CN104409384B

CN104409384B - 晶圆贴膜装置

Info

Publication number: CN104409384B
Application number: CN201410559461.2A
Authority: CN
Inventors: 刘永丰
Original assignee: SHANGHAI JIMEI ELECTRNIC TECHNOLOGY CO LTD
Current assignee: SHANGHAI JIMEI ELECTRNIC TECHNOLOGY CO LTD
Priority date: 2014-10-20
Filing date: 2014-10-20
Publication date: 2017-06-09
Anticipated expiration: 2034-10-20
Also published as: CN104409384A

Abstract

本发明公开了一种晶圆贴膜装置，其特征在于，包括：第一固定装置，所述第一固定装置可左右移动地设置；第二固定装置，所述第二固定装置可左右移动地设置；所述第二固定装置与所述第一固定装置其中之一或两者左右运动时相互靠近及远离；所述第一固定装置与所述第二固定装置用于共同夹持一片薄膜；抵压装置，所述抵压装置左右移动地设置；所述抵压装置随所述第一固定装置或第二固定装置左右移动时可抵压薄膜，使薄膜粘贴在晶圆上。本发明中的晶圆贴膜装置，可实现贴膜工艺的全自动化，大大提高了贴膜效率和贴膜稳定性，贴膜效果也同样得到了改善。

Description

晶圆贴膜装置

技术领域

本发明涉及一种晶圆贴膜装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，通常将具有电路元件结构的面称为正面，与之相对的面即称为背面。在晶圆加工过程中，为了各种用途常需要在晶圆的正面或背面贴附薄膜。需求不同，晶圆表面需要覆盖薄膜的区域形状、面积也不相同。

传统的贴膜工艺，薄膜成卷地设置，薄膜卷旋转后不断放出薄膜，薄膜的面积大于晶圆的面积。如图1所示，将薄膜贴附在晶圆表面后，手持或者利用机械手夹持刀片01沿晶圆02的边缘切割薄膜，将超出晶圆的多余薄膜切除，从而完成在晶圆表面贴膜的工艺。对于图1中所示的晶圆02，其贴膜面03与侧壁04的交接处呈圆弧形(或呈钝角)，刀片01沿晶圆02边缘切割薄膜时不会对晶圆02造成损坏。然后，当如图2所示晶圆02的贴膜面03与其侧壁04的交接处为锐角时，刀片01沿晶圆02边缘切割薄膜，极易造成晶圆02崩裂，导致晶圆破损或报废。

另一方面，上述贴膜工艺，刀片的切割路径不能落在晶圆02表面，仅能沿晶圆02的边缘切割薄膜，否者会划伤晶圆02，使晶圆破损或报废。所以通过上述贴膜方法在晶圆02表面贴附的薄膜尺寸与晶圆相同或者大于晶圆。而在实际使用过程中，薄膜不需要完全覆盖晶圆，在晶圆边缘处沿晶圆径向可有一定长度的晶圆不需要贴膜。但由于现有贴膜方法，只能先贴膜在切膜，无法使贴附的薄膜尺寸小于晶圆，薄膜的宽度及长度必须大于晶圆的直径，造成材料的大量浪费。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种效率高的晶圆贴膜装置。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案实现：

晶圆贴膜装置，其特征在于，包括：

第一固定装置，所述第一固定装置可左右移动地设置；

第二固定装置，所述第二固定装置可左右移动地设置；所述第二固定装置与所述第一固定装置其中之一或两者左右运动时相互靠近及远离；所述第一固定装置与所述第二固定装置用于共同夹持一片薄膜；

