CN109061861A - 一种无超半球的显微镜物镜 - Google Patents

一种无超半球的显微镜物镜 Download PDF

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Abstract

本发明涉及光学器件技术领域,特别涉及一种无超半球的显微镜物镜;本发明包括同光轴设置的十六片球面透镜,从物方至像方依次排列,分别为:第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜、第十五透镜和第十六透镜;本发明不采用超半球镜片,而是由16个透镜组成,其中包含2个三胶合透镜组、4个双胶合透镜组及2个单片透镜,而且16个透镜均为球面透镜,加工比较简单且成本比较低,通过16个透镜的组合实现大数值孔径、高倍率及成像质量优异的效果。

Description

一种无超半球的显微镜物镜
技术领域
本发明涉及光学器件技术领域,特别涉及一种无超半球的显微镜物镜。
背景技术
显微镜已成为很多精密微型领域广泛应用的高科技设备,尤其是生物医疗方面,显微镜是观察微小生物及其组织结构最有效的探索工具。
显微镜物镜作为构成显微镜最为重要的光学器件之一,尤其是高倍率、大数值孔径、平场以及复消色差的显微镜物镜,对微观世界的研究起着重大的推进作用。一般的显微镜物镜为了提高数值孔径实现高分辨率,尽可能增大第一片镜片的收集光线角度,需要设计第一片镜片为超半球镜片,这无疑增加了加工的难度以及镀膜的难度,进而增加物镜成本。
专利名称为一种显微物镜(申请号为201711016833.7,申请日:2017年10月26日)的中国发明专利,公开了一种显微物镜的专利,其具有优选反对称的透镜或者透镜组,成像比例为-100倍,像方线视场为25mm,数值孔径为1.48;根据该发明,该显微物镜由整体上具有正折射光焦度的第一透镜组G1和整体上具有负折射光焦度的第二透镜组G2组成。从物方开始第一透镜组G1由第一双胶合透镜组CL11、第三单透镜L3、第四单透镜L4、第二双胶合透镜组CL12、第三双胶合透镜组CL13和第一三胶合透镜组CL14组成;第二透镜组G2由第二三胶合透镜组CL21和第十五单透镜L15组成;通过采用结构相同的粘合元件和透镜对,可以保证高数值孔径,但是第一片镜片接近超半球的外形结构存在加工困难,生产成本高等缺点,不利于镜片的合格率。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种无超半球的显微镜物镜,由16个透镜组成,其中包含2个三胶合透镜组、4个双胶合透镜组及2个单片透镜,而且16个透镜均为球面透镜,加工比较简单且成本比较低,通过16个透镜的组合实现大数值孔径、高倍率及成像质量优异的效果。
为解决上述技术问题,本发明采用的一个技术方案是:提供一种无超半球的显微镜物镜,其中,包括同光轴设置的十六片球面透镜,从物方至像方依次排列,分别为:第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)、第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第九透镜(L9)、第十透镜(L10)、第十一透镜(L11)、第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)、第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16);所述第一透镜(L1)与所述第二透镜(L2)组成第一双胶合透镜组;所述第三透镜(L3)与所述第四透镜(L4)组成第二双胶合透镜组;所述第五透镜(L5)与所述第六透镜(L6)均为双凸透镜;所述第七透镜(L7)与所述第八透镜(L8)、第九透镜(L9)组成第一三胶合透镜组;所述第十透镜(L10)与所述第十一透镜(L11)、第十二透镜(L12)组成第二三胶合透镜组;所述第十三透镜(L13)与所述第十四透镜(L14)组成第三双胶合透镜组;所述第十五透镜(L15)与所述第十六透镜(L16)组成第四双胶合透镜组。
作为本发明的一种改进,第一透镜(L1)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第二透镜(L2)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第一透镜(L1)面向像方的凸面和第二透镜(L2)面向物方的凹面胶合在一起。
作为本发明的进一步改进,第三透镜(L3)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第四透镜(L4)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第三透镜(L3)面向像方的凹面和第四透镜(L4)面向物方的凸面胶合在一起。
