CN104455722A - 半导体制程气体输送管道安装施工方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种半导体制程气体输送管道安装施工方法，包括以下步骤：（1）在施工现场预设洁净区域，并搭建洁净空间；（2）对施工用器材进行复验，并对所有器材进行防污染密封封存；（3）在洁净空间内对管道进行分单元洁净式密闭加工，且加工完成立即密封管口；（4）安装输送管道，并在安装过程中和作业间隙期间持续通入保护气体；（5）按照等离子体加水洗处理系统的结构安装尾气管道；（6）安装气体装置，并采用径向面密封连接方式进行管道、气体装置的连接；（7）分别进行静电接地和室外防雷电感应接地系统安装；（8）分别进行压力检测、氦质谱检漏、水分检测、洁净度检测和氧份检测，直到全部合格；（9）进行尾气处理测试，直到合格。
Description
技术领域
本发明涉及一种管道安装工艺，具体地说，是涉及一种半导体制程气体输送管道安装施工方法。
背景技术
高纯特种气体作为电子工厂掺杂、外延、离子注入、蚀刻等半导体制程必不可少的特殊气体，如硅烷SiH4、AsH3、砷烷AsH3等，具有自燃性、可燃性、毒性等高危特性，是精密电子元器件、新能源光电产品制造的重要原料。若气体输送系统在运行过程中出现泄漏或者尾气收集处理不到位，将会造成非常严重的安全事故。SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；AsH3的剧毒性，任何细微的泄漏都可能造成人员生命的危害，同时多种类的气体输送控制也是系统正常运行的关键，所以如何保证高纯特种气体输送系统安装施工质量，确保气体输送控制满足工艺要求就显得异常的重要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体制程气体输送管道安装施工方法，解决现有技术中存在的管道与设备连接、管道金属腐蚀、尾气处理、管道安装等过程中的技术难题，保证气体输送系统的安全性和稳定性。
为了实现上述目的，本发明采用的技术方案如下：
半导体制程气体输送管道安装施工方法，包括以下步骤：
（1）在施工现场预设洁净区域，并搭建洁净空间；
（2）对施工用器材进行复验，并对所有器材进行防污染密封封存；
（3）在洁净空间内对管道进行分单元洁净式密闭加工，且加工完成立即密封管口；
（4）安装输送管道，并在安装过程中和作业间隙期间持续通入保护气体；
（5）按照等离子体加水洗处理系统的结构安装尾气管道；
（6）安装气体装置，并采用径向面密封连接方式进行管道、气体装置的连接；
（7）分别进行静电接地和室外防雷电感应接地系统安装；
（8）分别进行压力检测、氦质谱检漏、水分检测、洁净度检测和氧份检测，直到全部合格；
（9）进行尾气处理测试，直到合格。
进一步地，所述步骤（1）中，用防静电厚塑料膜围护形成洁净区域；采用FFU或高效过滤器及低压风机用风管连通，设置调节阀，完成上送风、下侧四周排风的空调系统，并保持洁净区域室内始终处于正压状态。
进一步地，所述步骤（2）中，首先采用双层薄膜袋包装密封所有施工用器材，并使用塑料密封套封闭管材端面，然后在洁净区域采用便携式金属光谱分析仪检验施工用器材的强度、密闭性、不纯物及化学晶间腐蚀，合格者保存于洁净区域待用。
进一步地，所述步骤（3）中，首先进行管口加工:拆开管材的双层薄膜袋和塑料密封套，立即沿介质流向向管材内持续通入氮气，同时对管材进行切口，再使用倒角器去除管口毛刺，然后立即用无水酒精清洗管口，再用高纯氮气冲吹管芯直到无可见物，最后用密封帽密封管材两端；
然后进行弯管加工：采用弯管器弯制小管径弯管；制作双层弯管时，先在内外管间套不锈钢螺纹圈支撑，再使用橡胶材料制作弯管装置加工轮，最后使用弯管装置进行弯管。
再进一步地，所述步骤（4）中，进行管道焊接之前，按照通气量逐渐减小的方式向管道内通入高纯氩气吹扫至少2分钟，然后焊接管道，焊接过程中持续通入高纯氩气，焊接完成之后再按照通气量逐渐增加的方式向管道内通入高纯氩气吹扫至少60分钟，然后用密封帽密封管道端口。