抵压装置，所述抵压装置左右移动地设置；所述抵压装置随所述第一固定装置或第二固定装置左右移动时可抵压薄膜，使薄膜粘贴在晶圆上。

优选地是，所述第一固定装置与所述第二固定装置两者之一或者两者可翻转地设置；所述第一固定装置或所述第二固定装置翻转后倾斜。

优选地是，所述第一固定装置与所述第二固定装置均可翻转地设置；所述第一固定装置与所述第二固定装置的翻转轴线相互靠近。

优选地是，还包括第一支架；所述第一固定装置通过第一转轴可翻转地安装于第一支架上；所述第一支架上安装有第一驱动装置，所述第一驱动装置驱动所述第一固定装置翻转或者通过第一传动装置驱动所述第一固定装置翻转；所述第二固定装置通过第二转轴可翻转地安装于第一支架上；所述第一支架上安装有第二驱动装置，所述第二驱动装置驱动所述第二固定装置翻转或者通过第二传动装置驱动所述第二固定装置翻转。

优选地是，所述第一传动装置包括相配合的第一导向杆和第一滑块；所述第一导向杆安装在第一固定装置上；所述第一滑块可沿第一导向杆移动地设置在第一导向杆上；所述第一驱动装置与所述第一滑块连接。

优选地是，所述第二传动装置包括相配合的第二导向杆和第二滑块；所述第二导向杆安装在第一固定装置上；所述第二滑块可沿第二导向杆移动地设置在第二导向杆上；所述第二驱动装置与所述第二滑块连接。

优选地是，所述第一驱动装置为第一气缸，所述第一气缸的第一活塞杆与所述第一固定装置连接，所述第一活塞杆伸缩时驱动所述第一固定装置绕所述第一转轴翻转；所述第二驱动装置为第二气缸，所述第二气缸的第二活塞杆与所述第二固定装置连接，所述第二活塞杆伸缩时驱动所述第二固定装置绕所述第二转轴翻转。

优选地是，所述第一固定装置包括第一吸附板；所述第一吸附板下表面设置有第一吸附开口，所述第一吸附开口与抽真空装置连通；所述抽真空装置通过所述第一吸附开口将薄膜吸附在第一吸附板上。

优选地是，，所述第一固定装置还包括第一夹持板；所述第一夹持板位于所述第一吸附板下方，与所述第一吸膜板相对设置；所述第一吸附板与所述第一夹持板共同夹持薄膜的一部分。

优选地是，所述第一夹持板上表面设置有吹气孔，所述吹气孔与吹气装置连通。

优选地是，还包括第三驱动装置，所述第一夹持板可相对所述第一吸附板翻转地设置，所述第三驱动装置驱动所述第一夹持板或者通过第三传动装置驱动所述第一夹持板相对于所述第一吸附板翻转。

优选地是，所述第三驱动装置为第一电机，所述第一电机的输出轴与所述第一夹持板连接。

优选地是，所述第二固定装置与所述第一固定装置结构相同。

优选地是，还包括第一支架、第二支架和第五驱动装置；所述第一固定装置安装于所述第一支架上；所述第二支架可左右移动地安装于所述第一支架上；所述抵压装置可升降地安装于所述第二支架上；所述第二固定装置安装于所述第二支架上；所述第五驱动装置驱动所述第二支架或者通过第四传动装置驱动所述第二支架左右移动。

优选地是，所述第四传动装置为第一丝杠螺母；所述第一丝杠螺母包括螺纹配合的第一丝杆和第一螺母；所述第一丝杆和所述第一螺母其中之一受所述第五驱动装置驱动旋转，另一个所述第二支架连接。

优选地是，还包括第一导向装置；所述第一导向装置用于限制所述第二支架的移动轨迹；所述第一丝杆可转动地安装在第一支架上，受所述第五驱动装置驱动旋转；所述第一螺母与所述第二支架连接；所述第一导向装置包括至少一个第一导轨；所述第一导轨设置在第一支架上；所述第一螺母设置在第一导轨上，且可沿第一导轨移动。

优选地是，还包括第六驱动装置；所述抵压装置包括滚轮；所述滚轮可转动地安装于滚轮支架上；所述第六驱动装置驱动所述滚轮支架上升和下降；所述第六驱动装置安装于所述第二支架上。

优选地是，所述第五驱动装置为第三电机；所述第六驱动装置为第三气缸。

优选地是，还包括支撑臂和第七驱动装置；所述第一支架可升降地安装于所述支撑臂上；所述第七驱动装置驱动所述第一支架或通过第五传动装置驱动所述第一支架升降。

优选地是，所述第五传动装置为第二丝杠螺母；所述第二丝杠螺母包括螺纹配合的第二丝杆和第二螺母；所述第二丝杆和所述第二螺母其中之一受所述第七驱动装置驱动旋转，另一个所述第一支架连接。

