CN104298069A - 一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法 - Google Patents

一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法，涉及掩膜板技术领域，解决了现有的掩膜条在掩膜板的不同位置处拉伸力不均的问题。一种掩膜框架，包括框架主体、弹性装置以及位于框架主体相对的两侧的两个固定部，每个所述固定部通过所述弹性装置与所述框架主体连接固定。本发明适用于掩膜板以及掩膜板的制造。

Description

一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法
技术领域
本发明涉及掩膜板技术领域，尤其涉及一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法。
背景技术
在显示器的制作过程中，经常通过构图工艺形成图案化的层结构。构图工艺通常包含：在薄膜上涂光刻胶，利用掩膜板对所述光刻胶进行曝光、显影、刻蚀等步骤，以使得薄膜形成与掩膜板相同或相反的图案。
如图1、图2所示为用于形成像素单元的掩膜板，包括矩形的掩膜框架10和多个掩膜条20(即掩膜条a-掩膜条i)。掩膜条20上包括多个像素图案，掩膜条20相对的两端分别有焊接点21，掩膜条20沿101方向焊接在掩膜框架10上。为了防止掩膜条变形中间部位下垂、变形，造成掩膜图案形状差异和位置偏离，导致显示面板出现色偏、混色等显示不良，如图2所示，在将掩膜条20焊接在掩膜框架10的过程中，需要给掩膜条20一个拉伸力F1，同时给掩膜框架10一个挤压力F2，以保证焊接完成后掩膜条20维持拉伸时的形状。然而，掩膜框架10在变形收缩过程中，不同位置处对掩膜条20的拉伸力不均，一般掩膜框架10在沿掩膜条20排布方向即101方向的中间位置处对掩膜条20的拉伸力较小，如图1所示的虚线，进而造成位于掩膜框架10中间位置处的像素图案与其相对两侧位置处的像素图案之间仍然存在形状差异和位置偏离。
发明内容
本发明的实施例提供一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法，解决了现有的掩膜条在掩膜板的不同位置处拉伸力不均的问题。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
第一方面，本发明实施例提供了一种掩膜框架，包括框架主体、弹性装置以及位于框架主体相对的两侧的两个固定部，每个所述固定部通过所述弹性装置与所述框架主体连接固定。
第二方面，本发明实施例提供了一种掩膜板，包括多个掩膜条以及本发明实施例提供的任一所述的掩膜框架，所述掩膜条相对的两端分别与位于框架主体相对的两侧的固定部固定。
第三方面，本发明实施例提供了一种掩膜板的制作方法，包括：挤压固定部，弹性装置发生弹性形变以使得所述固定部靠近框架主体，将掩膜条与所述固定部连接固定，取消挤压。
本发明实施例提供的一种掩膜框架、掩膜板及其制作方法，所述掩膜框架，包括框架主体、弹性装置以及位于框架主体相对的两侧的两个固定部，每个固定部分别通过弹性装置与框架主体连接固定，当框架主体用于支撑掩膜条，将掩膜条与固定部固定时，可以是仅通过挤压固定部，弹性装置发生弹性形变以使得固定部靠近掩膜框架，进而使得将掩膜条与固定部固定。固定连接后，取消对固定部的挤压，为了恢复原状，弹性装置对固定部产生使得固定部远离框架主体的弹力，进而对固定在固定部上的掩膜条以拉伸力，防止掩膜条变形中间部位下垂，造成显示面板出现色偏、混色等不良；且弹性装置可以均衡各个掩膜条所受到的拉伸力，使得固定在不同位置处的掩膜条所受到的拉伸力趋向均匀，进而可以提高形成的掩膜图案的精度，改善由于掩膜图案偏离造成的色偏、混色等显示不良。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中的掩膜板示意图；
