CN104109834B - 蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及蒸镀设备技术领域，公开了一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机。本发明的蒸镀机的蒸发源装置，包括：坩埚；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。采用本发明技术方案，可以使得热量在蒸镀材料中的传递路径缩短，热量在蒸镀材料中均匀传递，进而提高了有机材料蒸镀的热稳定性，以保持镀率的稳定及提高有机材料蒸镀的良率。

Description

蒸镀机的蒸发源装置及蒸镀机

技术领域

本发明涉及蒸镀设备技术领域，特别是涉及一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机。

背景技术

有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)通过蒸镀有机材料来制作构成OLED显示器件的载流子传输层和有机发光层。现今的OLED蒸镀机的蒸发源分为点源蒸发源和线形蒸发源，由于线形蒸发源可以提高蒸发材料利用率，并且可以提高成膜的均匀性，因此，线性蒸发源作为一个研究热点被人们广泛关注。在蒸发源装置中蒸镀的有机蒸镀材料主要分两种，一种是升华型有机材料，另一种则是融溶型有机材料。其中，升华型有机材料主要是将有机材料直接加热，有机材料升华为气态再冷却于基板上形成有机膜层；融溶型有机材料在加热后则先融为液态再升温为气态，最后再冷却于基板上形成有机膜层。

如图1所示，现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置，包括盛放有机材料的坩埚1，对坩埚1进行加热，实现坩埚1内的有机材料的蒸镀，由于对坩埚1加热仅是对坩埚1四周的坩埚壁进行加热，坩埚1的结构一般为图1所示的长条状，因此，对于坩埚1的坩埚槽内的有机材料而言，有机材料本身的导热性较差，且热传导路径较长，易造成传热不均，特别对于大尺寸的蒸发源来说，温度分布不均的现象更明显，进而造成有机材料的蒸镀的镀率稳定性不足及良率降低等问题。

现有的蒸发源的坩埚，易造成蒸镀材料传热不均，进而降低蒸镀材料蒸镀的良率。

发明内容

本发明的目的是提供一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机，用以提高蒸镀材料的传热均匀性，进而提高有机材料蒸镀的良率。

本发明实施例首先提供一种蒸镀机的蒸发源装置，包括：

坩埚；

所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；

所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上。

在本发明技术方案中，由于在坩埚槽内设置有分别沿第一方向和第二方向的多个第一导热隔板和多个第二导热隔板，第一导热隔板和第二导热隔板将坩埚槽分隔为多个容纳蒸镀材料的容置槽，因此可以将坩埚壁的热量传递至与之接触的蒸镀材料中，因此，由第一导热隔板和第二导热隔板构成的容置槽内的蒸镀材料内的传热路径缩短，大大减少了蒸镀材料受其本身导热性能较低的影响，因此，可以大大提高传热的均匀性，进而提高了蒸镀膜的均匀性，提高了有机材料蒸镀的良率。

优选的，每个所述第一导热隔板具有至少一个第一开口槽，所述第一开口槽的开口朝向所述坩埚槽的槽底；每个所述第二导热隔板具有至少一个第二开口槽，所述第二开口槽的开口朝向所述坩埚槽的槽底。

由于将一个坩埚槽划分为多个容置槽，不同的容置槽之间也可能存在受热不均的问题，易造成不同容置槽中的蒸镀材料蒸镀速率不同，因此，在第一导热隔板和第二导热隔板下部开设开口槽，使相邻的容置槽连通，则相邻的容置槽中的蒸镀材料可以流通，因此，进一步提高了导热的均匀性，进而提高了镀膜的均匀性。

优选的，所述坩埚槽为长条状坩埚槽，所述第一方向为长条状坩埚槽的宽度方向，所述第二方向为长条状坩埚槽的长度方向；所述第二导热隔板的数量为一个且位于所述坩埚槽中部。

该实施例特别适用于长条状坩埚槽的坩埚，由于长条状坩埚槽内的蒸镀材料更易发生导热不均的问题，第二导热隔板沿长度方向设置且位于坩埚槽中部，多个第一导热隔板平行设置以形成多个长方体状的容置槽，第一导热隔板与第二导热隔板分别与长条状坩埚槽的槽壁导热连接，因此，可以实现多个容置槽内的蒸镀材料的传热均匀性。