优选地是，还包括第二导向装置；所述第二导向装置用于限制所述第一支架的升降轨迹；所述第二丝杆可转动地安装在所述支撑臂上，受所述第七驱动装置驱动旋转；所述第二螺母与所述第一支架连接；所述第二导向装置包括至少一个第二导轨；所述第二导轨设置在支撑臂上；所述第二螺母设置在第二导轨上，且可沿第二导轨移动。

优选地是，还包括支撑架和第八驱动装置；所述支撑臂可左右移动地安装于所述支撑架上；所述第八驱动装置驱动所述支撑臂或通过第六传动装置驱动所述支撑臂左右移动。

优选地是，所述第六传动装置为第三丝杠螺母；所述第三丝杠螺母包括螺纹配合的第三丝杆和第三螺母；所述第三丝杆和所述第三螺母其中之一受所述第八驱动装置驱动旋转，另一个所述支撑臂连接。

优选地是，还包括第三导向装置；所述第三导向装置用于限制所述支撑臂的移动轨迹；所述第三丝杆可转动地安装在所述支撑架上，受所述第八驱动装置驱动旋转；所述第三螺母与所述支撑臂连接；所述第三导向装置包括至少一个第三导轨；所述第三导轨设置在支撑架上；所述第三螺母设置在第三导轨上，且可沿第三导轨移动。

优选地是，还包括第一位置检测装置和控制主机，所述第一位置检测装置包括第一凸片和两个第一接近开关，所述第一凸片与所述第一夹持板同步转动；所述第一接近开关间隔设置，位于所述第一凸片的转动路线上；所述第一接近开关根据所述第一凸片是否位于所述第一接近开关的检测范围内发送不同的信号；所述控制主机根据第一接近开关的信号不同，决定第三驱动装置的是否工作及工作方向。

本发明中的晶圆贴膜装置，提供夹膜装置夹持已切割好的薄膜，并将薄膜贴附在晶圆表面，无需在薄膜贴附至晶圆表面后切割薄膜，避免刀片与晶圆接触，从而避免晶圆崩裂或划伤，提高了贴膜品质及合格率。

本发明中的晶圆贴膜装置，提供夹膜装置夹持已切割好的薄膜，可以满足在晶圆表面的任意区域覆盖薄膜的要求，适应性更强，应用范围更广，贴膜效果也大大提高。

本发明中的晶圆贴膜装置，可实现贴膜工艺的全自动化，大大提高了贴膜效率和贴膜稳定性，贴膜效果也同样得到了改善。

附图说明

图1为传统贴膜工艺的示意图；

图2为传统贴膜工艺的示意图；

图3为本发明实施例1中的晶圆贴膜装置的结构示意图；

图4为本发明实施例1中的支撑臂上的结构示意图；

图5为图4所示结构的另一角度示意图；

图6为将图4中的局部结构示意图；

图7为图6所示结构的另一角度示意图；

图8为本发明实施例1中的第一支架上的结构示意图；

图9为本发明实施例1中的第二支架上的结构示意图；

图10为本发明实施例1中的第一固定装置的结构示意图；

图11为本发明实施例1中的第二固定装置的结构示意图；

图12为本发明实施例1中的第二位置检测装置的结构示意图；

图13为本发明实施例1中的支撑架的结构示意图；

图14为本发明实施例1中的第一固定装置和第二固定装置翻转后的结构主视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细的描述：

实施例1

如图3-13所示，晶圆贴膜装置包括，支撑架11和支撑臂12。支撑臂12可左右移动地安装在支撑架11上。还包括第一支架13，第一支架13可升降地安装于支撑臂12上。还包括第二支架14，第二支架14可左右移动地安装在第一支架13上。

