CN104498957A - 一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法 - Google Patents
一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104498957A CN104498957A CN201410788477.0A CN201410788477A CN104498957A CN 104498957 A CN104498957 A CN 104498957A CN 201410788477 A CN201410788477 A CN 201410788477A CN 104498957 A CN104498957 A CN 104498957A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- titanium alloy
- super
- nano structure
- femtosecond laser
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Abstract
本发明提供了一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法。该制备方法包括：对钛合金样品分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到表面干净的钛合金样品；对表面干净的钛合金样品的表面进行飞秒激光光刻加工，一步得到具有超疏水微纳结构表面的钛合金样品；其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为100μJ-800μJ，脉冲宽度为100fs-500fs，中心波长为500nm-1000nm，重复频率为500Hz-2kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为0.5μm-300μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，x、y方向的移动定位精度为50nm-100nm，z方向上的移动定位精度为5nm-10nm。
Description
技术领域
本发明涉及一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，属于材料表面处理技术领域。
背景技术
近年来，材料表面的润湿性越来越引起研究人员的关注，它在科学研究及工农业生产上有着非常广泛的作用。而润湿性的直接衡量标准是测量一种液体通常是水在固体表面的静态接触角。通常，当静态接触角小于90°，则认为该表面为亲水性表面；当静态接触角大于90°，则认为该表面为疏水性表面。而表面疏水性也体现出材料表面与水互相排斥的物理性质。当静态接触角大于150°时，即为超疏水表面。超疏水表面由于具有防雪、防污染、脱附、减阻、防氧化和抗腐蚀等功能，具有广泛的应用前景。例如将超疏水表面应用到高压电输送设备设施上去，能够预防和解决冻雨灾害造成的断电及其它危险事故；将超疏水表面应用于海洋石油平台设备设施上去，能够解决一些金属设备设施的防潮防腐问题；将超疏水表面应用于天线和雷达能够防冰除雪；还可以将超疏水表面用于船舶表面来抗生物吸附以及用于建筑物表面来实现自清洁和防腐蚀等功能等。
由于钛合金具有优异的综合性能，比强度和比断裂韧性高，抗疲劳强度和抗裂纹扩展能力好，低温韧性良好，抗蚀性能优异。可以应用到特殊的环境及领域，因此构建超疏水钛合金金属材料表面已成为研究界的一大热点。
现有的超疏水表面的制备方法很多，目前普遍采用化学气相沉积、相分离、模板法、电化学、光刻蚀等方法在金属表面来构筑微纳结构，并在表面修饰低表面能物质，实现超疏水性。如采用化学气相沉积法在金属基体上制备具有低表面能的氟化类薄膜，但这种方法制备的超疏水表面往往稳定性差，寿命短、与金属基体的结合力底，很容易遭到破坏，且制备过程周期长、工艺较复杂、费用高。电化学法以铜、铝等导电金属材料为基材，浸泡在相应的反应气体或者液体溶剂中，然后通以一定的电流，通过电化学腐蚀来实现材料表面的粗糙化结构，但这种制备方法耗时长、难以获得均匀的疏水性表面。而针对连续激光和脉冲宽度介于纳秒到微秒之间的传统激光加工而言，由于热效应、熔化、毛刺、裂纹和加工区域组织结构的改变等机械缺陷的存在而使该类激光的应用受到了严重的限制。例如专利CN10320447A公开了一种铝合金仿生超疏水表面的制备方法，采用了激光加工结合化学刻蚀的方法制备具有超疏水性的铝合金表面；例如专利CN102336393A公开了一种飞秒激光在有机玻璃表面制备疏水性微结构的方法，采用了飞秒激光在有机玻璃上制备出了疏水性结构，但还未达到超疏水的性能。
综上所述，上述的超疏水表面的制备方法有的工序繁杂、有的需要真空系统，加工范围小，效率低，而且对工作环境要求非常苛刻；采用刻蚀技术，虽然可以实现三维形貌的微结构加工，但在加工区域容易产生内应力等缺陷，从而影响产品的功能特性；如沉积技术虽然可以实现较快速的制备，但可控性极差，而且生成的结构性能不稳定；如传统的光刻技术是通过紫外光加掩膜的技术进行表面微加工，该技术成熟度高，但设备昂贵、工序多。如采用化学气相沉积法制备的具有低表面能的氟化类薄膜往往稳定性差，寿命短、与金属基体的结合力底，很容易遭到破坏，且制备过程周期长、工艺较复杂、费用高。如电化学法以铜、铝等导电金属材料为基材，浸泡在相应的反应气体或者液体溶剂中，然后通以一定的电流，通过电化学腐蚀来实现材料表面的粗糙化结构，但改种方法耗时长难以获得均匀的疏水性表面。而针对连续激光和脉冲宽度介于纳秒到微秒之间的传统激光加工而言，由于热效应、熔化、毛刺、裂纹和加工区域组织结构的改变等机械缺陷的存在而使该类激光的应用受到了严重的限制。
发明内容
鉴于上述现有技术存在的缺陷，本发明的目的是提出一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，能够使用钛合金作为材料，能够在其表面加工不同类型的超疏水纳微结构，且不需要多次造型，结构可靠，工序简单。
本发明的目的通过以下技术方案得以实现：
一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，其包括如下步骤：
对钛合金样品表面分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到干净的钛合金样品表面；
对干净的钛合金样品表面进行飞秒激光光刻加工，一步得到钛合金表面超疏水微纳结构；
