二驱动件的所述输出端相连接，该卡接件的所述卡接头穿过所述夹紧法兰的所述型孔并伸入所述基板的所述盲孔后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具固紧在所述平台上。

进一步地，所述掩膜版定位机构包括安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述竖直臂沿X轴方向移动的第五驱动组件及安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述水平臂沿Z轴方向移动的第六驱动组件，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直。

进一步地，所述压边组件包括安装座、绕Y轴转动安装在所述安装座上的旋转板及安装在所述安装座上且用于驱动所述旋转板绕Y轴转动的第七驱动组件，所述旋转板具有两个沿该旋转板的长度方向开设的直通槽，且该二个直通槽的长度方向重合，所述压边组件还包括设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且能沿所述旋转板的长度方向输出直线运动的两个第八驱动组件及两个由所述第八驱动组件一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽中的第一连接件，所述压杆设置在每一所述第一连接件上。

进一步地，所述压边组件沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件沿Z轴方向移动的第九驱动组件。

进一步地，所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括设置在所述第一动力件的所述输出端与所述平台之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。

进一步地，所述贴膜机还包括安装在所述框架上且用于将所述夹具组件推向所述压边组件上的第二动力件。

进一步地，所述贴膜机还包括用于使所述夹具组件向远离所述第一动力组件的一侧向下倾斜的外推组件，所述外推组件包括运动支架，所述运动支架具有第一侧及与所述第一侧相对的第二侧，所述运动支架的所述第一侧绕X轴枢接在所述平台上且所述第二侧沿Y轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述外推组件还包括绕X轴枢接在所述运动支架的所述第二侧上且能输出直线运动的第十驱动件，所述第十驱动件具有一输出直线运动的输出端，所述第十驱动件的所述输出端绕X轴枢接在所述平台上。

进一步地，所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括铰接在所述第一动力件的所述输出端与所述运动支架之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。

本发明相对于现有技术的技术效果是：将用于安装蒙版的蒙版夹具安装在平台上，框架上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂，竖直臂与水平臂可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件推向压边组件保证相对两边上的压制效果，两个压杆间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构与掩膜版夹具的成本。

附图说明

图1是本发明实施例提供的贴膜机的立体装配图。

图2是图1的贴膜机的另一角度的立体装配图。

图3是图1的贴膜机的立体分解图。

图4是图1的贴膜机中应用的夹具组件的立体装配图。

图5是图4的夹具组件的立体分解图。

图6是图4的夹具组件的另一角度的立体分解图。

图7是图1的贴膜机中应用的压边组件的立体装配图。

图8是图7的压边组件的另一角度的立体装配图。

图9是图7的压边组件的立体分解图。

图10是图7的压边组件的另一角度的立体分解图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

请参阅图1至图3，本发明实施例提供的一种贴膜机，用于将蒙版(图未示)贴付在掩膜版(图未示)上，所述贴膜机包括固定支架300及安装于所述固定支架300上的夹具组件100，所述夹具组件100包括平台110、安装在所述平台110上且用于安装所述蒙版的蒙版夹具120及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构130，请同时参阅图4至图6，所述掩膜版定位机构130包括框架131、沿X轴方向滑动安装在所述框架131上的两个竖直臂132及沿Z轴方向滑动安装在所述框架131上的两个水平臂133，两个所述竖直臂132相面对设置且两个所述水平臂133相面对设置，两个所述竖直臂132与两个所述水平臂133共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具120上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构130上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直；请同时参阅图2、图3，所述贴膜机还包括安装在所述固定支架300上且用于与所述掩膜版的背离所述蒙版的一侧相抵的压边组件200及用于推顶所述平台110以使所述夹具组件100与所述压边组件200相抵的第一动力组件400,所述压边组件200包括两个平行分布且可调间距的压杆252，两个所述压杆252分别相抵在所述掩膜版的相对两边上。