晶圆贴膜装置还包括第一固定装置2。第一固定装置2包括第一吸附板21。第一吸附板21通过第一转轴22可翻转地安装于第一支架13上。第一吸附板21翻转后倾斜。第一支架13上安装有第一驱动装置，第一驱动装置为第一气缸31。第一气缸31通过第一传动装置驱动第一吸附板21翻转。第一传动装置包括相配合的第一滑块41和第一导向杆42。第一滑块41可沿第一导向杆42移动地设置在第一导向杆42上。第一气缸31的第一活塞杆311与第一滑块41连接，第一活塞杆311伸缩时驱动第一滑块41沿第一导向杆42移动，从而驱动第一吸附板21绕所述第一转轴22翻转。第一吸附板21下表面设置有第一吸附开口，第一吸附开口与抽真空装置(图中未示出)连通，抽真空装置通过第一吸附开口将薄膜吸附在第一吸附板21上。

第一固定装置2还包括第一夹持板23。第一夹持板23位于第一吸附板21的下方，与第一吸附板21相对设置。第一夹持板23上设有吹气空，吹气孔与吹气装置(图中未示出)连通。吹气装置通过吹气孔向第一吸附板21吹气，与第一吸附板21一起共同夹持薄膜。

第一夹持板23可相对第一吸附板21翻转地设置。第一吸附板21上安装有第三驱动装置，第三驱动装置为第一电机33，第一电机33的输出轴与第一夹持板23连接，驱动第一夹持板23相对第一吸附板21翻转。

晶圆贴膜装置还包括第一位置检测装置。第一位置检测装置包括第一凸片71和两个第一接近开关72。第一凸片71安装在到第一电机33的输出轴上，与第一夹持板23同步转动。两个第一接近开关72间隔设置，位于第一凸片71的转动路线上。第一接近开关72根据第一凸片71是否位于第一接近开关72的检测范围内，向控制主机(图中未示出)发出不同的信号。控制主机根据第一接近开关72的信号不同，决定第一电机33的工作。第一凸片71位于第一接近开关72的检测范围内，第一接近开关72向控制主机发出信号，控制主机根据该种信号控制第一电机33停止工作，或驱动第一电机33反转，从而驱动第一夹持板23方向转动。

晶圆贴膜装置还包括第二固定装置5。第二固定装置5的结构与第一固定装置2的结构相同，包括第二吸附板51。第二吸附板51通过第二转轴52可翻转地安装于第二支架14上，第二吸附板51翻转后倾斜。第一支架13上安装有第二驱动装置，第二驱动装置为第二气缸32。第二气缸32通过第二传动装置驱动第二吸附板52翻转。第二传动装置包括相配合的第二滑块43和第二导向杆44。第二滑块43可沿第二导向杆44移动地设置在第二导向杆44上。第二气缸32的第二活塞杆321与第二滑块43连接，第二活塞杆321伸缩时驱动第二滑块43沿第二导向杆44移动，从而驱动第二吸附板51绕第二转轴52翻转。第二吸附板51下表面设置有第二吸附开口，第二吸附开口与抽真空装置连通，抽真空装置通过第二吸附开口将薄膜吸附在第二吸附板51上。

第二固定装置5还包括第二夹持板53。第二夹持板53位于第二吸附板51的下方，与第二吸附板51相对设置。第二夹持板53上设有吹气空，吹气孔与吹气装置连通。吹气装置通过吹气孔向第二吸附板51吹气，与第二吸附板51一起共同夹持薄膜。

第二夹持板53可相对第二吸附板51翻转地设置。第二吸附板51上安装有第四驱动装置，第四驱动装置为第二电机34，第二电机34的输出轴与第二夹持板53，驱动第二夹持板53相对第二吸附板51翻转。

晶圆贴膜装置还包括第二位置检测装置。第二位置检测装置包括第二凸片73和两个第二接近开关74。第二凸片73安装在到第二电机34的输出轴上，与第二夹持板53同步转动。两个第二接近开关74间隔设置，位于第二凸片73的转动路线上。第二接近开关74根据第二凸片73是否位于第二接近开关74的检测范围内，向控制主机(图中未示出)发出不同的信号。控制主机根据第二接近开关74的信号不同，决定第二电机34的工作。第二凸片73位于第二接近开关74的检测范围内，第二接近开关74向控制主机发出信号，控制主机根据该种信号控制第二电机34停止工作，或驱动第二电机34反转，从而驱动第二夹持板53方向转动。