图2为现有技术固定掩膜条的示意图；
图3为本发明实施例提供的一种掩膜框架示意图；
图4为本发明实施例提供的另一种掩膜框架示意图；
图5为本发明实施例提供的一种掩膜板示意图。
附图标记：
10-掩膜框架；11-框架主体；12-固定部；13-弹性装置；20-掩膜条；21-焊接点。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
本发明实施例提供了一种掩膜框架，如图3所示，包括框架主体11、弹性装置13以及位于框架主体11相对的两侧的两个固定部12，每个固定部12通过弹性装置13与框架主体11连接固定。
需要说明的是，本发明实施例中的框架主体与现有技术中的掩膜框架结构基本相同。掩膜框架一般可以是由金属或合金等形成，则固定部可以是与掩膜框架的材质相同。固定部通过弹性装置与框架主体连接固定，即弹性装置分别与固定部和框架主体连接固定。具体的，弹性装置可以是通过卡合等可拆卸的方式分别与固定部和框架主体连接固定，也可以是通过焊接等方式与固定部和框架主体连接固定。本发明实施例中以弹性装置分别与掩膜框架和固定部焊接为例进行详细说明。
另外，上述弹性装置可以是任何具有弹性作用的部件，本发明实施例中以所述弹性装置为弹簧为例进行详细说明。
本发明实施例提供的一种掩膜框架，包括框架主体、弹性装置以及位于框架主体相对的两侧的两个固定部，每个固定部分别通过弹性装置与框架主体连接固定，当框架主体用于支撑掩膜条，将掩膜条与固定部固定时，可以是仅通过挤压固定部，弹性装置发生弹性形变以使得固定部靠近掩膜框架，进而使得将掩膜条与固定部固定，固定连接后，取消对固定部的挤压，为了恢复原状，弹性装置对固定部产生使得固定部远离框架主体的弹力，进而对固定在固定部上的掩膜条以拉伸力，防止掩膜条变形中间部位下垂，进而造成显示面板出现色偏、混色等不良；且弹性装置可以均衡各个掩膜条所受到的拉伸力，使得固定在不同位置处的掩膜条所受到的拉伸力趋向均匀，进而可以提高形成的掩膜图案的精度，改善由于掩膜图案偏离造成的色偏、混色等显示不良。
另外，相对于现有的掩膜板，本发明实施例提供的掩膜框架增加弹力装置后还可以简化掩膜板的制作工艺。具体的，由于现有掩膜板是通过对外围掩膜框架挤压产生形变来获取掩膜条所需的拉伸力，因此掩膜框架的不同位置所需的拉伸力各不相同，可以是通过对掩膜框架进行力学仿真来获取不同位置所需的挤压力，但这一模拟过程非常复杂、考虑因素很多，而且仿真结果经常与实际有很大差异。本发明实施例通过设置弹性装置使得掩膜条受到的拉伸力趋向均匀，而无需上述复杂的模拟，进而可以大大简化掩膜板的制作工艺过程。
可选的，如图3所示，固定部12分别通过多个弹性装置13(弹簧)与框架主体11连接固定，且多个弹性装置13在框架主体11的两侧均匀分布。多个弹性装置在框架主体的两侧均匀分布，以有利于弹性装置作用在固定部上的弹力的均匀分布。进一步的，如图3所示，位于框架主体11相对两侧的多个弹性装置13相互错位设置。框架主体两侧的弹性装置错位设置，则框架主体两侧的弹力互补，提高了掩膜框架受力的均匀性，改善由于掩膜图案偏离所造成的色偏、混色等显示不良。
优选的，如图4所示，框架主体11可用于支撑掩膜条20，以使得掩膜条20与固定部12连接固定，弹性装置13与掩膜条20在框架主体11的安装位置一一对应。即如图4所示，掩膜条a-i的两端分别对应一个弹簧，弹簧与固定部12和框架主体11连接。
