CN104501723B - 一种感应装置及研磨清洗设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种感应装置及研磨清洗设备，涉及显示技术领域，能够解决研磨清洗过程中，由于清洗液体溅湿感应器，造成感应数据不精准而导致的生产效率以及产品质量低下的问题。所述感应装置包括第一感应器和第二感应器；还包括设置于第一感应器和第二感应器之间的干燥装置；所述干燥装置的第一安装面上设置有第一安装口，用于安装第一风淋喷管；其中，第一安装口的位置与第一感应器感应头的位置相对应。

Description

一种感应装置及研磨清洗设备

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种感应装置及研磨清洗设备。

背景技术

TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管-液晶显示器)因其具有体积小、功耗低、无辐射等特点，越来越多地被应用于高性能显示领域当中。现有TFT-LCD的制造工艺主要包括四个阶段，分别为彩色滤光片制备、Array(阵列基板制造)工艺、Cell(液晶盒)制备工艺以及Module(模块组装)工艺。

其中，Module工艺包括驱动的绑定、偏光片的贴附以及背光模组的组装等工艺。上述偏光片分别贴附于对盒切割后的Cell的上、下表面。并且，上述两个偏光片的光轴垂直。这样一来，当Cell中的液晶层未施加电场时，背光模组发出的光线经过一张偏光片入射至液晶层，液晶分子经入射光的行进方向进行旋转，使其从另一张偏光片射出。当在液晶层上施加电场时，液晶层中的液晶分子排列方向发生变化，使得入射光无法穿透。从而可以对光线强弱进行控制，并在彩色滤光片的滤光作用，实现彩色图像显示。

为了在贴附上述偏光片时，确保Cell的上下表面平整、洁净，通常在贴附偏光片的步骤之前，需要通过研磨清洗设备对Cell的上、下表面进行研磨清洗。现有的研磨清洗设备中一般设置有感应器(Sensor)，以对待清洗的Cell的位置进行感应，从而提升机械自动化的精度。然而，在对Cell清洗的过程中，研磨清洗设备喷洒出的水会溅射到上述感应器上，从而使得感应器的感应数值大范围跳动，导致感应数据出错。例如当Cell还移动到研磨位置时，感应器的感应数值已超过其门限值，此时设备会报警显示异常。每次报警都需暂停研磨清洗工作，从而降低了生产效率。此外，如果当Cell移动到研磨位置时，研磨部由于感应器感应数据出错而未运行至工位，则会造成Cell表面的部分区域未进行研磨清洗处理，这样一来，残留于Cell表面的胶体以及碎屑等污渍会严重减低产品的质量。

发明内容

本发明的实施例提供一种感应装置及研磨清洗设备，能够解决研磨清洗过程中，由于清洗液体溅湿感应器，造成感应数据不精准而导致的生产效率以及产品质量低下的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面，提供一种感应装置，包括第一感应器和第二感应器；还包括设置于所述第一感应器和所述第二感应器之间的干燥装置；

所述干燥装置的第一安装面上设置有第一安装口，用于安装第一风淋喷管；所述第一安装口的位置与所述第一感应器感应头的位置相对。

本发明实施例的另一方面，提供一种研磨清洗设备，包括至少一个如上所述的任意一种感应装置。

本发明实施例提供一种感应装置及研磨清洗设备，其中，所述感应装置包括第一感应器和第二感应器；还包括设置于第一感应器和第二感应器之间的干燥装置。所述干燥装置能够在研磨清洗的过程中，对第一感应器进行干燥处理。其中，干燥装置的第一安装面上设置有第一安装口，用于安装第一风淋喷管；第一安装口的位置与第一感应器感应头的位置相对。这样一来，能够通过第一风淋喷管对第一感应器进行风淋干燥处理，以使得第一感应器感应头保持干燥状态，避免了在研磨清洗的过程中，由于第一感应器的感应头被溅湿，而造成感应数据出错的现象产生。此外，由于第一安装口与第一感应器感应头相对，因此，安装于第一安装口上的第一风淋喷管的出风口正对着第一感应器感应头，从而能够提高风淋干燥的效果，进而提高感应数据的精准性，降低报错率和废品率，提升了生产效率和产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种感应装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的另一种感应装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种干燥装置的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的一种研磨清洗设备的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的一种研磨清洗设备中干燥装置的安装位置示意图。

