CN104227855B - 具有绞合芯线的金刚石线锯及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种具有绞合芯线的金刚石线锯及其制造方法，其中该金刚石线锯包括：绞合芯线，绞合芯线包括至少两股金属丝，至少两股金属丝相互绞合，其中，每股金属丝的外表面分为第一区域和第二区域，第一区域为金属丝的切割区域，第二区域为金属丝的外表面中除第一区域外的其他区域，第一区域的曲率半径大于第二区域的曲率半径；磨料层，磨料层包覆绞合芯线，且磨料层中分散镶嵌有金刚石磨粒。本发明具有可靠性好，切割速度快，不易断裂，使用寿命长，易于回收利用等优点。

Description

具有绞合芯线的金刚石线锯及其制造方法

技术领域

本发明设计一种硬质材料切割技术领域，尤其是涉及一种具有绞合芯线的金刚石线锯及其制造方法。

背景技术

半导体元件基底通常是对硅片、蓝宝石、砷化镓、碳化硅等脆而硬的材料通过有效切割加工形成。一般可采用表面固定着金刚石磨粒的金刚石线锯。但普通的单芯线的金刚石线锯易因弯曲疲劳或切割时的应力冲击而断裂，所以现有金刚石线锯经常在表面磨料层尚可使用时断线，可靠性差。

专利201110362318.0公开了一种具有绞合芯线的金刚石线锯，如图1所示，该金刚石线锯的芯线是由多根金属丝绞合而成，绞合芯线外面包覆缓冲层，缓冲层外面进一步包覆带有金刚石磨粒的磨料层。但实际应用中，发现这种金刚石线锯存在以下缺陷：

如图2所示，从横截面上看，金刚石线锯与被切割物体之间是点接触，切割界面面积小，切割过程中磨料磨损严重，切割能力快速下降，使用寿命短。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种具有绞合芯线的金刚石线锯，包括：绞合芯线，所述绞合芯线包括至少两股金属丝，所述至少两股金属丝相互绞合，其中，每股金属丝的外表面分为第一区域和第二区域，所述第一区域为所述金属丝的切割区域，所述第二区域为所述金属丝的外表面中除第一区域外的其他区域，所述第一区域的曲率半径大于所述第二区域的曲率半径；和磨料层，所述磨料层包覆所述绞合芯线，且所述磨料层中分散镶嵌有金刚石磨粒。

在本发明的一个实施例中，还包括：软质金属缓冲层或树脂缓冲层，所述软质金属缓冲层或树脂缓冲层紧密包覆所述绞合芯线，所述磨料层紧密包覆所述软质金属缓冲层或树脂缓冲层。

在本发明的一个实施例中，所述软质金属缓冲层为软质Cu、Sn、Al、铝合金中的一种或多种的组合。

在本发明的一个实施例中，所述软质金属缓冲层的平均厚度为1-50μm。

在本发明的一个实施例中，所述磨料层包括镍或镍合金层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述镍或镍合金层中。

在本发明的一个实施例中，所述磨料层包括树脂磨料层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述树脂磨料层中。

在本发明的一个实施例中，所述磨料层的平均厚度为5-20μm。

在本发明的一个实施例中，所述绞合芯线中所述金属丝的数目为三股。

在本发明的一个实施例中，所述绞合芯线的外径为50-500μm。

在本发明的一个实施例中，所述金属丝的等效直径为5-250μm。

在本发明的一个实施例中，所述金属丝为钢丝。

本发明的一个目的在于提出一种具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，包括以下步骤：S1.将两股或两股以上的金属丝绞合成绞合芯线，其中，每股金属丝的外表面分为第一区域和第二区域，所述第一区域为所述金属丝的切割区域，所述第二区域为所述金属丝的外表面中除第一区域外的其他区域；S2.对绞合后的所述绞合芯线进行拉丝处理以使所述第一区域的曲率半径大于第二区域；以及S3.在所述绞合芯线表面形成磨料层，所述磨料层包覆所述绞合芯线，且所述磨料层中分散镶嵌有金刚石磨粒。

