一种二氧化铌的制备方法及其所制得的产品
技术领域
本发明属于稀有金属新材料生产技术领域,具体涉及一种黑色粒状二氧化铌颗粒的生产方法及所制得的产品。
背景技术
低价氧化铌(二氧化铌,NbO2)是生产氧化铌旋转靶材的原材料。一直以来,市场上销售的低价氧化铌(NbO2)都是灰色细粉末状。由于其为细粉末状,流动性差,使得在用该产品制备旋转靶材的过程中,原料的利用率低,大约仅有30%左右,下游用户难以接受。
因此,亟需为国内外用户提供低成本、高质量的溅射二氧化铌旋转靶材原料。
发明内容
本发明的目的是提供一种黑色粒状二氧化铌(NbO2)颗粒产品及其制备方法,该氧化铌粒度在-100目~+300目之间,流动性在20s/50g~60s/50g之间,该产品作为制备旋转靶材的原料,利用率可达到95%左右。
为达到上述目的,本发明提供了一种二氧化铌的制备方法,其中,该方法包含如下步骤:
步骤1,采用五氧化二铌为原料,与粘结剂均匀混合;
步骤2,将混合均匀的五氧化二铌原料压结成块;
步骤3,制粒:将压好的料块进行破碎成颗粒;
步骤4,制粒后的五氧化二铌装入高温真空炉烧结脱氧,使得五氧化二铌变成黑色低价的二氧化铌;
步骤5,把二氧化铌用对磙机进行对磙;
步骤6,将对磙后的颗粒,分筛得到不同目数的黑色粒状二氧化铌颗粒,其目数分别控制为-100目~+180目、-180目~+250、-250目~+300;
步骤7,将不同目数的黑色粒状二氧化铌颗粒按以下重量百分比混合:-100目~+180目为30±2%,-180目~+250目为50±1%,-250目~+300目为20±1%,得到黑色粒状二氧化铌颗粒。
上述的制备方法,其中,步骤7中,不同目数的黑色粒状二氧化铌颗粒按以下重量百分比混合:-100目~+180目为30%,-180目~+250目为50%,-250目~+300目为20%。
上述的制备方法,其中,步骤1中,所述的五氧化二铌原料的纯度大于99.9%。
上述的制备方法,其中,步骤1中,所述的粘结剂为3%的聚乙烯醇溶液。
上述的制备方法,其中,步骤1中,五氧化二铌原料:粘结剂的重量体积比为4.9~5.1:0.9~1.1,优选为5:1。
上述的制备方法,其中,步骤2中,压结成型的压力控制在18±0.5MP/cm2;优选为18MP/cm2。
上述的制备方法,其中,步骤3中,颗粒控制在40目~20目之间。
上述的制备方法,其中,步骤4中,烧结脱氧温度控制为1180~1220℃,优选为1200℃;烧结时间为7~8小时,其中升温时间为3.5~4.5小时,余下为保温时间。
上述的制备方法,其中,步骤6中,采用振动筛进行筛分。
本发明还提供了一种采用上述方法所制得的产品,该产品为黑色粒状二氧化铌颗粒,粒度在-100目~+300目之间,流动性在20s/50g~60s/50g之间。
本发明采用氧化铌经过调配、混合、成型制粒、真空烧结、对磙、分筛等工序生产出合格产品。本发明制备的黑色粒状低价氧化铌颗粒,其粒度在-100目~+300目之间,流动性在20s/50g~60s/50g之间,晶粒细小,具有适宜的流动性(细粉末状或晶粒过大,会使产品的流动性过低或过高,都会降低其利用率),很好地解决了靶材制备过程中原材料利用率低的问题,利用率由原来的30%提高到95%以上,得到用户肯定。
具体实施方式
以下结合实施例对本发明的技术方案作进一步的说明。
实施例1
1、取10kg纯度大于99.9%以上的五氧化二铌(Nb2O5),以及3%的聚乙烯醇溶液2L。
2、将所述五氧化二铌和聚乙烯醇溶液在混料机里充分混合2小时。
3、将混合均匀的五氧化二铌原料压结成块,使用压力机提供压力,压力控制在18MP/cm2,使密度发生改变。
4、将压好的五氧化二铌原料块进行破碎成颗粒,颗粒控制在40目~20目之间。
5、将造粒后的氧化铌颗粒装入高温真空炉里进行真空烧结(温度为1200℃),使其脱氧后由五氧化二铌(Nb2O5)变成二氧化铌(NbO2)。
6、把高温真空烧结好的二氧化铌颗粒用对磙机进行对磙。
7、对磙后再用振动筛进行分层,得到不同目数的黑色二氧化铌颗粒,取-100目~+180目为一组、-180目~+250为一组、-250目~+300为一组。
8、按照如下重量百分比取所述不同粒径的黑色二氧化铌颗粒:
-100目~+180目为30%,-180目~+250目为50%,-250目~+300目为20%。
9、混合均匀,取样分析:粒度在-100目~+300目之间;采用漏斗法检测流动性,流动性:38s/50g。
10、分析检测合格后,进行真空包装入库。
将本实施例制得的二氧化铌用作靶材制备过程中原材料,利用率为96.5%
实施例2
1、取100kg纯度为99.9%以上的五氧化二铌(Nb2O5),以及3%聚乙烯醇溶液20L。
2、将所述五氧化二铌和聚乙烯醇溶液在混料机里充分混合3小时。
3、将混合均匀的五氧化二铌原料压结成块,使用压力机提供压力,压力控制在20MP/cm2,使密度发生改变。
4、将压好的料块进行破碎成颗粒,颗粒控制在40目~20目之间。
5、将造粒后的五氧化二铌颗粒装入高温真空炉里进行真空烧结(温度为1200℃),使其脱氧后由五氧化二妮(Nb2O5)变成二氧化铌(NbO2)。
6、把高温真空烧结好的二氧化铌颗粒用对磙机进行对磙。
7、对磙后再用振动筛进行分层,得到不同目数的黑色二氧化铌颗粒,取-100目~+180目为一组;-180目~+250目为一组;-250目~+320目为。
8、按照如下重量百分比取所述不同粒径的黑色二氧化铌颗粒:
-100目~+180目为30%,-180目~+250目为50%,-250目~+300目为20%。
9、混合均匀,取样分析:粒度在-100目~+300目;采用漏斗法检测流动性,流动性:40s/50g。
10、分析检测合格后,进行真空包装入库。
将本实施例制得的二氧化铌用作靶材制备过程中原材料,利用率为95.9%。
本发明选用纯度为99.9%以上的五氧化二铌(Nb2O5)作为原材料,在现有工艺上,对其部分工艺步骤进行优化改进,尤其在成型制粒、烧结、对滚、分筛等方面进行控制和调整,提高产品的技术指标,使其流动性达到20s/50g~60s/50g之间,以此为原料制备的溅射靶材,利用率在95%。
尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍,但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后,对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此,本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。