晶圆贴膜装置还包括第五驱动装置，第五驱动装置为第三电机35。第三电机35通过第四传动装置驱动第二支架14相对第一支架13左右移动。第四传动装置为丝杠螺母，丝杠螺母包括螺纹连接的第一丝杆45和第一螺母46。第一丝杆45可转动地安装在第一支架13上，并与第三电机35的输出轴连接。第一螺母46套设在第一丝杆45上，且可沿第一丝杆45移动。第二支架14与第一螺母46连接。

还包括第三导向装置，第三导向装置包括两个第一导轨61。两个第一导轨61安装在第一支架13上，分别位于第一丝杆45的两侧。第一螺母46的两端分别设置在两个第一导轨61上，且可沿第一导轨61移动。第一导轨61可限制第一螺母46转动，使第一螺母46在第一丝杆45转动时沿第一丝杆45移动，从而带动第二支架13左右移动。

晶圆贴膜装置还包括抵压装置。抵压装置包括滚轮7，滚轮7可转动地安装于滚轮支架75上。滚轮支架75通过第六驱动装置可升降地安装在第二支架14上。第六驱动装置为第三气缸36。第三气缸36的第三活塞杆361与滚轮支架75连接。第三活塞杆361伸缩时驱动滚轮支架75下降或上升。

如图3和13所示，晶圆贴膜装置还包括第七驱动装置，第七驱动装置为第四电机37。第四电机37通过第五传动装置驱动第一支架13在支撑臂12上升降。第五传动装置为丝杠螺母，丝杠螺母包括螺纹连接的第二丝杆47和第二螺母48。第二丝杆47可转动地安装在支撑臂12上，并与第四电机37的输出轴连接。第二螺母48套设在第二丝杆47上，且可沿第二丝杆47移动。第一支架13与第二螺母48连接。

还包括第四导向装置，第四导向装置包括两个第二导轨62。两个第二导轨62安装在支撑臂12上，分别位于第二丝杆47的两侧。第二螺母48的两端分别设置在两个第二导轨62上，且可沿第二导轨62移动。第二导轨62可限制第二螺母48转动，使第二螺母48在第二丝杆47转动时沿第二丝杆47移动，从而带动第一支架13升降。

晶圆贴膜装置还包括第八驱动装置，第八驱动装置为第五电机38。第五电机38通过第六传动装置驱动支撑臂12在支撑架11上左右移动。第六传动装置为丝杠螺母，丝杠螺母包括螺纹连接的第三丝杆49和第三螺母410。第三丝杆49可转动地安装在支撑架11上，并与第五电机38的输出轴连接。第三螺母410套设在第三丝杆49上，且可沿第三丝杆49移动。支撑臂12与第三螺母410连接。

还包括第五导向装置，第五导向装置包括两个第三导轨63。两个第三导轨63安装在支撑架11上，分别位于第三丝杆49的两侧。第三螺母410的两端分别设置在两个第三导轨63上，且可沿第三导轨63移动。第三导轨63可限制第三螺母410转动，使第三螺母410在第三丝杆49转动时沿第三丝杆49移动，从而带动支撑臂12左右移动。

本发明的晶圆贴膜装置的使用方法如下：

如图5-7所示，启动第一电机33驱动第一夹持板23顺时针转动，启动第二电机34驱动第二夹持板53逆时针转动，并分别通过第一位置检测装置和第二位置检测装置控制第一夹持板23和第二夹持板53的转动角度，使第一夹持板23和第二夹持板53保持在打开第一吸附板21和第二吸附板51的下表面的状态，从而露出第一吸附板21上的第一吸附开口和第二吸附板51上的第二吸附开口。

