CN104471831A - 静电耦合方式非接触供电装置 - Google Patents

Abstract

本发明的静电耦合方式非接触供电装置(1)具备设于固定部(2)的多个非接触供电用电极(41)及高频电源电路(5)、设于移动部(3)的多个非接触受电用电极(61)及受电电路(7)，非接触供电用电极(41)及非接触受电用电极(61)是与移动部(3)的移动方向垂直的截面形状由基部(411、611)及多个齿部(412、612)构成、且齿部(412、612)彼此相互隔有距离且相互交错地嵌合的梳型电极，而且，非接触受电用电极(61)是齿部(612)的表面由导体层(613)覆盖、且齿部(612)的内部及基部(611)由比重比导体层(613)的比重小的材质形成的梳型电极。由此，与以往相比能够提高非接触供电的供电电容及供电效率，并且使作为供电对象的移动部(3)轻量化。

Description

静电耦合方式非接触供电装置

技术领域

本发明涉及从固定部以非接触的方式向移动部上的电气负载供电的非接触供电装置，更详细而言，涉及将电极板隔有距离地相向配置的静电耦合方式非接触供电装置。

背景技术

作为生产安装有多个元件的基板的基板用作业设备，存在焊料印刷机、元件安装机、回流焊机、基板检查机等，利用基板搬运装置将它们连接来构筑基板生产线的情况较多。这些基板用作业设备的大多数具备在基板的上方移动而进行预定的作业的移动部，作为驱动移动部的一单元，能够使用直线电动机装置。直线电动机装置通常具备：沿移动方向交替地排列设置有多个磁铁的N极及S极的轨道构件；及包含具有芯部及线圈的电枢而构成的移动部。为了向以直线电动机装置为首的移动部上的电气负载供电，以往使用了可变形的供电用线缆。而且，近年来，为了消除由供电用线缆引起的载运重量的增加、由金属疲劳引起的断线的风险等弊端，提出了适用非接触供电装置的方案。

作为非接触供电装置的方式，以往大多采用使用了线圈的电磁感应方式，但是最近也使用通过相向的电极板来构成电容器的静电耦合方式，除此之外还研究了磁共振方式等。非接触供电装置的用途并非限定于基板用作业设备，正向其他行业的工业用设备、家电产品等广阔的领域扩展。在专利文献1中公开了将非接触供电装置配备于汽车的技术例。

专利文献1的信号电力的传送装置中，与车门面板和车身面板相向地分别安装一对电磁耦合器或静电耦合器，且在车门侧具备充电装置及蓄电池。并且，能够通过非接触供电向蓄电池蓄电，并向车门侧的电气组件供给电源。由此，不需要车身与车门之间的线束，配线作业变得简单，能够降低成本、节省资源。而且，在第二实施方式中，作为一对静电耦合器的结构，公开了互不相同地插入有多片电极的方案，使电极的相向面积增加而构成较大的静电电容的电容器。

专利文献1：日本特开平9-266643号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在将非接触供电装置配备于基板用作业设备的情况下，在电磁感应方式中，线圈重量化而移动部的总重量变大，而且，产生避免与直线电动机装置的磁场干扰的结构方面的限制，因此认为静电耦合方式较为优选。静电耦合方式的非接触供电中的供电电容及供电效率取决于由固定部及移动部的电极构成的电容器的静电电容的大小。然而，若为了使静电电容增大而使电极大型化，则仍然是移动部变大而容易重量化。而且，电极的整个表面积中的相互相向而能够有助于非接触供电的有效面积的比率存在限度，供电效率下降与从未相向的部分白白地放射的电场相应的量。这表示，虽然优选专利文献1的第二实施方式的静电耦合器的方案，但是存在进一步提高性能的余地。提高性能的问题点没有限定于基板用作业设备的用途，在适用于广泛的领域的非接触供电装置中共通。