第二导热隔板与第一导热隔板固定连接，优选采用可拆卸连接的形式，优选的，所述第二导热隔板和至少一个所述第一导热隔板通过卡槽卡接固定。例如第二导热隔板上设置有卡槽，可以将第一导热隔板固定于卡槽内，又如，第一导热隔板和第二导热隔板分别设置有相应的卡槽，实现第一导热板与第二导热隔板卡接。第一导热隔板和第二导热隔板卡接固定，既可实现两者的固定连接，又可方便对坩埚进行清洗时的两者的拆卸。

优选的，所述第一导热隔板和所述第二导热隔板分别为金属导热隔板。采用金属导热隔板，既具有较高的热传导效率，又防止第一导热隔板或第二导热隔板在高温下可能与蒸镀材料发生反应。

优选的，所述金属导热隔板为在蒸镀条件下不与蒸镀材料发生化学反应的金属导热隔板，例如，所述金属导热隔板的材质为不锈钢或钛金属。不锈钢或钛金属不仅具有良好的导热性，而且具有良好的耐腐蚀性和易清洁性，可以提高第一导热隔板和第二导热隔板的使用寿命。

优选的，所述金属导热隔板的厚度为2～3厘米。

本发明实施例还提供一种蒸镀机，包括上述任一种蒸镀机的蒸发源装置。由于上述任一种蒸镀机的蒸发源装置可以实现坩埚槽内蒸镀材料导热的均匀性，因此，由该蒸镀机蒸镀的膜具有较高的均匀性，大大提高了镀膜的良率。

优选的，所述蒸镀机为有机发光二极管蒸镀机。本发明的蒸镀机特别适用于有机发光二极管蒸镀机。

附图说明

图1为现有的OLED蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图；

图2为本发明第一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图；

图3为本发明第一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图；

图4为本发明一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的第一导热隔板和第二导热隔板的装配过程示意图。

附图标记：

1-坩埚11-第一导热隔板12-第二导热隔板

111-第一开口槽112-第二开口槽121-卡槽

具体实施方式

为了提高提高蒸镀材料的传热均匀性，本发明实施例提供了一种蒸镀机的蒸发源装置及一种蒸镀机。该技术方案中，由于在坩埚槽内采用多个沿第一方向第一导热隔板和多个沿第二方向的第二导热隔板，第一导热隔板和第二导热隔板可以将坩埚壁的热量进行传导，因此，由第一导热隔板和第二导热隔板构成的多个容置槽内的蒸镀材料受热均匀，大大减少了蒸镀材料受其本身导热性能较低的影响，因此，可以大大提高传热的均匀性，进而提高了蒸镀膜的均匀性，提高了有机材料蒸镀的良率。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举具体实施例对本发明作进一步详细说明。

本发明实施例首先提供一种蒸镀机的蒸发源装置，如图2所示，图2为本发明第一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图，所述蒸发源装置包括：

坩埚1；

坩埚1的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板11，每个第一导热隔板11连接于坩埚1的坩埚壁上；

坩埚1的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个第一导热隔板11固定连接的第二导热隔板12，每个第二导热隔板12连接于坩埚1的坩埚壁上。

在本发明技术方案中，由于在坩埚槽内具有多个沿第一方向的第一导热隔板11和多个沿第二方向的第二导热隔板12，第一导热隔板11和第二导热隔板12将坩埚槽分隔为多个容置槽，因此，坩埚壁上的热量可以通过第一导热隔板11和第二导热隔板12传递至位于容置槽内的蒸镀材料中，因此，由第一导热隔板11和第二导热隔板12构成的多个容置槽内的蒸镀材料内的传热路径大大缩短，大大减少了蒸镀材料受其本身导热性能较低的影响，因此，可以大大提高传热的均匀性，进而提高了蒸镀膜的均匀性，提高了有机材料蒸镀的镀率稳定性，并提高有机材料蒸镀的良率。图2所示仅给出了一个第二导热隔板12，而本发明的技术方案中，第二导热隔板12的数量也可以为多个，当然第一导热隔板11的数量也可以为一个或多个，第一导热隔板11和第二导热隔板12的数量可以根据坩埚槽的大小进行设置。