优选地，所述步骤（4）中，对于预制的双层管道，先在每个焊接接头位置增加短套管，然后进行焊接组装，同时在双层管道支架套上定制不锈钢螺纹圈支撑，并在管道安装焊接过程中，持续通入高纯氮气进行吹扫。
再进一步地，所述步骤（5）中，将管道用KF快卸卡钳法兰辅以弹性橡胶密封圈连接，并通过管道接入尾气处理装置。该尾气处理装置具体地说包括酸雾洗涤塔和真空泵。
再进一步地，所述步骤（6）中，使用不锈钢支撑架固定阀门和仪表，采用喷塑型钢制作气瓶阀门与箱盘于一体的支座，在支座与管道之间设置树脂马鞍型或门字型隔离垫，或者不锈钢垫片，同时在安装过程中用红外线垂准仪调节阀门箱盘的垂直度偏差。
优选地，所述步骤（6）中，首先用过滤器辅以高纯氮气吹扫快速接头，然后在O型密封圈上添加润滑剂，采用径向面密封方式辅以柔性镍合金垫片进行仪器、管件的连接。
更进一步地，在进行所述步骤（7）之前，对安装好的管路根据不同的气体、危害性和流向进行标示。
本发明主要采用设置洁净施工区域，对系统设备及连接阀件采用真空密封连接，对管道通以高纯氮气吹扫，确保系统达到洁净要求，采用等离子水洗处理尾气，结合KF真空卡钳式管道连接，以满足尾气处理管道快速拆卸的使用特点；采用支吊架系统、仪表阀门支撑件并设置金属垫片，保证输送管道的稳定性；再配合预设的计算机控制系统完成特种气体的输送控制，有效保证了系统运行的安全性和稳定性。
与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：
（1）本发明在管道焊接过程中通过不间断通入高纯氮气，有效避免了管道氧化，确保了管道的焊接质量；而径向面密封、柔性金属垫片与橡胶密封圈的配合，则不仅大大提高了管件之间的密封性，还防止了管道的变形泄露。
（2）本发明对所有管件、仪表、设备均设置有相应的支架，并通过树脂马鞍形、门字型隔离垫及不锈钢垫片进行保护，不仅保证了安装过程的便利性，提高了安装效率，还提高了系统运行过程中的稳定性。
（3）本发明采用KF真空卡钳式法兰进行尾气处理管道连接，有效解决特种气体尾气回收处理管道反复快速拆装使用要求，进一步保证了回收系统运行的安全性和稳定性。
（4）本发明中整个施工过程全部在洁净区域完成，并配置有完善的净化空调系统，在管件的焊接前后还通过保护气体进行预处理和收尾吹扫，使得整个施工过程完全无污染，有效地防止了管件腐蚀，保证了系统的运行寿命，降低了后续维护工作量和维护成本。
（5）本发明有效解决了特种气体输送系统中管道与设备连接、管道金属腐蚀、尾气处理、管道安装等工艺中的技术难题，与现有技术相比，具有明显的技术优势，技术效果十分显著。
附图说明
图1为本发明的施工工艺流程示意图。
图2为本发明中马鞍型隔离垫的结构示意图。
图3为本发明中门字型隔离垫的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明，本发明的实施方式包括但不限于下列实施例。
实施例
如图1所示，本发明主要包括以下几个步骤：施工准备、设置洁净区域、管道加工、管道安装、气体装置安装、管道与气体装置连接、接地系统安装、系统性能检测和计算机控制系统调试。下面对上述步骤一一详述。
（一）施工准备
根据半导体制程气体的不同特性，相应的气柜、阀门箱盘、管件、阀门必须在定点厂家进行采购并采用密封包装。采用便携式金属光谱分析仪对管道、管件、阀门进行抽样复验，检测强度、密闭性、不纯物及化学晶间腐蚀等相关参数，材料经检验合格后才能投入施工。所有材料应有双层薄膜包装，保证材料从接收开始，不受到污染。外包装完好情况的检查，在非洁净区进行，但在折除外包装后应立即搬入洁净厂房或预制加工洁净房内；内包装的开封必须在洁净室或预制加工洁净房内进行，以确保材料不受污染。检查完成后，对暂不用的材料应立即重新用双层薄膜袋包装密封，并置于洁净区妥善保管。
（二）设置洁净区域
在现场用防静电厚塑料膜围护成洁净区域，防静电厚塑料膜以0.3mm厚为宜，并采用FFU或高效过滤器及低压风机用风管连通，设置调节阀，完成上送风、下侧四周排风的空调系统，保持洁净空间室内正压，。室内配以充足的照明，为确保管件洁净度，人员进入洁净室必须穿戴洁净服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。洁净室内设专用吸尘器，作业中如产生尘埃，应彻底清扫，作业完后全面清扫。
