CN104103553B - 半导体生产设备的数据传输处理方法和系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体生产设备的数据传输处理方法和系统。该数据传输处理方法包括如下步骤：接收从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的半导体生产设备的运行数据；对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理后传输给FA系统。其保证通过FA系统上传给工厂端软件系统的数据的正确性和完整性。

Description

半导体生产设备的数据传输处理方法和系统

技术领域

本发明涉及半导体自动控制技术领域，特别是涉及一种半导体生产设备的数据传输处理方法和系统。

背景技术

当前半导体生产的工厂设备（Fab Host）中，对工厂自动化程度要求都比较高，需要尽量减少手动操作，一般地，通过集群设备控制器（Cluster Tool Controller，CTC）发送自动化控制指令到工厂设备，控制工厂设备运行，并接收从工厂设备传输回来的工厂设备运行数据。因此，在半导体生产工艺中，对半导体集群控制器的设备控制软件系统的健壮性要求比较高。

目前半导体生产的工厂设备（Fab Host）机台采用的是FA（Factory Automation，工厂自动化）、Bridge（桥接）软件系统作为工厂设备与集群设备控制器的设备控制软件系统交互的中间部分。

半导体集群设备控制器的设备控制软件系统包含三大模块：集群设备控制器（Cluster Tool Controller，CTC）系统、工艺模块控制器（Process Module Controller，PMC）系统、传输模块控制器（Transport Module Controller，TMC）系统，这三大模块系统之间又通过相应的接口模块连接在一起，经过自动功率控制器（Automatic PowerController，APC）系统收集工艺数据后，发送给终点检测软件系统（Spectra View）进行检测，其总体结构如图1所示。

集群设备控制器（CTC）系统负责处理和协调工艺模块控制器（PMC）系统和传输模块控制器（TMC）系统，其主要功能是执行工艺任务（Job），并维护与任务相关的操作流程。

一个任务（Job）就是将材料从源片盒（Source Cassette）送入一个或多个工艺反应腔中，经过工艺处理，再传送室目的片盒（Destination Cassette）的过程。

工艺模块控制器（PMC）系统和传输模块控制器（TMC）系统都通过输入/输出（I/O）接口实现对相联接并受集群设备控制器（CTC）系统的控制。

而FA系统用于解析工厂端软件发送的遵循SEMI标准的消息，Bridge系统实现FA系统与集群设备控制器的设备控制软件系统之间的消息、事件的传递。

一般地，bridge系统的数据处理可以有两类：一类是从FA系统发起通知给Bridge系统，Bridge系统进行处理后再转发给设备控制软件系统；另一类是从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的数据。

现有技术中，在数据从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的过程中，Bridge系统本身不对数据做处理，只是把设备控制软件系统上传的数据通过FA系统直接上传给工厂端软件系统，这样，在设备控制软件系统上传的数据存在问题时也会通过FA系统直接上传给工厂端软件，当设备控制软件系统上传的数据出现数据为空、数据不全或者相同数据重发多次等情况时，Bridge系统不作任何处理，导致发给工厂的数据会出现多采或者漏采的现象，如果是漏采就会出现数据不全的情况，给分析数据带来了影响，如果是多采，工厂端软件系统任务就会异常报错，造成生产暂时中断，需人工干预才能解决，降低了生产的效率，造成了生产效率的下降。

发明内容

本发明提供了一种半导体生产设备的数据传输处理方法和系统，其保证通过FA系统上传给工厂端软件系统的数据的正确性和完整性。

为实现本发明目的而提供的一种半导体生产设备的数据传输处理方法，包括如下步骤：

接收从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的半导体生产设备的运行数据；

对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理后传输给FA系统。

较优地，作为一种可实施例，对运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理，包括如下步骤：

检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

如果判断所接收到的运行数据内容为空，则控制所述接收到的运行数据不通过FA系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

如果判断所接收到的运行数据内容不为空，则控制将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统。

较优地，作为一种可实施例，在检测到所接收到的运行数据内容不为空后，在将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统之前，还包括如下步骤：

根据预设的运行数据结构，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传不为空的运行数据，判断所接收到的运行数据的内容是否完整；

