CN104280870B

CN104280870B - 一种显微镜物镜

Info

Publication number: CN104280870B
Application number: CN201410599100.0A
Authority: CN
Inventors: 文里云; 迪米特
Original assignee: NANJING HENGLEI OPTICAL TECHNOLOGY RESEARCH Co Ltd
Current assignee: NANJING HENGLEI OPTICAL TECHNOLOGY RESEARCH Co Ltd
Priority date: 2014-10-29
Filing date: 2014-10-29
Publication date: 2016-06-15
Anticipated expiration: 2034-10-29
Also published as: CN104280870A

Abstract

本发明公开了一种显微镜物镜，包括同光轴设置的十三片球面玻璃透镜，从物方至像方依次排列：第一、第二、第三透镜为胶合透镜组；第四透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第五透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第六、第七透镜为胶合透镜组；第八、第九透镜为胶合透镜组；第十、第十一透镜为胶合透镜组；第十二、第十三透镜为胶合透镜组。本发明的显微镜物镜，全部采用球面镜片，与现有光学镜片加工与检测工艺完全兼容，制造成本低；显微镜物镜可实现高分辨力的成像，具有数值孔径大、分辨率高、体积小、加工工艺成熟、成本低等特点。

Description

一种显微镜物镜

技术领域

本发明属于光学领域，更具体地说，涉及一种显微镜物镜。

背景技术

显微镜已成为很多行业研究必不可少的高科技设备，在一些精密微型领域广泛应用，特别在医疗和科研等中具有不可替代的作用。

数值孔径(NA)与显微镜的其它各个光学参数都有密切关系，一般希望它越大越好，因此提高数值孔径(NA)的大小也是科技发展的需求；目前世界上已有各类显微镜物镜，但是目前技术上能达到的数值孔径(NA)一般保持在0.65左右，能够达到更大数值孔径(NA)的也只有少数；随着科技的发展，目前很多领域开始对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求增大，因此提高显微镜物镜的数值孔径(NA)具有必要的意义。

中国专利申请号：201280008900.X，公开了一份名称为物镜及光拾取装置的专利，其中所述的物镜用于光拾取，所述光拾取装置至少具有射出第一波长λ1(390nm<λ1<420nm)的第一光束的第一光源和物镜，通过所述物镜将从所述第一光源射出的所述第一波长λ1的第一光束聚光在第一光盘的信息记录面上，由此进行信息的记录和/或再生，所述物镜具有：第一光学面，其形成于所述第一光源侧；第二光学面，其面向所述第一光学面而形成，且曲率半径大于所述第一光学面；端面，其是从光轴方向观察时位于所述第二光学面外侧且与光轴大致垂直的平面，所述物镜的像侧数值孔径(NA)为0.7以上、0.9以下。尽管现对于现有的技术其数值孔径有所提高，但是其数值孔径仍然不能满足一些领域的需求，同时制造成本高。

中国专利号：201410076527.2，专利名称为：一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，该物镜共轭距L＝1500mm，镜片分为四组独立设计再整合优化；从入射方向开始依次设置有第一透镜组，编号G1，镜片编号L1～L8，共8枚镜片，其中第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；第二透镜组编号G2，镜片编号L9～L12，共4枚镜片、光栏(STOP)，其中第2枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；第三透镜组编号G3，镜片编号L13～L17，共5枚镜片；其中第3枚和第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；以及第四透镜组编号G4，镜片编号L18～L25，共8枚镜片；其中第8枚朝向物方的入射面为14阶非球面；四个透镜组总共25枚镜片关于光栏对称构成一个双远心光路，其中有5个面采用了低阶非球面以平衡像差；四组镜头组成双远心结构，多个非球面的使用能减少镜片数量并有效校正多种像差，尤其是大视场下的畸变和场曲。尽管采用了双远心、25片4组结构，其中使用了5个低阶非球面来平衡像差，但物镜的像方有效视场为132×132mm，像方数值孔径为0.17。因此多领域对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求，提高显微镜物镜的数值孔径(NA)具有必要的意义。

发明内容

本发明的目的是针对多领域对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求，提供一种可实现高数值孔径(NA)以满足目前各领域需要的显微镜物镜。

