CN102784767A - 石英坩埚喷淋清洗机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种石英坩埚喷淋清洗机，包括风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房、烘干房、传动系统和辊筒，所述风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房和烘干房依次连接，石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上，所述风淋传送间内设置有风淋喷嘴，风淋喷嘴与风机连接，所述喷酸房内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器，所述纯水清洗房内设有喷淋管和恒温加热器。本发明石英坩埚喷淋清洗机可以有效的对石英坩埚进行清洗去杂，大大节省了人工，提高工作效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种石英坩埚喷淋清洗的设备，具体涉及一种石英坩埚喷淋清洗机。
背景技术
作为拉制单晶硅时，石英坩埚的内表面上如有杂质的话将会影响拉晶效率，在熔制，搬运的过程中难免会不让粉尘，灰尘等杂质落入石英坩埚内壁，这就影响到拉晶工序的效果，另外在检测过程中也会有一定的污染，所以在石英坩埚熔制好后到真空包装前会有很多的因素对坩埚进行二次污染，这样就需要在进入真空包装前加入清洗工序，本设备材质化学成分稳固在清洗过程中不对坩埚产生任何污染，既节省了人工也提升了产品的质量。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种石英坩埚喷淋清洗机。
本发明采用的技术方案是：一种石英坩埚喷淋清洗机，包括风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房、烘干房、传动系统和辊筒，所述风淋传送间、喷酸房、纯水清洗房和烘干房依次连接，石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上，所述风淋传送间内设置有风淋喷嘴，风淋喷嘴与风机连接，所述喷酸房内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器，所述纯水清洗房内设有喷淋管和恒温加热器。
作为优选，所述辊筒为设有透明塑钢护罩的PVC辊筒。
作为优选，所述风淋传送间入口处设有相同间隙的排序光电感应器控制电机。
作为优选，所述喷酸房内设置有酸雾分离器，酸雾分离器与安装在喷酸房上的回流管连接。
作为优选，所述喷酸房安装有透明复式密封结构的密封观察门。
有益效果：本发明石英坩埚喷淋清洗机可以有效的对石英坩埚进行清洗去杂，大大节省了人工，提高工作效率。
附图说明
附图为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明：
如附图所示：一种石英坩埚喷淋清洗机，包括风淋传送间1、喷酸房2、纯水清洗房3、烘干房4、传动系统和辊筒，所述风淋传送间1、喷酸房2、纯水清洗房3和烘干房4依次连接，石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上，所述风淋传送间1内设置有风淋喷嘴，风淋喷嘴与风机连接，所述喷酸房2内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器，所述纯水清洗房3内设有喷淋管和恒温加热器。
石英坩埚在进入风淋传送间1时由风机通过风淋喷嘴喷出经过高效过滤的洁净强风吹除石英坩埚表面附着的尘埃，在坩埚通过传送带到达风淋间入口时通过相同间隙的排序光电感应器控制电机将坩埚排序为间隙一定的列队输送形式，PVC辊筒的输送形式为斜齿圆柱齿轮传动。喷酸房2为整体PVC防酸板整体热封焊接而成，透明PVC材质观察门采用复式密封结构，并带有漏酸保护功能即使酸水溢出第一道密封门，也会从两道密封门之间的积酸槽内通过回酸管回到喷酸管中二次利用，配有漏酸保护系统，喷酸循环管路对喷完的废酸二次利用，酸液自动配比，智能化程度高，传送过程中光电感应开关精确定位，酸液加温系统提高化学药剂反应活性。喷酸房喷酸池内，含有搅拌器，并配有浓度仪，在浓度过低时通过浓酸池向喷酸池内注入浓酸进行配比，在喷酸池内还配有加热器使喷出的HF浓液为温热状态，这样去除杂质的效果将更好。流量计精确控制总管流量。pvc管道接入喷淋房侧壁上端，通过酸雾分离器将喷房内的酸雾及时抽离喷淋房内，并通过分离器将液化的酸液通过回流管在回到酸液池中。纯水清洗房3通过喷淋管对坩埚进行喷洗，水箱配有恒温加热器温水清洗第一道喷房喷完风水经处理后在PH值达7时排入污水管道内，二道喷房里的废水回收过滤后回流至水槽内进入加压管道提供给一道喷房对坩埚进行喷洗。烘干房4通过循环风机将加热箱内热风抽至烘干室内烘干坩埚同时回风管道在将烘干室内的冷却空气在抽至加热箱进行加热。
Claims (5)
1.一种石英坩埚喷淋清洗机，其特征在于：包括风淋传送间（1）、喷酸房（2）、纯水清洗房（3）、烘干房（4）、传动系统和辊筒，所述风淋传送间（1）、喷酸房（2）、纯水清洗房（3）和烘干房（4）依次连接，石英坩埚放置在由传动系统伺服电机驱动的辊筒上，所述风淋传送间（1）内设置有风淋喷嘴，风淋喷嘴与风机连接，所述喷酸房（2）内的喷酸池内设有搅拌器、浓度仪和加热器，所述纯水清洗房（3）内设有喷淋管和恒温加热器。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚喷淋清洗机，其特征在于：所述辊筒为设有透明塑钢护罩的PVC辊筒。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚喷淋清洗机，其特征在于：所述风淋传送间（1）入口处设有相同间隙的排序光电感应器控制电机。
4.根据权利要求1所述的石英坩埚喷淋清洗机，其特征在于：所述喷酸房（2）内设置有酸雾分离器，酸雾分离器与安装在喷酸房上的回流管连接。
5.根据权利要求1所述的石英坩埚喷淋清洗机，其特征在于：所述喷酸房（2）安装有透明复式密封结构的密封观察门。
Priority Applications (1)
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Publications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104501723A (zh) * | 2015-01-13 | 2015-04-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种感应装置及研磨清洗设备 |
| CN105865055A (zh) * | 2016-03-29 | 2016-08-17 | 徐海慧 | 一种新型太阳能能源的恒温设备 |
| CN114349358A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-15 | 连云港福典石英科技有限公司 | 一种石英坩埚的表面处理工艺及加工设备 |
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2011
- 2011-05-16 CN CN2011101244438A patent/CN102784767A/zh active Pending
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20121121 |