将用于安装蒙版的蒙版夹具120安装在平台110上，框架131上沿X轴方向滑动安装两个竖直臂132同时沿Z轴方向滑动安装两个水平臂133，竖直臂132与水平臂133可夹紧掩膜版，蒙版与掩膜版相面对设置，第一动力组件400将安装有蒙版与掩膜版的夹具组件100推向压边组件200保证相对两边上的压制效果，两个压杆252间距可调，适应不同尺寸规格的掩膜版，克服了在对不同尺寸规格的掩膜版进行贴付蒙版时需要更换对应的掩膜版定位机构130与掩膜版夹具的麻烦，节省了制作多套掩膜版定位机构130与掩膜版夹具的成本。

在本实施例中，平台110呈方形板状，作为支撑件，用于安装其他零部件。所述框架131具有一缺口且所述平台110沿Y轴方向滑动安装在该缺口内。框架131呈中空方框状，平台110可在框架131的内侧沿Y轴滑动。该结构紧凑，在厚度方向上占用空间较小。掩膜版与蒙版均大致呈板状，中部均开设有孔。掩膜版与蒙版在贴合的过程，通常先对掩膜版与蒙版的其中一对边进行贴合，然后再对掩膜版与蒙版的另外一对边进行贴合。

进一步地，请同时参阅图4至图6，所述蒙版夹具120包括基板121及安装在所述基板121上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件122，所述蒙版夹具120的所述基板121上开设有定位孔1211，所述夹具组件100还包括安装在所述平台110上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件141及由所述第一驱动件141驱动的定位销142，所述定位销142穿设在所述定位孔1211中，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。具体地，第一驱动件141设置在平台110背离基板121的一侧上，第一驱动件141的输出端411穿过平台110而定位销142穿设在定位孔1211中。基板121上开设有沿蒙版的其中一条对角线分布的四个定位孔1211，与四个第一驱动件141、定位销142配合，实现蒙版夹具120定位在平台110预定位置上，该结构定位准确。第一驱动件141为直线气缸。

进一步地，所述蒙版夹具120包括基板121及安装在所述基板121上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件122，所述蒙版夹具120的所述基板121上开设有盲孔1212，所述盲孔1212中设置有夹紧法兰143且该夹紧法兰143上开设有型孔1431，所述夹具组件100还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件145、由所述第二驱动件145驱动转动的卡接件146及用于驱动所述第二驱动件145沿Y轴方向移动的第三驱动件147，所述卡接件146包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴1462，所述卡接件146的横截面形状与所述型孔1431的横截面形状相同，所述卡接件146的所述转动轴1462与所述第二驱动件145的所述输出端相连接，该卡接件146的所述卡接头穿过所述夹紧法兰143的所述型孔1431并伸入所述基板121的所述盲孔1212后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具120固紧在所述平台110上。具体地，第二驱动件145与第三驱动件147均设置在平台110背离基板121的一侧上，第三驱动件147的输出端穿过平台110并伸入基板121的盲孔1212。卡接件146呈T字型，卡接件146的卡接头与夹紧法兰143的型孔1431呈一字型。卡接件146的卡接头穿过夹紧法兰143的型孔1431并伸入基板121的盲孔1212后绕Y轴转动并沿Y轴方向内缩，可使蒙版夹具120进一步固紧在平台110上。第二驱动件145与第三驱动件147的输出端之间铰接有连接件148，让第三驱动件147可安装在平台110上，第三驱动件147的输出端远离伸出蒙版夹具120时，第二驱动件145的输出端会伸入蒙版夹具120，该结构紧凑。基板121上开设有沿蒙版的另外一条对角线分布的四个盲孔1212，与四个夹紧法兰143、第二驱动件145、第三驱动件147配合，将蒙版夹具120固紧在平台110上，该结构连接牢固。第二驱动件145为旋转气缸。第三驱动件147为直线气缸。