在本发明的一个实施例中，还包括：在所述步骤S1与步骤S2之间通过电镀方法在所述绞合芯线表面形成软质金属缓冲层。

在本发明的一个实施例中，还包括：在所述步骤S2与步骤S3之间，通过电镀方法在所述绞合芯线表面形成软质金属缓冲层，或通过涂覆树脂并固化的方法在所述绞合芯线表面形成树脂缓冲层。

在本发明的一个实施例中，所述软质金属缓冲层为软质Cu、Sn、Al、铝合金中的一种或多种的组合。

在本发明的一个实施例中，所述磨料层包括镍或镍合金层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述镍或镍合金层中。

在本发明的一个实施例中，所述镍或镍合金层通过电镀的方式形成。

在本发明的一个实施例中，所述磨料层为树脂磨料层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述树脂磨料层中。

在本发明的一个实施例中，所述树脂磨料层通过涂覆树脂然后热固化或光固化树脂的方式形成。

在本发明的一个实施例中，所述绞合芯线中所述金属丝的数目为三股。

根据本发明实施例的具有绞合芯线的金刚石线锯及其制造方法，至少具有下列优点：

1、芯线由两股或两股以上的金属丝绞合而成，具有更好的可靠性，切割过程中不易断裂，即使组成芯线的多股金属丝中有部分断裂，剩下的金属丝仍可维持整个金刚石线锯继续使用。

2、由于多股金属丝绞合结构可以形成容屑空间，在锯切过程中锯屑很容易被带出切割界面，不易形成锯屑堵塞，一方面能使金刚石磨料层长期保持锋利，增加金刚石线锯的寿命和重复使用次数，另一方面由于锯屑被带出切割界面，切割界面处金刚石颗粒与被切材料间直接接触的几率大大增加，可以明显增加切割的速率。但容屑空间过大时，一方面为了保持线锯的强度，整个线锯的直径就需要增大，造成切割刀口损失大，另一方面容屑空间大时相应的切割缩小，造成切割界面磨损快。例如，多股圆形的金属丝绞合后形成的金刚石线锯，从横截面上看，金刚石线锯与被切割物体之间是点接触，切割界面面积小，切割过程中磨料磨损严重，切割能力快速下降。而本发明中，由于对金属芯线绞合之后进行了拉丝处理，使线锯表面切割区域的曲率半径大于其它区域，尽管缩小了截面积，容屑空间有所降低，但金刚石线锯与被切割物体之间是面接触，增加了切割界面面积，可以明显增加金刚石线锯的切割的耐久性。通过控制拉丝的变形量，可以有效控制线锯的容屑空间和表面切割区域所占的比例，在保障容屑空间的同时，增加切割界面面积，使金刚石线锯的切割效率和耐久性（使用寿命）达到最优。

3、缓冲层的存在，尤其是软质缓冲层的存在，可以改善金刚石线锯的韧性，减缓因磨料层中金刚石颗粒与被切材料间的高速冲击产生的巨大冲击应力，在很大程度上避免了芯线断裂，大大改善了金刚石线锯的可靠性。

4、由于缓冲层包覆绞合芯线，使得组成绞合芯线的多根单金属丝能够紧密地束在一起，即使中有部分单金属丝松释或者断裂，也仍被缓冲层包覆在内，不会散乱或者形成毛刺，尤其是在金刚石线锯多次重复使用之后，表层磨料层磨损严重，此时如果绞合芯线表面仅有磨料层，芯线就很容易发生断裂，而且断裂的单金属丝易散乱并形成毛刺。如果绞合芯线散乱或形成毛刺，则会严重恶化被切割的表面质量，比如形成较深的刀痕、裂纹、甚至碎片，这在切割超薄片比如超薄硅片时会形成大量的不良品。通过缓冲层包覆绞合芯线，能够有效地改善这一问题。

5、缓冲层的存在有利于金刚石线锯的回收再利用。金刚石线锯的芯线一般为钢丝，磨料层一般为镍金属或镍合金与金刚石共镀。当金刚石线锯表面磨料层磨损之后，如果有耐酸的缓冲层存在，比如金属铜缓冲层，则可以通过酸洗去除残余磨料层，比如盐酸清洗去除镍基磨料层，却不会腐蚀金属铜缓冲层，酸洗后再重新电镀磨料层，就可以获得全新的金刚石线锯。如果没有缓冲层，酸洗去除表面镍基磨料层时则会同时腐蚀里面的钢丝，如果不酸洗直接重新电镀磨料层，由于残余磨料层厚度是不均匀的，重新电镀后得到的金刚石线锯直径也是不均匀的。