附图标记：

01-显示基板；02-研磨清洗设备的安装背板；10-感应装置；10a-上研磨过程中的第一感应装置；10b-上研磨过程中的第二感应装置；10c-下研磨过程中的第一感应装置；10d-下研磨过程中的第二感应装置；100-第一感应器；101-第一感应器的感应头；110-第二感应器；111-第二感应器的感应头；200-干燥装置；A-第一安装面；210-第一安装口；211-第一风淋喷管；B-第二安装面；220-第二安装口；221-第二风淋喷管；C-第三安装面；230-第三安装口；231-第三风淋喷管；L1-第一风淋喷管的出风侧表面与第一感应器之间的距离；L2-第二风淋喷管的出风侧表面与第二感应器之间的距离；L3-第三风淋喷管的出风侧表面与感应装置的待感应表面的距离；240-供风管道；40-上研磨部件；41-下研磨部件；50-凹槽；51-导轨；510-定位孔。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种感应装置，如图1所示，可以包括第一感应器100和第二感应器110。还可以包括设置于第一感应器100和第二感应器110之间的干燥装置200。

其中，所述干燥装置200的第一安装面A上设置有第一安装口210，用于安装第一风淋喷管211。所述第一安装口210的位置与第一感应器100感应头101的位置相对。

需要说明的是，由于在对显示基板01进行研磨清洗的过程中，喷洒于显示基板01表面的清洁用水或者溶剂，会溅射到第一感应器100上，第一感应器100的安装方式如图1所示，其中轴线与显示基板01的待清洁表面具有一定的夹角。因此，溅射到第一感应器100上的液体会受到重力的影响聚集到第一感应器100的感应头101上，从而严重影响第一感应器100的感应精度。

因此，第一安装口210的位置与第一感应器100感应头101的位置相对是指，第一安装口210的位置与第一感应器100感应头101的位置相对，使得安装于第一安装口210上的第一风淋喷管211的出风口正对着第一感应器100感应头101。这样一来，从第一风淋喷管211吹出的气体能够直接作用于第一感应器100的感应头101上，以提高对第一感应器100进行风淋干燥的效率和效果。

本发明实施例提供一种感应装置，包括第一感应器和第二感应器；还包括设置于第一感应器和第二感应器之间的干燥装置。所述干燥装置能够在研磨清洗的过程中，对第一感应器进行干燥处理。其中，干燥装置的第一安装面上设置有第一安装口，用于安装第一风淋喷管；第一安装口的位置与第一感应器感应头的位置相对。这样一来，能够通过第一风淋喷管对第一感应器进行风淋干燥处理，以使得第一感应器感应头保持干燥状态，避免了在研磨清洗的过程中，由于第一感应器的感应头被溅湿，而造成感应数据出错的现象产生。此外，由于第一安装口与第一感应器感应头相对，因此，安装于第一安装口上的第一风淋喷管的出风口正对着第一感应器感应头，从而能够提高风淋干燥的效果，进而提高感应数据的精准性，降低报错率和废品率，提升了生产效率和产品质量。

以下通过具体的实施例，对上述感应装置10的具体结构进行详细的举例说明。

实施例一

在研磨清洗的过程中，对于第二感应器110而言，同样会发生清洗用溶液溅射至第二感应器110的感应头110上，导致第二感应器110的感应数据不精确的现象发生。因此，如图2所示，干燥装置200的第二安装面B上可以设置有第二安装口220，用于安装第二风淋喷管221。其中，与第一安装口210的设置位置的原理相同，第二安装口220的位置与第二感应器110的感应头111位置相对。

这样一来，能够通过安装于第二安装口220的第二风淋喷管221对第二感应器110进行风淋干燥处理，以使得第二感应器110的感应头111保持干燥状态，避免了在研磨清洗的过程中，由于第二感应器110的感应头111被溅湿，而造成感应数据出错的现象产生。

需要说明的是，上述第一感应器100和上述第二感应器110，可以成对使用，即一个为发射部件，另一个为接收部件。当所述接收部件接收到发射部件发射出的感应信号，并导致感应装置的感应数值发生变化时，就可以达到感应物体的目的。