进一步地，所述夹紧组件122包括安装在所述基板121上的第四驱动件1221，所述第四驱动件1221具有沿X轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端1221a，所述夹紧组件122还包括分别由所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a一一对应驱动沿X轴方向移动的两个拨杆1222、一一对应由所述拨杆1222顶抵沿X轴方向移动且沿X轴方向延伸的两个导杆1223及设置在每一所述导杆1223的自由端上的卡爪1224，所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a分别驱动两个所述拨杆1222顶抵对应的所述导杆1223以使两个所述卡爪1224张开，所述夹紧组件122还包括设置在每一所述导杆1223上且用于在两个所述卡爪1224张开后使该卡爪1224复位以夹紧所述蒙版的弹性件1225。具体地，第四驱动件1221均设置在平台110背离基板121的一侧上，第四驱动件1221的输出端1221a穿过平台110与基板121。第四驱动件1221为气动手指，第四驱动件1221设置在基板121上侧边的中间位置。拨杆1222沿Z轴方向延伸，第四驱动件1221的两个输出端1221a带动两拨杆1222相互远离。导杆1223嵌装在蒙版夹具120的凹槽1213中，并且由凹槽1213中的支撑座1226支撑，让导杆1223在凹槽1213中移动。弹性件1225为弹簧，套设在导杆1223外，其两端分别顶抵在固接在导杆1223上的弹簧座及固接在凹槽1213的其中一个支撑座1226上，让导杆1223在拨杆1222相抵以远离第四驱动件1221后复位，从而让两个导杆1223的自由端上的卡爪1224向第四驱动件1221靠近，以夹紧蒙版。还有，基板121上可以设置多组导杆1223以适应不同型号尺寸的蒙版。在本实施例中，基板121设置有两组导杆1223，可使第8代两种尺寸的掩膜版共用一套蒙版夹具120。

进一步地，所述夹紧组件122包括安装在所述基板121上的第四驱动件1221，所述第四驱动件1221具有沿Y轴方向输出相反或者相对直线运动的两个输出端1221a，所述夹紧组件122还包括分别由所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a一一对应驱动沿Y轴方向移动的两个拨杆1222、一一对应由所述拨杆1222顶抵沿Y轴方向移动且沿Y轴方向延伸的两个导杆1223及设置在每一所述导杆1223的自由端上的卡爪1224，所述第四驱动件1221的两个所述输出端1221a分别驱动两个所述拨杆1222顶抵对应的所述导杆1223以使两个所述卡爪1224张开，所述夹紧组件122还包括设置在每一所述导杆1223上且用于在两个所述卡爪1224张开后使该卡爪1224复位以夹紧所述蒙版的弹性件1225。该方案与前一个方案类似，不再赘述。

根据曝光机的需要，蒙版夹具120分为左下定位及右下定位的方式。左下定位时，夹具左边及下边的卡爪1224固定，右边及上边的卡爪1224活动。右下定位时，右边及下边的卡爪1224固定，夹具左边及上边的卡爪1224活动。活动卡爪1224由平台110上安装的手指气缸驱动，实现蒙版夹具120内的拔杆合隆及分离，使活动卡爪1224移动并压紧蒙版。

进一步地，所述掩膜版定位机构130包括安装在所述框架131的背离所述蒙版夹具120的一侧上且用于驱动所述竖直臂132沿X轴方向移动的第五驱动组件134及安装在所述框架131的背离所述蒙版夹具120的一侧上且用于驱动所述水平臂133沿Z轴方向移动的第六驱动组件135，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直。具体地，第五驱动组件134包括安装在框架131上且能输出旋转运动的第五驱动件1341、由所述第五驱动件1341驱动转动的丝杆1342及在框架131上沿X轴方向滑动且与丝杆1342螺纹配合的滑块1343。第五驱动件1341为伺服马达。第六驱动组件135与第五驱动组件134类似，不再赘述。根据需要，第六驱动组件135与第五驱动组件134可加装监控摄像头作为反馈系统。掩膜版安装到位后可通过气缸自动或手动完成掩膜版的压紧保护，避免掩膜版掉落。

进一步地，二个所述第五驱动组件134分别分布在所述框架131的上下两侧且该二个第五驱动组件134共同驱动一个所述竖直臂132，二个所述第六驱动组件135分别分布在所述框架131的左右两侧且该二个第六驱动组件135共同驱动一个所述水平臂133。该结构能让竖直臂132与水平臂133得到精确位置控制，从而适应不同尺寸的掩膜版的安装。