（三）管道加工
管道加工人员必须戴好洁净PVC手套，不得触摸内层316L EP管内壁，防止碳氢化合物污染。准备足够量的不同规格的端面密封盖，在管道加工完成后及时用管帽封堵。采用自动安平水准仪、铅垂仪对室外管道进行精确测量，分单元加工预制。管道加工包括管口加工和弯管加工。
（1）管口加工
管口的加工是管道安装的关键，管道切割、预制应在洁净区域内进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。管道在取掉两层塑料薄膜外包装后，取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。对于小管径（φ6～12.7mm）不锈钢管使用管子割刀；大管径（大于φ12.7m）不锈钢管先采用专用固定夹具固定，再使用不锈钢切管机进行切断。管件切割及其端面处理时，顺介质流向冲放高纯氮气以保持管内的洁净度。
管件断面加工使用专用端面平口机，加工后的管端面应与其轴线垂直，加工面光滑、无毛刺，若管内口有毛刺，则使用倒角器除去，并保持洁净。加工完成后，迅速用无水酒精清洗加工部位，污染严重时可用丙酮。再在管件的末端安装5μ过滤器，用高纯氮气向管件内冲吹至少1分钟，然后拆解过滤器，观察过滤器的滤芯迎风面是否存在可见物，若存在可见物，则再安装至管件上，重新用高纯氮气冲吹，并延长冲吹时间，如此反复直到过滤器的滤芯迎风面上无可见物。最后，将管件的两端用洁净密封帽封密保护。
（2）弯管加工
小管径配管（φ6～12.7mm）使用专用的弯管器弯制，但对现场上升、下降管道弯曲困难的地方仍应采用成品弯头。口径大于φ12.7mm的配管，直接采用成品弯头。
在制作特殊双层管道的弯头时，首先在内外管间套上316LEP不锈钢弹簧圈，作为内外管传力物，然后采用专用弯管装置进行弯头制作。
所述专用弯管装置采用专利号ZL201020299284.6所示的技术，且弯管装置加工轮采用橡胶材料制作，以避免加工过程中损伤管壁，同时确保弯管过程中内外管的真圆度。
（四）管道安装
管道安装涉及焊接保护气体供给、管道焊接准备和管道安装几个环节，而管道安装具体又分为双层管道安装、室外管道安装、管道支架安装和尾气管道安装。
其中，焊接保护气体供给选择高纯氩气，其纯度指标不得低于管道系统要求的纯度，氩气的供给采用低温液化气容器或高压瓶装氩气。
在供给联箱上安装湿分计，以确认、记录气体的供给纯度。保护气体供给开始后，保持连续通气，以确保配管内的纯度。在焊接前，先采用逐渐减少的方式向管件内通入高纯氩气至少2分钟，在焊接完成后，按照逐渐增加的方式持续通入高纯氩气至少60分钟，而在焊接过程中，也需要持续通入高纯氩气。并且，如果在焊接作业过程中中断作业，比如夜间休息期间，也需要持续通入高纯氩气，通入量可保持为焊接过程中高纯氩气量的1/4。
具体地说，在焊接前应先制作焊接样本，早上开始时制作一块样本，中午休息后继续焊接时需再制作一块样本，然后再下列情况之一时需再制作样本：
a) 改变管材的炉号；
b) 改变管材的尺寸；
c) 焊接机台断电的时候；
d) 焊把更换或焊接途中焊接机数据的更改；
e) 钨极的更换。
制作好的样本填写焊接记录表，需写上日期、系统、焊接者ID No.、CI、CM或CO、管材等级。
在开始焊接系统前，先由另一组人员做点焊固定工作，点焊时也需接入高纯氩气冲吹，以防止管件氧化。
具体地说，点焊固定的管件，在焊接时需用高纯氩气充分的冲吹内管，流量控制在2L/min～15L/min，焊接前先调好管内与焊把的气体流量。连接冲吹内管的气体管线采用EP级管件。
焊接组对过程中，通过不锈钢辅助外对口器对管道进行固定，将卡管套初步安装在一个工作管件上，调正，然后将另一个工作管件的管口放入卡管套的扩口段，调整对管管口的间隙，紧固粗调螺母，检查两个工作管件的相对标高、坐标，再精细调整微调螺母，完成定位焊接。