为了解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：一种显微镜物镜，包括：同光轴设置的十三片球面透镜，从物方至像方依次排列，从物方至像方的十三片球面透镜分别为：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜和第十三透镜；

第一透镜、第二透镜和第三透镜组合为胶合透镜组，其中第一透镜面向物方为平面，面向像方为凸面；第二透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第三透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面，第一透镜面向像方的凸面与第二透镜面向物方的凹面胶合在一起，第二透镜面向像方的凸面与第三透镜面向物方的凹面胶合在一起；

第四透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；

第五透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；

第六透镜和第七透镜组合为胶合透镜组，其中第六透镜面向物方为平面，面向像方为凹面；第七透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面，第六透镜面向像方的凹面与第七透镜面向物方的凸面胶合在一起；

第八透镜和第九透镜组合为胶合透镜组，其中第八透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第九透镜面向物方为凹面，面向像方为平面，第八透镜面向像方的凸面与第九透镜面向物方的凹面胶合在一起；

第十透镜、第十一透镜组合为胶合透镜组，其中第十透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十一透镜面向物方为凹面，面向像方为凹面，第十透镜面向像方的凸面与第十一透镜面向物方的凹面胶合在一起；

第十二透镜和第十三透镜组合为胶合透镜组，其中第十二透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十三透镜面向物方为凹面，面向像方为凹面，第十二透镜面向像方的凸面与第十三透镜面向物方的凹面胶合在一起。

所述十三个球面透镜共有二十个镜面，第一透镜面向物方的平面为第一镜面，第一透镜和第二透镜的胶合面为第二镜面，第二透镜和第三透镜的胶合面为第三镜面，第三透镜面向像方的凸面为第四镜面，第四透镜的凹面为第五镜面，第四透镜的凸面为第六镜面，第五透镜面向物方的凸面为第七镜面，第五透镜面向像方的凸面为第八镜面，第六透镜面向物方的平面为第九镜面，第六透镜和第七透镜的胶合面为第十镜面，第七透镜面向像方的凸面为第十一镜面，第八透镜面向物方的凸面为第十二镜面，第八透镜和第九透镜的胶合面为第十三镜面，第九透镜面向像方的平面为第十四镜面，第十透镜面向物方的凸面为第十五镜面，第十透镜和第十一透镜的胶合面为第十六镜面，第十一透镜面向像方的凹面为第十七镜面，第十二透镜面向物方的凸面为第十八镜面，第十二透镜和第十三透镜的胶合面为第十九镜面，第十三透镜面向像方的凹面为第二十镜面；