本发明鉴于上述背景技术的问题点而作出，应解决的课题在于提供与以往相比提高非接触供电的供电电容及供电效率、并使作为供电对象的移动部轻量化的静电耦合方式非接触供电装置。

用于解决课题的方案

解决上述课题的第一方案的静电耦合方式非接触供电装置的技术方案具备：多个非接触供电用电极，设于固定部；高频电源电路，向上述多个非接触供电用电极之间供给高频电力；多个非接触受电用电极，设于能够移动地架装于上述固定部的移动部上，与上述多个非接触供电用电极分别隔有距离地相向而以非接触方式接收高频电力；及受电电路，对上述多个非接触受电用电极所接收到的高频电力进行转换而向上述移动部上的电气负载供电，在上述静电耦合方式非接触供电装置中，上述非接触供电用电极及上述非接触受电用电极是与上述移动部的移动方向垂直的截面形状由基部及从上述基部延伸的多个齿部构成、且上述多个齿部彼此相互隔有距离且相互交错地嵌合的梳型电极，而且，上述非接触受电用电极是上述齿部的表面由导体层覆盖、且上述齿部的内部及上述基部由比重比上述导体层的比重小的材质形成的梳型电极。

第二方案的技术方案的静电耦合方式非接触供电装置具备：多个非接触供电用电极，设于固定部；高频电源电路，向上述多个非接触供电用电极之间供给高频电力；多个非接触受电用电极，设于能够移动地架装于上述固定部的移动部上，与上述多个非接触供电用电极分别隔有距离地相向而以非接触方式接收高频电力；及受电电路，对上述多个非接触受电用电极所接收到的高频电力进行转换而向上述移动部上的电气负载供电，在上述静电耦合方式非接触供电装置中，上述非接触供电用电极及上述非接触受电用电极是与上述移动部的移动方向垂直的截面形状由基部及从上述基部延伸的多个齿部构成、且上述多个齿部彼此相互隔有距离且相互交错地嵌合的梳型电极，而且，上述非接触受电用电极是在上述齿部及上述基部中的至少一方的内部具有空间而轻量化的梳型电极。

需要说明的是，第二方案的技术方案也可以看作在第一方案中使非接触受电用电极的导体层具有机械强度并省略了形成齿部的内部及基部的比重较小的材质的方案。

第三方案的技术方案在第一或第二方案的基础上，上述非接触供电用电极是上述齿部的表面由导体层覆盖且上述齿部的内部及上述基部由比重比上述导体层的比重小的材质形成的梳型电极、或者在上述齿部及上述基部中的至少一方的内部具有空间而轻量化的梳型电极。

第四方案的技术方案在第一至第三方案中任一方案的基础上，上述梳型电极的齿部的截面形状是在接近上述基部的一侧宽且随着远离上述基部而变窄的三角形截面或梯形截面。

第五方案的技术方案在第一至第四方案中任一方案的基础上，上述移动部配备于对基板进行预定作业的基板用作业设备。

发明效果

在第一方案的非接触供电装置的技术方案中，非接触供电用电极及非接触受电用电极是多个齿部彼此相互隔有距离且相互交错地嵌合的梳型电极，而且，非接触受电用电极的齿部的表面由导体层覆盖，齿部的内部及基部由比重比导体层的比重小的材质形成。因此，由两个梳型电极构成较大的静电电容的电容器，与使用平面电极的现有技术相比，能够提高非接触供电的供电电容。而且，通过使用梳型电极，能够提高电极表面积中的相互相向而能够有助于非接触供电的有效面积的比率，能够减少白白地放射的电场而提高非接触供电的供电效率。而且，由于移动部侧的非接触受电用电极的大部分由比重较小的材质形成，因此能够使作为供电对象的移动部轻量化。

在第二方案的技术方案中，与第一方案同样地，能够提高非接触供电的供电电容及供电效率。而且，由于移动部侧的非接触受电用电极在内部具有空间而轻量化，因此能够使作为供电对象的移动部轻量化。