焊接完成后，在每一口焊道上注明时间、日期、焊接者的编号及焊道的编号。在现场连接好的管路系统须保持不断地冲吹状态。作业中若焊接失败，要做切管动作时，必须两端都接有气体冲吹才可施行切管动作。切下来的管件，须做端面处理时必须用气体冲吹，避免铁屑掉进管内或阀件，以免刮伤管内光亮的表面和阀件弥合的损坏。焊接所适用的冲吹管线接头须适用卡套连接的接头，调压阀选用针阀。
管段焊接完成后，立即加盖密封管帽，减少管内尘埃污染。
对于双层管道的安装，首先在每个焊接接头位置增加短套管，然后在双层管道支架套上安装不锈钢专用螺纹圈支架，然后进行焊接组装，如此可确保焊缝位置的密闭性。在双层管道安装焊接施工过程中，连续通以高纯氮气进行吹扫，确保管道内部的洁净度。
对于室外管道的安装，在预制前已根据精确测量，并分单元分段编号制作。安装中采用碳钢喷塑管道支架结合不锈钢垫片隔离，管道管卡采用不锈钢管卡。在管道穿墙部位设置预制不锈钢套管填充防火材料，墙两侧采直径100mm×1.0mm厚不锈钢板封堵。
对于管道支架的安装，在支架与管道之间设置马鞍型或门字型树脂薄板进行隔离，防止因渗碳和电位差而引起管道腐蚀。不锈钢管穿墙或楼板时，均应加装套管，套管与管道之间的间隙不小于10mm，套管部位双层管应避免焊缝，并在空隙里面填加石棉绳绝缘物。
对于单一管道，本发明采用专利号ZL201220049463.3的可调L型丝卡接进行连接，在施工安装过程种可以方便快速的与内丝膨胀螺栓、通丝螺杆和管卡组成一套完整的吊架。
对于尾气管道的安装，为了满足尾气处理管道经常拆卸清洗的使用需求，本发明采用等离子体加水洗处理系统作为尾气管道系统，管件中接入酸雾洗涤塔和真空泵，并采用KF快卸卡钳法兰连接各管件。KF快卸卡钳法兰采用弹性橡胶密封圈密封，当螺栓旋紧的时候，外面的卡钳会向里收紧，使两边的法兰压紧，弹性橡胶密封圈会压缩变形进而起到密封的作用。如此，管道安装效果便可稳定、安全、耐用。
（五）气体装置安装以及与管道的连接
在本技术中，气体装置主要包括气瓶柜、阀门箱盘、尾气处理装置等。其中，尾气处理装置的安装基础必须坚固平整，设备的水平度不得大于3‰。气瓶柜的顶部设置抽风口，柜门下方设置可调空气过滤网进风口，由气瓶引出的管路和阀件接口用专用管帽和堵头进行封堵。阀门、仪表的安装通过不锈钢支撑架进行固定，并在面板上进行标示。阀门箱盘的支座采用喷塑型钢进行制作，在制作安装过程中采用红外线垂准仪将垂直度偏差在1.5‰以内，对成列盘面偏差控制在5mm以内。
气体装置安装好之后，需要与管道进行连接。对于输送易燃、剧毒特殊气体的管道，其与阀门、仪表及设备连接采用径向面密封连接，金属垫片采用柔性镍合金垫片。在使用快速接头前，先通入高纯氮气用过滤器进行吹冲过滤，而断开的管体和管件在使用前应安装防尘保护罩，在连接或断开的过程中保持管体和管接头件在一条直线上，以防止用力过大导致的变形泄漏，连接时在O型密封圈上添加特制润滑剂，确保接头的密闭性。
（六）管道标示
安装好的管路应以不同颜色、字体等标识气体名称、主要危险特性和流向，
标识的描述、顺序和间距可根据实际情况进行调整，描述宜为内容物化学分子式、中文名、主要危险特性、流动方向。
（七）接地系统安装
本发明中，输送系统接地包括静电接地和室外防雷电感应接地。对于室内管道及装置，将设备与管道的接地端子采用不锈钢通丝螺杆支座紧固连接，并连接到接地扁铁，在管道法兰位置采用不锈钢双卡环跨接。对于室外管道，每25m接地一次，使接地电阻小于20Ω。
（八）系统性能检测
系统性能检测主要用于判断管道焊接以及仪表、设备的安装是否到位，安全性能是否达标。系统性能测试主要包括以下几个方面：
（1）压力测试
测试介质除危险、易燃气体管道（如氧气、氢气）采用高纯氮气外，其它介质管道（如氮气、氩气、干燥空气等）可用系统供给气体或高纯氮气进行试验。测试开始之前，在图纸上标出要进行压力测试的管路，保压计应该位于调压阀的进气口一侧，并且经调压阀出去的压力应该大于测试的压力。对不同的气体单独测试，封闭设备接头，共同串联试压一次。