二十个镜面的结构参数为：

第一镜面为R1＝∞、D1＝0.479～0.512mm、ψ1＝0.473～0.505mm；

第二镜面为R2＝－1.085～－1.025mm、D2＝2.962～3.030mm、ψ2＝0.675～0.710mm；

第三镜面为R3＝－3.221～－3.055mm、D3＝3.159～3.232mm、ψ3＝2.437～2.525mm；

第四镜面为R4＝－4.845～－4.601mm、D4＝0.292～0.321mm、ψ4＝4.049～4.185mm；

第五镜面为R5＝－16.451～－15.955mm、D5＝3.549～3.635mm、ψ5＝5.052～5.165mm；

第六镜面为R6＝－8.219～－7.890mm、D6＝0.287～0.308mm、ψ6＝5.883～6.005mm；

第七镜面为R7＝436.102～440.490mm、D7＝3.955～4.040mm、ψ7＝6.609～6.750mm；

第八镜面为R8＝－12.950～－12.559mm、D8＝0.287～0.308mm、ψ8＝6.949～7.028mm；

第九镜面为R9＝∞、D9＝1.175～1.215mm、ψ9＝6.881～6.960mm；

第十镜面为R10＝12.559～12.950mm、D10＝4.939～5.050mm、ψ10＝6.881～6.970mm；

第十一镜面为R11＝－22.621～－21.945mm、D11＝0.287～0.308mm、ψ11＝7.163～7.245mm；

第十二镜面为R12＝12.817～13.352mm、D12＝5.536～5.655mm、ψ12＝7.475～7.560mm；

第十三镜面为R13＝－21.313～－20.675mm、D13＝1.256～1.333mm、ψ13＝7.187～7.260mm；

第十四镜面为R14＝∞、D14＝0.287～0.308mm、ψ14＝7.005～7.085mm；

第十五镜面为R15＝7.387～7.702mm、D15＝5.931～6.060mm、ψ15＝6.527～6.599mm；

第十六镜面为R16＝－177.601～－175.825mm、D16＝1.353～1.435mm、ψ16＝5.478～5.595mm；

第十七镜面为R17＝5.347～5.632mm、D17＝1.749～1.835mm、ψ17＝4.172～4.260mm；

第十八镜面为R18＝7.087～7.389mm、D18＝5.931～6.060mm、ψ18＝4.408～4.502mm；

第十九镜面为R19＝－10.295～－9.978mm、D19＝1.555～1.632mm、ψ19＝3.499～3.610mm；

第二十镜面为R20＝4.965～5.230mm、D20＝147.489～149.107mm、ψ20＝2.737～2.855mm。

所述物镜第一透镜、第二透镜和第三透镜组合的胶合透镜组焦距为17.12mm，第四透镜的焦距为32.56mm，第五透镜的焦距为28.71mm，第六透镜与第七透镜组合的胶合透镜组焦距为-229.15mm，第八透镜与第九透镜组合的胶合透镜组焦距为44.63mm，第十透镜与第十一透镜组合的胶合透镜组焦距为-23.11mm，第十二透镜与第十三透镜组合的胶合透镜组焦距为39.16mm。

所述第一透镜的折射率/阿贝系数为1.51680/64.17，第二透镜的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第三透镜的折射率/阿贝系数1.48746/70.04，第四透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第五透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第六透镜的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第七透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第八透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第九透镜的折射率/阿贝系数为1.69211/54.54，第十透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第十一透镜的折射率/阿贝系数为1.74693/50.95，第十二透镜的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第十三透镜的折射率/阿贝系数为1.74693/50.95。

所述的显微镜物镜最大数值孔径为1。

相比于现有技术，本发明的有益效果为：

(1)本发明的显微镜物镜，全部采用球面镜片，与现有光学镜片加工与检测工艺完全兼容，制造成本低；

(2)本发明给出的二十个镜面镜面的结构参数下可以实现提高显微镜物镜的数值孔径(NA)，显微镜物镜的数值孔径(NA)能达到1，完全达到大幅度提高显微镜物镜的数值孔径(NA)；

(3)本发明结构简单，设计合理，易于制造。

附图说明

图1是本发明的显微镜物镜的结构示意图。

图2是ZEMAX软件模拟出本发明的实施例1参数下，显微镜物镜的视场的参数表。

图3、图4、图5和图6是ZEMAX软件模拟出在图2数值孔径(NA)设定条件下，显微镜物镜成像质量效果图。其中图3为光程差，其横坐标为归一化孔径，纵坐标为以波数为单位的参考主光线的光程差；图4为单色光的基于衍射的能量集中度，其横坐标为衍射光斑的半径，纵坐标为当前半径内的能量占总能量的百分比；图5为多色光光学传递函数，其横坐标为空间频率，纵坐标为传递函数值；图6为波相差，其为实际波面与参考球面之间的光程差。

附图标记：L1-第一透镜；L2-第二透镜；L3-第三透镜；L4-第四透镜；L5-第五透镜；L6-第六透镜；L7-第七透镜；L8-第八透镜；L9-第九透镜；L10-第十透镜；L11-第十一透镜；L12-第十二透镜；L13-第十三透镜。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述。

如图1所示，一种显微镜物镜，包括同光轴设置的十三片球面透镜，从物方至像方依次排列，从物方至像方的十三片球面透镜分别为：第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3、第四透镜L4、第五透镜L5、第六透镜L6、第七透镜L7、第八透镜L8、第九透镜L9、第十透镜L10、第十一透镜L11、第十二透镜L12和第十三透镜L13。

第一透镜L1、第二透镜L2和第三透镜L3组合为胶合透镜组，其中第一透镜L1面向物方为平面，面向像方为凸面；第二透镜L2面向物方为凹面，面向像方为凸面；第三透镜L3面向物方为凹面，面向像方为凸面。第一透镜L1面向像方的凸面与第二透镜L2面向物方的凹面胶合在一起，第二透镜L2面向像方的凸面与第三透镜L3面向物方的凹面胶合在一起。