其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为100μJ-800μJ，脉冲宽度为100fs-500fs，中心波长为500nm-1000nm，重复频率为500Hz-2kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为0.5μm-300μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，x、y方向的移动定位精度为50nm-100nm，z方向上的移动定位精度为5nm-10nm。
上述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法中，优选的，该方法还包括对得到的钛合金表面超疏水微纳结构依次用去离子水、丙酮、无水乙醇、去离子水进行表面清洗并用冷风吹干、干燥的步骤。
上述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法中，调整激光加工参数，包括调整钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动的方式及参数，可以在钛合金表面加工出具有不同形状的微纳结构。
本发明还提供一种平行光栅型钛合金表面超疏水微纳结构，其是通过上述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法制备得到的，其中，钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x方向单步步进1μm-500μm，再沿y方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm；或者，钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿y方向单步步进1μm-500μm，再沿x方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm。
本发明还提供一种井型钛合金表面超疏水微纳结构，其是通过上述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法制备得到的，其中，钛合金样品的表面先是相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x或y方向中的一个方向单步步进1μm-500μm，再沿对应的y或x方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm；然后相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x或y方向中的另一个方向单步步进1μm-500μm，再沿对应的y或x方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm。
本发明还提供一种圆形盲孔型钛合金表面超疏水微纳结构，其是通过上述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法制备得到的，其中，钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x或y方向连续步进5μm-300μm，再(也可以是同时)沿对应的y或x方向连续步进5μm-300μm，步进速度控制为使激光刻蚀深度5μm-300μm。
上述的单步步进是指移动上述特定距离的一步，然后在垂直方向上移动进行飞秒激光刻蚀，刻蚀完成后，再继续移动一步，再进行垂直方向上的刻蚀。连续步进是指以特定的距离连续的进行单步的步进。上述的钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿z方向移动可以控制飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小。上述的步进距离即激光刻蚀的沟壑之间的距离。
本发明的飞秒激光产生装置可以是本领域的常规装置。优选的，本发明可以使用如下装置：该装置包括用于飞秒激光单元、光束控制单元、运动平台单元和自动化控制单元(工业控制计算机)；
飞秒激光单元包括飞秒激光器(美国光谱物理公司的MAITI自锁模钛宝石激光器)和再生放大器(美国光谱物理公司的Spitfire再生放大器)，飞秒激光器设置在再生放大器的后方；本实施例中，飞秒激光器和再生放大器进行工业整合形成为一个单元部件；
光束控制单元包括二分之一波片、偏振分光镜、快门、反射镜和非球透镜；二分之一波片设置在飞秒激光单元的再生放大器的前方，偏振分光镜设置在二分之一波片的前方，快门设置在偏振分光镜的前方，反射镜设置在快门的前方，非球透镜设置在反射镜的下方，快门与工业控制计算机相连接；
运动平台单元为三维伺服精密移动平台(PI，German)，设置在非球透镜的下方，运动平台单元与工业控制计算机相电连接。
被处理材料设置在运动平台单元上、非球透镜的下方。
实时监测单元包括发光二极管、物镜和CCD，所述发光二极管用于发光，所述物镜设置在所述CCD的前方；
实时监测单监测飞秒激光对被处理材料表面的损伤情况，工业控制计算机以此为依据通过调整快门累调整激光光速的能量、脉冲宽度、被处理材料在运动平台单元带动下沿x、y、z三维方向移动的速度。
本发明的突出效果为：
由于钛合金具有优异的综合性能，比强度和比断裂韧性高，疲劳强度和抗裂纹扩展能力好，低温韧性良好，抗蚀性能优异，因此，本发明使用钛合金作为刻蚀表面材料，采用飞秒激光加工技术，操作简单、高效、成本低廉，通过设计不同的工艺参数即可实现钛合金材料表面不同的微纳结构，大幅改善钛合金表面疏水性能，实现超疏水，能够应用到特殊的环境及领域，具有广阔的应用前景。
附图说明
图1是实施例1经抛光处理过的钛合金表面刻蚀加工后得到的钛合金超疏水微纳结构图；
图2是实施例1未经抛光处理过的钛合金表面刻蚀加工后得到的钛合金超疏水微纳结构的扫描电镜图；
图3是实施例2的井型钛合金表面超疏水微纳结构的扫描电镜图；
图4是实施例2的井型钛合金表面超疏水微纳结构表面的静态接触角侧视图；
图5是实施例3的圆形盲孔型超疏水微纳结构的扫描电镜图。
具体实施方式
为了对本发明的技术特征、目的和有益效果有更加清楚的理解，现对本发明的技术方案进行以下详细说明，但不能理解为对本发明的可实施范围的限定。下述实施例中所述实验方法，如无特殊说明，均为常规方法；所述试剂和材料，如无特殊说明，均可从商业途径获得。
实施例1
本实施例提供一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，能够制备得到平行光栅型钛合金表面超疏水微纳结构，包括如下步骤：