在第三方案的技术方案中，固定部的非接触供电用电极的大部分由比重较小的材质形成，或者在内部具有空间而轻量化，因此能够使固定部轻量化。

在第四方案的技术方案中，梳型电极的齿部的截面形状为三角形截面或梯形截面，因此基于铸造、锻造等的制造变得容易，能够削减制造成本。

在第五方案的技术方案中，移动部配备于对基板进行预定作业的基板用作业设备。本发明的静电耦合方式非接触供电装置能够使配备于基板用作业设备而进行预定作业的移动部轻量化。由此，非接触供电装置变得小型轻量且成本低廉，能够有助于基板用作业设备的装置成本的减少。

附图说明

图1是表示能够适用本发明的第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置的元件安装机的整体结构的立体图。

图2是概念性地说明一般的静电耦合方式非接触供电装置的结构图。

图3是用于本发明的第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置的梳型电极的立体图。

图4是表示包含梳型电极的截面结构的第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置的整体结构的结构图。

图5是在简化了第一实施方式的参考形态的静电耦合方式非接触供电装置中用作非接触供电用电极及非接触受电用电极的梳型电极的剖视图。

图6是用于第二实施方式的静电耦合方式非接触供电装置的梳型电极的剖视图。

图7是应用了第二实施方式的梳型电极的剖视图。

图8是用于第三实施方式的静电耦合方式非接触供电装置的梳型电极的剖视图。

具体实施方式

首先，对于能够适用本发明的元件安装机10，以图1为参考进行说明。图1是表示能够适用本发明的第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置1的元件安装机10的整体结构的立体图。元件安装机10是将多个元件安装于基板的装置，构成为将两组的同一结构的元件安装单元大致左右对称地配置。在此，以将图1的右近前侧的罩拆下后的状态的元件安装单元为例进行说明。需要说明的是，将从图中的左里侧朝向右近前侧的元件安装机10的宽度方向设为X轴方向，将元件安装机10的长度方向设为Y轴方向。

元件安装机10构成为将基板搬运装置110、元件供给装置120、两个元件移载装置130、140等组装于底盘190。基板搬运装置110以将元件安装机10的长度方向的中央附近沿X轴方向横切的方式配置。基板搬运装置110具有省略图示的搬运输送机，沿X轴方向搬运基板。而且，基板搬运装置110具有省略图示的夹紧装置，将基板固定及保持于预定的安装作业位置。元件供给装置120设于元件安装机10的长度方向上的前部(图1的左前侧)及后部(图中观察不到)。元件供给装置120具有多个盒式供料器121，从设置于各供料器121的载带向两个元件移载装置130、140连续地供给元件。

两个元件移载装置130、140是能够沿X轴方向及Y轴方向移动的所谓XY机器人类型的装置。两个元件移载装置130、140以相互相向的方式配置于元件安装机10的长度方向上的前侧及后侧。各元件移载装置130、140具有用于Y轴方向上的移动的直线电动机装置150。

直线电动机装置150由两个元件移载装置130、140共用的轨道构件151及辅助轨道155、两个元件移载装置130、140各自的直线移动部153构成。轨道构件151相当于本发明的固定部2的一部分，隔着直线移动部153而平行配置于两侧，并在成为直线移动部153的移动方向的Y轴方向上延伸。在轨道构件151的相向的内侧的侧面沿着Y轴方向排列设置有多个磁铁152。直线移动部153以能够移动的方式架装于轨道构件151。

直线移动部153相当于本发明的移动部3，由移动主体部160、X轴轨道161及安装头170等构成。移动主体部160在Y轴方向上延伸，在其两侧面，与轨道构件151的磁铁152相向地配置有产生推进力的电枢。X轴轨道161从移动主体部160沿X轴方向延伸。X轴轨道161的一端162与移动主体部160耦合，另一端163以能够移动的方式架装于辅助轨道155，从而该X轴轨道161与移动主体部160一体地沿Y轴方向移动。