6、缓冲层可以改善表面磨料层与金属芯线的结合强度。当芯线为钢丝、磨料层为镍基材料时，电镀镍与钢丝之间的结合强度往往较差，而电镀铜与钢丝、电镀铜与镍之间可以获得很高的结合强度，因此采用铜作为缓冲层，可以有效改善镍基磨料层与钢丝芯线之间的结合强度，从而改善金刚石线锯的使用寿命。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1与图2分别是现有的未经拉丝处理的具有绞合芯线的金刚石线锯的横截面示意图与切割界面示意图；

图3与图4分别是本发明的经过拉丝处理的具有绞合芯线的金刚石线锯的横截面示意图与切割界面示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明而不是要求本发明必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

参照下面的描述和附图，将清楚本发明的实施例的这些和其他方面。在这些描述和附图中，具体公开了本发明的实施例中的一些特定实施方式，来表示实施本发明的实施例的原理的一些方式，但是应当理解，本发明的实施例的范围不受此限制。相反，本发明的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。

本发明公开了一种具有绞合芯线的金刚石线锯，如图3和图4可知，包括：绞合芯线10，绞合芯线10包括至少两股金属丝110，至少两股金属丝相互绞合，其中，每股金属丝110的外表面分为第一区域和第二区域，第一区域为金属丝110的切割区域，第二区域为金属丝110的外表面中除第一区域外的其他区域，第一区域的曲率半径大于第二区域的曲率半径；磨料层20，磨料层20包覆绞合芯线10，且磨料层20中分散镶嵌有金刚石磨粒210。

在本发明的一个实施例中，还包括：软质金属缓冲层30或树脂缓冲层30，软质金属缓冲层30或树脂缓冲层30紧密包覆绞合芯线10，磨料层20紧密包覆软质金属缓冲层30或树脂缓冲层30。

在本发明的一个实施例中，软质金属缓冲层30为软质Cu、Sn、Al、铝合金中的一种或多种的组合。

在本发明的一个实施例中，软质金属缓冲层30的平均厚度为1-50μm。

在本发明的一个实施例中，磨料层20包括镍或镍合金层220，金刚石磨粒210分散镶嵌在镍或镍合金层220中。

在本发明的一个实施例中，磨料层20包括树脂磨料层220，金刚石磨粒210分散镶嵌在树脂磨料层220中。

在本发明的一个实施例中，磨料层20的平均厚度为5-20μm。

在本发明的一个实施例中，绞合芯线10中金属丝110的数目为三股。相比于两股、四股、五股、六股金属芯线，三股金属丝绞合之后，绞合芯线的横截面更接近圆形，一方面可使得切割界面面积更大，另一方面相同截面积（强度相同）时线锯的等效直径最小，因此切割时刀口损失最小。如果金属丝的数目太多，比如七股或者更多，虽然绞合芯线的横截面可能会进一步接近圆形，但在同样的等效线锯直径下需要采用更细的金属芯线，会大幅度增加成本。

在本发明的一个实施例中，绞合芯线10的外径为50-500μm。

在本发明的一个实施例中，金属丝110的等效直径为5-250μm。

在本发明的一个实施例中，金属丝110为钢丝。

本发明的另一方面提出了一种具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，包括以下步骤：

S1.将两股或两股以上的金属丝110绞合成绞合芯线10，其中，每股金属丝110的外表面分为第一区域和第二区域，第一区域为金属丝110的切割区域，第二区域为金属丝110的外表面中除第一区域外的其他区域。

S2.对绞合后的绞合芯线10进行拉丝处理以使第一区域的曲率半径大于第二区域。

S3.在绞合芯线10表面形成磨料层20，磨料层20包覆绞合芯线10，且磨料层20中分散镶嵌有金刚石磨粒210。

在本发明的一个实施例中，还包括：在步骤S1和步骤S2之间，通过电镀方法在绞合芯线10表面形成软质金属缓冲层30。需要说的是，不适合在拉丝处理之前在绞合芯线10表面形成树脂缓冲层30，因为树脂缓冲层30在拉丝的过程中容易脱落。

