CN104133349A - 显影液筒及其气压报警装置 - Google Patents

显影液筒及其气压报警装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104133349A
CN104133349A CN201410409338.2A CN201410409338A CN104133349A CN 104133349 A CN104133349 A CN 104133349A CN 201410409338 A CN201410409338 A CN 201410409338A CN 104133349 A CN104133349 A CN 104133349A
Authority
CN
China
Prior art keywords
pressure
fluid cylinder
power supply
relay
switch
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201410409338.2A
Other languages
English (en)
Inventor
杨玉明
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Advanced Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Advanced Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Advanced Semiconductor Manufacturing Co Ltd filed Critical Shanghai Advanced Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Priority to CN201410409338.2A priority Critical patent/CN104133349A/zh
Publication of CN104133349A publication Critical patent/CN104133349A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

本发明提供一种显影液筒的气压报警装置，显影液筒位于一涂胶显影机上，气压报警装置包括：供电电源；气体压力开关，其一端与供电电源相连接，监测显影液筒内的气体压力，于气体压力达到一预设数值时闭合；继电器，其一端与气体压力开关的另一端相连接，其另一端接地；常闭触点开关，其一端与供电电源相连接，于继电器得电时打开；报警器，其一端与常闭触点开关的另一端相连接，其另一端接地。本发明能够在显影液筒处于失压状态时发出报警信号，预防因显影液不足而显影不清，提高产品合格率。