让保压计与系统的隔离阀处于“关闭”状态，将保压计的管线支路压力增加到 20 PSIG，打开隔离阀，每次增加10PSIG，缓慢的将系统压力增加到最终测试压力的50%，观察保压计10到15分钟，检查系统有无泄漏。如保压计显示系统有泄漏，则减小系统压力并处理漏点。重复上述操作，确认系统无任何泄漏后，逐渐增加系统压力到测试值，断开气源，最少观察压力表30分钟，检查系统有无泄漏。
测试时间持续24小时，测试压力不能小于设计压力的1.5倍，经温度纠正后的允许压力降为不大于开始压力的1%。
压力变化公式
P2=测试结束压力值 (PSIG)
P1=测试开始压力值(PSIG)
T2=测试结束温度值 (℃)
T1=测试开始温度值(℃)
Pta=考虑到温度影响的压力变化值
测试完成后将系统的压力释放，在进行氦测漏之前用纯化气体对系统进行持续吹扫。重新连接已经拆卸的系统配件时，必须使用新的垫片，并且一次配管路至少观察压力表30分钟，保证系统充满压力时连接点无泄漏。将压力测试用的管线拆除，用堵头来密封系统并使用新的垫片。在将漏点隔离和修复之后，需重复测试。
（2）喷吹法氦质谱检漏
利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量氦气来实现测漏，并根据检测到的氦气量来确定漏率。
系统通过压力检测后，释放系统内的气体，打开测漏仪阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，测漏仪漏率低于1×10-9 mbar.l/s后，对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。对于双层管路系统的外管，只有在内管安装完毕并经检测合格后才能焊接。
（3）水分检测
管路系统要先经过密闭性检测和连续吹扫一段时间后在才能进行露点分析测试。
测试时，安装过滤器，保持空压机正常运转，气体供应充足，测试时管道保证压力在0.3MPa～0.8MPa之间，在管道洁净度合格的前提下，取样气体流量应在0.5-5L/min测试管道气体露点。
（4）管道洁净度检测
将经过过滤的纯净气体接入测试管路中，调节流量，确保流量不超过过滤器的额定流量，确保待测系统中的阀门和调压阀处在开启位置。检查系统内的气体流速，确保系统流量符合微粒测试的最小速度要求。选取各系统中最不利的用气点进行测试，或用尘埃粒子计数器连接气体管道采样。
尘埃粒子计数器进行在线监测测量，当观察到读数满足要求并稳定一段时间之后，即停止测试。尘埃粒子测量在连续十个周期合格之后停止测量，每个测试周期为一分钟。
（5）氧份检测
连接示踪气体至微氧分析仪，调整气体压力在10-60psig之间，连接到管路测试区段最上游处的取样阀，自管路测试区段最下游处的取样阀连接样本管线至微氧分析仪调整气体压力在10-60psig之间，待仪器读值稳定合格。
上述系统性能检测所用的仪器、设备均为现有技术，本文不再详细说明。
（九）计算机控制系统调试
数据采集与监视控制系统，简称SCADA，为常规技术，通过该系统，可以对现场运行的设备进行监视和控制，实现数据采集、设备控制、测量等功能。
SCADA系统的控制室和操作室的要求高于常规仪表的中控室，它对室内温度、湿度、清洁度都有严格的要求。在安装前对控制室和操作室的土建、安装、电气、装修工程进行检查，确保符合设计要求。启用空调，并配备吸尘器。其环境温度、湿度、照度以及空气的净化程度必须符合SCADA系统运行条件，才可开箱安装。
机、柜、盘的安装顺序与常规仪表箱安装顺序相同，并配置槽钢底座。SCADA系统控制室通常有500mm左右的防静电、防潮地板，因此底座的高度要保证其稳定性和强度。槽钢底座要磨平，消除毛刺和棱角，应有效除锈和作好防腐处理；然后再用焊接法(有预埋铁)或用膨胀螺栓固定在地板上。盘、柜、操作台用M10螺栓固定在槽钢底座上。
（十）尾气处理测试
在系统性能测试合格之后，向尾气处理端输送部分高危半导体制程气体，检验其处理效率，确保尾气处理排放符合要求。
至此，整个管道安装施工完毕，之后可正式投入使用。