在本发明的一个实施例中，进一步包括：在步骤S2和步骤S3之间，通过电镀方法在绞合芯线10表面形成软质金属缓冲层30，或通过涂覆树脂并固化的方法在绞合芯线10表面形成树脂缓冲层30。

在本发明的一个实施例中，软质金属缓冲层30为软质Cu、Sn、Al、铝合金中的一种或多种的组合。

在本发明的一个实施例中，磨料层20包括镍或镍合金层220，金刚石磨粒210分散镶嵌在镍或镍合金层220中。

在本发明的一个实施例中，镍或镍合金层220通过电镀的方式形成。

在本发明的一个实施例中，磨料层20为树脂磨料层220，金刚石磨粒210分散镶嵌在树脂磨料层220中。

在本发明的一个实施例中，树脂磨料层220通过涂覆树脂然后热固化或光固化树脂的方式形成。

在本发明的一个实施例中，绞合芯线10中金属丝110的数目为三股。

在本发明的一个实施例中，绞合芯线10的外径为50-500μm。

在本发明的一个实施例中，金属丝110拉丝后的等效直径为5-250μm。

在本发明的一个实施例中，金属丝110为钢丝。

根据本发明实施例的具有绞合芯线的金刚石线锯及其制造方法，至少具有下列优点：

根据本发明实施例的具有绞合芯线的金刚石线锯及其制造方法，至少具有下列优点：

1、芯线由两股或两股以上的金属丝绞合而成，具有更好的可靠性，切割过程中不易断裂，即使组成芯线的多股金属丝中有部分断裂，剩下的金属丝仍可维持整个金刚石线锯继续使用。

2、由于多股金属丝绞合结构可以形成容屑空间，在锯切过程中锯屑很容易被带出切割界面，不易形成锯屑堵塞，一方面能使金刚石磨料层长期保持锋利，增加金刚石线锯的寿命和重复使用次数，另一方面由于锯屑被带出切割界面，切割界面处金刚石颗粒与被切材料间直接接触的几率大大增加，可以明显增加切割的速率。但容屑空间过大时，一方面为了保持线锯的强度，整个线锯的直径就需要增大，造成切割刀口损失大，另一方面容屑空间大时相应的切割缩小，造成切割界面磨损快。例如，多股圆形的金属丝绞合后形成的金刚石线锯，从横截面上看，金刚石线锯与被切割物体之间是点接触，切割界面面积小，切割过程中磨料磨损严重，切割能力快速下降。而本发明中，由于对金属芯线绞合之后进行了拉丝处理，使线锯表面切割区域的曲率半径大于其它区域，尽管缩小了截面积，容屑空间有所降低，但金刚石线锯与被切割物体之间是面接触，增加了切割界面面积，可以明显增加金刚石线锯的切割的耐久性。通过控制拉丝的变形量，可以有效控制线锯的容屑空间和表面切割区域所占的比例，在保障容屑空间的同时，增加切割界面面积，使金刚石线锯的切割效率和耐久性（使用寿命）达到最优。

3、缓冲层的存在，尤其是软质缓冲层的存在，可以改善金刚石线锯的韧性，减缓因磨料层中金刚石颗粒与被切材料间的高速冲击产生的巨大冲击应力，在很大程度上避免了芯线断裂，大大改善了金刚石线锯的可靠性。

4、由于缓冲层包覆绞合芯线，使得组成绞合芯线的多根单金属丝能够紧密地束在一起，即使中有部分单金属丝松释或者断裂，也仍被缓冲层包覆在内，不会散乱或者形成毛刺，尤其是在金刚石线锯多次重复使用之后，表层磨料层磨损严重，此时如果绞合芯线表面仅有磨料层，芯线就很容易发生断裂，而且断裂的单金属丝易散乱并形成毛刺。如果绞合芯线散乱或形成毛刺，则会严重恶化被切割的表面质量，比如形成较深的刀痕、裂纹、甚至碎片，这在切割超薄片比如超薄硅片时会形成大量的不良品。通过缓冲层包覆绞合芯线，能够有效地改善这一问题。