对钛合金样品表面分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到干净的钛合金样品表面；
对干净的钛合金样品表面进行飞秒激光光刻加工，一步得到平行光栅型钛合金表面超疏水微纳结构；
其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为120μJ，脉冲宽度为300fs，中心波长为800nm，重复频率为1kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为2.5μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，沿x方向单步步进80μm，再沿y方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度20μm，然后重复上述移动方式直至完成整个表面的刻蚀，x、y方向的移动定位精度为50nm-100nm，z方向上的移动定位精度为5nm-10nm。
对得到的平行光栅型钛合金表面超疏水微纳结构依次用去离子水、丙酮、无水乙醇、去离子水进行表面清洗并用冷风吹干、干燥。
本实施例对进行处理和未进行处理的两种钛合金表面分别进行激光刻蚀，对得到的超疏水微纳结构表面进行比较，所述的处理是指用SiC砂纸在钛合金表面进行大约10分钟的抛光处理，比较结果显示，处理过的和未处理过的钛合金表面经过刻蚀加工后的表面形貌存在一定的差别，两者的疏水性能也有不同，处理过的钛合金表面微纳结构的显微放大图如图1所示，采用扫描电子显微镜(SEM)观察激光刻蚀后的未处理过的钛合金表面微纳结构如图2所示。
利用微量进样器吸取2μL的去离子水，接触或滴落到未处理过的钛合金表面超疏水微纳结构表面，使其接触，然后用角测试仪进行静态接触角(CA)的测试，测试的水接触角为156°；而经过抛光处理的钛合金表面，采用相同的设计参数，制备出的钛合金表面超疏水微纳结构表面的水接触角为151°。可见钛合金表面在刻蚀前可以不用经过抛光处理。
实施例2
本实施例提供一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，能够制备得到井型钛合金表面超疏水微纳结构，包括如下步骤：
对钛合金样品表面分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到干净的钛合金样品表面；
对干净的钛合金样品表面进行飞秒激光光刻加工，得到井型钛合金表面超疏水微纳结构；
其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为120μJ，脉冲宽度为300fs，中心波长为800nm，重复频率为1kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为2.5μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，第一次，沿x方向单步步进150μm，再沿y方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度60μm，然后重复上述移动方式直至完成整个表面刻蚀；第二次，沿y方向单步步进150μm，再沿x方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度60μm，然后重复上述移动方式直至完成整个表面刻蚀；x、y方向的移动定位精度为50nm-100nm，z方向上的移动定位精度为5nm-10nm。
对得到的井型钛合金表面超疏水微纳结构依次用去离子水、丙酮、无水乙醇、去离子水进行表面清洗并用冷风吹干、干燥。
采用扫描电子显微镜(SEM)观察激光加工后的表面微纳结构形貌，如图3所示。利用微量进样器吸取2μL的去离子水，接触或滴落到井型钛合金表面超疏水微纳结构表面，使其接触，然后用角测试仪进行静态接触角(CA)的测试，测试的水接触角为171°，如图4所示。
实施例3
本实施例提供一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，能够制备得到圆形盲孔型钛合金表面超疏水微纳结构，包括如下步骤：
对钛合金样品表面分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到干净的钛合金样品表面；
对干净的钛合金样品表面进行飞秒激光光刻加工，一步得到圆形盲孔型钛合金表面超疏水微纳结构；
其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为120μJ，脉冲宽度为300fs，中心波长为800nm，重复频率为1kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为30μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，沿x或y方向连续步进5μm-300μm，再沿对应的y或x方向连续步进5μm-300μm，步进速度控制为使激光刻蚀深度50μm，然后重复上述移动方式直至完成整个表面的刻蚀，x、y方向的移动定位精度为50nm-100nm，z方向上的移动定位精度为5nm-10nm。
对得到的圆形盲孔型钛合金表面超疏水微纳结构依次用去离子水、丙酮、无水乙醇、去离子水进行表面清洗并用冷风吹干、干燥。
采用扫描电子显微镜(SEM)观察激光加工后的表面微纳结构形貌，如图5所示。利用微量进样器吸取2μL的去离子水，接触或滴落到圆形盲孔型钛合金表面超疏水微纳结构表面，使其接触，然后用角测试仪进行静态接触角(CA)的测试，测试的水接触角为146°。
由上可见，本发明使用钛合金作为刻蚀表面材料，采用飞秒激光加工技术，操作简单、高效、成本低廉，通过设计不同的工艺参数即可实现钛合金材料表面不同的微纳结构，大幅改善钛合金表面疏水性能，实现超疏水，能够应用到特殊的环境及领域，具有广阔的应用前景。
Claims (5)
1.一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，其包括如下步骤：
对钛合金样品的表面分别用丙酮和无水酒精进行超声波清洗，得到干净的钛合金样品表面；
对干净的钛合金样品表面进行飞秒激光光刻加工，一步得到钛合金表面超疏水微纳结构；
其中，飞秒激光光束固定并垂直于被处理材料表面，飞秒激光光束的单个脉冲能量为100μJ-800μJ，脉冲宽度为100fs-500fs，中心波长为500nm-1000nm，重复频率为500Hz-2kHz，飞秒激光光束的刻蚀光斑的大小为0.5μm-300μm；钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x、y、z三维方向移动，x、y方向的移动定位精度为50nm-100nm，z方向上的移动定位精度为5nm-10nm。
2.根据权利要求1所述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法，其特征在于：该方法还包括对得到的钛合金表面超疏水微纳结构依次用去离子水、丙酮、无水乙醇、去离子水进行表面清洗并用冷风吹干、干燥的步骤。
3.一种平行光栅型钛合金表面超疏水微纳结构，其是通过权利要求1或2所述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法制备得到的，其中，钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x方向单步步进1μm-500μm，再沿y方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm；或者，钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿y方向单步步进1μm-500μm，再沿x方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm。
4.一种井型钛合金表面超疏水微纳结构，其是通过权利要求1或2所述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法制备得到的，其中，钛合金样品的表面先是相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x或y方向中的一个方向单步步进1μm-500μm，再沿对应的y或x方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm；然后相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x或y方向中的另一个方向单步步进1μm-500μm，再沿对应的y或x方向匀速移动，移动速度控制为使激光刻蚀深度1μm-500μm。
5.一种圆形盲孔型钛合金表面超疏水微纳结构，其是通过权利要求1或2所述的钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法制备得到的，其中，钛合金样品的表面相对于飞秒激光光束的刻蚀光斑沿x或y方向连续步进5μm-300μm，再沿对应的y或x方向连续步进5μm-300μm，步进速度控制为使激光刻蚀深度5μm-300μm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410788477.0A CN104498957B (zh) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410788477.0A CN104498957B (zh) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104498957A true CN104498957A (zh) | 2015-04-08 |
| CN104498957B CN104498957B (zh) | 2016-12-07 |
Family
ID=52940406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410788477.0A Active CN104498957B (zh) | 2014-12-17 | 2014-12-17 | 一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104498957B (zh) |
Cited By (24)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104911600A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备黄铜超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104911598A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用超快激光制备锌合金超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104907699A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备铸铁超疏水耐腐蚀表面的方法 |
| CN104907697A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用超快激光制备钛合金超疏水抗霜冻表面的方法 |
| CN104947016A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-30 | 湖北工业大学 | 一种利用超短脉冲激光制备锌合金超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104988507A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-10-21 | 湖北工业大学 | 一种利用超快激光制备铸铁超疏水耐腐蚀表面的方法 |
| CN104985328A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-10-21 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备钛合金超疏水抗霜冻表面的方法 |
| CN105504324A (zh) * | 2015-12-23 | 2016-04-20 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种具有超疏水仿生表面的树脂基复合材料及其制备方法 |
| CN105537782A (zh) * | 2016-02-04 | 2016-05-04 | 北京理工大学 | 电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法 |
| EP3211102A1 (en) * | 2016-02-24 | 2017-08-30 | General Electric Company | Method of treatment, turbine component, and turbine system |
