CN102371256A - 石英坩埚清洗烘干专用一体机 - Google Patents

石英坩埚清洗烘干专用一体机 Download PDF

Info

Publication number
CN102371256A
CN102371256A CN2010102642743A CN201010264274A CN102371256A CN 102371256 A CN102371256 A CN 102371256A CN 2010102642743 A CN2010102642743 A CN 2010102642743A CN 201010264274 A CN201010264274 A CN 201010264274A CN 102371256 A CN102371256 A CN 102371256A
Authority
CN
China
Prior art keywords
acid
shower nozzle
rotating disk
spraying head
drying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2010102642743A
Other languages
English (en)
Inventor
池金林
杨业林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
YANGZHOU HUAER PHOTOELECTRON MATERIAL CO Ltd
Original Assignee
YANGZHOU HUAER PHOTOELECTRON MATERIAL CO Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by YANGZHOU HUAER PHOTOELECTRON MATERIAL CO Ltd filed Critical YANGZHOU HUAER PHOTOELECTRON MATERIAL CO Ltd
Priority to CN2010102642743A priority Critical patent/CN102371256A/zh
Publication of CN102371256A publication Critical patent/CN102371256A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Silicon Compounds (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,包括转盘、活动门、内喷头、外喷头、储酸槽、排酸管、进酸管、排水管、进水管和烘干设备,所述一体机上安装有活动门,一体机内设置有转盘,转盘的中心位置安装有内喷头,所述外喷头通过支架安装在转盘的上方,所述内喷头和外喷头通过排酸管和进酸管与储酸槽相通,内喷头和外喷头通过排水管和进水管与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。本发明石英坩埚清洗烘干一体机操作方便、结构简单,清洗效率高、烘干效果好。

Description

石英坩埚清洗烘干专用一体机
技术领域
本发明涉及太阳能光伏领域,具体涉及一种石英坩埚清洗烘干专用设备。
背景技术
石英坩埚是太阳能铸锭多晶生产的重要器件之一,其品质好坏将直接影响铸锭多晶炉的产能和收率,同时对铸锭多晶硅产品位错的形成及终端产品太阳能电池的转换效率等电性能有着重要影响,石英坩埚的清洗也是非常重要的。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足,提供一种石英坩埚清洗烘干专用一体机。
本发明采用的技术方案是:一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,包括转盘、活动门、内喷头、外喷头、储酸槽、排酸管、进酸管、排水管、进水管和烘干设备,所述一体机上安装有活动门,一体机内设置有转盘,转盘的中心位置安装有内喷头,所述外喷头通过支架安装在转盘的上方,所述内喷头和外喷头通过排酸管和进酸管与储酸槽相通,内喷头和外喷头通过排水管和进水管与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。
石英坩埚清洗工艺流程是:将石英坩埚放入清洗机立式活动台;检查水、电、气路及供应是否正常;关闭活动门,启动按钮→进入酸洗程序→进入DIW洗程序→热风吹干→合格报警;人工用小车将石英坩埚取出包装。
本发明石英坩埚清洗机主体由清洗箱体,漏盘,上下喷淋系统,活动托盘,储酸系统,石英器皿、清洗槽、热风烘干系统、管路部分、PLC触摸屏电控部分,该设备主体上下分三部分,右侧电器控制系统、顶部抽风系统、中层工作区、下层为管道安装维修区、储酸箱、DIW增压泵、酸液循环泵等。
有益效果:本发明石英坩埚清洗烘干一体机操作方便、结构简单,清洗效率高、烘干效果好。
附图说明
附图为本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步说明:
如附图所示:一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,包括转盘1、活动门2、内喷头3、外喷头4、储酸槽5、排酸管6、进酸管7、排水管8、进水管9和烘干设备,所述一体机上安装有活动门2,一体机内设置有转盘1,转盘1的中心位置安装有内喷头3,所述外喷头4通过支架安装在转盘1的上方,所述内喷头3和外喷头4通过排酸管6和进酸管7与储酸槽5相通,内喷头3和外喷头4通过排水管8和进水管9与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。
工作时将石英坩埚10用人工放置清洗机可转动的转盘1上,关闭活动门2,检查水、电、气,转动转盘1,打开喷酸系统,用内喷头3和外喷头4对石英坩埚10内外进行喷酸。酸从储酸槽5中由进酸管7进,再由排酸管6进储酸槽5进行回收循环利用,到设定的时间后停止喷酸,关闭排酸阀。再打开高纯水增压泵,用内喷头3和外喷头4对石英坩埚10进行高压喷洗,当废液流出的水质达到设定标准关闭喷淋系统。然后先给坩埚吹过滤后的自然风吹干坩埚内外表面积水再打开加热系统给坩埚吹热风进行烘干,到一定时间关闭热风系统,打开封闭门给坩埚进行自然冷却后进行包装。

Claims (1)