本发明实施例提供了一种掩膜板，如图5所示，包括多个掩膜条20以及本发明实施例提供的任一项的掩膜框架，掩膜条20相对的两端分别与位于框架主体11相对的两侧的固定部12固定。具体如图5所示，掩膜板包括掩膜条a-i，且每一条掩膜条20的两端分别在焊接点21与固定部12焊接，由于固定部12与框架主体11之间还包括弹性装置13，则弹性装置13在受挤压的情况下使得固定12部靠近框架主体11，将固定部12与掩膜条20焊接到一起，在取消对固定部12的挤压后，为了恢复原状，弹性装置13会对固定部12产生使得固定部12远离框架主体11的弹力，进而对固定在固定部12上的掩膜条20以拉伸力，防止掩膜条20中间部位下垂、变形，进而造成显示面板出现色偏、混色等不良；且弹性装置13可以使均衡各个掩膜条20所受到的拉伸力，使得固定在不同位置处的掩膜条20所受到的拉伸力趋向均匀，进而可以提高形成的掩膜图案的精度，改善由于掩膜图案偏离造成的色偏、混色等显示不良。
需要说明的是，上述以掩膜条与固定部焊接为例，具体掩膜条与固定部连接固定还可以通过螺钉等固定。另外，根据弹性装置的不同，掩膜框架还可以有多种不同变形，本发明实施例仅以图5所示的为例进行详细说明。
本发明实施例提供了一种掩膜板的制作方法，包括：挤压固定部，弹性装置发生弹性形变以使得所述固定部靠近框架主体，将掩膜条与所述固定部连接固定，取消挤压。
本发明实施例提供的制作方法，掩膜框架两侧的固定部在于掩膜条连接固定之间，均先挤压固定部，此时，弹性装置挤压发生弹性形变，当掩膜条与固定部连接固定后，取消对弹性装置的挤压力，而弹性装置恢复原状会产生向外的弹力，而该弹力作用在固定部上使得固定部远离框架主体，进而对固定在固定部上的掩膜条以拉伸力，防止掩膜条变形、中间部位下垂。且弹性装置可以使均衡各个掩膜条所受到的拉伸力，使得固定在不同位置处的掩膜条所受到的拉伸力趋向均匀，进而可以提高形成的掩膜图案的精度，改善由于掩膜图案偏离造成的色偏、混色等显示不良。
可选的，在将掩膜条与固定部连接固定之前，所述方法还包括：拉伸掩膜条。即为了防止掩膜条变形中间部位下垂，在固定掩膜条之前拉伸掩膜条，则在固定完掩膜条，取消对弹性装置的挤压后，掩膜条不仅受弹性装置的弹力而拉伸，且自身处于拉伸状态，进一步有利于防止掩膜条中间部位下垂；且由于弹性装置的弹力使得固定部不同位置处受到掩膜条的拉伸力趋向均匀，进而可以提高形成的掩膜图案的精度，改善由于掩膜图案偏离造成的色偏、混色等显示不良。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种掩膜框架，其特征在于，包括框架主体、弹性装置以及位于框架主体相对的两侧的两个固定部，每个所述固定部通过所述弹性装置与所述框架主体连接固定。
2.根据权利要求1所述的掩膜框架，其特征在于，所述固定部通过多个弹性装置与所述框架主体连接固定，且多个弹性装置在框架主体相对的两侧均匀分布。
3.根据权利要求2所述的掩膜框架，其特征在于，位于所述框架主体相对两侧的多个弹性装置相互错位设置。
4.根据权利要求2所述的掩膜框架，其特征在于，所述框架主体可用于支撑掩膜条，以使得所述掩膜条与所述固定部连接固定，所述弹性装置与所述掩膜条在框架主体的安装位置一一对应。
5.根据权利要求1所述的掩膜框架，其特征在于，所述固定部与所述框架主体的材质相同。
6.根据权利要求1)5任一项所述的掩膜框架，其特征在于，所述弹性装置为弹簧。
7.一种掩膜板，其特征在于，包括多个掩膜条以及权利要求1)6任一项所述的掩膜框架，所述掩膜条相对的两端分别与位于框架主体相对两侧的固定部固定。
8.一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括：挤压固定部，弹性装置发生弹性形变以使得所述固定部靠近框架主体，将掩膜条与所述固定部连接固定，取消挤压。
9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，在将掩膜条与所述固定部连接固定之前，所述方法还包括：拉伸掩膜条。
10.根据权利要求8或9所述的制作方法，其特征在于，所述掩膜条与所述固定部焊接固定。
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