CN103556121A - 钼铌10靶材的制备方法 - Google Patents

Abstract

提供一种钼铌10靶材的制备方法，首先将钼粉和均分为三个小份铌粉，然后将三个小份的钼粉和三个小份的铌粉分别两两混合得三份钼铌混合粉，然后将三份钼铌混合粉分别放入真空混料机中进行48小时混料得到三份混合粉料；再将将三份混合粉料混合为一体，在真空混料机中再次进行48小时混料并过筛得钼铌混合粉料；将钼铌混合粉料通过冷等静压成型为锭坯，整形后再放入热等压机内压制，压力230MPa，温度1400℃，保温4小时，制成合金锭坯；最后将合金锭坯机加工成靶材成品即可。采用本发明生产钼铌合金锭坯，加工周期短、成品率高且成本低，而且生产出的合金锭坯致密性好，具有很高的实用价值。

Description

钼铌10靶材的制备方法

技术领域

本发明属金属材料制备技术领域，具体涉及一种钼铌10靶材的制备方法

背景技术

传统的鉬铌10靶材加工工艺，首先进行混料，然后成型，经过等静压压成合金坯，进入高温中频炉在氢气保护下烧结，烧结的温度分为三个温区：0-800℃、800-1600℃、1600-2000℃，每个温区至少要烧结3小时，最终烧成合金坯状，接着进行锻造和轧制，经过1200-1400℃高温锻造致密后，进入高温炉1500-1600℃的加热温度进行轧制成备料规格的板材，最后进行精加工，经过切割、精磨、机加成为钽10钨靶材成品。上述方法不仅加工周期长，而且制成的坯料的密度低，高温烧结时热变形严重，造成成品率较低，因此有必要进行改进。

发明内容

本发明解决的技术问题：提供一种加工周期短、成品率高且成本低的钼铌10靶材的制备方法。

本发明采用的技术方案：钼铌10靶材的制备方法，包含下述步骤：

1）取重量份90的钼粉和重量份10的铌粉，然后将钼粉和铌粉均分为三个小份；

2）将三个小份的钼粉和三个小份的铌粉分别两两混合得三份钼铌混合粉，然后将三份钼铌混合粉分别放入真空混料机中进行48小时混料得到三份混合粉料；

3）将三份混合粉料混合为一体，在真空混料机中再次进行48小时混料并过筛得钼铌混合粉料；

4）将钼铌混合粉料通过冷等静压成型为锭坯，整形后再放入热等压机内压制，压力230MPa，温度1400℃，保温4小时，制成合金锭坯；

5）将合金锭坯机加工成靶材成品。

本发明与现有技术相比加工周期短、成品率高且成本低，而且生产出的合金锭坯致密性好，具有很高的实用价值。

具体实施方式

下面描述本发明的一种实施例：钼铌10靶材的制备方法，包含下述步骤：

1）取重量份90的钼粉和重量份10的铌粉，然后将钼粉和铌粉均分为三个小份；

2）将三个小份的钼粉和三个小份的铌粉分别两两混合得三份钼铌混合粉，然后将三份钼铌混合粉分别放入真空混料机中进行48小时混料得到三份混合粉料；

3）将三份混合粉料混合为一体，在真空混料机中再次进行48小时混料并过筛得钼铌混合粉料；

4）将钼铌混合粉料通过冷等静压成型为锭坯，整形后再放入热等压机内压制，压力230MPa，温度1400℃，保温4小时，制成合金锭坯；

5）将合金锭坯机加工成靶材成品。

上述实施例，只是本发明的较佳实施例，并非用来限制本发明实施范围，故凡以本发明权利要求所述内容所做的等效变化，均应包括在本发明权利要求范围之内。

Claims (1)

1.钼铌10靶材的制备方法，其特征在于包含下述步骤：

1）取重量份90的钼粉和重量份10的铌粉，然后将钼粉和铌粉均分为三个小份；

2）将三个小份的钼粉和三个小份的铌粉分别两两混合得三份钼铌混合粉，然后将三份钼铌混合粉分别放入真空混料机中进行48小时混料得到三份混合粉料；

3）将三份混合粉料混合为一体，在真空混料机中再次进行48小时混料并过筛得钼铌混合粉料；

4）将钼铌混合粉料通过冷等静压成型为锭坯，整形后再放入热等压机内压制，压力230MPa，温度1400℃，保温4小时，制成合金锭坯；

5）将合金锭坯机加工成靶材成品。