作为本发明的更进一步改进,第五透镜(L5)面向物方为凸面且面向像面为凸面;第六透镜(L6)面向物方为凸面且面向像面为凸面。
作为本发明的更进一步改进,第七透镜(L7)面向物方为凸面且面向像方为凹面,第八透镜(L8)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第九透镜(L9)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第七透镜(L7)面向像方的凹面与第八透镜(L8)面向物方的凸面胶合在一起,第八透镜(L8)面向像方的凸面与第九透镜(L9)面向物方的凹面胶合在一起。
作为本发明的更进一步改进,第十透镜(L10)面向物方为凸面且面向像方为凹面,第十一透镜(L11)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十二透镜(L12)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第十透镜(L10)面向像方的凸面与第十一透镜(L11)面向物方的凹面胶合在一起,第十一透镜(L11)面向像方的凹面与第十二透镜(L12)面向物方的凸面胶合在一起。
作为本发明的更进一步改进,第十三透镜(L13)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第十四透镜(L14)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十三透镜(L13)面向像方的凸面与第十四透镜(L14)面向物方的凹面胶合在一起。
作为本发明的更进一步改进,第十五透镜(L15)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十六透镜(L16)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第十五透镜(L15)面向像方的凹面与第十六透镜(L16)面向物方的凸面胶合在一起。
作为本发明的更进一步改进,所述十六片球面透镜共有二十四面镜面,第一透镜(L1)面向物方的凹面为第一镜面,第一透镜(L1)和第二透镜(L2)的胶合面为第二镜面,第二透镜(L2)面向像方的凸面为第三镜面,第三透镜(L3)面向物方的凹面为第四镜面,第三透镜(L3)和第四透镜(L4)的胶合面为第五镜面,第四透镜(L4)面向像方的凸面为第六镜面,第五透镜(L5)面向物方的凸面为第七镜面,第五透镜(L5)面向像方的凸面为第八镜面,第六透镜(L6)面向物方的凸面为第九镜面,第六透镜(L6)面向像方的凸面为第十镜面,第七透镜(L7)面向物方的凸面为第十一镜面,第七透镜(L7)和第八透镜(L8)的胶合面为第十二镜面,第八透镜(L8)和第九透镜(L9)的胶合面为第十三镜面,第九透镜(L9)面向像方的凸面为第十四镜面,第十透镜(L10)面向物方的凸面为第十五镜面,第十透镜(L10)和第十一透镜(L11)的胶合面为第十六镜面,第十一透镜(L11)和第十二透镜(L12)的胶合面为第十七镜面,第十二透镜(L12)面向像方的凸面为第十八镜面,第十三透镜(L13)面向物方的凹面为第十九镜面,第十三透镜(L13)和第十四透镜(L14)的胶合面为第二十镜面,第十四透镜(L14)面向像方的凹面为第二十一镜面,第十五透镜(L15)面向物方的凹面为第二十二镜面,第十五透镜(L15)和第十六透镜(L16)的胶合面为第二十三镜面,第十六透镜(L16)面向像面的凸面为第二十四镜面。
作为本发明的更进一步改进,所述第五透镜(L5)和第六透镜(L6)均为正凸透镜。
本发明的有益效果是:与现有技术相比,本发明不采用超半球镜片,而是由16个透镜组成,其中包含2个三胶合透镜组、4个双胶合透镜组及2个单片透镜,而且16个透镜均为球面透镜,加工比较简单且成本比较低,通过16个透镜的组合实现大数值孔径、高倍率及成像质量优异的效果,而且可以平场、复消色差。
附图说明
图1是本发明提供的显微镜物镜的结构示意图;
图2是本发明的实施例提供的显微镜物镜的0.0视场横向像差图;
图3是本发明的实施例提供的显微镜物镜的0.7视场横向像差图;
图4是本发明的实施例提供的显微镜物镜的1.0视场横向像差图;
图5是本发明的实施例提供的显微镜物镜的全视场传递函数曲线图;
图6是本发明的实施例提供的显微镜物镜的轴向色差图;
图7是本发明的实施例提供的显微镜物镜的倍率色差图;
图8是本发明的实施例提供的显微镜物镜的场曲畸变图;
附图标记:L1-第一透镜;L2-第二透镜;L3-第三透镜;L4-第四透镜;L5-第五透镜;L6-第六透镜;L7-第七透镜;L8-第八透镜;L9-第九透镜;L10-第十透镜;L11-第十一透镜;L12-第十二透镜;L13-第十三透镜;L14-第十四透镜;L15-第十五透镜;L16-第十六透镜。
具体实施方式