第四透镜L4面向物方为凹面，面向像方为凸面。

第五透镜L5面向物方为凸面，面向像方为凸面。

第六透镜L6和第七透镜L7组合为胶合透镜组，其中第六透镜L6面向物方为平面，面向像方为凹面；第七透镜L7面向物方为凸面，面向像方为凸面。第六透镜L6面向像方的凹面与第七透镜L7面向物方的凸面胶合在一起。

第八透镜L8和第九透镜L9组合为胶合透镜组，其中第八透镜L8面向物方为凸面，面向像方为凸面；第九透镜L9面向物方为凹面，面向像方为平面。第八透镜L8面向像方的凸面与第九透镜L9面向物方的凹面胶合在一起；

第十透镜L10、第十一透镜L11组合为胶合透镜组，其中第十透镜L10面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十一透镜L11面向物方为凹面，面向像方为凹面；第十透镜L10面向像方的凸面与第十一透镜L11面向物方的凹面胶合在一起。

第十二透镜L12和第十三透镜L13组合为胶合透镜组，其中第十二透镜L12面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十三透镜L13面向物方为凹面，面向像方为凹面。第十二透镜L12面向像方的凸面与第十三透镜L13面向物方的凹面胶合在一起。

上述十三个透镜共有二十个镜面，第一透镜L1面向物方的平面为第一镜面，第一透镜L1和第二透镜L2的胶合面为第二镜面，第二透镜L2和第三透镜L3的胶合面为第三镜面，第三透镜L3面向像方的凸面为第四镜面，第四透镜L4的凹面为第五镜面，第四透镜L4的凸面为第六镜面，第五透镜L5面向物方的凸面为第七镜面，第五透镜L5面向像方的凸面为第八镜面，第六透镜L6面向物方的平面为第九镜面，第六透镜L6和第七透镜L7的胶合面为第十镜面，第七透镜L7面向像方的凸面为第十一镜面，第八透镜L8面向物方的凸面为第十二镜面，第八透镜L8和第九透镜(L9)的胶合面为第十三镜面，第九透镜L9面向像方的平面为第十四镜面，第十透镜L10面向物方的凸面为第十五镜面，第十透镜L10和第十一透镜L11的胶合面为第十六镜面，第十一透镜L11面向像方的凹面为第十七镜面，第十二透镜L12面向物方的凸面为第十八镜面，第十二透镜L12和第十三透镜L13的胶合面为第十九镜面，第十三透镜(L13)面向像方的凹面为第二十镜面；二十个镜面的结构参数范围见表1。其中R1为第一镜面的曲率半径；D1为第一镜面的镜面距离；ψ1为第一镜面的有效通光孔径，R2-R20、D2-D20以及ψ2-ψ20的含义依次类推。

表1二十个镜面的结构参数范围

优选地，所述物镜第一透镜、第二透镜和第三透镜组合的胶合透镜组焦距为17.12mm，第四透镜的焦距为32.56mm，第五透镜的焦距为28.71mm，第六透镜与第七透镜组合的胶合透镜组焦距为-229.15mm，第八透镜与第九透镜组合的胶合透镜组焦距44.63mm，第十透镜与第十一透镜组合的胶合透镜组焦距为-23.11mm，第十二透镜与第十三透镜组合的胶合透镜组焦距为39.16mm。

优选地，第一透镜L1的折射率/阿贝系数为1.51680/64.17，第二透镜L2的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第三透镜L3的折射率/阿贝系数1.48746/70.04，第四透镜L4的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第五透镜L5的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第六透镜L6的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第七透镜L7的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第八透镜L8的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第九透镜L9的折射率/阿贝系数为1.69211/54.54，第十透镜L10的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第十一透镜L11的折射率/阿贝系数为1.74693/50.95，第十二透镜L12的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第十三透镜L13的折射率/阿贝系数为1.74693/50.95。

本发明的显微镜物镜，全部采用球面镜片，与现有光学镜片加工与检测工艺完全兼容，制造成本低，且在本发明给出的二十个镜面的结构参数下，可以实现提高显微镜物镜的数值孔径(NA)，显微镜物镜的数值孔径(NA)能达到1，完全达到大幅度提高显微镜物镜的数值孔径(NA)。