例如，所述第一感应器100可以为发射部件，用于向感应装置10的待感应表面(例如显示基板01的表面)发射感应光线。

第二感应器110为接收部件，用于接收所述感应光线在所述感应装置10的待感应表面(例如显示基板01的表面)反射后的光线。

这样一来，当显示基板01位于感应装置10的感应区域时，第一感应器100发出的感应光线照射至显示基板01的表面后才能被反射至第二感应器110，从而被第二感应器110接收，以改变感应装置10的感应数值。例如，一般感应装置10的门限值可以设置为2500～5000之间。当感应装置10的门限值为2500时，如果上述显示基板01进入感应装置10的感应区，经过第一感应器100和第二感应器110的相互作用，感应到后，上述感应装置10的门限值可以为3000。这时，感应装置10可以通过上述门限值告知其它设备或工作人员，显示基板01以移动至预设位置(即上述感应装置10的感应区)。其中，上述预设位置可以是显示基板01的待加工位置，例如在研磨清洗过程中，可以是研磨前位置、研磨后位置等等。

当然，上述仅仅是对第一感应器100为发射部件，第二感应器110为接收部件为例进行的说明。当第一感应器100为接收部件，第二感应器110为发射部件时，感应原理同理可得，在此不再一一赘述，但都应当属于本发明的保护范围。

此外，为了进一步提高风淋干燥的效果，可以控制风淋喷管与感应器之间的距离。

具体的，第一风淋喷管211的出风侧表面与第一感应器100之间的距离L1可以为3mm～5mm。

和/或，

第二风淋喷管221的出风侧表面与第二感应器111之间的距离L2可以为3mm～5mm。

需要说明的是，上述距离L1和L2的范围包括最小值3mm和最大值5mm。当风淋喷管(第一风淋喷管211或第二风淋喷管221)与感应器(第一感应器100或第二感应器111)之间的距离较小时，例如小于3mm时，感应器的感应头受到风淋喷管中吹出气体的气压较大，由于感应器的感应头为灵敏部件，因此上述气压对感应头造成损坏，或者降低感应数据的精准性。而当风淋喷管与感应器之间的距离较大时，例如大于5mm时，风淋喷管中吹出气体到达感应器的感应头部时，作用力减小，因此需要更长的时间来对感应头进行风淋干燥处理，从而降低了干燥的效率和效果。

在实施例一中，由于感应装置10是通过第一感应器100发出的感应光线照射至显示基板01的表面，然后反射至第二感应器110，被第二感应器110接收，以感应显示基板01的位置是否移动至预设位置。因此，如果在研磨清洗的过程中，感应光线到达的显示基板01的表面处被清洗用溶液覆盖时，将会改变感应光线的反射光线的传播路径，导致反射光线无法被第二感应器110，这样一来，当显示基板01移动至预设位置，例如研磨前位置时，感应装置10由于上述原因而没有感应到，从而导致研磨部件未下降至研磨工位，未对显示基板01进行研磨工序，使得显示基板01的表面存在胶体以及碎屑等污渍，严重影响后续偏光片的贴附工艺。

为了解决上述问题，本发明提供一下实施例。

实施例二

在干燥装置200的第三安装面C上设置有第三安装口230，用于安装第三风淋喷管231。所述第三风淋喷管231的位置与感应装置10的待感应表面(显示基板01的表面)相对。

这样一来，通过第三风淋喷管231对显示基板01的表面进行风淋干燥，表面由于液体覆盖所述显示基板01的表面，而导致在显示基板01的表面反射的感应光线无法被第二感应器110接收的现象。从而提高了感应装置10的精度。

其中，为了进一步提高风淋干燥的效果，可以控制风淋喷管与待感应表面(显示基板01的表面)的距离。

具体的，第三风淋喷管231的出风侧表面与感应装置10的待感应表面的距离L3可以为10mm～15mm。

需要说明的是，上述距离L3的范围包括最小值10mm和最大值15mm。当第三风淋喷管231与待感应表面之间的距离较小时，例如小于10mm时，待感应表面(例如显示基板01的表面)受到风淋喷管中吹出气体的气压较大，容易造成显示基板01发生变形，从而会降低显示装置的质量。而当第三风淋喷管231与待感应表面之间的距离较大时，例如大于15mm时，风淋喷管中吹出气体到达待感应表面时，作用力减小，因此需要更长的时间来对待感应表面进行风淋干燥处理，从而降低了干燥的效率和效果。

此外，通过上述第一感应器100和第二感应器110的感应原理可知，显示基板01的表面上用于反射感应光线的部分位于第一感应器100、第二感应器110在显示基板01表面的投影区域之间。因此，优选的，如图2所示，第一安装面A与第二安装面B可以分别位于所述第三安装面C两侧。