如图1所示,本发明的一种无超半球的显微镜物镜,包括同光轴设置的十六片球面透镜,从物方至像方依次排列,分别为:第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3、第四透镜L4、第五透镜L5、第六透镜L6、第七透镜L7、第八透镜L8、第九透镜L9、第十透镜L10、第十一透镜L11、第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14、第十五透镜L15、第十六透镜L16。
第一透镜L1与第二透镜L2组成第一双胶合透镜组。
第三透镜L3与第四透镜L4组成第二双胶合透镜组。
第五透镜L5与第六透镜L6均为双凸透镜。
第七透镜L7与第八透镜L8、第九透镜L9组成第一三胶合透镜组。
第十透镜L10与第十一透镜L11、第十二透镜L12组成第二三胶合透镜组。
第十三透镜L13与所述第十四透镜L14组成第三双胶合透镜组。
第十五透镜L15与第十六透镜L16组成第四双胶合透镜组。
其中,第一透镜L1面向物方为凹面且面向像方为凸面,第二透镜L2面向物方为凹面且面向像方为凸面,第一透镜L1面向像方的凸面和第二透镜L2面向物方的凹面胶合在一起;第一透镜L1和第二透镜L2设置为不晕齐明透镜,用于避免超半球面型产生的同时增大数值孔径,且利用齐明透镜不产生球差的特点。
进一步,第三透镜L3面向物方为凹面且面向像方为凹面,第四透镜L4面向物方为凸面且面向像方为凸面,第三透镜L3面向像方的凹面和第四透镜L4面向物方的凸面胶合在一起;第三透镜L3和第四透镜L4采用正光焦度,用于进一步承担高数值孔径所需的高光焦度,以弯月厚透镜的形式校正第一透镜L1和第二透镜L2带来的场曲。
再进一步,第五透镜L5面向物方为凸面且面向像面为凸面;第六透镜L6面向物方为凸面且面向像面为凸面;第五透镜L5和第六透镜L6均采用正光焦度,用于调节彗差。
再进一步,第七透镜L7面向物方为凸面且面向像方为凹面,第八透镜L8面向物方为凸面且面向像方为凸面,第九透镜L9面向物方为凹面且面向像方为凸面,第七透镜L7面向像方的凹面与第八透镜L8面向物方的凸面胶合在一起,第八透镜L8面向像方的凸面与第九透镜L9面向物方的凹面胶合在一起;第七透镜L7、第八透镜L8和第九透镜L9采用负光焦度,并选用低折射率、低色散材料做正透镜,用于校正二级光谱带来的位置色差。
再进一步,第十透镜L10面向物方为凸面且面向像方为凹面,第十一透镜L11面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十二透镜L12面向物方为凸面且面向像方为凸面,第十透镜L10面向像方的凸面与第十一透镜L11面向物方的凹面胶合在一起,第十一透镜L11面向像方的凹面与第十二透镜L12面向物方的凸面胶合在一起;第十透镜L10、第十一透镜L11和第十二透镜L12采用正光焦度,以三胶合的形式,进一步校正二级光谱带来的位置色差,并平衡高级像散。
再进一步,第十三透镜L13面向物方为凹面且面向像方为凸面,第十四透镜L14面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十三透镜L13面向像方的凸面与第十四透镜L14面向物方的凹面胶合在一起;第十三透镜L13和第十四透镜L14采用负光焦度,用于平衡第一透镜至第十二透镜带来的剩余球差。
再进一步,第十五透镜L15面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十六透镜L16面向物方为凸面且面向像方为凸面,第十五透镜L15面向像方的凹面与第十六透镜L16面向物方的凸面胶合在一起;第十五透镜L15和第十六透镜L16采用负光焦度,用于平衡第一透镜至第十四透镜带来的剩余球差。
在本发明中,十六片球面透镜共有二十四面镜面,第一透镜L1面向物方的凹面为第一镜面,第一透镜L1和第二透镜L2的胶合面为第二镜面,第二透镜L2面向像方的凸面为第三镜面,第三透镜L3面向物方的凹面为第四镜面,第三透镜L3和第四透镜L4的胶合面为第五镜面,第四透镜L4面向像方的凸面为第六镜面,第五透镜L5面向物方的凸面为第七镜面,第五透镜L5面向像方的凸面为第八镜面,第六透镜L6面向物方的凸面为第九镜面,第六透镜L6面向像方的凸面为第十镜面,第七透镜L7面向物方的凸面为第十一镜面,第七透镜L7和第八透镜L8的胶合面为第十二镜面,第八透镜L8和第九透镜L9的胶合面为第十三镜面,第九透镜L9面向像方的凸面为第十四镜面,第十透镜L10面向物方的凸面为第十五镜面,第十透镜L10和第十一透镜L11的胶合面为第十六镜面,第十一透镜L11和第十二透镜L12的胶合面为第十七镜面,第十二透镜L12面向像方的凸面为第十八镜面,第十三透镜L13面向物方的凹面为第十九镜面,第十三透镜L13和第十四透镜L14的胶合面为第二十镜面,第十四透镜L14面向像方的凹面为第二十一镜面,第十五透镜L15面向物方的凹面为第二十二镜面,第十五透镜L15和第十六透镜L16的胶合面为第二十三镜面,第十六透镜L16面向像面的凸面为第二十四镜面。