实施例1

二十个镜面的结构参数见表2。

表2实施例1的二十个镜面的结构参数

所述物镜第一透镜L1、第二透镜L2和第三透镜L3组合的胶合透镜组焦距为17.12mm，第四透镜L4的焦距为32.56mm，第五透镜L5的焦距为28.71mm，第六透镜L6与第七透镜L7组合的胶合透镜组焦距为-229.15mm，第八透镜L8与第九透镜L9组合的胶合透镜组焦距44.63mm，第十透镜L10与第十一透镜L11组合的胶合透镜组焦距为-23.11mm，第十二透镜L12与第十三透镜L13组合的胶合透镜组焦距为39.16mm。

第一透镜的折射率/阿贝系数为1.51680/64.17，第二透镜的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第三透镜的折射率/阿贝系数1.48746/70.04，第四透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第五透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第六透镜的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第七透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第八透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第九透镜的折射率/阿贝系数为1.69211/54.54，第十透镜的折射率/阿贝系数为1.43335/94.52，第十一透镜的折射率/阿贝系数为1.74693/50.95，第十二透镜的折射率/阿贝系数为1.75520/27.53，第十三透镜的折射率/阿贝系数为1.74693/50.95。

通过ZEMAX软件模拟出以上参数的实验结果，如图2、图3、图4、图5和图6所示。

图2是ZEMAX软件模拟出本发明的实施例1参数下，显微镜物镜的数值孔径(NA)的参数表。由图2的参数可以看出，其数值孔径(NA)为1，完全达到大幅提高显微镜物镜的数值孔径(NA)。

图3光程差所展示的是在大视场下，色散的情况；由图像可以看出，在不同视场下，其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差关系，X、Y分别表示弧矢分量和子午分量，图像的最大垂直比例为±2.000波长；由上至下，由左至右看图，第一幅图像表示视场点为0.0000mm，其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图，以横坐标轴为基准，由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.436、0.546、0.480的曲线，第二幅图像表示视场点为0.1040mm，其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图，以横坐标轴为基准，由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.436、0.546、0.480的曲线，第三幅图像表示视场点为0.1470mm，其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图，以横坐标轴为基准，由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.436、0.546、0.480的曲线，第四幅图像表示视场点为0.1800mm，其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图，以横坐标轴为基准，由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.436、0.546、0.480的曲线，第五幅图像表示视场点为0.2080mm，其子午分量和弧矢分量的光瞳坐标下光程差曲线图，以横坐标轴为基准，由下至上的各曲线分别代表波长为0.644、0.436、0.546、0.480的曲线。其中每副曲线图中的曲线越靠近横坐标轴，其光程差越好，由图像可以体现出整个视场的色散较好。

在图4中作一基准线，各曲线与基准线相交由下至上，其每条曲线分别表示视场点为0.2080mm、0.1.800mm、0.1470mm、0.1040mm、0.0000mm时，视场的能量百分比与光斑半径之间的关系，其中最上一条曲线为理想情况下能量百分比与光斑半径的关系，其他曲线与此理想曲线之间差距越小越好，从图像可以体现出整个视场较好的能力集中度。

图5为多色光光学传递函数，图像中T为子午分量，S为弧矢分量；作一基准线，各曲线与基准线相交由下至上，其第一条曲线表示视场点为0.2080mm的子午分量的传递函数，第二条曲线表示视场点为0.1800mm的子午分量的传递函数，第三条曲线表示视场点为0.1470mm的子午分量的传递函数，第四条曲线表示视场点为0.2080mm的弧矢分量的传递函数，第五条曲线表示视场点为0.1040mm的子午分量的传递函数，第六条曲线表示视场点为0.1800mm的弧矢分量的传递函数，第七条曲线表示视场点为0.1470mm的弧矢分量的传递函数，第八条曲线表示视场点为0.1040mm的弧矢分量的传递函数，第九条曲线表示视场点为0.0000mm的子午分量的传递函数和弧矢分量的传递函数。其中第十条曲线为理想情况下的传递函数曲线，其他曲线与此理想曲线越接近表示性能越好，由图像可以看出整个视场其衬度非常好。