上述实施例仅为本发明的优选实施例，并非对本发明保护范围的限制，但凡采用本发明的设计原理，以及在此基础上进行非创造性劳动而作出的变化，均应属于本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，包括以下步骤：
（1）在施工现场预设洁净区域，并搭建洁净空间；
（2）对施工用器材进行复验，并对所有器材进行防污染密封封存；
（3）在洁净空间内对管道进行分单元洁净式密闭加工，且加工完成立即密封管口；
（4）安装输送管道，并在安装过程中和作业间隙期间持续通入保护气体；
（5）按照等离子体加水洗处理系统的结构安装尾气管道；
（6）安装气体装置，并采用径向面密封连接方式进行管道、气体装置的连接；
（7）分别进行静电接地和室外防雷电感应接地系统安装；
（8）分别进行压力检测、氦质谱检漏、水分检测、洁净度检测和氧份检测，直到全部合格；
（9）进行尾气处理测试，直到合格。
2.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（1）中，用防静电厚塑料膜围护形成洁净区域；采用FFU或高效过滤器及低压风机用风管连通，设置调节阀，完成上送风、下侧四周排风的空调系统，并保持洁净区域室内始终处于正压状态。
3.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（2）中，首先采用双层薄膜袋包装密封所有施工用器材，并使用塑料密封套封闭管材端面，然后在洁净区域采用便携式金属光谱分析仪检验施工用器材的强度、密闭性、不纯物及化学晶间腐蚀，合格者保存于洁净区域待用。
4.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（3）中，
首先进行管口加工:
拆开管材的双层薄膜袋和塑料密封套，立即沿介质流向向管材内持续通入高纯氮气，同时对管材进行切口，再使用倒角器去除管口毛刺，然后立即用无水酒精清洗管口，再用高纯氮气冲吹管芯直到无可见物，最后用密封帽密封管材两端；
然后进行弯管加工：
采用弯管器弯制小管径弯管；制作双层弯管时，先在内外管间套不锈钢螺纹圈支撑，再使用橡胶材料制作弯管装置加工轮，最后使用弯管装置进行弯管。
5.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（4）中，进行管道焊接之前，按照通气量逐渐减小的方式向管道内通入高纯氩气吹扫至少2分钟，然后焊接管道，焊接过程中持续通入高纯氩气，焊接完成之后再按照通气量逐渐增加的方式向管道内通入高纯氩气吹扫至少60分钟，然后用密封帽密封管道端口。
6.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（4）中，对于预制的双层管道，先在每个焊接接头位置增加短套管，然后进行焊接组装，同时在双层管道之间间隔套上定制不锈钢螺纹圈支架，并在管道安装焊接过程中，持续通入高纯氮气进行吹扫。
7.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（5）中，将管道用KF快卸卡钳法兰辅以弹性橡胶密封圈连接，并通过管道接入尾气处理装置。
8.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（6）中，使用不锈钢支撑架固定阀门和仪表，采用喷塑型钢制作气瓶阀门与箱盘于一体的支座，在支座与管道之间设置树脂马鞍型或门字型隔离垫，同时在安装过程中用红外线垂准仪调节阀门箱盘的垂直度偏差。
9.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，所述步骤（6）中，首先用过滤器辅以高纯氮气吹扫快速接头，然后在O型密封圈上添加润滑剂，采用径向面密封方式辅以柔性镍合金垫片进行仪器、管件的连接。
10.根据权利要求1所述的半导体制程气体输送管道安装施工方法,其特征在于，在进行所述步骤（7）之前，对安装好的管路根据不同的气体、危害性和流向进行标示。
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