优选的，如图3所示，图3为本发明第二实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的结构示意图，每个第一导热隔板11具有至少一个第一开口槽111，第一开口槽111的开口朝向坩埚槽的槽底，每个第二导热隔板12具有至少一个第二开口槽112，第二开口槽112的开口朝向坩埚槽的槽底。在图3中，为了清楚显示第一导热隔板11和第二导热隔板12的构造，省去了面向看图者一侧的坩埚壁。

由于将一个坩埚槽划分为多个容置槽，不同的容置槽之间也可能存在受热不均的问题，易造成不同容置槽中的蒸镀材料蒸镀速率不同，因此，在第一导热隔板11下部开设第一开口槽111，在第二导热隔板12的下部设置第二开口槽112使相邻的容置槽连通，则相邻的容置槽中的蒸镀材料可以流通，因此，进一步提高了导热的均匀性，进而提高了镀膜的均匀性。第一导热隔板11上第一开口槽111的大小和第二导热隔板12上第二开口槽112，可以根据蒸镀材料的流动性来设计。本发明中第一开口槽111的体积可以为第一导热隔板11体积的5％～10％；第二开口槽112的体积可以为第二导热隔板12体积的5％～10％。

现有的蒸发源的设计时，为了减少传热路径，在较大的外坩埚内设计有多个内坩埚，这样多个内坩埚可以减少传热路径，但是长时间使用，由于各个内坩埚温度不均，使蒸镀材料耗用量也分布不均，根据经验表明，在48小时连续烧机后，部分内坩埚内蒸镀材料已经蒸发完，而另一部分内坩埚内的蒸镀材料几乎没有蒸镀出来，反而有增加的现象，当内坩埚内的蒸镀材料发生以上的分布时，膜厚的均匀度将无法利用温度的调整来达成，使得机台不得不停机，这样蒸镀机无法连续长时间运行。而本发明第二实施例的技术方案，由于在第一导热隔板11上和第二导热隔板12上分别设计有第一开口槽111和第二开口槽112，因此可以使相邻容置槽内蒸镀材料流通起来，解决了现有的多个内坩埚导致的蒸镀材料消耗不均的问题，并且由于该蒸发源可以连续使用，直至所有的蒸镀材料蒸镀完，因此，大大提高了量产性。若在多个内坩埚上分别开孔，虽然蒸镀材料可以相邻内坩埚之间流通，但是停止蒸镀进行降温后，蒸镀材料固化在相邻的内坩埚之间，造成内坩埚难以取出清洗，且多个内坩埚的设计使得坩埚的制造成本升高。

请继续参照图2或图3所示，优选的，所述坩埚槽为长条状坩埚槽，第一方向为长条状坩埚槽的宽度方向，第二方向为长条状坩埚槽的长度方向；第二导热隔板12的数量为一个且位于坩埚槽中部。

该实施例特别适用于长条状坩埚槽的坩埚1，由于长条状坩埚槽内的蒸镀材料更易发生导热不均的问题，一个第二导热隔板12沿长度方向设置且位于坩埚槽中部，多个第一导热隔板11平行设置以形成多个长方体状的容置槽，可以实现多个容置槽内的蒸镀材料的传热均匀性。例如，长条状坩埚槽的长度为1450厘米，在设计时，每相邻两个第一导热隔板11之间的间距为200～250厘米。

第二导热隔板12与第一导热隔板11固定连接，优选采用可拆卸连接的形式，优选的，如图4所示，图4为本发明一实施例提供的蒸镀机的蒸发源装置的第一导热隔板和第二导热隔板的装配过程示意图，也请继续参照图2或图3所示，第一导热隔板11设置有卡接第二导热隔板12的卡槽121，第二导热隔板12也设置有卡接第一导热隔板11的卡槽121。第二导热隔板12和第一导热隔板11通过卡槽121卡接固定，既可实现两者的固定连接，又可方便对坩埚进行清洗时的两者的拆卸。相对于将第一导热隔板11与第二导热隔板12一体化固定于坩埚1上，可拆卸的方式具有降低加工难度、降低成本，且易于清洗的优势。在图4中，也可看到第一导热隔板11和第二导热隔板12分别与坩埚壁连接的位置具有大的倒角，相当于开口槽，提高相邻容纳槽内蒸镀材料的流通性。