启动第五电机38驱动支撑臂12左右移动，调节第一固定装置和第二固定装置在支撑架11上的位置。启动第四电机37驱动第一支架13做升降移动，对第一固定装置和第二固定装置的高度进行调节。从而将第一吸附板21和第二吸附板51移动至已切割好的薄膜(即薄膜的形状大小均符合晶圆的要求，薄膜贴附至晶圆表面后，无需对薄膜再次切割)上方。抽真空装置通过第一吸附开口和第二吸附开口吸附同一片薄膜。

启动第一电机33驱动第一夹持板23逆时针转动，启动第二电机34驱动第二夹持板53顺时针转动，并分别通过第一位置检测装置和第二位置检测装置控制第一夹持板23和第二夹持板53的转动位置，使第一夹持板23和第二夹持板53回复至如图4所示状态。吹风装置通过第一夹持板23和第二夹持板53上的吹气空向第一吸附板21和第二吸附板51上吸附的薄膜吹气，为薄膜提供向上的推力，使薄膜可以牢固的贴附在第一吸附板21和第二吸附板51上，避免薄膜脱落。

启动第五电机38驱动支撑臂12左右移动，调节第一固定装置和第二固定装置在支撑架11上的位置。启动第四电机37驱动第一支架13做升降移动，对第一固定装置和第二固定装置的高度进行调节。从而使吸附有薄膜的第一固定装置和第二固定装置移动至待贴膜晶圆上方。

如图14所示，启动第一气缸31和第二气缸32，驱动第一固定装置和第二固定装置翻转，使第一固定装置和第二装置相对倾斜，二者之间形成空隙。启动第三气缸36驱动滚轮7下降并将薄膜抵压在晶圆上。

关闭第二吸附口的抽真空工作，使其失去对薄膜的吸附力。关闭第二出气口的出气。第二夹持板53托住薄膜。使位于第一吸附板21和第一夹持板23之间的薄膜保持不动。启动第三电机35驱动第一螺母46沿第一丝杆45向右移动，带动第二支架14向右移动，从而带动第二固定装置和抵压装置一同向右移动。第二固定装置与第一固定装置分离的过程中，位于第二吸附板51和第二夹持板53之间的薄膜逐渐滑出。通过随第二支架14一同向右移动的滚轮7将滑出的薄膜抵压贴附在晶圆表面的右半部分。第二固定装置与第一固定装置分离的过程中，还可启动第二电机34驱动第二夹持板53逆时针旋转一定的角度，使第二夹持板53与第二吸附板51呈锐角，增大第二夹持板53与第二吸附板51之间的空隙，使薄膜更加顺利地从第二夹持板53与第二吸附板51之间滑出。

当第二夹持板53与第二吸附板51之间的薄膜完全滑出并被滚轮7抵压贴附在晶圆表面的右半部分后，改变第三电机33的转向，驱动第一螺母46沿第一丝杆45向左移动，带动第二支架14向左移动，从而带动第二固定装置和抵压装置一同向左移动。该过程中，滚轮再次滚动抵压已贴附在晶圆表面的薄膜，增强薄膜与晶圆的结合力。

当第二固定装置和抵压装置一同向左移动至贴膜起始位置后，第三旋转电机23停止工作，第二固定装置与第一固定装置保持相对静止。启动第五电机38驱动支撑臂12向左移动，从而带动第二固定装置、第一固定装置及抵压装置一同向左移动。解除第一吸附板21上对薄膜的吸力及第一夹持板23的吹气，使薄膜的左半部分仅由第一夹持板23托住。三者向左移动过程中，滚轮7将薄膜压靠在晶圆上，使薄膜粘贴在晶圆上。随者三者的向左移动，使位于第一吸附板21和第一夹持板23之间的薄膜逐渐滑出。通过随支撑臂12一同向左移动的滚轮7将滑出的薄膜抵压贴附在晶圆表面的左半部分。支撑臂12向左移动的过程中，还可启动第一电机33驱动第一夹持板23顺时针旋转一定的角度，使第一夹持板23与第一吸附板21呈锐角，增大第一夹持板23与第一吸附板21之间的空隙，使薄膜更加顺利地从第一夹持板23与第一吸附板21之间滑出。