Description

显影液筒及其气压报警装置
技术领域
本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体来说，本发明涉及一种显影液筒及其气压报警装置。
背景技术
在现有技术中，用于光刻(Lithography)工艺的涂胶和显影的设备——涂胶显影机，其显影液筒中的显影液在使用一段时间后需要操作工通过手动的方式进行添加。在打开显影液筒添加之前，要将通入显影液筒中用于加压输出显影液的气体管路(一般为N2)先关闭，在添加完成之后再重新打开。
但是，由于关闭气体管路和添加显影液的过程均为人工操作，难免出现添加完显影液之后忘记重新打开气体管路，导致显影液筒一直处于失压状态。于是，在涂胶显影机重新开动工作时，其显影轨道无法从该显影液筒中获得显影液。对此，现有技术中并无足以引起人员注意的手段来对该失压状态报警或者对设备作停止的功能。
上述缺陷会造成图形化曝光后的晶圆(Wafer)显影不清，甚至无法显影，并且难以及时发现，影响成品率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种显影液筒及其气压报警装置，在显影液筒处于失压状态时发出报警信号，预防因显影液不足而显影不清。
为解决上述技术问题，本发明提供一种显影液筒的气压报警装置，所述显影液筒位于一涂胶显影机上，所述气压报警装置包括：
供电电源；
气体压力开关，其一端与所述供电电源相连接，监测所述显影液筒内的气体压力，于所述气体压力达到一预设数值时闭合；
继电器，其一端与所述气体压力开关的另一端相连接，其另一端接地；
常闭触点开关，其一端与所述供电电源相连接，于所述继电器得电时打开；
报警器，其一端与所述常闭触点开关的另一端相连接，其另一端接地。
可选地，所述气压报警装置还包括：
常开触点开关，其设置于所述涂胶显影机的一送片盒传感器的回路中，于所述继电器得电时闭合。
可选地，所述供电电源为24V。
可选地，所述气体压力开关为压力开关传感器。
可选地，所述报警器为蜂鸣器。
为解决上述技术问题，本发明还提供一种显影液筒，位于一涂胶显影机上，所述显影液筒具有气压报警装置，所述气压报警装置包括：
供电电源；
气体压力开关，其一端与所述供电电源相连接，监测所述显影液筒内的气体压力，于所述气体压力达到一预设数值时闭合；
继电器，其一端与所述气体压力开关的另一端相连接，其另一端接地；
常闭触点开关，其一端与所述供电电源相连接，于所述继电器得电时打开；
报警器，其一端与所述常闭触点开关的另一端相连接，其另一端接地。
可选地，所述气压报警装置还包括：
常开触点开关，其设置于所述涂胶显影机的一送片盒传感器的回路中，于所述继电器得电时闭合。
可选地，所述供电电源为24V。
可选地，所述气体压力开关为压力开关传感器。
可选地，所述报警器为蜂鸣器。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：
本发明通过在显影液筒上安装气压报警装置，在显影液筒处于失压状态时发出报警信号，预防因管道抽空、显影液不足而显影不清，并与晶圆传送、停止联动，提高产品合格率。
总之，本发明通过极小的成本和相对简单的工艺改进达到了减少显影不清的问题，提高了产品合格率。
附图说明
本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图和实施例的描述而变得更加明显，其中：
图1为本发明一个实施例的显影液筒的气压报警装置的电路原理图；
图2为本发明另一个实施例的显影液筒的气压报警装置的电路原理图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和说明书附图对本发明作进一步说明，在以下的描述中阐述了更多的细节以便于充分理解本发明，但是本发明显然能够以多种不同于此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下根据实际应用情况作类似推广、演绎，因此不应以此具体实施例的内容限制本发明的保护范围。
图1为本发明一个实施例的显影液筒的气压报警装置的电路原理图。显影液筒位于一涂胶显影机上，如图1所示，该气压报警装置100至少包括：供电电源101、气体压力开关102、报警器103、继电器J和常闭触点开关J1。其中，气体压力开关102(如压力开关传感器)的一端与供电电源101(如24V)相连接，监测显影液筒内的气体压力，于气体压力达到一预设数值时闭合。继电器J的一端与气体压力开关102的另一端相连接，其另一端接地。常闭触点开关J1的一端与供电电源101相连接，于继电器J得电时打开。报警器103(如蜂鸣器)的一端与常闭触点开关J1的另一端相连接，其另一端接地。
图2为本发明另一个实施例的显影液筒的气压报警装置的电路原理图。如图2所示，该气压报警装置100可以还包括：常开触点开关J2，其设置于涂胶显影机的一送片盒传感器104的回路中，于继电器J得电时闭合。
本实施例的显影液筒的气压报警装置100的工作原理简要说明如下：
当显影液筒内的显影液添加完成后重新加上输气压力时，气体压力开关102闭合，继电器J得电，使常闭触点开关J1打开，报警器103(蜂鸣器)断开，报警提示声音停止。另外，常开触点开关J2闭合，接通涂胶显影机的送片盒传感器(SendCassette Sensor)104的回路，使涂胶显影机台正常工艺。
而显影液筒内的显影液添加完成后没有重新加上输气压力时，气体压力开关102保持断开不导通，继电器J与供电电源101的通路断开，常闭触点开关J1恢复闭合，报警器103(蜂鸣器)的电路导通，持续发出报警提示音。另外，常开触点开关J2恢复断开，涂胶显影机的送片盒传感器104的通路断开。此时，涂胶显影机台由于送片盒传感器104的信号通路被断开而自检生成“无送片盒”的信号，工艺过程自动中断。
本发明通过在显影液筒上安装气压报警装置，在显影液筒处于失压状态时发出报警信号，预防因管道抽空、显影液不足而显影不清，并与晶圆传送、停止联动，提高产品合格率。
总之，本发明通过极小的成本和相对简单的工艺改进达到了减少显影不清的问题，提高了产品合格率。
本发明虽然以较佳实施例公开如上，但其并不是用来限定本发明，任何本领域技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，都可以做出可能的变动和修改。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何修改、等同变化及修饰，均落入本发明权利要求所界定的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种显影液筒的气压报警装置(100)，所述显影液筒位于一涂胶显影机上，所述气压报警装置(100)包括：
供电电源(101)；
气体压力开关(102)，其一端与所述供电电源(101)相连接，监测所述显影液筒内的气体压力，于所述气体压力达到一预设数值时闭合；
继电器(J)，其一端与所述气体压力开关(102)的另一端相连接，其另一端接地；
常闭触点开关(J1)，其一端与所述供电电源(101)相连接，于所述继电器(J)得电时打开；
报警器(103)，其一端与所述常闭触点开关(J1)的另一端相连接，其另一端接地。
2.根据权利要求1所述的气压报警装置(100)，其特征在于，还包括：
常开触点开关(J2)，其设置于所述涂胶显影机的一送片盒传感器(104)的回路中，于所述继电器(J)得电时闭合。
3.根据权利要求2所述的气压报警装置(100)，其特征在于，所述供电电源(101)为24V。
4.根据权利要求3所述的气压报警装置(100)，其特征在于，所述气体压力开关(102)为压力开关传感器。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的气压报警装置(100)，其特征在于，所述报警器(103)为蜂鸣器。
6.一种显影液筒，位于一涂胶显影机上，所述显影液筒具有气压报警装置(100)，所述气压报警装置(100)包括：
供电电源(101)；
气体压力开关(102)，其一端与所述供电电源(101)相连接，监测所述显影液筒内的气体压力，于所述气体压力达到一预设数值时闭合；
继电器(J)，其一端与所述气体压力开关(102)的另一端相连接，其另一端接地；
常闭触点开关(J1)，其一端与所述供电电源(101)相连接，于所述继电器(J)得电时打开；
报警器(103)，其一端与所述常闭触点开关(J1)的另一端相连接，其另一端接地。
7.根据权利要求6所述的显影液筒，其特征在于，所述气压报警装置(100)还包括：
常开触点开关(J2)，其设置于所述涂胶显影机的一送片盒传感器(104)的回路中，于所述继电器(J)得电时闭合。
8.根据权利要求7所述的显影液筒，其特征在于，所述供电电源(101)为24V。
9.根据权利要求8所述的显影液筒，其特征在于，所述气体压力开关(102)为压力开关传感器。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的显影液筒，其特征在于，所述报警器(103)为蜂鸣器。
CN201410409338.2A 2014-08-19 2014-08-19 显影液筒及其气压报警装置 Pending CN104133349A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410409338.2A CN104133349A (zh) 2014-08-19 2014-08-19 显影液筒及其气压报警装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410409338.2A CN104133349A (zh) 2014-08-19 2014-08-19 显影液筒及其气压报警装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN104133349A true CN104133349A (zh) 2014-11-05