本发明采用球面透镜,而不采用超半球,是因为球面透镜相对超半球加工简单成本更低,相对超半球来说,球面透镜在相同像质的情况下,相对来说加工更简单且成本更低。
在本发明中,第五透镜L5和第六透镜L6均为正凸透镜。
与现有技术相比,本发明不采用超半球镜片,而是由16个透镜组成,其中包含2个三胶合透镜组、4个双胶合透镜组及2个单片透镜,而且16个透镜均为球面透镜,加工比较简单且成本比较低,通过16个透镜的组合实现大数值孔径、高倍率及成像质量优异的效果,而且可以平场、复消色差。
具体地说,在本发明中,本发明的一种无超半球的显微镜物镜,包括同光轴设置的十六片球面透镜,从物方至像方依次排列,分别为:第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3、第四透镜L4、第五透镜L5、第六透镜L6、第七透镜L7、第八透镜L8、第九透镜L9、第十透镜L10、第十一透镜L11、第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14、第十五透镜L15、第十六透镜L16;第一透镜L1和第二透镜L2组成胶合透镜组,其中第一透镜L1面向物方为凹面,面向像方为凸面,第二透镜L2面向物方为凹面,面向像方为凸面,第一透镜L1面向像方的凸面和第二透镜L2面向物方的凹面胶合在一起;第三透镜L3和第四透镜L4组成胶合透镜组,其中第三透镜L3面向物方为凹面,面向像方为凹面,第四透镜L4面向物方为凸面,面向像方为凸面,第三透镜L3面向像方的凹面和第四透镜L4面向物方的凸面胶合在一起;第五透镜L5面向物方为凸面,面向像面为凸面;第六透镜L6面向物方为凸面,面向像面为凸面;第七透镜L7、第八透镜L8和第九透镜L9组成三胶合透镜组,其中第七透镜L7面向物方为凸面,面向像方为凹面,第八透镜L8面向物方为凸面,面向像方为凸面,第九透镜L9面向物方为凹面,面向像方为凸面,第七透镜L7面向像方的凹面和第八透镜L8面向物方的凸面胶合在一起,第八透镜L8面向像方的凸面和第九透镜L9面向物方的凹面胶合在一起;第十透镜L10、第十一透镜L11和第十二透镜L12组成三胶合透镜组,其中第十透镜L10面向物方为凸面,面向像方为凹面,第十一透镜L11面向物方为凹面,面向像方为凹面,第十二透镜L12面向物方为凸面,面向像方为凸面,第十透镜L10面向像方的凸面和第十一透镜L11面向物方的凹面胶合在一起,第十一透镜L11面向像方的凹面和第十二透镜L12面向物方的凸面胶合在一起;第十三透镜L13和第十四透镜L14组成双胶合透镜组,其中第十三透镜L13面向物方为凹面,面向像方为凸面,第十四透镜L14面向物方为凹面,面向像方为凹面,第十三透镜L13面向像方的凸面和第十四透镜L14面向物方的凹面胶合在一起;第十五透镜L15和第十六透镜L16组成双胶合透镜组,其中第十五透镜L15面向物方为凹面,面向像方为凹面,第十六透镜L16面向物方为凸面,面向像方为凸面,第十五透镜L15面向像方的凹面和第十六透镜L16面向物方的凸面胶合在一起;而且十六个透镜共有二十四个镜面,第一透镜L1面向物方的凹面为第一镜面,第一透镜L1和第二透镜L2的胶合面为第二镜面,第二透镜L2面向像方的凸面为第三镜面,第三透镜L3面向物方的凹面为第四镜面,第三透镜L3和第四透镜L4的胶合面为第五镜面,第四透镜L4面向像方的凸面为第六镜面,第五透镜L5面向物方的凸面为第七镜面,第五透镜L5面向像方的凸面为第八镜面,第六透镜L6面向物方的凸面为第九镜面,第六透镜L6面向像方的凸面为第十镜面,第七透镜L7面向物方的凸面为第十一镜面,第七透镜L7和第八透镜L8的胶合面为第十二镜面,第八透镜L8和第九透镜L9的胶合面为第十三镜面,第九透镜L9面向像方的凸面为第十四镜面,第十透镜L10面向物方的凸面为第十五镜面,第十透镜L10和第十一透镜L11的胶合面为第十六镜面,第十一透镜L11和第十二透镜L12的胶合面为第十七镜面,第十二透镜L12面向像方的凸面为第十八镜面,第十三透镜L13面向物方的凹面为第十九镜面,第十三透镜L13和第十四透镜L14的胶合面为第二十镜面,第十四透镜L14面向像方的凹面为第二十一镜面,第十五透镜L15面向物方的凹面为第二十二镜面,第十五透镜L15和第十六透镜L16的胶合面为第二十三镜面,第十六透镜L16面向像面的凸面为第二十四镜面;二十四个镜面的结构参数为(R为镜面的曲率半径;D为镜面的镜面距离;ψ为镜面的有效通光孔径):
第一镜面为R1=-18.25~-16.49mm、D1=2.354~2.654mm、ψ1=1.101~1.315mm;
第二镜面为R2=-2.595~-2.245mm、D2=1.872~2.147mm、ψ2=2.095~2.684mm;