进一步地，每一所述竖直臂132上均设置有用于与所述掩膜版的一侧相抵的第一定位件1321，两个所述竖直臂132上的所述第一定位件1321相向设置；每一所述水平臂133上均设置有用于与所述掩膜版的一侧相抵的第二定位件1331，两个所述水平臂133上的所述第二定位件1331相向设置。第一定位件1321或第二定位件1331与掩膜版的其中一边接触，保证掩膜版的定位精确，而且在多次使用后，只要更换第一定位件1321或第二定位件1331即可再次定位，避免整体更换的浪费。水平臂133上设置有若干第二定位件1331以有效支撑掩膜版。所有与掩膜版接触的部位需使用防静电的塑胶材料。

进一步地，所述框架131上设置有沿Y轴方向延伸的滑轨151，所述基座上设置有与所述滑轨151滑动配合的滑座152。在蒙版的贴合过程中，让掩膜版处于活动状态。具体地，四个滑轨151分布在框架131的四个内角位置上，对应基座上设置有四个滑座152滑动配合，该结构便于调整框架131与基座之间的位置关系，保证两者平行度。平台110的左右两边上安装有能输出直线运动的驱动件153，该驱动件153用于驱动框架131沿Y轴方向滑动以调整框架131与基座之间的位置关系，该驱动件153为气缸。

进一步地，请同时参阅图7至图10，所述压边组件200包括安装座210、绕Y轴转动安装在所述安装座210上的旋转板220及安装在所述安装座210上且用于驱动所述旋转板220绕Y轴转动的第七驱动组件230，所述旋转板220具有两个沿该旋转板220的长度方向开设的直通槽221，且该二个直通槽221的长度方向重合，所述压边组件200还包括设置在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上且能沿所述旋转板220的长度方向输出直线运动的两个第八驱动组件240及两个由所述第八驱动组件240一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽221中的第一连接件251，所述压杆252设置在每一所述第一连接件251上。

两个压杆252在蒙版与掩膜版贴合过程中与掩膜版背离蒙版的一侧相抵，实现蒙版与掩膜版的其中一对边的贴合，第七驱动组件230驱动旋转板220转动，从而带动安装在旋转板220上第八驱动组件240与压杆252转动，以实现蒙版与掩膜版的另外一对边的贴合。旋转板220呈板状，作为支撑件，用于安装两个第八驱动组件240。第八驱动组件240设置在旋转板220上靠近安装座210的一侧上，而压杆252滑动设置在旋转板220背离安装座210的一侧上，第八驱动组件240与压杆252以第一连接件251相连接。具体地，两个压杆252的长度方向与直通槽221的长度方向相垂直，第八驱动组件240分别带动对应的压杆252相互靠近或远离移动，以调整两个压杆252之间的距离，从而适应不同尺寸规格掩膜版。

进一步地，所述压边组件200还包括固定在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上且呈环形分布的若干第一滑座253及安装在所述安装座210的一侧上且与所有所述第一滑座253滑动配合的环形导轨254。具体地，安装座210上均布有六个第一滑座253，并与环形导轨254滑动配合，引导旋转板220绕Y轴旋转。

进一步地，所述第七驱动组件230包括绕Y轴枢接在所述安装座210上且能输出直线运动的第七驱动件231，所述第七驱动件231具有一输出直线运动的输出端231a，所述第七驱动件231的所述输出端231a绕Y轴枢接在所述旋转板220上。第七驱动件231为气缸，带动旋转板220绕Y轴作摆动，该结构紧凑，占用空间小。可以理解地，第七驱动组件230为输出旋转运动的机构。

进一步地，所述压边组件200还包括固定在所述安装座210上的支撑板255、固定在所述旋转板220的靠近所述安装座210一侧上且呈环形分布的若干第一滑座253及安装在所述支撑板255一侧的上且与所有所述第一滑座253滑动配合的环形导轨254。支撑板255呈板状，其中部开设有通孔2551，便于布置连接在旋转板220与第七驱动件231的输出端231a之间连接轴232。

进一步地，请同时参阅图10，所述支撑板255上设置有一个碰块259，所述旋转板220的靠近所述支撑板255的一侧上设置有两个与所述碰块259碰撞配合以限制所述旋转板220的转动范围的调整轴222。该结构便于调整旋转板220的转动范围。

进一步地，两个所述调整轴222呈相垂直设置。该结构可以先对掩膜版与蒙版的其中一对边进行贴合，然后转动90度，再对掩膜版与蒙版的另外一对边进行贴合，即分两次先后对掩膜版的长方向与宽方向进行压合作业。

进一步地，所述旋转板220的靠近所述支撑板255的一侧上设置有两个与所述碰块259碰撞配合以缓冲所述旋转板220的转动的缓冲件223。该结构让旋转板220运动稳定。

进一步地，所述压边组件200还包括设置在每一所述压杆252的相对两端上的第二连接件256、设置在每一所述第二连接件256上的第二滑座257及设置在所述旋转板220的靠近所述安装座210的一侧上的四个直线导轨258，所述第二滑座257一一对应滑动设置在所述直线导轨258上。该结构让压杆252运动更平稳。

进一步地，所述第八驱动组件240包括安装在所述旋转板220上且能输出旋转运动的第八驱动件241、由所述第八驱动件241驱动转动的丝杆242及沿所述旋转板220的长度方向滑动且与所述丝杆242螺纹配合的滑块243。第八驱动件241为伺服马达。可以理解地，第八驱动组件240还可以采用其他输出直线运动的机构。

进一步地，请同时参阅图1，所述压边组件200沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架300上，所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件200沿Z轴方向移动的第九驱动组件260。具体地，两个第九驱动组件260共同驱动压边组件200沿Z轴方向移动。第九驱动组件260包括安装在固定支架300上且能输出旋转运动的第九驱动件261、由所述第九驱动件261驱动转动的丝杆262及在固定支架300上Z轴方向滑动且与丝杆262螺纹配合的滑块263。第九驱动件261为伺服电机。由于压边组件200沿Z轴方向滑动安装在固定支架300上，当压边组件200远离夹具组件100时，可在夹具组件100上安装蒙版与掩膜版。当压边组件200靠近夹具组件100时，可与夹具组件100配合进行蒙版与掩膜版贴合。该方案克服现有贴膜机采用旋转门结构在开启旋转门时占用较大空间的问题，让净化间空间能得到充分利用。

进一步地，请同时参阅图2、图3，所述第一动力组件400包括安装在所述固定支架300上且能输出直线运动的第一动力件410，所述第一动力件410具有一输出直线运动的输出端411，所述第一动力组件400还包括设置在所述第一动力件410的所述输出端411与所述平台110之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器420。具体地，固定支架300分为第一固定支架310与安装在第一固定支架310上的第二固定支架320。第一动力件410安装在第二固定支架320上。第一动力件410为油缸，氮气或压缩空气经电-气比例阀后，进入气液转换缸，液压油进入油缸驱动平台110沿Y轴方向前进或后退。油缸需要密封，并进行排气，避免液压油气污染环境。油缸的活塞杆与平台110之间加装有压力传感器420，将压力反馈以便准确调整来适应不同产品之需求。

进一步地，所述贴膜机还包括安装在所述框架131上且用于将所述夹具组件100推向所述压边组件200上的第二动力件500。第二动力件500为气缸，共四个分别分布在框架131四边上。第二动力件500用于提高动力，制作第8代的大尺寸蒙版夹具120较之前夹具尺寸偏大且重量增加。同时，设备对以往所有蒙版夹具120保持兼容。该贴膜机可满足第3.5代至第8代掩膜版贴付蒙版需求。

进一步地，所述贴膜机还包括用于使所述夹具组件100向远离所述第一动力组件400的一侧向下倾斜的外推组件600，所述外推组件600包括运动支架610，所述运动支架610具有第一侧610a及与所述第一侧610a相对的第二侧610b，所述运动支架610的所述第一侧610a绕X轴枢接在所述平台110上且所述第二侧610b沿Y轴方向滑动安装在所述固定支架300上，所述外推组件600还包括绕X轴枢接在所述运动支架610的所述第二侧610b上且能输出直线运动的第十驱动件620，所述第十驱动件620具有一输出直线运动的输出端621，所述第十驱动件620的所述输出端621绕X轴枢接在所述平台110上。外推组件600用于驱动平台110回转一角度以利于安装蒙版与掩膜版。运动支架610采用钢架结构，运动支架610下部安装有线形导轨，沿Y轴方向前后移动，驱动由第一动力组件400完成，运动支架610与固定支架300间需安装监控摄像头对支架位置进行监测。第十驱动件620为气缸，第十驱动件620的数量为二，分布在第一动力组件400左右两侧。还有，固定支架300上设有缓冲件612与调整轴613，运动支架610上设有碰块611，缓冲件612与碰块611碰撞配合以缓冲运动支架610的移动，调整轴613与碰块611碰撞配合以限制运动支架610移动范围。

进一步地，所述第一动力组件400包括安装在所述固定支架300上且能输出直线运动的第一动力件410，所述第一动力件410具有一输出直线运动的输出端411，所述第一动力组件400还包括铰接在所述第一动力件410的所述输出端411与所述运动支架610之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器420。具体地，压力传感器420与第一动力件410的输出端411之间设置有一肘接件，该结构能适应外推组件600引起平台110的转动。

进一步地，贴膜机还包括排气组件。由于贴膜机要在10级的净化环境下工作，因此设备运动过程中产生的杂质需进行排放。关键部分安装有排气管，最后所有的排气管汇总统一排放。贴膜机用到大量的气缸，气缸的废气采用气管进行收集统一排放到净化房外部。

进一步地，贴膜机还包括除静电组件。由于贴膜机要在10级的净化环境下工作，因此静电的存在会引起设备或工件及环境净化度的恶化，同时掩膜版属于精密的光电产品，静电会造成产品的破坏。因此贴膜机需安装除静电装置，安装在贴膜机的顶部。

进一步地，贴膜机还包括控制柜700。整台设备的操作在触摸屏中进行，控制由PLC完成，如马达及气缸的运动。采用中英文操作界面。根据产品的不同(如尺寸变化)，能够设定不同的工作程序供选择。软件能够实现系统参数(运动系统参数等)及不同工作程序参数(压力、时间、掩膜版的定位位置等)的调整。选择好工作程序后，设备工作时每步工序系统自动提示，在操作人员的干预下完成一个工序后，系统自动提示下一个工序要完成的工作。

平台110采用ALH类铝合金材料，表面发黑处理。蒙版夹具120采用ALH铝合金材料，表面发黑处理。固定支架300采用GB3094-82冷拔无缝方管材料，表面发黑处理，由螺栓组装而成的一个整体结构，所有零部件均安装在相应部位。竖直臂132与水平臂133根据需要可采用ALH铝合金或模具钢材料，表面发黑处理。安装座210采用钢架结构与ALH铝合金材料制作而成。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种贴膜机，用于将蒙版贴付在掩膜版上，其特征在于：所述贴膜机包括固定支架及安装于所述固定支架上的夹具组件，所述夹具组件包括平台、安装在所述平台上且用于安装所述蒙版的蒙版夹具及用于安装所述掩膜版的掩膜版定位机构，所述掩膜版定位机构包括框架、沿X轴方向滑动安装在所述框架上的两个竖直臂及沿Z轴方向滑动安装在所述框架上的两个水平臂，两个所述竖直臂相面对设置且两个所述水平臂相面对设置，两个所述竖直臂与两个所述水平臂共同夹紧所述掩膜版，安装在所述蒙版夹具上的所述蒙版与安装在所述掩膜版定位机构上的所述掩膜版相面对设置，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直；所述贴膜机还包括安装在所述固定支架上且用于与所述掩膜版的背离所述蒙版的一侧相抵的压边组件及用于推顶所述平台以使所述夹具组件与所述压边组件相抵的第一动力组件,所述压边组件包括两个平行分布且可调间距的压杆，两个所述压杆分别相抵在所述掩膜版的相对两边上。