5、缓冲层的存在有利于金刚石线锯的回收再利用。金刚石线锯的芯线一般为钢丝，磨料层一般为镍金属或镍合金与金刚石共镀。当金刚石线锯表面磨料层磨损之后，如果有耐酸的缓冲层存在，比如金属铜缓冲层，则可以通过酸洗去除残余磨料层，比如盐酸清洗去除镍基磨料层，却不会腐蚀金属铜缓冲层，酸洗后再重新电镀磨料层，就可以获得全新的金刚石线锯。如果没有缓冲层，酸洗去除表面镍基磨料层时则会同时腐蚀里面的钢丝，如果不酸洗直接重新电镀磨料层，由于残余磨料层厚度是不均匀的，重新电镀后得到的金刚石线锯直径也是不均匀的。

6、缓冲层可以改善表面磨料层与金属芯线的结合强度。当芯线为钢丝、磨料层为镍基材料时，电镀镍与钢丝之间的结合强度往往较差，而电镀铜与钢丝、电镀铜与镍之间可以获得很高的结合强度，因此采用铜作为缓冲层，可以有效改善镍基磨料层与钢丝芯线之间的结合强度，从而改善金刚石线锯的使用寿命。

为了验证本发明的具有绞合芯线的金刚石线锯的性能，申请人进行了切割对照试验。

试验样品：

试验样品采用本发明的经过拉丝处理的具有绞合芯线的金刚石线锯。

将三股直径为120μm的金属钢丝互相绞合，绞合时捻距为1.5mm，随后电镀Cu缓冲层，Cu缓冲层的平均厚度为25μm，然后进行拉丝处理，拉伸率为20%，最后电镀上磨料层，磨料层选择镍金属并镶嵌金刚石颗粒，其中镍层平均厚度为8μm，金刚石磨粒的平均粒度为10μm，金刚石磨粒占磨料层质量百分比为10%。

对照样品：

对照样品采用普通的未经拉丝处理的具有绞合芯线的金刚石线锯。

将三股直径为120μm的金属钢丝互相绞合，绞合时捻距为1.5mm，随后电镀Cu缓冲层，Cu缓冲层的平均厚度为25μm，随后电镀形成磨料层，磨料层选择镍金属并镶嵌金刚石颗粒，其中镍层平均厚度为8μm，金刚石磨粒的平均粒度为10μm，金刚石磨粒占磨料层质量百分比为10%。

测试条件：

被切割材料为多晶硅方锭，往复式切割，线张力100N，每种线锯均统计100次切割的数据。

测试结果：

在相同的切割条件下，现有技术的未经拉丝处理的具有绞合芯线的金刚石线锯的断线率为25%，切割后观察线锯表面，发现表面磨料层磨损的面积不大（基本呈线状）但磨损程度严重，且磨损均发生在线锯表面3处地方，即在每股芯线与硅锭的切割界面处；而本发明的经过拉丝处理的具有绞合芯线的金刚石线锯的断线率为5%，切割后观察线锯表面，发现表面磨料层磨损的面积明显变大但磨损程度轻。可以看出，本发明的金刚石线锯可明显增加切割界面面积，改善磨料层表面局部的磨损程度，使得断线率有明显降低，表明本发明可以大幅度改善金刚石线锯的可靠性和使用寿命。

需要说明的是，制造具有绞合芯线的金刚石线锯的方法之中，并不对具体绞合工艺、电镀工艺做出限定。因此本领域技术人员可基于此思想对上述制造方法进行等同的修改或变化以达到制造具有绞合芯线的金刚石线锯的目的，这些均应包含在本发明的保护之内。

例如，在本发明的一个实施例中，使用捻丝机，让两股或两股以上钢丝按一定方向旋转卷绕，便可捻合出绞合芯线，捻绞过程中注意谨防钢丝产生明显的扭曲应力。

例如，在本发明的一个实施例中，电镀缓冲层时，采用环保的无氰镀铜方法，具体方法可是无氰常温快速一步镀铜，也可以是经过两步法镀铜，即先用焦磷盐、柠檬酸盐进行预镀，然后用硫酸盐进行镀铜。