图6波相差所展示的是在大视场下，波相差与理论值接近完美。

实施例2

二十个镜面的结构参数，具体见表3。

表3实施例2的二十个镜面的结构参数

其实验结果同样达到数值孔径(NA)为1，完全达到大幅提高显微镜物镜的数值孔径(NA)。

实施例3

二十个镜面的结构参数，具体见表4。

表4实施例3的二十个镜面的结构参数

Claims

1.一种显微镜物镜，其特征在于：包括同光轴设置的十三片球面透镜，从物方至像方依次排列，从物方至像方的十三片球面透镜分别为：第一透镜（L1）、第二透镜（L2）、第三透镜（L3）、第四透镜（L4）、第五透镜（L5）、第六透镜（L6）、第七透镜（L7）、第八透镜（L8）、第九透镜（L9）、第十透镜（L10）、第十一透镜（L11）、第十二透镜（L12）和第十三透镜（L13）；

第一透镜（L1）、第二透镜（L2）和第三透镜（L3）组合为胶合透镜组，其中第一透镜（L1）面向物方为平面，面向像方为凸面；第二透镜（L2）面向物方为凹面，面向像方为凸面；第三透镜（L3）面向物方为凹面，面向像方为凸面，第一透镜（L1）面向像方的凸面与第二透镜（L2）面向物方的凹面胶合在一起，第二透镜（L2）面向像方的凸面与第三透镜（L3）面向物方的凹面胶合在一起；

第四透镜（L4）面向物方为凹面，面向像方为凸面；

第五透镜（L5）面向物方为凸面，面向像方为凸面；

第六透镜（L6）和第七透镜（L7）组合为胶合透镜组，其中第六透镜（L6）面向物方为平面，面向像方为凹面；第七透镜（L7）面向物方为凸面，面向像方为凸面，第六透镜（L6）面向像方的凹面与第七透镜（L7）面向物方的凸面胶合在一起；

第八透镜（L8）和第九透镜（L9）组合为胶合透镜组，其中第八透镜（L8）面向物方为凸面，面向像方为凸面；第九透镜（L9）面向物方为凹面，面向像方为平面，第八透镜（L8）面向像方的凸面与第九透镜（L9）面向物方的凹面胶合在一起；

第十透镜（L10）、第十一透镜（L11）组合为胶合透镜组，其中第十透镜（L10）面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十一透镜（L11）面向物方为凹面，面向像方为凹面，第十透镜（L10）面向像方的凸面与第十一透镜（L11）面向物方的凹面胶合在一起；

第十二透镜（L12）和第十三透镜（L13）组合为胶合透镜组，其中第十二透镜（L12）面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十三透镜（L13）面向物方为凹面，面向像方为凹面，第十二透镜（L12）面向像方的凸面与第十三透镜（L13）面向物方的凹面胶合在一起。

2.根据权利要求1所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述第一透镜（L1）的折射率为1.51680，第一透镜（L1）的阿贝系数为64.17，第二透镜（L2）的折射率为1.75520，第二透镜（L2）的阿贝系数为27.53，第三透镜（L3）的折射率为1.48746，第三透镜（L3）的阿贝系数为70.04，第四透镜（L4）的折射率为1.43335，第四透镜（L4）的阿贝系数为94.52，第五透镜(L5)的折射率为1.43335，第五透镜(L5)的阿贝系数为94.52，第六透镜（L6）的折射率为1.75520，第六透镜（L6）的阿贝系数为27.53，第七透镜(L7)的折射率为1.43335，第七透镜(L7)的阿贝系数为94.52，第八透镜（L8）的折射率为1.43335，第八透镜（L8）的阿贝系数为94.52，第九透镜(L9)的折射率为1.69211，第九透镜(L9)的阿贝系数为54.54，第十透镜（L10）的折射率为1.43335，第十透镜（L10）的阿贝系数为94.52，第十一透镜（L11）的折射率为1.74693，第十一透镜（L11）的阿贝系数为50.95，第十二透镜（L12）的折射率为1.75520，第十二透镜（L12）的阿贝系数为27.53，第十三透镜（L13）的折射率为1.74693，第十三透镜（L13）的阿贝系数为50.95。

3.根据权利要求1至2中任意一项所述的一种显微镜物镜，其特征在于：所述的显微镜物镜最大数值孔径为1。