元件安装头170架装于X轴轨道161，沿X轴方向移动。在元件安装头170的下端设有省略图示的吸嘴。吸嘴利用负压而从元件供给装置120吸附拾取元件，安装于安装作业位置的基板。设于X轴轨道161上的省略图示的滚珠丝杠进给机构具有对滚珠丝杠进行旋转驱动的X轴马达，沿X轴方向驱动元件安装头170。为了使元件安装头170动作而配备于移动部3的多个电气组件相当于本发明的电气负载L。需要说明的是，直线电动机装置150的电枢也包含于电气负载L。

元件安装机10除此之外还具备：用于与操作员交换信息的显示设定装置180；及对基板、元件进行拍摄的省略图示的相机等。

接着，对于一般的静电耦合方式非接触供电装置9，以图2为参考进行说明。图2是概念性地说明一般的静电耦合方式非接触供电装置9的结构图。在图2的下侧的固定部2设有两片供电用平面电极47、48及高频电源电路5。两片供电用平面电极47、48使用金属板等而形成，并与高频电源电路5电连接。高频电源电路5例如将100kHz～MHz频带的高频电力向两片供电用平面电极47、48之间进行供电。高频电源电路5的输出电压能够调整，作为输出电压波形能够例示正弦波、矩形波等。

另外，在图2的上侧的移动部3设有两片受电用平面电极67、68及受电电路7，且搭载有电气负载L。两片受电用平面电极67、68使用金属板等而形成，与固定部2侧的供电用平面电极47、48隔有距离地相向而平行配置。由此，在供电用平面电极47、48与受电用平面电极67、68之间构成两个电容器，进行静电耦合方式的非接触供电。两片受电用平面电极67、68与受电电路7的输入侧电连接，受电电路7的输出侧与电气负载L电连接。受电电路7对受电用平面电极67、68所接收到的高频电力进行转换，而向电气负载L供电。受电电路7根据电气负载L的电源规格而构成电路，例如，使用全波整流电路、逆变器电路等。

另外，通常，为了实现供电电容及供电效率的提高而使用串联谐振电路。即，以利用高频电源电路5的输出频率产生串联谐振的方式向高频电源电路5内或受电电路7内适当地插入连接线圈，而且输出频率自身也可变地被调整。

在想要通过一般的静电耦合方式非接触供电装置9来使供电电容增大的情况下，需要扩大供电用平面电极47、48及受电用平面电极67、68的相向面积来使电容器的静电电容增大。然而，受电用平面电极67、68的大型化直接导致移动部3的重厚长大化，因此不优选。因此，在本发明中，取代平面电极而使用梳型电极。

图3是用于本发明的第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置1的梳型电极的立体图。图的下侧所示的梳型电极是设于固定部2的非接触供电用电极41，图的上侧所示的梳型电极是设于移动部3的非接触受电用电极61。

非接触供电用电极41配置于元件安装机10的平行的轨道构件151之间且比移动部3靠下方的位置，并沿Y轴方向延伸。如图示那样，非接触供电用电极41的与移动部3的移动方向垂直的X轴方向上的截面形状成为梳型形状。详细而言，两个矩形截面的齿部412从沿着X轴方向水平地延伸的基部411的上表面朝向垂直上方相互隔有距离地竖立设置。齿部412的表面由导体层413覆盖。导体层413也覆盖基部411的上表面，在非接触供电用电极41的上侧连成一体。齿部412的内部及基部411的下表面作为芯体414而一体化，由比重比导体层413的比重小的材质形成。

