CN202331222U - 显影机废液箱报警控制装置及显影控制系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种显影机废液箱报警控制装置，包括报警控制子模块，报警控制子模块包括：液位传感器，用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号；继电器，包括继电器线圈及继电器触点组；继电器线圈连接液位传感器，接收到上电信号后上电；继电器触点组的第一常开触点一端连接地线，另一端在继电器线圈上电时向显影机输出停止显影的控制信号；提醒单元，与继电器触点组的第二常开触点串联，在继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。本实用新型还涉及一种显影系统。本实用新型在液位传感器检测到废液箱溢满时发出停止显影的控制信号，显影机不再产生新的废液，杜绝了废液溢出的现象，提高了生产效率及安全性。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及半导体生产领域，特别是涉及一种显影机废液箱报警控制装置，还涉及一种显影控制系统。
【背景技术】
传统的显影机的废液箱直接通过一根管连接到显影腔室，显影腔室里的显影液废液、漂洗液废液直接排到废液箱里面，废液箱里面的液满之后操作员再去把显影机停下，将废液箱里面的废液放完之后再重新继续显影。
然而，这种结构的主要缺点是需要操作员不定时地去查看废液箱是否已满，会出现操作员由于忙于做其它工作而忘记查看，引起废液溢出的情况。因为显影液、漂洗液是较刺鼻的化学试剂，吸入后会影响人的健康，所以每次废液溢出之后车间所有的员工都需要疏散出去，待溢出的废液处理完成后再返回车间工作。每次都至少会影响1个小时的生产。
【实用新型内容】
为了解决废液溢出的问题，有必要提供一种显影机废液箱报警控制装置。
一种显影机废液箱报警控制装置，包括报警控制子模块，所述报警控制子模块包括：液位传感器，用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号；继电器，包括所述继电器线圈及继电器触点组；所述继电器线圈连接所述液位传感器，接收到所述上电信号后上电；继电器触点组的第一常开触点一端连接地线，另一端在所述继电器线圈上电时向显影机输出停止显影的控制信号；提醒单元，与所述继电器触点组的第二常开触点串联，在所述继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。
优选的，所述报警控制子模块的数量为三个以上。
优选的，所述提醒单元是指示灯。
优选的，所述显影机废液箱报警控制装置还包括蜂鸣器，所述报警控制子模块还包括用于控制蜂鸣器工作的控制开关，所述控制开关包括相互串联的开关和继电器触点组中的第三常开触点，所述控制开关一端连接所述蜂鸣器的一端，另一端与蜂鸣器的另一端分别连接电源的正/负极。
优选的，所述液位传感器安装于所述废液箱上。
还有必要提供一种显影控制系统。
一种显影控制系统，包括显影机，还包括显影机废液箱报警控制装置，所述显影机废液箱报警控制装置包括报警控制子模块，所述报警控制子模块包括：液位传感器，用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号；继电器，包括所述继电器线圈及继电器触点组；所述继电器线圈连接所述液位传感器，接收到所述上电信号后上电；继电器触点组的第一常开触点一端连接地线，另一端在所述继电器线圈上电时向所述显影机输出停止显影的控制信号；提醒单元，与所述继电器触点组的第二常开触点串联，在所述继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。
优选的，所述报警控制子模块的数量为三个以上。
优选的，所述提醒单元是指示灯。
优选的，所述显影机废液箱报警控制装置还包括蜂鸣器，所述报警控制子模块还包括用于控制蜂鸣器工作的控制开关，所述控制开关包括相互串联的开关和继电器触点组中的第三常开触点，所述控制开关与蜂鸣器串联。
优选的，所述液位传感器安装于所述废液箱上。
上述显影机废液箱报警控制装置和显影系统，液位传感器检测到废液箱液位到达设定阈值时发出停止显影的控制信号，显影机停止工作不再产生新的废液，因而杜绝了废液箱废液溢出的现象，不会再因此而影响车间的生产，提高了生产效率及生产的安全性。
【附图说明】
图1是一实施例中报警控制子模块的电路结构图；
图2是一实施例中液位传感器使用时的安装结构示意图；
图3是一实施例中显影机废液箱报警控制装置的电路结构图。
【具体实施方式】
为使本实用新型的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。
图1是一实施例中报警控制子模块的电路结构图，报警控制子模块包括液位传感器S1、继电器和提醒单元L1。
液位传感器S1用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈CR10发送上电信号。
继电器包括所述继电器线圈CR10及继电器触点组。继电器线圈CR10连接液位传感器S1，接收到上电信号后上电。继电器触点组的第一常开触点CR11一端连接地线，另一端连接相应的显影机或显影机的控制模块，在继电器线圈CR11上电时向显影机输出停止显影的控制信号。
提醒单元L1与继电器触点组的第二常开触点CR13串联，在继电器线圈CR10上电时第二常开触点CR13闭合使提醒单元L1得电进行提醒。在本实施例中，提醒单元L1是指示灯。在其他实施例中也可以采用蜂鸣器等。