第三镜面为R3=-4.245~-3.680mm、D3=0.098~0.112mm、ψ3=3.317~3.817mm;
第四镜面为R4=-26.358~-24.443mm、D4=0.948~1.135mm、ψ4=5.928~6.218mm;
第五镜面为R5=12.298~13.423mm、D5=6.847~7.203mm、ψ5=8.052~8.135mm;
第六镜面为R6=-11.159~-9.299mm、D6=0.098~0.112mm、ψ6=7.842~8.342mm;
第七镜面为R7=49.368~52.209mm、D7=2.758~2.905mm、ψ7=9.127~9.345mm;
第八镜面为R8=-42.854~-40.357mm、D8=0.098~0.112mm、ψ8=9.024~9.625mm;
第九镜面为R9=16.237~18.361mm、D9=3.871~4.073mm、ψ9=8.752~8.913mm;
第十镜面为R10=-48.128~-45.970mm、D10=0.098~0.112mm、ψ10=8.675~8.821mm;
第十一镜面为R11=29.891~32.652mm、D11=0.948~1.135mm、ψ11=7.524~7.845mm;
第十二镜面为R12=5.948~6.996mm、D12=7.548~7.885mm、ψ12=6.015~6.218mm;
第十三镜面为R13=-8.289~-7.594mm、D13=0.948~1.135mm、ψ13=5.894~6.127mm;
第十四镜面为R14=-17.658~-15.636mm、D14=0.098~0.112mm、ψ14=5.924~6.148mm;
第十五镜面为R15=10.684~11.932mm、D15=2.814~3.211mm、ψ15=4.975~5.218mm;
第十六镜面为R16=-10.328~-9.835mm、D16=0.948~1.135mm、ψ16=4.975~5.218mm;
第十七镜面为R17=4.268~5.768mm、D17=3.1358~3.365mm、ψ17=3.924~4.127mm;
第十八镜面为R18=-9.572~-8.589mm、D18=0.725~0.818mm、ψ18=3.817~4.247mm;
第十九镜面为R19=-11.358~-9.134mm、D19=2.925~3.263mm、ψ19=3.015~3.226mm;
第二十镜面为R20=-6.357~-5.096mm、D20=0.948~1.135mm、ψ20=3.015~3.226mm;
第二十一镜面为R21=2.186~2.919mm、D21=1.495~1.633mm、ψ21=1.957~2.123mm;
第二十二镜面为R22=-4.128~-3.294mm、D22=2.154~2.358mm、ψ22=1.957~2.123mm;
第二十三镜面为R23=7.842~8.684mm、D23=4.950~6.252mm、ψ23=2.971~3.104mm;
第二十四镜面为R24=-28.364~-26.456mm、D24=1.897~2.180mm、ψ24=2.496~2.624mm。
在本发明中,第一透镜L1与第二透镜L2组合的胶合透镜组焦距为-5.05mm,第三透镜L3与第四透镜L4组合的胶合透镜组焦距为-20.959mm,第五透镜L5焦距为-25.446mm,第六透镜L6焦距为-30.013mm,第七透镜L7、第八透镜L8与第九透镜L9组合的胶合透镜组焦距为3057.124mm,第十透镜L10、第十一透镜L11与第十二透镜L12组合的胶合透镜组焦距-21.123mm,第十三透镜L13与第十四透镜L14组合的胶合透镜组焦距为4.713mm,第十五透镜L15与第十六透镜L16组合的胶合透镜组焦距为137.720mm。
在本发明中,第一透镜L1的折射率/阿贝系数为1.85/32.2,第二透镜L2的折射率/阿贝系数为1.92/20.9,第三透镜L3的折射率/阿贝系数为1.78/26.1,第四透镜L4的折射率/阿贝系数为1.73/48.8,第五透镜L5的折射率/阿贝系数为1.92/20.9,第六透镜L6的折射率/阿贝系数为1.43/95.0,第七透镜L7的折射率/阿贝系数为1.61/37.0,第八透镜L8的折射率/阿贝系数为1.43/95.0,第九透镜L9的折射率/阿贝系数为1.74/28.3,第十透镜L10的折射率/阿贝系数为1.62/60.4,第十一透镜L11的折射率/阿贝系数为1.92/20.9,第十二透镜L12的折射率/阿贝系数为1.62/60.4,第十三透镜L13的折射率/阿贝系数为1.92/20.9,第十四透镜L14的折射率/阿贝系数为1.52/64.2,第十五透镜L15的折射率/阿贝系数为1.92/20.9,第十六透镜L16的折射率/阿贝系数为1.52/64.2。
在本发明中,第五透镜L5和第六透镜L6均为正凸透镜;第十四透镜L14远离物方一侧表面的半径值大于2.8mm,第十五透镜L15靠近物方一侧表面的半径值大于3.6mm;第十四透镜L14和第十五透镜L15之间沿光轴所在的直线上的空气间隔为0.5mm至1.8mm。
在本发明中,显微镜物镜满足:1.40≦NA﹤1.46(NA表示物镜的数值孔径)。
在本发明中,显微镜物镜满足:20﹤FN≦25(FN表示物镜的视场数)。
本发明的显微镜物镜的最佳数据可以达到放大倍率为-100x,数值孔径1.45;本发明的显微镜物镜,在保证高倍率高分辨率的同时,减少了超半球物镜的使用,实现了可见光波段的复消色差,很好地消除了球差、彗差、像散、场曲、畸变、倍率色差及轴向色差,满足平场复消色差物镜要求,实现了高倍率高分辨易加工等技术要求。边缘视场最佳聚焦点于中心视场最佳聚焦点轴向差异远小于2λ/NA2,500nm至800nm波段任意两波长均达到复消色差,且轴向色差小于2λ/NA2
本发明提供一个实施例,请参阅图1,为本发明实施例提供的显微物镜结构示意图,包括:同光轴设置的十六片球面透镜,从物方至像方依次排列,分别为:第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3、第四透镜L4、第五透镜L5、第六透镜L6、第七透镜L7、第八透镜L8、第九透镜L9、第十透镜L10、第十一透镜L11、第十二透镜L12、第十三透镜L13、第十四透镜L14、第十五透镜L15以及第十六透镜L16;其中:第一透镜L1和第二透镜L2组成胶合透镜组,其中第一透镜L1面向物方为凹面,面向像方为凸面;第二透镜L2面向物方为凹面,面向像方为凸面;第一透镜L1面向像方的凸面和第二透镜L2面向物方的凹面胶合在一起;第三透镜L3和第四透镜L4组成胶合透镜组,其中第三透镜L3面向物方为凹面,面向像方为凹面;第四透镜L4面向物方为凸面,面向像方为凸面;第三透镜L3面向像方的凹面和第四透镜L4面向物方的凸面胶合在一起;第五透镜L5面向物方为凸面,面向像面为凸面;第六透镜L6面向物方为凸面,面向像面为凸面;第七透镜L7、第八透镜L8和第九透镜L9组成三胶合透镜组,其中第七透镜L7面向物方为凸面,面向像方为凹面;第八透镜L8面向物方为凸面,面向像方为凸面;第九透镜L9面向物方为凹面,面向像方为凸面;第七透镜L7面向像方的凹面和第八透镜L8面向物方的凸面胶合在一起;第八透镜L8面向像方的凸面和第九透镜L9面向物方的凹面胶合在一起;第十透镜L10、第十一透镜L11和第十二透镜L12组成三胶合透镜组,其中第十透镜L10面向物方为凸面,面向像方为凹面;第十一透镜L11面向物方为凹面,面向像方为凹面;第十二透镜L12面向物方为凸面,面向像方为凸面;第十透镜L10面向像方的凸面和第十一透镜L11面向物方的凹面胶合在一起;第十一透镜L11面向像方的凹面和第十二透镜L12面向物方的凸面胶合在一起;第十三透镜L13和第十四透镜L14组成双胶合透镜组,其中第十三透镜L13面向物方为凹面,面向像方为凸面;第十四透镜L14面向物方为凹面,面向像方为凹面;第十三透镜L13面向像方的凸面和第十四透镜L14面向物方的凹面胶合在一起;第十五透镜L15和第十六透镜L16组成双胶合透镜组,其中第十五透镜L15面向物方为凹面,面向像方为凹面;第十六透镜L16面向物方为凸面,面向像方为凸面;第十五透镜L15面向像方的凹面和第十六透镜L16面向物方的凸面胶合在一起;第一透镜L1面向物方的凹面为第一镜面,第一透镜L1和第二透镜L2的胶合面为第二镜面,第二透镜L2面向像方的凸面为第三镜面,第三透镜L3面向物方的凹面为第四镜面,第三透镜L3和第四透镜L4的胶合面为第五镜面,第四透镜L4面向像方的凸面为第六镜面,第五透镜L5面向物方的凸面为第七镜面,第五透镜L5面向像方的凸面为第八镜面,第六透镜L6面向物方的凸面为第九镜面,第六透镜L6面向像方的凸面为第十镜面,第七透镜L7面向物方的凸面为第十一镜面,第七透镜L7和第八透镜L8的胶合面为第十二镜面,第八透镜L8和第九透镜L9的胶合面为第十三镜面,第九透镜L9面向像方的凸面为第十四镜面,第十透镜L10面向物方的凸面为第十五镜面,第十透镜L10和第十一透镜L11的胶合面为第十六镜面,第十一透镜L11和第十二透镜L12的胶合面为第十七镜面,第十二透镜L12面向像方的凸面为第十八镜面,第十三透镜L13面向物方的凹面为第十九镜面,第十三透镜L13和第十四透镜L14的胶合面为第二十镜面,第十四透镜L14面向像方的凹面为第二十一镜面,第十五透镜L15面向物方的凹面为第二十二镜面,第十五透镜L15和第十六透镜L16的胶合面为第二十三镜面,第十六透镜L16面向像面的凸面为第二十四镜面。
请参阅下表1,表1表示为上述二十四个镜面的结构参数,其中,R1为第一镜面的曲率半径;D1为第一镜面的镜面距离;ψ1为第一镜面的有效通光孔径,R2~R24,D2~D24以及ψ2~ψ24的含义一次类推,Nd/Vd表示为折射率/阿贝数。
表1二十四个镜面的结构参数范围