另一方面，非接触受电用电极61朝下地配置于移动部3的底面。非接触受电用电极61也是X轴方向的截面形状成为梳型形状。详细而言，三个矩形截面的齿部612从沿着X轴方向水平地延伸的基部611的下表面朝向垂直下方相互隔有距离地竖立设置。齿部612的表面由导体层613覆盖。导体层613也覆盖基部611的下表面，在非接触受电用电极61的下侧连成一体。齿部612的内部及基部611的上表面作为芯体614而一体化，由比重比导体层613的比重小的材质形成。非接触受电用电极61的Y轴方向上的长度比非接触供电用电极41小。伴随着移动部3的Y轴方向上的移动，非接触受电用电极61在非接触供电用电极41的上方的范围内进行移动。

此时，非接触供电用电极41和非接触受电用电极61维持使齿部412、612彼此相互以大致恒定的分离距离d隔有距离且相互交错地嵌合的状态。需要说明的是，为了容易观察图3，例示了齿部412为两个且齿部612为三个的情况，但是实际上，能够设置更多齿部而使其相互交错地嵌合。由此，由非接触供电用电极41和非接触受电用电极61构成的电容器与由平板电极47、48、67、68构成的电容器相比，相向的表面积格外扩大，静电电容格外变大。

非接触供电用电极41及非接触受电用电极61的导体层413、613能够由具有高导电性的金属材料、例如银、铜等的薄膜、薄板形成。非接触供电用电极41及非接触受电用电极61的芯体414、614能够由比重比导体层413、613的比重小的材质、例如铝、合成树脂形成，导电性并非必须。芯体414、614与导体层413、613的耦合能够通过金属电镀、金属蒸镀、粘接等方法进行。

具备两组图3所示的结构，而构成第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置1。图4是表示包含梳型电极的截面结构的静电耦合方式非接触供电装置1的整体结构的结构图。在图4中，纸面的表里方向是移动部3进行移动的Y轴方向。如图示那样，在固定部2侧，两个非接触供电用电极41的导体层413与高频电源电路5电连接。而且，在移动部3侧，两个非接触受电用电极61的导体层613与受电电路7的输入侧电连接，受电电路7的输出侧与电气负载L电连接。根据由非接触供电用电极41和非接触受电用电极61构成的电容器的较大的静电电容，高频电源电路5及受电电路7被适当设计。

在第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置1中，由作为梳型电极的非接触供电用电极41和非接触受电用电极61构成较大的静电电容的电容器。因此，与使用平面电极47、48、67、68的现有技术相比，能够提高非接触供电的供电电容。而且，通过将非接触供电用电极41及非接触受电用电极61设为梳型电极，能够提高电极表面积中的相互相向而能够有助于非接触供电的有效面积的比率。因此，能够减少从非接触供电用电极41白白地放射的电场而提高非接触供电的供电效率。

另外，图5是在简化了第一实施方式的参考形态的静电耦合方式非接触供电装置中用作非接触供电用电极42及非接触受电用电极62的梳型电极的剖视图。在参考形态中，非接触供电用电极42及非接触受电用电极62的外形形状与第一实施方式的上述41、61相同，使用单一的金属材料、例如铜而形成。参考形态的其他部分的结构与第一实施方式相同。因此，由非接触供电用电极42和非接触受电用电极62构成的电容器的静电电容与第一实施方式相同，得到相同的供电电容及供电效率。

然而，在参考形态中，非接触受电用电极62重量化，因此移动部3的总重量增加。作为由其引起的弊端，可能需要使直线移动部153的电枢高功率化或使非接触供电的供电电容增大。与之相比，在第一实施方式中，移动部3侧的非接触受电用电极61的大部分由比重较小的材质形成，因此能够使作为供电对象的移动部3轻量化。而且，若与使用现有技术的平面电极47、48、67、68来确保相同的静电电容的情况相比，则在第一实施方式中，能够使移动部3格外小型轻量化。