Family

ID=51806079

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410409338.2A Pending CN104133349A (zh) 2014-08-19 2014-08-19 显影液筒及其气压报警装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104133349A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0591886A2 (en) * 1992-10-05 1994-04-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus for detecting abnormality of gas supply equipment and method for detecting same
US5542287A (en) * 1994-10-17 1996-08-06 Northern Illinois Gas Company Portable gas pressure monitor with independently adjustable high and low set points
CN201097105Y (zh) * 2007-06-27 2008-08-06 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种排气流量自动控制和监测装置
CN202331222U (zh) * 2011-11-15 2012-07-11 深圳深爱半导体股份有限公司 显影机废液箱报警控制装置及显影控制系统
CN202420758U (zh) * 2012-02-15 2012-09-05 重庆大江工业有限责任公司 一种在线供风管道风压监视报警器

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0591886A2 (en) * 1992-10-05 1994-04-13 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Apparatus for detecting abnormality of gas supply equipment and method for detecting same
US5542287A (en) * 1994-10-17 1996-08-06 Northern Illinois Gas Company Portable gas pressure monitor with independently adjustable high and low set points
CN201097105Y (zh) * 2007-06-27 2008-08-06 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种排气流量自动控制和监测装置
CN202331222U (zh) * 2011-11-15 2012-07-11 深圳深爱半导体股份有限公司 显影机废液箱报警控制装置及显影控制系统
CN202420758U (zh) * 2012-02-15 2012-09-05 重庆大江工业有限责任公司 一种在线供风管道风压监视报警器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20170115040A (ko) 소화 시스템 밸브 및 그 밸브를 구비한 소화 시스템
WO2006105523A3 (en) Emergency isolation valve controller with integral fault indicator
JP5513896B2 (ja) 流体調整システムおよび処理
CN105673966A (zh) 一种高温法兰的泄漏保护及监测系统
CN104133349A (zh) 显影液筒及其气压报警装置
US7420450B2 (en) Apparatus for providing supervisory signal for a solenoid
CN105240127A (zh) 一种发动机试车平台燃气供气控制系统
CN104697759A (zh) 压力开关寿命检测工装
CN108386724B (zh) 防止水电站压力钢管共振的装置
CN108488629A (zh) 一种具有报警功能的气体减压系统和方法
US9965944B1 (en) Protective device for alarm systems
CN205779620U (zh) 液压系统油泵检测电路
CN203962353U (zh) 一种隔膜泵隔膜破裂的监控报警装置
CN201358075Y (zh) 胶带防撕裂检测装置
CN205078551U (zh) 一种石油钻机防止液压爆管泄油电气自动控制装置
CN104280234A (zh) 一种电磁阀寿命测试系统
CN105179220A (zh) 监测主泵轴封漏水装置
CN103863604B (zh) 商标纸供给器能效检测方法、装置和系统
CN104503497A (zh) 用于刻蚀设备的压力保护系统和压力保护方法
CN103522944A (zh) 一种用于环卫车辆的语音报警控制系统
TW201425950A (zh) 變壓器監測裝置
CN208123108U (zh) 双风机停机报警装置
CN207961701U (zh) 一种用于气动系统的电磁阀故障检测装置
CN108061193A (zh) 一种用于气动系统的电磁阀故障检测装置
CN103224174A (zh) 一种电梯智能语音媒体系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20141105

RJ01 Rejection of invention patent application after publication