请参阅图2为本发明实施例提供的显微镜物镜的0.0视场横向像差图;图2中横坐标PY、PX代表入瞳,纵坐标EY、EX代表横向像差,其中Y代表子午方向,X代表弧矢方向,各光线波长用不同颜色表明,从0.436um到0.644um波段各个波长各个入瞳位置的横向像差均在±1um以内,由图2可见像差平衡非常好,成像优秀;图2中横坐标为归一化入瞳;纵坐标最大为+1um,最小为-1um。
请参阅图3为本发明实施例提供的显微镜物镜的0.7视场横向像差图;图3中横坐标PY、PX代表入瞳,纵坐标EY、EX代表横向像差,其中Y代表子午方向,X代表弧矢方向,各光线波长用不同颜色表明,从0.436um到0.644um波段各个波长各个入瞳位置的横向像差均在±5um以内,由图3可见像差平衡非常好,成像优秀,图3中横坐标为归一化入瞳;纵坐标最大为+5um,最小为-5um。
请参阅图4为本发明实施例提供的显微镜物镜的1.0视场横向像差图,图4中横坐标PY、PX代表入瞳,纵坐标EY、EX代表横向像差,其中Y代表子午方向,X代表弧矢方向,各光线波长用不同颜色表明,从0.436um到0.644um波段各个波长各个入瞳位置的横向像差均在±5um以内,由图4可见像差平衡非常好,成像优秀,图4中横坐标为归一化入瞳;纵坐标最大为+5um,最小为-5um。
请参阅图5为本发明实施例提供的显微镜物镜的全视场传递函数曲线图,图5中纵坐标是归一化OTF的模,横坐标是空间频率,单位为l p/mm,图中表明轴上视场传递函数曲线接近衍射极限,轴外视场传递函数值都较高,说明光学系统全视场的成像衬度很高,成像的层次感分明。
请参阅图6为本发明实施例提供的显微镜物镜的轴向色差图,图6中纵坐标代表入瞳,横坐标代表纵向像差,单位为mm;各光线波长用不同颜色表明,从0.436um到0.644um波段任意两个波长各个入瞳位置的轴向色差小于2λ/NA2,达到复消色差水平。图中纵坐标为归一化入瞳;横坐标代表纵向像差,最大为0.01mm,最小为-0.01mm。
请参阅图7为本发明实施例提供的显微镜物镜的倍率色差图,图7中纵坐标代表视场,横坐标代表横向像差,单位为um。虚线表示系统衍射极限艾利斑的尺寸,实线表示从0.436um到0.644um波段的倍率色差全视场范围都在艾利斑范围内。
请参阅图8为本发明实施例提供的显微镜物镜的场曲畸变图,其左图为场曲图,图中纵坐标代表视场,横坐标代表场曲,单位为um;各光线波长用不同颜色表明,从0.436um到0.644um波段各个波长各个视场位置的场曲值均在±2um以内,边缘视场最佳聚焦点与中心视场最佳聚焦点轴向差异小于2λ/NA2,理论值满足全视场清晰,达到平场物镜要求;图中纵坐标为归一化视场;横坐标代表场曲,最大为2um,最小为-2um;其右图为畸变图,图中纵坐标代表视场,横坐标代表畸变(百分比),各光线波长用不同颜色表明,从0.436um到0.644um波段各个波长各个视场位置的畸变均小于0.20%,图中纵坐标为归一化视场;横坐标代表畸变,最大为0.20%,最小为-0.20%。
本发明的显微镜物镜,在保证高倍率高分辨率的同时,减少了超半球物镜的使用,实现了可见光波段的复消色差,很好地消除了球差、彗差、像散、场曲、畸变、倍率色差及轴向色差,满足平场复消色差物镜要求,实现了高倍率高分辨易加工等技术要求。
以上所述仅为本发明的实施方式,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,包括同光轴设置的十六片球面透镜,从物方至像方依次排列,分别为:第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)、第四透镜(L4)、第五透镜(L5)、第六透镜(L6)、第七透镜(L7)、第八透镜(L8)、第九透镜(L9)、第十透镜(L10)、第十一透镜(L11)、第十二透镜(L12)、第十三透镜(L13)、第十四透镜(L14)、第十五透镜(L15)、第十六透镜(L16);所述第一透镜(L1)与所述第二透镜(L2)组成第一双胶合透镜组;所述第三透镜(L3)与所述第四透镜(L4)组成第二双胶合透镜组;所述第五透镜(L5)与所述第六透镜(L6)均为双凸透镜;所述第七透镜(L7)与所述第八透镜(L8)、第九透镜(L9)组成第一三胶合透镜组;所述第十透镜(L10)与所述第十一透镜(L11)、第十二透镜(L12)组成第二三胶合透镜组;所述第十三透镜(L13)与所述第十四透镜(L14)组成第三双胶合透镜组;所述第十五透镜(L15)与所述第十六透镜(L16)组成第四双胶合透镜组。
2.根据权利要求1所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,第一透镜(L1)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第二透镜(L2)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第一透镜(L1)面向像方的凸面和第二透镜(L2)面向物方的凹面胶合在一起。