当第一夹持板23与第一吸附板21之间的薄膜完全滑出并被滚轮7抵压贴附在晶圆表面的左半部分后，薄膜即在滚轮7的滚动抵压下完全贴附在晶圆表面，完成贴膜工艺。

支撑臂12左右移动时，可通过安装在支撑架11上的第一光栅尺91控制左右位移，从而使第一固定装置和第二固定装置移动至指定位置。

第一支架13升降移动时，可通过安装在支撑臂12上的第二光栅尺92控制升降位移，从而使第一固定装置和第二固定装置移动至指定位置。

第二支架14左右移动时，可通过安装在第一支架13上的第三光栅尺(图中未示出)控制左右位移，从而使第二固定装置移动至指定位置。

实施例2

与实施例1不同的是，本实施例中的晶圆贴膜装置不包括第一夹持板23和第二夹持板53，仅通过第一吸附板21和第二吸附板51吸附薄膜，同样可以达到对薄膜的夹持功能。

本发明中的上、下、左、右、左右、竖直、顺时针、逆时针均以图14为参考，为清楚地描述本发明而使用的相对概念，并不构成对权利要求范围的限制。

本发明中的实施例仅用于对本发明进行说明，并不构成对权利要求范围的限制，本领域内技术人员可以想到的其他实质上等同的替代，均在本发明保护范围内。

Claims

1.晶圆贴膜装置，其特征在于，包括：

第一固定装置，所述第一固定装置可左右移动地设置；

2.根据权利要求1所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置与所述第二固定装置两者之一或者两者可翻转地设置；所述第一固定装置或所述第二固定装置翻转后倾斜。

3.根据权利要求2所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置与所述第二固定装置均可翻转地设置；所述第一固定装置与所述第二固定装置的翻转轴线相互靠近。

4.根据权利要求2所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一支架；所述第一固定装置通过第一转轴可翻转地安装于第一支架上；所述第一支架上安装有第一驱动装置，所述第一驱动装置驱动所述第一固定装置翻转或者通过第一传动装置驱动所述第一固定装置翻转；所述第二固定装置通过第二转轴可翻转地安装于第一支架上；所述第一支架上安装有第二驱动装置，所述第二驱动装置驱动所述第二固定装置翻转或者通过第二传动装置驱动所述第二固定装置翻转。

5.根据权利要求4所示的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一传动装置包括相配合的第一导向杆和第一滑块；所述第一导向杆安装在第一固定装置上；所述第一滑块可沿第一导向杆移动地设置在第一导向杆上；所述第一驱动装置与所述第一滑块连接。

6.根据权利要求4所示的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第二传动装置包括相配合的第二导向杆和第二滑块；所述第二导向杆安装在第一固定装置上；所述第二滑块可沿第二导向杆移动地设置在第二导向杆上；所述第二驱动装置与所述第二滑块连接。

7.根据权利要求4所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一驱动装置为第一气缸，所述第一气缸的第一活塞杆与所述第一固定装置连接，所述第一活塞杆伸缩时驱动所述第一固定装置绕所述第一转轴翻转；所述第二驱动装置为第二气缸，所述第二气缸的第二活塞杆与所述第二固定装置连接，所述第二活塞杆伸缩时驱动所述第二固定装置绕所述第二转轴翻转。

8.根据权利要求1所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置包括第一吸附板；所述第一吸附板下表面设置有第一吸附开口，所述第一吸附开口与抽真空装置连通；所述抽真空装置通过所述第一吸附开口将薄膜吸附在第一吸附板上。

9.根据权利要求8所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置还包括第一夹持板；所述第一夹持板位于所述第一吸附板下方，与所述第一吸膜板相对设置；所述第一吸附板与所述第一夹持板共同夹持薄膜的一部分。

10.根据权利要求9所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一夹持板上表面设置有吹气孔，所述吹气孔与吹气装置连通。

11.根据权利要求9所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第三驱动装置，所述第一夹持板可相对所述第一吸附板翻转地设置，所述第三驱动装置驱动所述第一夹持板或者通过第三传动装置驱动所述第一夹持板相对于所述第一吸附板翻转。