并且，第一安装面A可以与第一感应器100的中轴线相平行。

第二安装面B可以与第二感应器110的中轴线相平行。

第三安装面C可以与感应装置10的待感应表面(显示基板01的表面)相平行。

这样一来，通过第一安装口210安装于第一安装表面A上的第一风淋喷管211与第一感应器100的中轴线垂直；通过第二安装口220安装于第二安装表面B上的第二风淋喷管221与第二感应器110的中轴线垂直；通过第三安装口230安装于第三安装面C上的第三风淋喷管231能够与显示基板01的表面垂直。由于相对于倾斜到达待干燥表面的风而言，垂直到达待干燥表面的风，其作用面积大，作用力更大，因此通过上述设置，可以提高风淋干燥的效果。

其中，第一感应器100的中轴线与第二感应器110的中轴线之间的夹角范围可以为60°～120°。因此第一安装面A和第二安装面B的夹角范围可以为60°～120°。

实施例三

如图3所示，干燥装置200内部设置有分别与第一安装口210、第二安装口220以及第三安装口230相连接的供风管道240。

其中，所述供风管道240的可以内径大于第一风淋喷管211、第二风淋喷管221或第三风淋喷管231的内径。这样一来，可以向供风管道240输送较多的气体，然而，由于第一风淋喷管211、第二风淋喷管221或第三风淋喷管231的内径小于供风管道240的内径，因此，位于供风管道240内的气体不能及时排除而聚集与供风管道240内，从而可以增加供风管道240内气体的压力，使得增加了第一风淋喷管211、第二风淋喷管221或第三风淋喷管231喷出气体的压力，提高了风淋干燥的效果。

进一步地，通过设置供风管道240的内径与第一风淋喷管211、第二风淋喷管221或第三风淋喷管231内径的大小，可以将第一风淋喷管211、第二风淋喷管221或第三风淋喷管231的喷射压力设置为0.1MPa～0.3MPa。

需要说明的是，第一、上述喷射压力的范围包括最小值0.1MPa和最大值0.3MPa。当喷射压力小于0.1MPa时，由于喷射至第一感应器100的感应头101、第二感应器110的感应头111或显示基板01的表面的气体，其气压较小，不能够保证在短时间进行干燥处理，从而降低了风淋干燥的效果。而当喷射压力大于0.3MPa时，由于喷射至第一感应器100的感应头101、第二感应器110的感应头111或显示基板01的表面的气体，其气压较大，虽然风淋干燥的效果好，但是由于气压较大，可能会损坏感应头110、感应头111或显示基板01的表面。

第二、上述用于风淋干燥的气体可以是惰性CDA(Clean Dry Air，洁净干燥气体)，例如氮气、氩气等等。由于惰性气体不容易发生化学反应，因此通过采用上述惰性CDA，可以在实现风淋干燥的同时，避免在风淋干燥的过程中，避免感应装置10受到化学腐蚀。

本发明实施例提供一种研磨清洗设备，可以包括至少一个如上所述的任意一种感应装置10。

以下通过具体的实施例，对研磨清洗设备中感应装置10的设置方法进行详细的说明。

实施例四

一般对显示基板01的研磨清洗步骤一般可以包括上研磨和下研磨，以分别对显示基板01的上、下表面进行研磨清洗。因此，如图4所示，可以在研磨清洗设备中设置四个感应装置(包括10a、10b、10c以及10d)。

具体的，首先，当感应装置10a(上研磨过程中的第一感应装置)感应到显示基板01时，显示基板01移动至上研磨前位置，此时，上研磨部件40向下移动，与显示基板01的上表面相接处，对显示基板01的上表面进行研磨，同时喷水管(同种未示出)，对研磨过程中产生的碎屑进行冲洗。

然后，随着传送机构(图中未示出)的运行，显示基板01继续向左移动，当感应装置10b(上研磨过程中的第二感应装置)感应到显示基板01时，显示基板01移动至上研磨后位置，上研磨过程结束。

接下来，随着传送机构的继续运行，显示基板01继续向左移动，当感应装置10c(下研磨过程中的第一感应装置)感应到显示基板01时，显示基板01移动至下研磨前位置，此时，下研磨部件41向上移动，与显示基板01的下表面相接处，对显示基板01的下表面进行研磨，同时喷水管(同种未示出)，对研磨过程中产生的碎屑进行冲洗。