| CN107365998A (zh) * | 2017-07-17 | 2017-11-21 | 英诺激光科技股份有限公司 | 利用激光在金属表面进行抗腐蚀处理的方法及其应用 |
| CN108356409A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-08-03 | 合肥工业大学 | 一种水中气泡调谐用钛片及其加工方法和使用方法 |
| CN108637468A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-10-12 | 江苏大学 | 一种热障涂层表面超疏水结构的制备方法 |
| CN109127331A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-04 | 江苏理工学院 | 一种红外激光制备超疏水锌合金表面的方法 |
| CN110480282A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-11-22 | 长春理工大学 | 一种铜基材料表面延迟结冰结构及其制备方法 |
| CN112872597A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-06-01 | 北京理工大学 | 一种飞秒激光直写与电镀法相结合制备超疏水表面的方法 |
| CN113059324A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-02 | 苏州星波激光科技有限公司 | 铝合金飞秒激光清洗-超疏水微纳表面一步法制备方法 |
| CN113372878A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-09-10 | 厦门大学 | 一种具有火山口状阵列的微纳结构及其制备方法和应用 |
| WO2021179533A1 (zh) * | 2020-03-07 | 2021-09-16 | 广东海洋大学 | 一种激光制备海洋环境下金属材料防腐蚀表层的方法 |
| CN113996933A (zh) * | 2021-05-18 | 2022-02-01 | 中国人民解放军陆军装甲兵学院 | 利用激光刻蚀在外科手术器具表面形成抑菌表面的方法 |
| CN114393312A (zh) * | 2022-01-14 | 2022-04-26 | 北京工业大学 | 一种生物医用钛及钛合金抗菌活化表面周期结构的飞秒激光制备方法 |
| CN114798394A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-07-29 | 吉林大学 | 一种基于纳秒激光加工提高聚己内酯涂层结合力的方法 |
| CN114799217A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-07-29 | 吉林大学 | 基于飞秒激光加工实现增材制造NiTi合金表面超疏水的方法 |
| CN114799528A (zh) * | 2022-04-04 | 2022-07-29 | 吉林大学 | 一种在不规则金属表面远程快速大面积制备抗腐蚀结构的方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101219506A (zh) * | 2008-01-07 | 2008-07-16 | 江苏大学 | 金属基超疏水性微结构表面的激光制备方法 |
| CN101531335A (zh) * | 2009-04-08 | 2009-09-16 | 西安交通大学 | 飞秒激光制备金属表面超疏水微结构的方法 |
| CN101712102A (zh) * | 2009-09-15 | 2010-05-26 | 江苏大学 | 仿生金属超润湿跨尺度结构设计方法与制备方法 |
-
2014
- 2014-12-17 CN CN201410788477.0A patent/CN104498957B/zh active Active
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101219506A (zh) * | 2008-01-07 | 2008-07-16 | 江苏大学 | 金属基超疏水性微结构表面的激光制备方法 |
| CN101531335A (zh) * | 2009-04-08 | 2009-09-16 | 西安交通大学 | 飞秒激光制备金属表面超疏水微结构的方法 |
| CN101712102A (zh) * | 2009-09-15 | 2010-05-26 | 江苏大学 | 仿生金属超润湿跨尺度结构设计方法与制备方法 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| BAOJIA LI ET AL.: "Fabrication of titanium-based microstructured surfaces and study on their superhydrophobic stability", 《JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH》 * |
| BHARAT BHUSHAN ET AL.: "Natural and biomimetic artificial surfaces for superhydrophobicity, self-cleaning, low adhesion, and drag reduction", 《PROGRESS IN MATERIALS SCIENCE》 * |
| 黄永光: "飞秒激光诱导金属表面微纳米结构的基础研究", 《中国博士学位论文全文数据库工程科技Ⅰ辑（月刊）》 * |
Cited By (31)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104911600B (zh) * | 2015-05-28 | 2017-07-07 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备黄铜超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104911598A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用超快激光制备锌合金超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104907699A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备铸铁超疏水耐腐蚀表面的方法 |