1.一种石英坩埚清洗烘干专用一体机,其特征在于:包括转盘(1)、活动门(2)、内喷头(3)、外喷头(4)、储酸槽(5)、排酸管(6)、进酸管(7)、排水管(8)、进水管(9)和烘干设备,所述一体机上安装有活动门(2),一体机内设置有转盘(1),转盘(1)的中心位置安装有内喷头(3),所述外喷头(4)通过支架安装在转盘(1)的上方,所述内喷头(3)和外喷头(4)通过排酸管(6)和进酸管(7)与储酸槽(5)相通,内喷头(3)和外喷头(4)通过排水管(8)和进水管(9)与储水设备相通,所述一体机内还设置有烘干设备。
CN2010102642743A 2010-08-25 2010-08-25 石英坩埚清洗烘干专用一体机 Pending CN102371256A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010102642743A CN102371256A (zh) 2010-08-25 2010-08-25 石英坩埚清洗烘干专用一体机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010102642743A CN102371256A (zh) 2010-08-25 2010-08-25 石英坩埚清洗烘干专用一体机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN102371256A true CN102371256A (zh) 2012-03-14

Family

ID=45790805

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010102642743A Pending CN102371256A (zh) 2010-08-25 2010-08-25 石英坩埚清洗烘干专用一体机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102371256A (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103480619A (zh) * 2012-06-14 2014-01-01 浙江五环钛业股份有限公司 一种清洗装置
CN108931415A (zh) * 2017-05-23 2018-12-04 北京诚智光辉科技有限公司 带有清洗机构的细胞制片染色一体机
CN111889814A (zh) * 2020-08-11 2020-11-06 湖南飞阳齿轮制造有限责任公司 一种数控蜗杆砂轮磨齿机
CN111921945A (zh) * 2020-07-14 2020-11-13 海盐得胜化工设备有限公司 一种多晶硅规整填料清洗工艺
CN113020185A (zh) * 2021-04-07 2021-06-25 新沂市中鑫光电科技有限公司 一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统
CN113102323A (zh) * 2021-04-19 2021-07-13 衢州学院 一种变压器专用清理设备
CN113522860A (zh) * 2021-09-14 2021-10-22 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 一种半导体石英部件清洗设备
CN114349358A (zh) * 2021-12-24 2022-04-15 连云港福典石英科技有限公司 一种石英坩埚的表面处理工艺及加工设备

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103480619A (zh) * 2012-06-14 2014-01-01 浙江五环钛业股份有限公司 一种清洗装置
CN103480619B (zh) * 2012-06-14 2016-04-27 浙江五环钛业股份有限公司 一种清洗装置
CN108931415A (zh) * 2017-05-23 2018-12-04 北京诚智光辉科技有限公司 带有清洗机构的细胞制片染色一体机
CN111921945A (zh) * 2020-07-14 2020-11-13 海盐得胜化工设备有限公司 一种多晶硅规整填料清洗工艺
CN111889814A (zh) * 2020-08-11 2020-11-06 湖南飞阳齿轮制造有限责任公司 一种数控蜗杆砂轮磨齿机
CN113020185A (zh) * 2021-04-07 2021-06-25 新沂市中鑫光电科技有限公司 一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统
CN113020185B (zh) * 2021-04-07 2022-07-01 新沂市中鑫光电科技有限公司 一种石英坩埚表面自动清洗除砂系统
CN113102323A (zh) * 2021-04-19 2021-07-13 衢州学院 一种变压器专用清理设备
CN113102323B (zh) * 2021-04-19 2022-06-21 衢州学院 一种变压器专用清理设备
CN113522860A (zh) * 2021-09-14 2021-10-22 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 一种半导体石英部件清洗设备
CN113522860B (zh) * 2021-09-14 2021-12-07 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 一种半导体石英部件清洗设备
CN114349358A (zh) * 2021-12-24 2022-04-15 连云港福典石英科技有限公司 一种石英坩埚的表面处理工艺及加工设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102371256A (zh) 石英坩埚清洗烘干专用一体机
CN202150481U (zh) 全自动高效太阳能电池片制绒与酸洗连体设备
CN203002693U (zh) 金刚线切割单晶硅片脱胶预清洗装置
CN106824929A (zh) 一种立式多工位石英管清洗机及清洗方法
CN209680797U (zh) 一种极薄取向硅钢带的生产系统
CN202591546U (zh) 节能节排型低温蜡脱蜡装置
CN201799442U (zh) 石英坩埚清洗烘干专用一体机
CN107868751A (zh) 一种全自动动物组织脱细胞装置及脱细胞方法
CN107490881B (zh) 眼镜架清洗机
CN103952776A (zh) 一种纺丝组件水解清洗装置及其清洗方法
CN203711768U (zh) 一种具有熔模装置的模壳制作系统
CN202162176U (zh) 多晶或单晶硅原料清洗用超声波溢流清洗装置
CN113510591A (zh) 一种钢管除锈装置
CN205634876U (zh) 一种防烫、安全、低压、环保氢气机
CN206935918U (zh) 一种太阳能电池硅片酸洗槽
CN204080440U (zh) 织物蒸洗装置
CN207006987U (zh) 炉管清洗装置
CN215696308U (zh) 清洗机槽体溢流结构
CN205495849U (zh) 一种余热回收式旋风除尘器
CN201106066Y (zh) 一种油田油管清洗设备
CN104259160A (zh) 一种干法清洗多晶硅还原炉的方法
CN209150057U (zh) 制绒槽式清洗机脱钩花篮清洗晾干车
CN102784767A (zh) 石英坩埚喷淋清洗机
CN205990435U (zh) 一种铝合金轮毂热处理装置
CN217492034U (zh) 一种便于清洗的树脂生产用中间储罐

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20120314