如果所接收到的运行数据完整，则直接将所述完整的运行数据存储到Bridge系统中并返回上传；否则，如果所接收到的运行数据的内容不完整时，则在Bridge系统中存储所述内容不完整的运行数据，并发送请求重发部分运行数据消息给所述设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发需要补充的部分运行数据，返回等待重新接收需要补充的部分运行数据；

在接收到需要补充的部分运行数据后，按所述预设的运行数据结构，把重发并被接收到的部分运行数据与已经接收到的运行数据合并；

将所述完整的运行数据存储到Bridge系统中并返回上传。

较优地，作为一种可实施例，在将完整的运行数据存储并返回前，还包括如下步骤：

将所述接收到的完整的运行数据与Bridge系统中已经存储的运行数据进行比较，并根据比较结果判断所接收的运行数据是否为重复上传数据；

当判断所接收的运行数据为重复上传数据时，则将所接收的重复上传数据直接丢弃后结束返回；否则，将未重复上传的运行数据返回上传。

较优地，作为一种可实施例，所述运行数据包括半导体生产设备的工艺参数数据，或者半导体生产进程数据，或者半导体生产设备的运行环境数据中的一种或者多种。

为实现本发明目的还提供一种半导体生产设备的数据传输处理的Bridge系统，电连接在半导体生产设备的设备控制软件系统和FA系统之间，包括接收模块和处理模块，其中：

所述接收模块，用于接收从设备控制软件系统通过Bridge系统转发给FA系统的半导体生产设备的运行数据；

所述处理模块，用于对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理。

较优地，作为一种可实施例，所述处理模块包括第一检测判断子模块，第一判断处理子模块，第二判断处理子模块，其中：

所述第一检测判断子模块，用于检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

所述第一判断处理子模块，用于判断所接收到的运行数据内容为空时，控制所接收到的运行数据不通过FA系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

所述第二判断处理子模块，用于判断所接收到的运行数据内容不为空时，控制将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统。

较优地，作为一种可实施例，所述处理模块还包括第二检测判断子模块，第三判断处理子模块，合并子模块和存储子模块，其中：

所述第二检测判断子模块，用于第二判断处理子模块在检测到所接收到的运行数据内容不为空后，在将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统之前，根据预设的运行数据结构，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传不为空的运行数据，判断所接收到的运行数据的内容是否完整；

所述第三判断处理子模块，用于在判断到所接收到的运行数据完整时，则直接转入存储子模块；否则，在判断到所接收到的运行数据的内容不完整时，存储所述内容不完整的运行数据，并发送请求重发部分运行数据消息给所述设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发需要补充的部分运行数据，等待重新接收需要补充的部分运行数据；

所述合并子模块，用于在所述第三判断处理子模块接收到需要补充的部分运行数据后，按所述预设的数据结构，把重发并被接收到的部分运行数据与已经接收到的运行数据合并；

所述存储子模块，用于将所述完整的运行数据存储到Bridge系统中并返回上传。

较优地，作为一种可实施例，所述处理模块还包括第三检测判断子模块，第四判断处理子模块，其中：

所述第三检测判断子模块，用于在将完整的运行数据存储并返回前，将所述接收到的完整的运行数据与存储子模块中已经存储的运行数据进行比较，并根据比较结果判断所接收的运行数据是否为重复上传数据；

第四判断处理子模块，用于当第三检测判断子模块判断所接收的运行数据为重复上传数据时，则将所接收的重复上传数据直接丢弃后结束返回；否则，将未重复上传的运行数据返回上传。

为实现本发明目的更提供一种半导体生产设备的数据传输处理系统，包括半导体生产设备的设备控制软件系统和FA系统，还包括本发明实施例所述的半导体生产设备的数据传输的Bridge系统。

较优地，作为一种可实施例，所述设备控制软件系统，包括全部重发数据模块；

所述全部重发数据模块，用于在接收到所述Bridge系统发送来的请求重发全部运行数据消息后，重新将所述全部运行数据上传给Bridge系统。

较优地，作为一种可实施例，所述设备控制软件系统，还包括部分重发数据模块；

所述部分重发数据模块，用于在接收到所述Bridge系统发送来的请求重发部分运行数据消息后，重新将所述需要补充的部分运行数据上传给Bridge系统。

本发明的有益效果为：本发明的半导体生产设备的数据传输处理方法和系统，针对从设备控制软件系统通过Bridge（桥接）系统转发给FA系统的数据进行处理，增加了Bridge系统对数据的预处理，对设备控制软件系统上传过来的数据进行判断处理，避免数据重发或者不全，从而减少工厂端的处理过程，减少生产中断，提高生产效率。

附图说明

图1是现有技术中半导体生产设备的结构示意图；

图2是本发明实施例的半导体生产设备的数据传输处理方法流程图；

图3是本发明实施例的半导体生产设备的数据传输处理系统结构示意图。

具体实施方式

下面结合说明书附图，对本发明实施例中的半导体生产设备的数据传输处理方法和系统的具体实施方式进行说明。

本发明实施例半导体生产设备的数据传输处理方法，如图2所示，包括如下步骤：

步骤S100，接收从设备控制软件系统通过Bridge（桥接）系统转发给FA（工厂自动化）系统的半导体生产设备的运行数据；

步骤S200，对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理后传输给FA系统。

一般地，在半导体生产设备运行过程中，设备控制软件系统上传给工厂端软件系统的数据是不能保证完整性和正确性的，因此，本发明实施例中，为了保证数据的完整性和正确性，在Bridge系统中对设备控制软件上传的运行数据进行检测，判断所述运行数据的正确性和/或完整性，即判断是否存在数据为空、数据不完整和/或相同数据重发等情况，并根据判断结果在Bridge系统中一一进行处理。

较佳地，作为一种可实施方式，所述半导体生产设备的运行数据是在半导体生产设备在自动化运行过程中产生的各种数据，包括但不限于半导体生产设备的工艺参数数据，或者半导体生产进程数据，或者半导体生产设备的运行环境数据等等中的一种或者多种。

较佳地，作为一种可实施方式，所述步骤S200中，所述对运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理，可以包括如下步骤：

步骤S210，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

Bridge系统控接收到运行数据后，解析所接收到的运行数据，得到其中的数据内容，如果数据内容为空（””）或者“Flase”，或者预设的空格式，则判断所接收到的运行数据为空；否则判断所接收到的数据内容不为空。

Bridge系统接收并解析得到数据内容是一种现有技术，因此在本发明实施例中，不再一一详细描述。

步骤S220，如果判断所接收到的运行数据内容为空，则控制所述接收到的运行数据不通过FA系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，返回步骤S100等待重新接收运行数据；

作为一种可实施方式，本发明实施例中，请求重发全部运行数据消息是通过调用public string Repeat()函数实现。

步骤S230，如果判断所接收到的运行数据内容不为空，则控制将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统。

进一步地，所述步骤S230中，在检测到所接收到的运行数据内容不为空后，在将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统之前，还包括如下步骤：

步骤S2301，根据预设的运行数据结构，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传不为空的运行数据，判断所接收到的运行数据的内容是否完整；

根据在Bridge系统中预先设置的运行数据的数据结构，对所接收到的运行数据解析出的数据内容的完整性进行检测，当所接收到的运行数据的内容具有完整的数据结构时，则判断所接收到的运行数据的内容是完整的；否则判断所接收到的运行数据的内容不完整，并根据预设的运行数据结构判断得到所述不完整的运行数据中所需要补充的部分。

步骤S2302，如果所接收到的运行数据完整，则直接进入步骤S2304；否则，如果所接收到的运行数据的内容不完整时，则在Bridge系统中存储所述内容不完整的运行数据，并发送请求重发部分运行数据消息给所述设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发需要补充的部分运行数据（即补发缺失的部分的运行数据），返回步骤S100等待重新接收需要补充的部分运行数据；

作为一种可实施方式，本发明实施例中，所述请求重发部分运行数据消息，是通过调用public string Repeat(string[]parameters)函数实现，其中parameters表示需要重新上传的部分运行数据的数组。

步骤S2303，在接收到需要补充的部分运行数据后，按所述预设的运行数据结构，把重发并被接收到的部分运行数据与已经接收到的运行数据合并；

步骤S2304，将所述完整的运行数据存储到Bridge系统中并返回上传。

更佳地，作为一种可实施方式，所述步骤S2304中，在将完整的运行数据存储并返回前，还包括如下步骤：

步骤S23041，将所述接收到的完整的运行数据与Bridge系统中已经存储的运行数据进行比较，并根据比较结果判断所接收的运行数据是否为重复上传数据；

将所接收到的完整的运行数据与Bridge系统中已经存储的运行数据进行一一比较，如果有完全相同的存储数据，则判断所接收到的完整的运行数据为重复上传步骤；否则所接收到的完整数据不是重复上传数据。

步骤S23042，当判断所接收的运行数据为重复上传数据时，则将所接收的重复上传数据直接丢弃后结束返回；否则，进入步骤S2304将未重复上传的运行数据返回上传。

在判断所述设备控制软件系统上传数据重复上传，同一数据设备控制软件系统重复上传多次时，本发明实施例中，Bridge系统在接收第一次存储该运行数据后才进行上传，以后每次上传的运行数据与所存储数据进行对比，如果相同则判断不需要再次重复上传给工厂端软件系统；反之，则通过FA系统上传给工厂端软件系统，从而进一步保证数据的唯一性。

基于同样的构思，相应地，本发明还提供一种半导体生产设备的数据传输处理的Bridge（桥接）系统200，由于此系统解决问题的原理与前述一种半导体生产设备的数据传输处理方法的各项功能相似，此系统的实施可以通过前述方法具体过程实现，因此重复之处不再赘述。

如图3所示，本发明实施例的半导体生产设备的数据传输的Bridge系统200，其电连接在半导体生产设备的设备控制软件系统300和FA系统100之间，包括接收模块210和处理模块220，其中：

所述接收模块210，用于接收从设备控制软件系统300通过Bridge（桥接）系统200转发给FA（工厂自动化）系统100的半导体生产设备的运行数据；

所述处理模块220，用于对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理。

较佳地，作为一种可实施方式，所述处理模块220包括第一检测判断子模块221，第一判断处理子模块222，第二判断处理子模块223，其中：

所述第一检测判断子模块221，用于检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

所述第一判断处理子模块222，用于判断所接收到的运行数据内容为空时，控制所接收到的运行数据不通过FA系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

所述第二判断处理子模块223，用于判断所接收到的运行数据内容不为空时，控制将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统。

进一步地，所述处理模块220还包括第二检测判断子模块224，第三判断处理子模块225，合并子模块226和存储子模块227，其中：

所述第二检测判断子模块224，用于第二判断处理子模块在检测到所接收到的运行数据内容不为空后，在将所接收到的运行数据通过FA系统上传给工厂端软件系统之前，根据预设的运行数据结构，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传不为空的运行数据，判断所接收到的运行数据的内容是否完整；

所述第三判断处理子模块225，用于在判断到所接收到的运行数据完整时，则直接转入存储子模块；否则，在判断到所接收到的运行数据的内容不完整时，存储所述内容不完整的运行数据，并发送请求重发部分运行数据消息给所述设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发需要补充的部分运行数据，等待重新接收需要补充的部分运行数据。

所述合并子模块226，用于在所述第三判断处理子模块接收到需要补充的部分运行数据后，按所述预设的运行数据结构，把重发并被接收到的部分运行数据与已经接收到的运行数据合并；

所述存储子模块227，用于将所述完整的运行数据存储到Bridge系统中并返回上传。

更佳地，作为一种可实施方式，所述处理模块220还包括第三检测判断子模块228，第四判断处理子模块229，其中：

所述第三检测判断子模块228，用于在将完整的运行数据存储并返回前，将所述接收到的完整的运行数据与存储子模块中已经存储的运行数据进行比较，并根据比较结果判断所接收的运行数据是否为重复上传数据；

第四判断处理子模块229，用于当第三检测判断子模块判断所接收的运行数据为重复上传数据时，则将所接收的重复上传数据直接丢弃后结束返回；否则，将未重复上传的运行数据返回上传。

本发明实施例的一种半导体生产设备的数据传输的Bridge（桥接）系统，其工作过程与前述一种半导体生产设备的数据传输方法基本相同，因此在本发明实施例中，不再一一详细描述。

同样地，基于同样的构思，本发明实施例还提供一种半导体生产设备的数据传输处理系统，如图3所示，其包括半导体生产设备的设备控制软件系统300和FA系统100，还包括了本发明实施例所述的半导体生产设备的数据传输的Bridge（桥接）系统200。

较佳地，所述设备控制软件系统300包括全部重发数据模块310和部分重发数据模块320，其中：

所述全部重发数据模块310，用于在接收到所述Bridge系统发送来的请求重发全部运行数据消息后，重新将所述全部运行数据上传给Bridge系统；

所述部分重发数据模块320，用于在接收到所述Bridge系统发送来的请求重发部分运行数据消息后，重新将所述需要补充的部分运行数据上传给Bridge系统。

下面以设备控制软件上传工艺数据为例，进一步说明本发明实施例的半导体生产设备的数据传输处理方法和系统，但应当说明的是，其不是对本发明运行数据的限制。

上传的工艺数据的完整格式如下所示：

判定设备控制软件系统上传的工艺数据为空、上传工艺数据不完整、上传数据重复的方法分别是：

设备控制软件系统上传的工艺数据为空的方法：上传的工艺数据是一个空字符串，即为:””，此时无工艺数据上传。

设备控制软件上传工艺数据不完整的方法：依据数据完整的数据结构（数据格式），确定上传的工艺数据缺少部分参数，例：

该工艺数据缺少ChamberID、RecipeName、ProcessStartTime三个参数数据及其对应的值。

设备控制软件系统上传工艺数据重复上传的方法：本次上传的工艺数据与之前上传并存储的工艺数据对比，如上传数据中LotID、SlotID两参数与已存在的完整数据中两参数完全相同，则判定该数据重复上传。

本发明实施例的一种半导体生产设备的数据传输处理方法和系统，在所述运行数据转发过程中，Bridge系统对上传的运行数据进行检测，并判断其正确性和/或完整性，根据判断结果，如数据为空、数据不全或者相同数据重发多次等对所述运行数据进行处理，从而保证通过FA系统上传给工厂端软件系统的数据的正确性和完整性。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (13)

1.一种半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，包括如下步骤：

接收从设备控制软件系统通过桥接系统转发给工厂自动化系统的半导体生产设备的运行数据；

对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理后传输给工厂自动化系统；

其中，所述检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性指的是判断是否存在数据为空、数据不完整和/或相同数据重发的情况。

2.根据权利要求1所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，对运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理，包括如下步骤：

检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

如果判断所接收到的运行数据内容为空，则控制所述接收到的运行数据不通过工厂自动化系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

如果判断所接收到的运行数据内容不为空，则控制将所接收到的运行数据通过工厂自动化系统上传给工厂端软件系统。

3.根据权利要求2所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，在检测到所接收到的运行数据内容不为空后，在将所接收到的运行数据通过工厂自动化系统上传给工厂端软件系统之前，还包括如下步骤：

根据预设的运行数据结构，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传不为空的运行数据，判断所接收到的运行数据的内容是否完整；

如果所接收到的运行数据完整，则直接将所述完整的运行数据存储到桥接系统中并返回上传；否则，如果所接收到的运行数据的内容不完整时，则在桥接系统中存储所述内容不完整的运行数据，并发送请求重发部分运行数据消息给所述设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发需要补充的部分运行数据，返回等待重新接收需要补充的部分运行数据；

在接收到需要补充的部分运行数据后，按所述预设的运行数据结构，把重发并被接收到的部分运行数据与已经接收到的运行数据合并；

将所述完整的运行数据存储到桥接系统中并返回上传。

4.根据权利要求3所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，在将完整的运行数据存储并返回前，还包括如下步骤：

将所述接收到的完整的运行数据与桥接系统中已经存储的运行数据进行比较，并根据比较结果判断所接收的运行数据是否为重复上传数据；

当判断所接收的运行数据为重复上传数据时，则将所接收的重复上传数据直接丢弃后结束返回；否则，将未重复上传的运行数据返回上传。

5.根据权利要求1至4任一项所述的半导体生产设备的数据传输处理方法，其特征在于，所述运行数据包括半导体生产设备的工艺参数数据，或者半导体生产进程数据，或者半导体生产设备的运行环境数据中的一种或者多种。

