CN202865331U - 一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端,电源接入口外设有防护罩,电压导出端的端口设有高压触头,整个装置通过电极座固定在真空室壳体上,其特征在于,所述的电压导出端为3级绝缘防护结构,所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。本方案的电压导出端为3级绝缘防护结构,隔套的材质为聚四氟乙烯,且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构,该方案绝缘性能好,结构简单,且不易破损。完全满足工艺需要,有力减少了设备故障率,提高工艺可靠性和稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜领域,特别是一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置。
背景技术
传统镀膜工艺不需要接入高压电源,只是单纯实现镀膜工艺。随着真空镀膜工艺广泛应用和技术要求的提升,部分设备制造企业也开始采用向真空室引入高压电源类似工艺技术在制备汽车灯具保护膜。为了向真空容器中引入高压电源,采用将高压线通过密封航空插头或陶瓷接头引入真空室体的办法。航空插头引入办法可以满足真空密封的要求,但是由于电源功率和工作电压等级较高,接入装置在带电连续运行10次左右(每次100多秒)就会将绝缘层或密封处的密封圈烧毁,很难克服在接入处的真空放电打火问题。由工程陶瓷材质的高压接入装置可以满足高压绝缘等级,但是存在的问题是,一方面这种高压电极在真空室体中与内部电极碰撞对接的过程容易破损,另外对真空密封紧固困难,结构加工难度加大,价格昂贵。
发明内容
本实用新型的发明目的在于:针对上述存在的问题,提供一种结构简单,结实耐用的真空专用大功率交流高压绝缘接入装置。
本实用新型采用的技术方案是这样的:一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口和真空室内侧的电压导出端,电源接入口外设有防护罩,电压导出端的端口设有高压触头,整个装置通过电极座固定在真空室壳体上,其特征在于,所述的电压导出端为3级绝缘防护结构,所述的高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构。
第一级防护结构和第二级防护结构主体为电极套管;所述的第一级防护结构穿过真空室壳体,在第一级防护结构与电源接入口的连接处设有绝缘套2,拉杆从绝缘套2中穿过;所述的第二级防护结构内设有绝缘套1,所述的绝缘套包裹住拉杆。
第三级防护结构主体为隔套,隔套的材质为聚四氟乙烯,所述的隔套内还设有滑套,所述的滑套内有可以容纳高压触头的空间。第三级防护结构尾端置于第二级防护结构内。
所述的弹性缓冲防撞结构为在滑套的空间内设置弹簧,高压触头的尾端置于滑套的空间内并抵在弹簧上,滑套的头端设有锁紧螺母。高压触头的头端超出隔套的前端。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:本实用新型的电压导出端为3级绝缘防护结构,隔套的材质为聚四氟乙烯,且高压触头底部设有弹性缓冲防撞结构,该实用新型绝缘性能好,结构简单,且不易破损。完全满足工艺需要,有力减少了设备故障率,提高工艺可靠性和稳定性。
附图说明
图1是一种真空室用大功率交流高压绝缘接入装置的剖视图。
图2是工件小车上的电极刚与高压触头接触示意图。
图3是工件小车上的电极与高压触头形成可靠连接示意图。
图中标记:1为高压触头,2为锁紧螺母,3为隔套,4为弹簧,5为滑套,9为电极套管,10为绝缘套1,11为拉杆,12为绝缘套2,14为防护罩,15为电极座,16为电源接入口,17为电压导出端,171为第一级防护结构,172为第二级防护结构,173为第三级防护结构,18为弹性缓冲防撞结构。
具体实施方式
下面结合附图,对本实用新型作详细的说明。
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1所示,一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口16和真空室内侧的电压导出端17,电源接入口外设有防护罩14,电压导出端17的端口设有高压触头1,整个装置通过电极座15固定在真空室壳体上,其特征在于,所述的电压导出端17为3级绝缘防护结构,所述的高压触头1底部设有弹性缓冲防撞结构18。
第一级防护结构171和第二级防护结构172主体为电极套管9;所述的第一级防护结构171穿过真空室壳体,在第一级防护结构171与电源接入口16的连接处设有绝缘套2 12,拉杆11从绝缘套2 12中穿过;所述的第二级防护结构172内设有绝缘套1 10,所述的绝缘套10包裹住拉杆11。
第三级防护结构173主体为隔套3,隔套3的材质为聚四氟乙烯。所述的隔套3内还设有滑套5,所述的滑套5内有可以容纳高压触头1的空间。第三级防护结构173尾端置于第二级防护结构172内。
所述的弹性缓冲防撞结构18为在滑套5的空间内设置弹簧4,高压触头1的尾端置于滑套5的空间内并抵在弹簧4上,滑套5的头端设有锁紧螺母2。所述的高压触头1的头端超出隔套3的前端。
如图2,装有工件的小车推入真空室,小车上的电极刚与高压触头1接触的状态,高压电源在真空状态下电极完全碰撞对接可靠之后才接通。
如图3,装有工件的小车上的电极将高压触头压进滑套5的空腔中,电极与高压触头之间形成了可靠电连接,接通电源即可实现了高压电源向真空室的引入,高压触头1经过弹簧的缓冲作用,不容易损坏。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1. 一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,包括真空室外大气侧的电源接入口(16)和真空室内侧的电压导出端(17),电源接入口(16)外设有防护罩(14),电压导出端(17)的端口设有高压触头(1),整个装置通过电极座(15)固定在真空室壳体上,其特征在于,所述的电压导出端(17)为多级绝缘防护结构,所述的高压触头(1)底部设有弹性缓冲防撞结构(18)。
2.根据权利要求1所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,其特征在于,所述的多级防护结构分为3级防护结构。
3.根据权利要求2所述的一种真空室用大功率交流高压绝缘接入装置,其特征在于,第一级防护结构(171)和第二级防护结构(172)主体为电极套管(9);所述的第一级防护结构(171)穿过真空室壳体,在第一级防护结构(171)与电源接入口(16)的连接处设有绝缘套2(12),拉杆(11)从绝缘套2(12)中穿过;所述的第二级防护结构(172)内设有绝缘套1(10),所述的绝缘套(10)包裹住拉杆(11)。
4.根据权利要求2所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,其特征在于,第三级防护结构(173)主体为隔套(3),所述的隔套(3)内还设有滑套(5),所述的滑套(5)内有可以容纳高压触头(1)的空间。
5.根据权利要求2所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,其特征在于,第三级防护结构(173)尾端置于第二级防护结构(172)内。
6.根据权利要求1所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,其特征在于,所述的弹性缓冲防撞结构(18)为在滑套(5)的空间内设置弹簧(4),高压触头(1)的尾端置于滑套(5)的空间内并抵在弹簧(4)上,滑套(5)的头端设有锁紧螺母(2)。
7.根据权利要求6所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,其特征在于,所述的高压触头(1)的头端超出隔套(3)的前端。
8.据权利要求4所述的一种真空专用大功率交流高压绝缘接入装置,其特征在于,所述的隔套(3)的材质为聚四氟乙烯。
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