| CN104907697A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用超快激光制备钛合金超疏水抗霜冻表面的方法 |
| CN104947016A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-30 | 湖北工业大学 | 一种利用超短脉冲激光制备锌合金超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104988507A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-10-21 | 湖北工业大学 | 一种利用超快激光制备铸铁超疏水耐腐蚀表面的方法 |
| CN104985328A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-10-21 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备钛合金超疏水抗霜冻表面的方法 |
| CN104911600A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-09-16 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备黄铜超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104911598B (zh) * | 2015-05-28 | 2017-11-14 | 湖北工业大学 | 一种利用超快激光制备锌合金超疏水自清洁表面的方法 |
| CN104907699B (zh) * | 2015-05-28 | 2017-05-10 | 湖北工业大学 | 一种利用短脉冲激光制备铸铁超疏水耐腐蚀表面的方法 |
| CN105504324B (zh) * | 2015-12-23 | 2018-07-03 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种具有超疏水仿生表面的树脂基复合材料及其制备方法 |
| CN105504324A (zh) * | 2015-12-23 | 2016-04-20 | 中国航空工业集团公司北京航空制造工程研究所 | 一种具有超疏水仿生表面的树脂基复合材料及其制备方法 |
| CN105537782A (zh) * | 2016-02-04 | 2016-05-04 | 北京理工大学 | 电场辅助下飞秒激光制备可控弯孔的方法 |
| EP3211102A1 (en) * | 2016-02-24 | 2017-08-30 | General Electric Company | Method of treatment, turbine component, and turbine system |
| CN107365998A (zh) * | 2017-07-17 | 2017-11-21 | 英诺激光科技股份有限公司 | 利用激光在金属表面进行抗腐蚀处理的方法及其应用 |
| CN108356409A (zh) * | 2018-01-26 | 2018-08-03 | 合肥工业大学 | 一种水中气泡调谐用钛片及其加工方法和使用方法 |
| CN108637468A (zh) * | 2018-04-19 | 2018-10-12 | 江苏大学 | 一种热障涂层表面超疏水结构的制备方法 |
| CN109127331A (zh) * | 2018-09-28 | 2019-01-04 | 江苏理工学院 | 一种红外激光制备超疏水锌合金表面的方法 |
| CN110480282A (zh) * | 2019-05-20 | 2019-11-22 | 长春理工大学 | 一种铜基材料表面延迟结冰结构及其制备方法 |
| US11939679B2 (en) | 2020-03-07 | 2024-03-26 | Guangdong Ocean University | Method for preparing an anticorrosive surface layer of a metal material in a marine environment by laser |
| WO2021179533A1 (zh) * | 2020-03-07 | 2021-09-16 | 广东海洋大学 | 一种激光制备海洋环境下金属材料防腐蚀表层的方法 |
| CN112872597A (zh) * | 2021-01-21 | 2021-06-01 | 北京理工大学 | 一种飞秒激光直写与电镀法相结合制备超疏水表面的方法 |
| CN113059324A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-02 | 苏州星波激光科技有限公司 | 铝合金飞秒激光清洗-超疏水微纳表面一步法制备方法 |
| CN113372878A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-09-10 | 厦门大学 | 一种具有火山口状阵列的微纳结构及其制备方法和应用 |
| WO2022242269A1 (zh) * | 2021-05-18 | 2022-11-24 | 中国人民解放军陆军装甲兵学院 | 利用激光刻蚀在外科手术器具表面形成抑菌表面的方法 |
| CN113996933A (zh) * | 2021-05-18 | 2022-02-01 | 中国人民解放军陆军装甲兵学院 | 利用激光刻蚀在外科手术器具表面形成抑菌表面的方法 |
| CN114393312A (zh) * | 2022-01-14 | 2022-04-26 | 北京工业大学 | 一种生物医用钛及钛合金抗菌活化表面周期结构的飞秒激光制备方法 |
| CN114799528A (zh) * | 2022-04-04 | 2022-07-29 | 吉林大学 | 一种在不规则金属表面远程快速大面积制备抗腐蚀结构的方法 |
