CN104277890A - 一种太阳能硅片切割液 - Google Patents
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Abstract
本发明提出了一种太阳能硅片切割液,以重量份计,包括5份~40份的聚乙二醇;1份~20份的脂肪醇;1份~20份的三乙醇胺;10份~20份的添加剂。采用本发明可以减少硅片切割后的损伤,并且减少对环境的污染。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其涉及一种太阳能硅片切割液。
背景技术
电子化学品一般是指为电子工业配套的专用化学品,本项目电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化学品、晶体硅太阳能用化学品和平板显示用化学品等,其具有质量要求高、功能性强、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更精纯。
目前,光伏行业中多线切割硅片时,主要利用切片机的钢线带动浆料来完成切割。目前切割液的主要成分为聚乙二醇,其中通常会含有一定比例的表面活性剂、润滑剂、渗透剂和螯合剂等。通过将切割液与切割砂(通常为碳化硅)按一定比例互配混合得到切割用的浆料,并以切割钢线为载体带动浆料将硅块切割成硅片。现有技术中利用已有的切割液与切割砂得到的浆料来切割硅片,钢线的磨损比较严重;同时,为了在日益激烈的光伏行业中占有一席之地,降低生产成本以及生产高质量变得尤为重要,而利用现有的切割液来切割硅片,良品率有待提高,切割出来的硅片表面容易出现线痕;硅片的TTV均值也较高,总体的硅片表面粗糙度较大,并且不利于环保。
有鉴于此,如何设计一种太阳能硅片切割液,以提高浸润性,并延长其使用寿命,切割后的硅片损伤也较少,同时达到可回收环保的目的,是业内人士亟需解决的问题。
发明内容
针对现有技术中,晶硅切割液切割时浸润性较差,其使用寿命较短,并且切割后的硅片损伤也较大,而且还不环保等缺陷,本发明提供了一种太阳能硅片切割液。
根据本发明提供了一种太阳能硅片切割液,其中,以重量份计,包括:
5份~40份的聚乙二醇;
1份~20份的脂肪醇;
1份~20份的三乙醇胺;以及
10份~20份的添加剂。
优选的,以重量份计,包括:
15份~30份的聚乙二醇;
5份~15份的脂肪醇;
5份~15份的三乙醇胺;以及
13份~17份的添加剂。
优选的,所述添加剂包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇。
本发明的优点是:通过添加特定的活性剂,并采用新型工艺使切割时浸润性更好,并且延长了其使用寿命,通过本切割液对硅片切割后的损伤较少,同时达到可回收环保的目的。
具体实施方式
下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例1
取聚乙二醇20kg,搅拌下加入脂肪醇10kg,搅拌10分钟再加入三乙醇胺10kg,随后加入添加剂15kg,此处添加剂主要包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇,当然添加剂中还可以包括增稠剂,并用去离子水稀释至100kg,充分搅拌1小时,通过双级膜过滤既得本产品。
实施例2
取聚乙二醇5kg,搅拌下加入脂肪醇1kg,搅拌15分钟再加入三乙醇胺1kg,随后加入添加剂10kg,此处添加剂主要包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇,当然添加剂中还可以包括增稠剂,并用去离子水稀释至100kg,充分搅拌1小时,通过双级膜过滤既得本产品。
实施例3
取聚乙二醇40kg,搅拌下加入脂肪醇2kg,搅拌10分钟再加入三乙醇胺20kg,随后加入添加剂20kg,此处添加剂主要包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇,当然添加剂中还可以包括增稠剂,并用去离子水稀释至100kg,充分搅拌1小时,通过双级膜过滤既得本产品。
实施例4
取聚乙二醇15kg,搅拌下加入脂肪醇5kg,搅拌10分钟再加入三乙醇胺5kg,随后加入添加剂17kg,此处添加剂主要包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇,当然添加剂中还可以包括增稠剂,并用去离子水稀释至100kg,充分搅拌1小时,通过双级膜过滤既得本产品。
实施例5
取聚乙二醇30kg,搅拌下加入脂肪醇15kg,搅拌10分钟再加入三乙醇胺15kg,随后加入添加剂23kg,此处添加剂主要包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇,当然添加剂中还可以包括增稠剂,并用去离子水稀释至100kg,充分搅拌1小时,通过双级膜过滤既得本产品。
实施例6
取聚乙二醇15kg,搅拌下加入脂肪醇15kg,搅拌10分钟再加入三乙醇胺5kg,随后加入添加剂23kg,此处添加剂主要包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇,当然添加剂中还可以包括增稠剂,并用去离子水稀释至100kg,充分搅拌1小时,通过双级膜过滤既得本产品。
本发明的优点是:通过添加特定的活性剂,并采用新型工艺使切割时浸润性更好,并且延长了其使用寿命,通过本切割液对硅片切割后的损伤较少,同时达到可回收环保的目的。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (3)
1.一种太阳能硅片切割液,其特征在于,以重量份计,包括:
5份~40份的聚乙二醇;
1份~20份的脂肪醇;
1份~20份的三乙醇胺;以及
10份~20份的添加剂。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片切割液,其特征在于,以重量份计,包括:
15份~30份的聚乙二醇;
5份~15份的脂肪醇;
5份~15份的三乙醇胺;以及
13份~17份的添加剂。
3.如权利要求1所述的太阳能硅片切割液,其特征在于,所述添加剂包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN109810759A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-05-28 | 安徽华顺半导体发展有限公司 | 一种高导热率硅片用切割液及其制备方法 |
Citations (2)
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CN102618376A (zh) * | 2012-02-27 | 2012-08-01 | 常州君合科技有限公司 | 半导体精密薄片金刚石砂线切割液及其制备方法 |
CN102827672A (zh) * | 2011-06-17 | 2012-12-19 | 比亚迪股份有限公司 | 一种切割液及其制备方法 |
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2013
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RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |