CN201785478U - 一种蒸镀设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蒸镀设备，包括蒸镀室，位于蒸镀室内的坩埚，加热坩埚的蒸发源，基板，还包括有孔的挡板，挡板位于坩埚与基板之间，挡板上设有加热装置。本实用新型提供的蒸镀设备，通过在坩埚上设置挡板和挡板加热装置，有效地防止蒸发材料飞溅造成基板损坏的现象，同时防止了蒸发材料沉积在挡板上，堵塞挡板的孔的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及蒸发设备，具体是指一种制造有机电致发光器件的蒸发设备。
背景技术
有机电致发光显示器(OLED，Organic Light Emitting Diode)，是一种利用载流子在电场作用下由正、负电极进入有机固体层复合而发光的现象制成的显示器件，目前OLED已广泛用于手机、MP3、显示器等多种产品上。
OLED包括器件部分和模组部分：其中模组部分为连接装置和驱动电路，用以驱动器件部分发光。器件部分包括多层材料堆叠的组合结构，该组合结构包括基板、阴极层、阳极层和位于两者之间的有机层，有机层包括通电后能够发光的有机材料，现有的有机材料分为两种，一种为小分子有机材料，一种为高分子有机材料。现有投入实际使用中的OLED，基本采用的都是小分子有机材料。
OLED器件部分制备包括制备阳极层、制备有机层和阴极层。其中有机层和阴极层的制备是通过真空蒸镀过程制备的。真空蒸镀是指在真空环境中，将材料加热使材料升华后，使之在工件或基片表面析出的过程。现有有机材料的蒸镀设备包括腔体、蒸发源、坩埚、基板，腔体内为真空环境，蒸发源对坩埚进行加热，有机材料蒸发后在基板上生成有机层。
发明人发现，现有技术存在以下缺陷：在向坩埚中加入有机材料时，粉末状的有机材料间存在微小空隙，加料完毕在真空中加热时，空隙中的空气形成气泡不断向外涌出，使得材料伴随气泡到处飞溅，飞溅到基板上的材料在基板上留下损坏点，导致基板损坏，从而无法在基板上形成合格的有机层。
技术方案
本实用新型的目的在于克服上述缺陷，提供一种防止有机材料飞溅的蒸发设备。
本实用新型的上述目的是通过如下技术方案予以实现的：
一种蒸镀设备，包括蒸镀室，位于蒸镀室内的坩埚，加热坩埚的蒸发源，基板，还包括有孔的挡板，挡板位于坩埚与基板之间，挡板上设有加热装置。
其中，所述加热装置为加热丝或加热管或加热片。
其中，所述挡板通过支撑装置固定于蒸镀室内。
其中，挡板固定于真空室内壁上。
其中，所述挡板表面积大于所述坩埚开口面积。
其中，所述挡板上的孔为以下形状的一种或多种：圆形、规则多边形、不规则多边形。
其中，所述挡板为以下任一种形状：圆形、规则多边形、不规则多边形。
本实用新型提供的蒸镀设备，通过在坩埚上设置挡板和挡板加热装置，有效地防止蒸发材料飞溅造成基板损坏的现象，同时防止了蒸发材料沉积在挡板上，堵塞挡板的孔的优点。
附图说明
图1为本实用新型所述蒸镀设备立体示意图；
图2为本实用新型所述蒸镀设备侧面透视图；
图3为本实用新型所述蒸镀设备挡板俯视结构示意图；
图4为本实用新型所述蒸镀设备具有加热装置的挡板俯视结构示意图；
图5为本实用新型不需要支撑装置的蒸镀设备结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
如图1，2所示，本专利所述蒸镀设备包括蒸镀室1、位于蒸镀室底部的坩埚2、加热坩埚的蒸发源3，固定于坩埚上方的基板4，设置于坩埚2开口上方的挡板5，挡板表面积大于所述坩埚开口面积，以能够遮盖住整个坩埚。挡板5位于基板4和坩埚2之间，通过挡板支撑装置6固定。
挡板5结构如图3所示，挡板5包括边框51，板身52，孔53。结合图2所示，对坩埚中的材料进行加热时，从坩埚中飞溅出的材料会被挡板5挡住，从而不会飞溅到基板上，而升华的材料分子则可以穿过挡板上的孔53，到达基板，从而实现有机材料的沉积，形成有机层。
基于上述方案的实践，发明人还提出一种改进方案，该改进方案对挡板的结构进行改进，改进后的挡板5还包括加热装置54，如图4所示。加热装置的加热温度范围为：室温--600℃之间。当有机材料蒸发时，部分有机材料遇到挡板后会遇冷沉积在挡板上，而无法到达基板，这样不仅降低了材料的利用率，久而久之，还会造成挡板的孔被沉积材料堵塞，更使有机材料无法到达基板。增加的加热装置通过对挡板进行加热，使得沉积在挡板上的材料再次升华，清除了堵塞在挡板上沉积的有机材料，并且，保持加热状态时的挡板使得升华的有机材料无法附着在挡板上。加热装置可以为加热丝，或加热管、加热片等。
基于上述方案的实践，发明人还提出一种改进方案，如图5所示，该挡板5’固定于真空室内壁上，在挡板上设有孔53’和板身52’，而不需要支撑装置。在挡板5’上还可以设置加热装置。
本实用新型提供的蒸镀设备，通过在坩埚上设置挡板和挡板加热装置，有效地防止蒸发材料飞溅造成基板损坏的现象，同时防止了蒸发材料沉积在挡板上，堵塞挡板的孔的优点。提高基板上蒸镀的有机材料的均匀性。
虽然本实用新型已以比较佳实施例揭露如上，然而其并非用以限定本实用新型，任何熟悉此技术人士，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰，因此，本实用新型的保护范围当以申请的专利范围所界定为准。
Claims (7)
1.一种蒸镀设备，包括蒸镀室，位于蒸镀室内的坩埚，加热坩埚的蒸发源，基板，其特征在于，还包括有孔的挡板，挡板位于坩埚与基板之间，挡板上设有加热装置。
2.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述加热装置为加热丝或加热管或加热片。
3.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板通过支撑装置固定于蒸镀室内。
4.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，挡板固定于真空室内壁上。
5.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板表面积大于所述坩埚开口面积。
6.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板上的孔为以下形状的一种或多种：圆形、规则多边形、不规则多边形。
7.如权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述挡板为以下任一种形状：圆形、规则多边形、不规则多边形。
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|---|---|---|---|---|
| CN103540898A (zh) * | 2013-10-30 | 2014-01-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种真空蒸镀装置 |
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| CN110373634A (zh) * | 2019-07-16 | 2019-10-25 | 福建华佳彩有限公司 | 一种蒸镀装置 |
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