3.根据权利要求2所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,第三透镜(L3)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第四透镜(L4)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第三透镜(L3)面向像方的凹面和第四透镜(L4)面向物方的凸面胶合在一起。
4.根据权利要求3所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,第五透镜(L5)面向物方为凸面且面向像面为凸面;第六透镜(L6)面向物方为凸面且面向像面为凸面。
5.根据权利要求4所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,第七透镜(L7)面向物方为凸面且面向像方为凹面,第八透镜(L8)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第九透镜(L9)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第七透镜(L7)面向像方的凹面与第八透镜(L8)面向物方的凸面胶合在一起,第八透镜(L8)面向像方的凸面与第九透镜(L9)面向物方的凹面胶合在一起。
6.根据权利要求5所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,第十透镜(L10)面向物方为凸面且面向像方为凹面,第十一透镜(L11)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十二透镜(L12)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第十透镜(L10)面向像方的凸面与第十一透镜(L11)面向物方的凹面胶合在一起,第十一透镜(L11)面向像方的凹面与第十二透镜(L12)面向物方的凸面胶合在一起。
7.根据权利要求6所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,第十三透镜(L13)面向物方为凹面且面向像方为凸面,第十四透镜(L14)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十三透镜(L13)面向像方的凸面与第十四透镜(L14)面向物方的凹面胶合在一起。
8.根据权利要求7所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,第十五透镜(L15)面向物方为凹面且面向像方为凹面,第十六透镜(L16)面向物方为凸面且面向像方为凸面,第十五透镜(L15)面向像方的凹面与第十六透镜(L16)面向物方的凸面胶合在一起。
9.根据权利要求8所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,所述十六片球面透镜共有二十四面镜面,第一透镜(L1)面向物方的凹面为第一镜面,第一透镜(L1)和第二透镜(L2)的胶合面为第二镜面,第二透镜(L2)面向像方的凸面为第三镜面,第三透镜(L3)面向物方的凹面为第四镜面,第三透镜(L3)和第四透镜(L4)的胶合面为第五镜面,第四透镜(L4)面向像方的凸面为第六镜面,第五透镜(L5)面向物方的凸面为第七镜面,第五透镜(L5)面向像方的凸面为第八镜面,第六透镜(L6)面向物方的凸面为第九镜面,第六透镜(L6)面向像方的凸面为第十镜面,第七透镜(L7)面向物方的凸面为第十一镜面,第七透镜(L7)和第八透镜(L8)的胶合面为第十二镜面,第八透镜(L8)和第九透镜(L9)的胶合面为第十三镜面,第九透镜(L9)面向像方的凸面为第十四镜面,第十透镜(L10)面向物方的凸面为第十五镜面,第十透镜(L10)和第十一透镜(L11)的胶合面为第十六镜面,第十一透镜(L11)和第十二透镜(L12)的胶合面为第十七镜面,第十二透镜(L12)面向像方的凸面为第十八镜面,第十三透镜(L13)面向物方的凹面为第十九镜面,第十三透镜(L13)和第十四透镜(L14)的胶合面为第二十镜面,第十四透镜(L14)面向像方的凹面为第二十一镜面,第十五透镜(L15)面向物方的凹面为第二十二镜面,第十五透镜(L15)和第十六透镜(L16)的胶合面为第二十三镜面,第十六透镜(L16)面向像面的凸面为第二十四镜面。
10.根据权利要求9所述的一种无超半球的显微镜物镜,其特征在于,所述第五透镜(L5)和第六透镜(L6)均为正凸透镜。
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