例如，在本发明的一个实施例中，电镀磨粒层时，采用氨基磺酸镍镀液，电流密度为2-2.5A/dm³,温度为55-60℃，pH值为3.5-4，可以获得金刚石微粒含量为8-12%的优质复合镀层。在本发明的另一个实施例中，采用瓦特型电镀液，即采用含硫酸镍、氯化镍、硼酸的电镀液，pH值为4.3，同样可获得金刚石微粒含量为10%的优质复合镀层。

例如，在本发明的一个实施例中，在电镀缓冲层之前可以对绞合芯线酸洗，以便清除所述绞合芯线表面的氧化层。由此，有利于提高缓冲层与绞合芯线之间的结合强度。酸洗之前还可以对绞合芯线表面去脂，通过含有碱性水溶液或有机溶剂去脂，以便清除所述绞合芯线表面的油脂。由此，可以进一步提高缓冲层与绞合芯线之间的结合强度。此外，在电镀磨料层之后还可以对金刚石线锯进行清洗，通过水溶液清除所述磨料层表面所残余的电镀液。由此，通过及时除去所制造的金刚石线锯表面的电镀液，有利于金刚石线锯的运输、使用等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (17)

1.一种具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，包括：

绞合芯线，所述绞合芯线包括三股金属丝，所述三股金属丝相互绞合，其中，每股金属丝的外表面分为第一区域和第二区域，所述第一区域为所述金属丝的切割区域，所述第二区域为所述金属丝的外表面中除第一区域外的其他区域，并且绞合后的三股金属丝经过拉丝处理，以使所述第一区域的曲率半径大于所述第二区域的曲率半径；和

磨料层，所述磨料层包覆所述绞合芯线，且所述磨料层中分散镶嵌有金刚石磨粒。

2.如权利要求1所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，还包括：

软质金属缓冲层或树脂缓冲层，所述软质金属缓冲层或树脂缓冲层紧密包覆所述绞合芯线，所述磨料层紧密包覆所述软质金属缓冲层或树脂缓冲层。

3.如权利要求2所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，所述软质金属缓冲层为软质Cu、Sn、Al和铝合金中的一种或多种的组合。

4.如权利要求2所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，所述软质金属缓冲层的平均厚度为1-50μm。

5.如权利要求1所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，所述磨料层包括镍或镍合金层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述镍或镍合金层中。

6.如权利要求1所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，所述磨料层包括树脂磨料层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述树脂磨料层中。

7.如权利要求1所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，特征在于，所述磨料层的平均厚度为5-20μm。

8.如权利要求1所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，所述绞合芯线的外径为50-500μm。

9.如权利要求1-7任一项所述的具有绞合芯线的金刚石线锯，其特征在于，所述金属丝为钢丝。

10.一种具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.将三股金属丝绞合成绞合芯线，其中，每股金属丝的外表面分为第一区域和第二区域，所述第一区域为所述金属丝的切割区域，所述第二区域为所述金属丝的外表面中除第一区域外的其他区域；

S2.对绞合后的所述绞合芯线进行拉丝处理以使所述第一区域的曲率半径大于第二区域；以及

S3.在所述绞合芯线表面形成磨料层，所述磨料层包覆所述绞合芯线，且所述磨料层中分散镶嵌有金刚石磨粒。

11.如权利要求10所述的具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，还包括：在所述步骤S1与步骤S2之间通过电镀方法在所述绞合芯线表面形成软质金属缓冲层。

12.如权利要求10所述的具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，还包括：在所述步骤S2与步骤S3之间，通过电镀方法在所述绞合芯线表面形成软质金属缓冲层，或通过涂覆树脂并固化的方法在所述绞合芯线表面形成树脂缓冲层。

13.如权利要求11或12所述的具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，所述软质金属缓冲层为软质Cu、Sn、Al和铝合金中的一种或多种的组合。

14.如权利要求10所述的具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，所述磨料层包括镍或镍合金层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述镍或镍合金层中。

15.如权利要求14所述的具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，所述镍或镍合金层通过电镀的方式形成。

16.如权利要求10所述的具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，所述磨料层为树脂磨料层，所述金刚石磨粒分散镶嵌在所述树脂磨料层中。

17.如权利要求16所述的具有绞合芯线的金刚石线锯的制造方法，其特征在于，所述树脂磨料层通过涂覆树脂然后热固化或光固化树脂的方式形成。