12.根据权利要求11所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第三驱动装置为第一电机，所述第一电机的输出轴与所述第一夹持板连接。

13.根据权利要求8至12任一权利要求所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第二固定装置与所述第一固定装置结构相同。

14.根据权利要求1所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一支架、第二支架和第五驱动装置；所述第一固定装置安装于所述第一支架上；所述第二支架可左右移动地安装于所述第一支架上；所述抵压装置可升降地安装于所述第二支架上；所述第二固定装置安装于所述第二支架上；所述第五驱动装置驱动所述第二支架或者通过第四传动装置驱动所述第二支架左右移动。

15.根据权利要求14所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第四传动装置为第一丝杠螺母；所述第一丝杠螺母包括螺纹配合的第一丝杆和第一螺母；所述第一丝杆和所述第一螺母其中之一受所述第五驱动装置驱动旋转，另一个所述第二支架连接。

16.根据权利要求15所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一导向装置；所述第一导向装置用于限制所述第二支架的移动轨迹；所述第一丝杆可转动地安装在第一支架上，受所述第五驱动装置驱动旋转；所述第一螺母与所述第二支架连接；所述第一导向装置包括至少一个第一导轨；所述第一导轨设置在第一支架上；所述第一螺母设置在第一导轨上，且可沿第一导轨移动。

17.根据权利要求14所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第六驱动装置；所述抵压装置包括滚轮；所述滚轮可转动地安装于滚轮支架上；所述第六驱动装置驱动所述滚轮支架上升和下降；所述第六驱动装置安装于所述第二支架上。

18.根据权利要求17所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第五驱动装置为第三电机；所述第六驱动装置为第三气缸。

19.根据权利要求14所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括支撑臂和第七驱动装置；所述第一支架可升降地安装于所述支撑臂上；所述第七驱动装置驱动所述第一支架或通过第五传动装置驱动所述第一支架升降。

20.根据权利要求19所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第五传动装置为第二丝杠螺母；所述第二丝杠螺母包括螺纹配合的第二丝杆和第二螺母；所述第二丝杆和所述第二螺母其中之一受所述第七驱动装置驱动旋转，另一个所述第一支架连接。

21.根据权利要求20所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第二导向装置；所述第二导向装置用于限制所述第一支架的升降轨迹；所述第二丝杆可转动地安装在所述支撑臂上，受所述第七驱动装置驱动旋转；所述第二螺母与所述第一支架连接；所述第二导向装置包括至少一个第二导轨；所述第二导轨设置在支撑臂上；所述第二螺母设置在第二导轨上，且可沿第二导轨移动。

22.根据权利要求19所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括支撑架和第八驱动装置；所述支撑臂可左右移动地安装于所述支撑架上；所述第八驱动装置驱动所述支撑臂或通过第六传动装置驱动所述支撑臂左右移动。

23.根据权利要求22所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第六传动装置为第三丝杠螺母；所述第三丝杠螺母包括螺纹配合的第三丝杆和第三螺母；所述第三丝杆和所述第三螺母其中之一受所述第八驱动装置驱动旋转，另一个所述支撑臂连接。

24.根据权利要求23所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第三导向装置；所述第三导向装置用于限制所述支撑臂的移动轨迹；所述第三丝杆可转动地安装在所述支撑架上，受所述第八驱动装置驱动旋转；所述第三螺母与所述支撑臂连接；所述第三导向装置包括至少一个第三导轨；所述第三导轨设置在支撑架上；所述第三螺母设置在第三导轨上，且可沿第三导轨移动。

25.根据权利要求11所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一位置检测装置和控制主机，所述第一位置检测装置包括第一凸片和两个第一接近开关，所述第一凸片与所述第一夹持板同步转动；所述第一接近开关间隔设置，位于所述第一凸片的转动路线上；所述第一接近开关根据所述第一凸片是否位于所述第一接近开关的检测范围内发送不同的信号；所述控制主机根据第一接近开关的信号不同，决定第三驱动装置的是否工作及工作方向。