CN104141791B - 一种压差式密封电极 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种压差式密封电极，包括大气外部电极、大气侧锁紧装置、第一密封圈、内密封套、第二唇形密封圈、钢圈挡圈弹簧、墙板、真空室内电极、真空内部锁紧装置和真空外部锁紧装置，所述大气外部电极上设有钢圈挡圈弹簧，所述大气侧锁紧装置与墙板连接，所述第一密封圈设置在内密封套内，所述第二唇形密封圈固定在墙板上，所述真空室内电极与大气外部电极连接，所述真空内部锁紧装置下端安装在墙板内，所述真空外部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内，下端与墙板连接。本发明通过真空舱体内外的压差作为动力，保证电极顶夹坩埚的所需的作用力，解决了顶夹坩埚受力的要求，同时解决了开舱排除故障的成本和麻烦。

Description

一种压差式密封电极

技术领域

本发明涉及镀铝机蒸发箱领域，尤其是一种压差式密封电极。

背景技术

在真空铝膜机的应用中，镀铝机蒸发箱中间的坩埚装夹一直是个大问题，因为在镀铝过程中，坩埚必须保持固定位置不变，然而由于在抽气完成后，墙板两边的环境形成大气压差，一般情况下，在装配正电极时是采用多段式导电装置的连接，但是在72KW大功率的供电环境下，若采用多段式连接，会导致功率损失，造成功率的亏损，散发大量的热量，而此需要设置一台专用的制冷设备，从而造成了制造成本大，机体占用空间大的问题，且目前国内选用的是固定式密封结构，缺少人性化、对操作人员要求高。为解决这些问题，特提出一种压差式密封电极。

发明内容

针对上述问题，本发明旨在提供一种保证了电极顶夹坩埚的所需的作用力的压差式密封电极。

为实现该技术目的，本发明的方案是：

一种压差式密封电极，包括大气外部电极、大气侧锁紧装置、第一密封圈、内密封套、第二唇形密封圈、钢圈挡圈弹簧、墙板、真空室内电极、真空内部锁紧装置和真空外部锁紧装置，所述大气外部电极上设有钢圈挡圈弹簧，所述大气侧锁紧装置与墙板连接，所述第一密封圈设置在内密封套内，所述第二唇形密封圈固定在墙板上，所述真空室内电极与大气外部电极连接，所述真空内部锁紧装置下端安装在墙板内，所述真空外部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内，下端与墙板连接。

作为优选，所述真空内部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内。

本发明通过真空舱体内外的压差作为动力，保证电极顶夹坩埚的所需的作用力，解决了顶夹坩埚受力的要求，同时解决了开舱排除故障的成本和麻烦。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。

如图1所示，本发明实施例的一种压差式密封电极，包括大气外部电极1、大气侧锁紧装置2、第一密封圈3、内密封套4、第二唇形密封圈5、钢圈挡圈弹簧6、墙板7、真空室内电极8、真空内部锁紧装置9和真空外部锁紧装置10，所述大气外部电极1上设有钢圈挡圈弹簧6，所述大气侧锁紧装置2与墙板7连接，所述第一密封圈3设置在内密封套4内，所述第二唇形密封圈5固定在墙板7上，所述真空室内电极8与大气外部电极1连接，所述真空内部锁紧装置9下端安装在墙板7内，所述真空外部锁紧装置10设置在大气侧锁紧装置2内，下端与墙板7连接。

作为优选，所述真空内部锁紧装置9设置在大气侧锁紧装置2内。

本发明的工作原理为将电极直接连接到舱体外，大气外部电极1内采用高速水冷，通过密封组件第一密封圈3、内密封套4、第二唇形密封圈5将内外室完全隔离，密封装置运用大气侧锁紧装置2与真空内部锁紧装置9以及真空外部锁紧装置10完全固定，在舱体完全抽真空状态下，外部大气压力给予大气外部电极1足够的压力，使之更加紧固的夹紧真空舱体内蒸发箱里的坩埚。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本发明技术方案的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种压差式密封电极，其特征在于：包括大气外部电极、大气侧锁紧装置、第一密封圈、内密封套、第二唇形密封圈、钢圈挡圈弹簧、墙板、真空室内电极、真空内部锁紧装置和真空外部锁紧装置，所述大气外部电极上设有钢圈挡圈弹簧，所述大气侧锁紧装置与墙板连接，所述第一密封圈设置在内密封套内，所述第二唇形密封圈固定在墙板上，所述真空室内电极与大气外部电极连接，所述真空内部锁紧装置下端安装在墙板内，所述真空外部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内，下端与墙板连接。

2.根据权利要求1所述的一种压差式密封电极，其特征在于：所述真空内部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内。