在本实施例中，采用24V的直流电源为显影机废液箱报警控制装置、报警控制子模块供电，相应采用24V继电器。更具体的，可以看到图1中液位传感器S1分别连接直流电源正负极。继电器线圈CR10一端连接液位传感器S1，另一端连接直流电源正极。提醒单元L1和第二常开触点CR13串联组成的提醒组件两端分别连接直流电源正、负极。
图2是一实施例中液位传感器使用时的安装结构示意图，液位传感器S1安装于废液箱上。液位传感器S1的位置可以进行调整，液位传感器S1的感应距离也可以通过传感器本身调整。可以在各种类型的传感器中进行选择，例如使用光传感器作为液位传感器。
废液箱液位到达设定阈值时，继电器线圈CR10上电，第一常开触点CR11闭合，显影机停止显影工作，暂时停止产生新的废液。同时，第二常开触点CR13闭合，指示灯L1发光对车间的操作人员进行提醒。
上述显影机废液箱报警控制装置，液位传感器检测到废液箱液位到达设定阈值时发出停止显影的控制信号，显影机停止工作不再产生新的废液，因而杜绝了废液箱废液溢出的现象，不会再因此而影响车间的生产，提高了生产效率及生产的安全性。
上述报警控制子模块，每一个可以对一台显影机及其废液箱进行报警控制。为了可以同时对多台显影机及其废液箱集中进行控制，显影机废液箱报警控制装置的可以包括多个报警控制子模块，例如3个或以上。
在一个实施例中，显影机废液箱报警控制装置还包括蜂鸣器，报警控制子模块还包括用于控制蜂鸣器工作的控制开关。该控制开关包括相互串联的开关和继电器触点组中的第三常开触点。控制开关一端连接蜂鸣器的一端，另一端与蜂鸣器的另一端分别连接电源的正/负极。即控制开关连接直流电源的正极，蜂鸣器连接电源的负极；或控制开关连接直流电源的负极，蜂鸣器连接电源的正极。图3为一实施例中显影机废液箱报警控制装置的电路结构图，该实施例中包括3个报警控制子模块，可以通过断开控制开关中的(手动)开关禁止蜂鸣器工作。所有的报警控制子模块共用一个蜂鸣器，相比图1所示实施例，在手动开关闭合的情况下，废液箱液位到达设定阈值时第三常开触点闭合，蜂鸣器报警，操作人员可以通过指示灯判断具体是哪一个废液箱满溢，断开手动开关蜂鸣器停止报警。操作人员不再需要经常查看废液箱的液位情况，只要听到蜂鸣器报警再去处理便可。操作人员可以有更多的时间处理其它工作，提高了工作效率。
还有必要提供一种显影控制系统，包括显影机和上述的显影机废液箱报警控制装置。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种显影机废液箱报警控制装置，其特征在于，包括报警控制子模块，所述报警控制子模块包括：
液位传感器，用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号；
继电器，包括所述继电器线圈及继电器触点组；所述继电器线圈连接所述液位传感器，接收到所述上电信号后上电；继电器触点组的第一常开触点一端连接地线，另一端在所述继电器线圈上电时向显影机输出停止显影的控制信号；
提醒单元，与所述继电器触点组的第二常开触点串联，在所述继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。
2.根据权利要求1所述的显影机废液箱报警控制装置，其特征在于，所述报警控制子模块的数量为三个以上。
3.根据权利要求1所述的显影机废液箱报警控制装置，其特征在于，所述提醒单元是指示灯。
4.根据权利要求1所述的显影机废液箱报警控制装置，其特征在于，所述显影机废液箱报警控制装置还包括蜂鸣器，所述报警控制子模块还包括用于控制蜂鸣器工作的控制开关，所述控制开关包括相互串联的开关和继电器触点组中的第三常开触点，所述控制开关一端连接所述蜂鸣器的一端，另一端与蜂鸣器的另一端分别连接电源的正/负极。
5.根据权利要求1所述的显影机废液箱报警控制装置，其特征在于，所述液位传感器安装于所述废液箱上。
6.一种显影控制系统，包括显影机，其特征在于，还包括显影机废液箱报警控制装置，所述显影机废液箱报警控制装置包括报警控制子模块，所述报警控制子模块包括：
液位传感器，用于在废液箱液位到达设定阈值时向继电器线圈发送上电信号；
继电器，包括所述继电器线圈及继电器触点组；所述继电器线圈连接所述液位传感器，接收到所述上电信号后上电；继电器触点组的第一常开触点一端连接地线，另一端在所述继电器线圈上电时向所述显影机输出停止显影的控制信号；
提醒单元，与所述继电器触点组的第二常开触点串联，在所述继电器线圈上电时第二常开触点闭合使提醒单元得电进行提醒。
7.根据权利要求6所述的显影控制系统，其特征在于，所述报警控制子模块的数量为三个以上。
8.根据权利要求6所述的显影控制系统，其特征在于，所述提醒单元是指示灯。
9.根据权利要求6所述的显影控制系统，其特征在于，所述显影机废液箱报警控制装置还包括蜂鸣器，所述报警控制子模块还包括用于控制蜂鸣器工作的控制开关，所述控制开关包括相互串联的开关和继电器触点组中的第三常开触点，所述控制开关与蜂鸣器串联。
10.根据权利要求6所述的显影控制系统，其特征在于，所述液位传感器安装于所述废液箱上。
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| CN2011204524883U CN202331222U (zh) | 2011-11-15 | 2011-11-15 | 显影机废液箱报警控制装置及显影控制系统 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104133349A (zh) * | 2014-08-19 | 2014-11-05 | 上海先进半导体制造股份有限公司 | 显影液筒及其气压报警装置 |
| CN104820445A (zh) * | 2015-04-07 | 2015-08-05 | 国家电网公司 | 电缆沟水位监控报警系统 |
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