此外，在第一实施方式中，固定部2的非接触供电用电极41也是大部分由比重较小的材质形成，因此也能够使固定部2轻量化。

第一实施方式的静电耦合方式非接触供电装置1能够使配备于元件安装机10且具有元件安装头170的直线移动部153轻量化。由此，能够削减直线移动部153的驱动所需的所需电力，也削减非接触供电的供电电容，非接触供电装置1为小型轻量且成本低廉。通过这些综合性效果，能够有助于元件安装机10的装置成本的减少。

接着，对于第二实施方式的静电耦合方式非接触供电装置，主要说明电极形状的不同。图6是用于第二实施方式的静电耦合方式非接触供电装置的梳型电极的剖视图。图的下侧所示的梳型电极是设于固定部2的非接触供电用电极43，图的上侧所示的梳型电极是设于移动部3的非接触受电用电极63。

如图示那样，第二实施方式的非接触供电用电极43的多个齿部432的截面形状与第一实施方式不同，成为在接近基部431的一侧宽且随着远离基部431而变窄的三角形截面。基部431及齿部432使用铜等单一的金属材料而一体形成。

另一方面，第二实施方式的非接触受电用电极63也是多个齿部632的截面形状成为在接近基部631的一侧宽且随着远离基部631而变窄的三角形截面。齿部632的表面由导体层633覆盖。而且，导体层633也覆盖基部631的下表面，在非接触供电用电极63的下侧连成一体。齿部632的内部及基部631的上表面作为芯体634而一体化，由比重比导体层633的比重小的材质形成。

非接触供电用电极43和非接触受电用电极63的多个齿部432、632的倾斜面彼此相互以大致恒定的分离距离隔有距离且相互交错地嵌合。因此，在第二实施方式中，也能够确保与第一实施方式相同的静电电容。而且，第二实施方式的其他部分的结构与第一实施方式相同。

在第二实施方式的静电耦合方式非接触供电装置中，能够将非接触供电的供电电容及供电效率提高成与第一实施方式相同的程度，且能够使移动部轻量化。而且，由于齿部432、632的截面形状为三角形截面，因此在对非接触供电用电极43及非接触受电用电极63进行铸造或锻造时，与第一实施方式的矩形截面相比，制造变得容易，能够削减制造成本。需要说明的是，非接触供电用电极43由单一的金属材料形成，取代轻量化而产生削减制造成本的效果。

此外，在图7所示的第二实施方式的应用例中，使移动部3更显著地轻量化。图7是应用了第二实施方式的梳型电极的剖视图。如图示那样，在应用例中，非接触受电用电极64的导体层643与第二实施方式为同一形状，不同点在于，在从芯体644的基部641到齿部642的内部设有三角形截面的空间645。应用例的非接触受电用电极64与第二实施方式的非接触受电用电极63相比更显著地轻量化了与该空间645相应的量。

接着，对于第三实施方式的静电耦合方式非接触供电装置，主要说明电极形状的不同。图8是用于第三实施方式的静电耦合方式非接触供电装置的梳型电极的剖视图。图的下侧所示的梳型电极是与第二实施方式相同的非接触供电用电极43，图的上侧所示的梳型电极是设于移动部3的非接触受电用电极65。

如图示那样，第三实施方式的非接触受电用电极65中，将金属制的板材折弯，且基部651与齿部652交替形成。齿部652的截面形状成为具有在接近基部651的一侧宽的空间655且随着远离基部651而空间655变窄的三角形截面。非接触受电用电极65不具有芯体而通过金属制的板材自身来确保机械强度，挠曲、变形受到抑制。

在第三实施方式中，能够确保与第二实施方式相同的静电电容，能够将非接触供电的供电电容及供电效率提高成与第二实施方式相同的程度。而且，非接触受电用电极65被进一步轻量化，因此能够使移动部更显著地轻量化。而且，非接触受电用电极65能够通过冲压成型法等而容易地制造，能够显著地削减制造成本。