| CN114798394A (zh) * | 2022-06-27 | 2022-07-29 | 吉林大学 | 一种基于纳秒激光加工提高聚己内酯涂层结合力的方法 |
| CN114799217A (zh) * | 2022-06-28 | 2022-07-29 | 吉林大学 | 基于飞秒激光加工实现增材制造NiTi合金表面超疏水的方法 |
| CN114799217B (zh) * | 2022-06-28 | 2022-09-06 | 吉林大学 | 基于飞秒激光加工实现增材制造NiTi合金表面超疏水的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104498957B (zh) | 2016-12-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104498957A (zh) | 一种钛合金表面超疏水微纳结构的制备方法 | |
| CN103317198B (zh) | 金属材料表面超疏水微纳结构的一步制备方法 | |
| CN104646833B (zh) | 一种金属基底梯度润湿表面的激光制备方法 | |
| Lee et al. | Femtosecond laser micromilling of Si wafers | |
| CN106583930A (zh) | 基于飞秒激光直写钛片实现湿润性可逆转化的方法 | |
| EP2532470A1 (en) | Formation method for microstructure, and substrate having microstructure | |
| CN103146892B (zh) | 一种改善层基或膜基结合状态的飞秒激光表面预处理方法 | |
| Chen et al. | Superhydrophobic micro-nano structures on silicone rubber by nanosecond laser processing | |
| CN102336393A (zh) | 飞秒激光在有机玻璃表面制备疏水性微结构的方法 | |
| CN108356409A (zh) | 一种水中气泡调谐用钛片及其加工方法和使用方法 | |
| Samanta et al. | Large-area surface wettability patterning of metal alloys via a maskless laser-assisted functionalization method | |
| KR20130098167A (ko) | 광 흡수 기판의 제조 방법, 및 그것을 제조하기 위한 성형형의 제조 방법 | |
| CN109127331A (zh) | 一种红外激光制备超疏水锌合金表面的方法 | |
| CN103361601A (zh) | 一种制作表面增强拉曼散射基底的方法 | |
| CN108470777B (zh) | 用于透射电镜原位通电芯片的拥有纳米级间距小电极的材料测试单元制备方法 | |
| CN105479009A (zh) | 一种smt模板表面超疏水结构的制备方法 | |
| Wei et al. | Formation of subsurface Cu-O-Si system through laser-induced plasma-assisted copper penetration for fabricating robust adhesive copper wire on glass substrate | |
| Yang et al. | Mechanism and technology of laser selective removal of multilayer materials | |
| Mao et al. | A dual-functional surface with hierarchical micro/nanostructure arrays for self-cleaning and antireflection | |
| CN116140938B (zh) | 一种宏微复合阵列耐磨超疏水表面的加工方法和金属件 | |
| Xu et al. | Armored nanocones engraved by selective laser doping enhanced plasma etching for robust supertransmissivity | |
| He et al. | Large-area regular periodic surface structures on 4H-SiC induced by defocused femtosecond laser | |
| CN104625420A (zh) | 一种非真空无掩膜的高电导率金属纳米线的加工方法 | |
| Martínez-Calderon et al. | Femtosecond laser manufacturing of highly hydrophobic hierarchical structures fabricated by combining surface microstructures and LIPSS | |
| Chen et al. | Fractal characteristics of disordered microstructure on the laser-textured silicone rubber surface in wettability transition |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder | ||
| CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 100024 North East military villa, eight Li bridge, Chaoyang District, Beijing Patentee after: China Institute of Aeronautical Manufacturing Technology Address before: 100024 North East military villa, eight Li bridge, Chaoyang District, Beijing Patentee before: Beijing Aviation Manufacturing Engineering Institute of China Aviation Industry Group Company |