6.一种半导体生产设备的数据传输处理的桥接系统，电连接在半导体生产设备的设备控制软件系统和工厂自动化系统之间，其特征在于，包括接收模块和处理模块，其中：

所述接收模块，用于接收从设备控制软件系统通过桥接系统转发给工厂自动化系统的半导体生产设备的运行数据；

所述处理模块，用于对所述接收到的运行数据进行检测，检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性，并根据判断结果对所接收到的所述运行数据进行处理；

其中，所述检测判断所述运行数据的正确性和/或完整性指的是判断是否存在数据为空、数据不完整和/或相同数据重发的情况。

7.根据权利要求6所述的半导体生产设备的数据传输处理的桥接系统，其特征在于，所述处理模块包括第一检测判断子模块，第一判断处理子模块，第二判断处理子模块，其中：

所述第一检测判断子模块，用于检测所接收到的所述设备控制软件系统上传的运行数据，判断所接收到的运行数据内容是否为空；

所述第一判断处理子模块，用于判断所接收到的运行数据内容为空时，控制所接收到的运行数据不通过工厂自动化系统上传给工厂端软件系统，并发送请求重发全部运行数据消息给设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发上传所述接收到的运行数据，等待重新接收运行数据；

所述第二判断处理子模块，用于判断所接收到的运行数据内容不为空时，控制将所接收到的运行数据通过工厂自动化系统上传给工厂端软件系统。

8.根据权利要求7所述的半导体生产设备的数据传输处理的桥接系统，其特征在于，所述处理模块还包括第二检测判断子模块，第三判断处理子模块，合并子模块和存储子模块，其中：

所述第二检测判断子模块，用于第二判断处理子模块在检测到所接收到的运行数据内容不为空后，在将所接收到的运行数据通过工厂自动化系统上传给工厂端软件系统之前，根据预设的运行数据结构，检测所接收到的所述设备控制软件系统上传不为空的运行数据，判断所接收到的运行数据的内容是否完整；

所述第三判断处理子模块，用于在判断到所接收到的运行数据完整时，则直接转入存储子模块；否则，在判断到所接收到的运行数据的内容不完整时，存储所述内容不完整的运行数据，并发送请求重发部分运行数据消息给所述设备控制软件系统，请求设备控制软件系统重发需要补充的部分运行数据，等待重新接收需要补充的部分运行数据；

所述合并子模块，用于在所述第三判断处理子模块接收到需要补充的部分运行数据后，按所述预设的数据结构，把重发并被接收到的部分运行数据与已经接收到的运行数据合并；

所述存储子模块，用于将所述完整的运行数据存储到桥接系统中并返回上传。

9.根据权利要求8所述的半导体生产设备的数据传输处理的桥接系统，其特征在于，所述处理模块还包括第三检测判断子模块，第四判断处理子模块，其中：

所述第三检测判断子模块，用于在将完整的运行数据存储并返回前，将所述接收到的完整的运行数据与存储子模块中已经存储的运行数据进行比较，并根据比较结果判断所接收的运行数据是否为重复上传数据；

第四判断处理子模块，用于当第三检测判断子模块判断所接收的运行数据为重复上传数据时，则将所接收的重复上传数据直接丢弃后结束返回；否则，将未重复上传的运行数据返回上传。

10.根据权利要求6至9任一项所述的半导体生产设备的数据传输处理的桥接系统，其特征在于，所述运行数据包括半导体生产设备的工艺参数数据，或者半导体生产进程数据，或者半导体生产设备的运行环境数据中的一种或者多种。

11.一种半导体生产设备的数据传输处理系统，包括半导体生产设备的设备控制软件系统和工厂自动化系统，其特征在于，还包括如权利要求8至10任一项所述的半导体生产设备的数据传输的桥接系统。

12.根据权利要求11所述的半导体生产设备的数据传输处理系统，其特征在于，所述设备控制软件系统，包括全部重发数据模块；

所述全部重发数据模块，用于在接收到所述桥接系统发送来的请求重发全部运行数据消息后，重新将所述全部运行数据上传给桥接系统。

13.根据权利要求11或12所述的半导体生产设备的数据传输处理系统，其特征在于，所述设备控制软件系统，还包括部分重发数据模块；

所述部分重发数据模块，用于在接收到所述桥接系统发送来的请求重发部分运行数据消息后，重新将需要补充的部分运行数据上传给桥接系统。