最后，随着传送机构的继续运行，显示基板01继续向左移动，当感应装置10d(下研磨过程中的第二感应装置)感应到显示基板01时，显示基板01移动至下研磨后位置，下研磨过程结束。

上述研磨清洗过程结束之后，显示基板01继续移动进行进一步的清洗以及烘干等步骤，在进一步清洗和烘干步骤中同样可以设置上述感应装置10，感应原理同上所述，此处不再赘述。

需要说明的是，第一、由于上述感应装置10(包括10a、10b、10c以及10d)内部设置有干燥装置200，因此能够通过上述干燥装置200对溅射至感应装置10中感应器上的液体进行风淋干燥处理，以避免感应设备10的感应精度受到影响。

第二、如图5所示，干燥装置200与研磨清洗设备的安装背板02相对的一侧表面上设置有凹槽50；

安装背板02的表面固定有导轨51，凹槽50与导轨51相对合，导轨51沿凹槽50进行移动。从而可以对干燥装置200与显示基板01之间的距离进行调整。

其中，导轨51上设置有至少一个定位孔510，在干燥装置200移动至预设位置的情况下，导轨51通过定位孔510与所干燥装置200固定连接。上述预设位置，可以是本领域技术人员根据实际需要，将干燥装置200与显示基板01之间的距离设置为最佳距离时，干燥装置200的位置。

第三，本发明实施例提供的研磨清洗设备中的感应装置10具有与前述实施例提供的感应装置10相同的结构和有益效果。由于前述实施例中，已经将感应装置10的结构和有益效果进行了详细的描述，此处不再赘述。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (11)

1.一种感应装置，包括第一感应器和第二感应器；其特征在于，还包括设置于所述第一感应器和所述第二感应器之间的干燥装置；

所述干燥装置的第一安装面上设置有第一安装口，用于安装第一风淋喷管；所述第一安装口的位置与所述第一感应器感应头的位置相对。

2.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述干燥装置的第二安装面上设置有第二安装口，用于安装第二风淋喷管；所述第二安装口的位置与所述第二感应器的感应头位置相对。

3.根据权利要求2所述的感应装置，其特征在于，所述干燥装置的第三安装面上设置有第三安装口，用于安装第三风淋喷管；所述第三风淋喷管的位置与所述感应装置的待感应表面相对。

4.根据权利要求3所述的感应装置，其特征在于，所述第一安装面与所述第二安装面分别位于所述第三安装面两侧；

所述第一安装面与所述第一感应器的中轴线相平行；

所述第二安装面与所述第二感应器的中轴线相平行；

所述第三安装面与所述感应装置的待感应表面相平行。

5.根据权利要求2所述的感应装置，其特征在于，所述第一风淋喷管的出风侧表面与所述第一感应器之间的距离为3mm～5mm；

和/或，

所述第二风淋喷管的出风侧表面与所述第二感应器之间的距离为3mm～5mm。

6.根据权利要求4所述的感应装置，其特征在于，所述第三风淋喷管的出风侧表面与所述感应装置的待感应表面的距离为10mm～15mm。

7.根据权利要求4所述的感应装置，其特征在于，所述干燥装置内部设置有分别与所述第一安装口、所述第二安装口以及所述第三安装口相连接的供风管道；

所述供风管道的内径大于所述第一风淋喷管、所述第二风淋喷管或所述第三风淋喷管的内径。

8.根据权利要求1所述的感应装置，其特征在于，所述第一感应器为发射部件，用于向所述感应装置的待感应表面发射感应光线；

所述第二感应器为接收部件，用于接收所述感应光线在所述感应装置的待感应表面反射后的光线。

9.根据权利要求4所述的感应装置，其特征在于，所述第一风淋喷管、第二风淋喷管或第三风淋喷管的喷射压力为0.1MPa～0.3MPa。

10.一种研磨清洗设备，其特征在于，包括至少一个如权利要求1-9任一项所述的感应装置。

11.根据权利要求10所述的研磨清洗设备，其特征在于，干燥装置与所述研磨清洗设备的安装背板相对的一侧表面上设置有凹槽；

所述安装背板的表面固定有导轨，所述凹槽与所述导轨相对合，所述导轨沿所述凹槽进行移动；

所述导轨上设置有至少一个定位孔，在所述干燥装置移动至预设位置的情况下，所述导轨通过所述定位孔与所述干燥装置固定连接。