2.如权利要求1所述的贴膜机，其特征在于：所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有定位孔，所述夹具组件还包括安装在所述平台上且能沿Y轴方向输出直线运动的第一驱动件及由所述第一驱动件驱动的定位销，所述定位销穿设在所述定位孔中，所述X轴方向、所述Y轴方向与所述Z轴方向两两垂直。

3.如权利要求2所述的贴膜机，其特征在于：所述蒙版夹具包括基板及安装在所述基板上且用于夹紧所述蒙版的夹紧组件，所述蒙版夹具的所述基板上开设有盲孔，所述盲孔中设置有夹紧法兰且该夹紧法兰上开设有型孔，所述夹具组件还包括绕Y轴输出旋转运动且具有一输出端的第二驱动件、由所述第二驱动件驱动转动的卡接件及用于驱动所述第二驱动件沿Y轴方向移动的第三驱动件，所述卡接件包括卡接头及垂直设置在该卡接头上的转动轴，所述卡接件的横截面形状与所述型孔的横截面形状相同，该卡接件的所述转动轴与所述第二驱动件的所述输出端相连接，该卡接件的所述卡接头穿过所述夹紧法兰的所述型孔并伸入所述基板的所述盲孔后绕Y轴转动以使所述蒙版夹具固紧在所述平台上。

4.如权利要求1所述的贴膜机，其特征在于：所述掩膜版定位机构包括安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述竖直臂沿X轴方向移动的第五驱动组件及安装在所述框架的背离所述蒙版夹具的一侧上且用于驱动所述水平臂沿Z轴方向移动的第六驱动组件，所述X轴方向与所述Z轴方向相互垂直。

5.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于：所述压边组件包括安装座、绕Y轴转动安装在所述安装座上的旋转板及安装在所述安装座上且用于驱动所述旋转板绕Y轴转动的第七驱动组件，所述旋转板具有两个沿该旋转板的长度方向开设的直通槽，且该二个直通槽的长度方向重合，所述压边组件还包括设置在所述旋转板的靠近所述安装座的一侧上且能沿所述旋转板的长度方向输出直线运动的两个第八驱动组件及两个由所述第八驱动组件一一对应驱动移动且一一对应穿设在所述直通槽中的第一连接件，所述压杆设置在每一所述第一连接件上。

6.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于：所述压边组件沿Z轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述贴膜机还包括用于驱动所述压边组件沿Z轴方向移动的第九驱动组件。

7.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于：所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括设置在所述第一动力件的所述输出端与所述平台之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。

8.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于：所述贴膜机还包括安装在所述框架上且用于将所述夹具组件推向所述压边组件上的第二动力件。

9.如权利要求1至4任一项所述的贴膜机，其特征在于：所述贴膜机还包括用于使所述夹具组件向远离所述第一动力组件的一侧向下倾斜的外推组件，所述外推组件包括运动支架，所述运动支架具有第一侧及与所述第一侧相对的第二侧，所述运动支架的所述第一侧绕X轴枢接在所述平台上且所述第二侧沿Y轴方向滑动安装在所述固定支架上，所述外推组件还包括绕X轴枢接在所述运动支架的所述第二侧上且能输出直线运动的第十驱动件，所述第十驱动件具有一输出直线运动的输出端，所述第十驱动件的所述输出端绕X轴枢接在所述平台上。

10.如权利要求9所述的贴膜机，其特征在于：所述第一动力组件包括安装在所述固定支架上且能输出直线运动的第一动力件，所述第一动力件具有一输出直线运动的输出端，所述第一动力组件还包括铰接在所述第一动力件的所述输出端与所述运动支架之间且用于检测所述蒙版与所述掩膜版之间压力的压力传感器。