需要说明的是，在第一实施方式中也可以通过单一的金属材料来形成固定部2侧的非接触供电用电极41，反之，在第二及第三实施方式中，也可以通过导体层及芯体来形成非接触供电用电极43。而且，电极的齿部的截面形状只要能够使相向面积增加即可，因此也可以设为实施方式所示的以外的梯形形状或其他形状。本发明除此以外也能够进行各种应用、变形。

工业实用性

本发明的静电耦合方式非接触供电装置能够利用于以元件安装机为首的基板用作业设备，而且，也能够广泛地利用于具有移动部且需要非接触供电的其他行业的工业用设备。

附图标记说明

1：静电耦合方式非接触供电装置

2：固定部 3：移动部

41、42、43：非接触供电用电极

411、431：基部 412、432：齿部

413：导体层 414：芯体

47、48：供电用平面电极

5：高频电源电路

61、62、63、64、65：非接触受电用电极

611、631、641、651：基部

612、632、642、652：齿部

613、633、643：导体层

614、634、644：芯体

645、655：空间

67、68：受电用平面电极

7：受电电路

9：一般的静电耦合方式非接触供电装置

10：元件安装机

110：基板搬运装置 120：元件供给装置

130、140：元件移载装置 150：直线电动机装置

160：移动主体部 161：X轴轨道

170：安装头 180：显示设定装置 190：底盘

L：电气负载 d：分离距离

Claims (5)

1.一种静电耦合方式非接触供电装置，具备：

多个非接触供电用电极，设于固定部；

高频电源电路，向所述多个非接触供电用电极之间供给高频电力；

多个非接触受电用电极，设于能够移动地架装于所述固定部的移动部上，与所述多个非接触供电用电极分别隔有距离地相向而以非接触方式接收高频电力；及

受电电路，对所述多个非接触受电用电极所接收到的高频电力进行转换而向所述移动部上的电气负载供电，

所述静电耦合方式非接触供电装置中，

所述非接触供电用电极及所述非接触受电用电极是与所述移动部的移动方向垂直的截面形状由基部及从所述基部延伸的多个齿部构成、且所述多个齿部彼此相互隔有距离且相互交错地嵌合的梳型电极，

而且，所述非接触受电用电极是所述齿部的表面由导体层覆盖、且所述齿部的内部及所述基部由比重比所述导体层的比重小的材质形成的梳型电极。

2.一种静电耦合方式非接触供电装置，具备：

多个非接触供电用电极，设于固定部；

高频电源电路，向所述多个非接触供电用电极之间供给高频电力；

多个非接触受电用电极，设于能够移动地架装于所述固定部的移动部上，与所述多个非接触供电用电极分别隔有距离地相向而以非接触方式接收高频电力；及

受电电路，对所述多个非接触受电用电极所接收到的高频电力进行转换而向所述移动部上的电气负载供电，

所述静电耦合方式非接触供电装置中，

所述非接触供电用电极及所述非接触受电用电极是与所述移动部的移动方向垂直的截面形状由基部及从所述基部延伸的多个齿部构成、且所述多个齿部彼此相互隔有距离且相互交错地嵌合的梳型电极，

而且，所述非接触受电用电极是在所述齿部及所述基部中的至少一方的内部具有空间而轻量化的梳型电极。

3.根据权利要求1或2所述的静电耦合方式非接触供电装置，其中，

所述非接触供电用电极是所述齿部的表面由导体层覆盖且所述齿部的内部及所述基部由比重比所述导体层的比重小的材质形成的梳型电极、或者在所述齿部及所述基部中的至少一方的内部具有空间而轻量化的梳型电极。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的静电耦合方式非接触供电装置，其中，

所述梳型电极的齿部的截面形状是在接近所述基部的一侧宽且随着远离所述基部而变窄的三角形截面或梯形截面。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的静电耦合方式非接触供电装置，其中，

所述移动部配备于对基板进行预定作业的基板用作业设备。