请继续参照图2或图3所示，优选的，第一导热隔板11和第二导热隔板12分别为金属导热隔板。采用金属导热隔板，既具有较高的热传导效率，又防止第一导热隔板或第二导热隔板在高温下可能与蒸镀材料发生反应。

优选的，所述金属导热隔板为在蒸镀条件下不与蒸镀材料发生化学反应的金属导热隔板，例如，所述金属导热隔板的材质为不锈钢或钛金属。不锈钢或钛金属不仅具有良好的导热性，而且具有良好的耐腐蚀性和易清洁性，可以提高第一导热隔板11和第二导热隔板12的使用寿命。

优选的，所述金属导热隔板的厚度为2～3厘米。例如，金属导热隔板的厚度为2厘米、2.3厘米、2.5厘米、2.8厘米或3厘米。对第一导热隔板和第二导热隔板的厚度进行限定，一方面是为了使得第一导热隔板和第二导热隔板具有一定的支撑性，在容纳蒸镀材料时防止变形，另一方面也考虑到对整个坩埚槽的占用率，第一导热隔板和第二导热隔板的厚度越小，坩埚槽盛放蒸镀材料的空间越多。

本发明实施例还提供一种蒸镀机，包括上述任一种蒸镀机的蒸发源装置。由于上述任一种蒸镀机的蒸发源装置可以实现坩埚槽内蒸镀材料导热的均匀性，因此，由该蒸镀机蒸镀的膜具有较高的均匀性，大大提高了镀膜的良率。

优选的，所述蒸镀机为有机发光二极管蒸镀机。本发明的蒸镀机特别适用于有机发光二极管蒸镀机。

本发明中的蒸镀机的蒸发源装置为线形蒸发源装置。

对于本发明中的蒸镀机的蒸发源以及蒸镀机来说，特别适合蒸镀融溶型有机材料，特别是对于第二实施例的蒸发源，由于融溶型有机材料加热首先形成流动性的液体，因此，具有开口槽的第一导热隔板和第二导热隔板可以有效使得该液体流通，使得该液体均匀分布于各个容置槽内，提高蒸镀材料的均热性，进而提高了成膜的均匀性。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (8)

1.一种蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，包括：

坩埚；

所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第一方向的第一导热隔板，每个所述第一导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；

所述坩埚的坩埚槽内设置有至少一个沿第二方向且与每个所述第一导热隔板固定连接的第二导热隔板，每个所述第二导热隔板连接于所述坩埚的坩埚壁上；

每个所述第一导热隔板具有至少一个第一开口槽，所述第一开口槽的开口朝向所述坩埚槽的槽底；每个所述第二导热隔板具有至少一个第二开口槽，所述第二开口槽的开口朝向所述坩埚槽的槽底。

2.如权利要求1所述的蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，所述坩埚槽为长条状坩埚槽，所述第一方向为长条状坩埚槽的宽度方向，所述第二方向为长条状坩埚槽的长度方向；所述第二导热隔板的数量为一个且位于所述坩埚槽中部。

3.如权利要求2所述的蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，所述第二导热隔板和至少一个所述第一导热隔板通过卡槽卡接固定。

4.如权利要求1所述的蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，所述第一导热隔板和所述第二导热隔板分别为金属导热隔板。

5.如权利要求4所述的蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，所述金属导热隔板的材质为不锈钢或钛金属。

6.如权利要求4所述的蒸镀机的蒸发源装置，其特征在于，所述金属导热隔板的厚度为2～3厘米。

7.一种蒸镀机，其特征在于，包括如权利要求1～6任一项所述的蒸镀机的蒸发源装置。

8.如权利要求7所述的蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀机为有机发光二极管蒸镀机。