CN105791345B - 半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，包括：服务端，服务端具有FA进程和FA守护进程；FA进程具有重置模块，重置模块用于RemoteServer服务；FA守护进程用于对FA进程进行监控，当FA进程异常时，对异常的FA进程进行重启；工控机，工控机与服务端进行通信，工控机具有Bridge进程，Bridge进程与FA进程进行通信。本发明实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，通过服务端的FA守护进程对FA进程进行监控，在监控到FA进程异常时，能够对异常的FA进程进行重启，保证FA进程稳定可靠且简单便捷，提高使用体验。

Description

半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统。

背景技术

在半导体领域，工艺设备和传输设备通过各自控制器的通信接口模块相互连接，组成了集簇设备控制程序。同样，集簇设备控制程序与工厂主机Host通过工厂接口模块相连，实现了物理上连接在一起的工厂主机Host、传输控制设备以及工艺设备的相互通信，从而形成整个集成电路制造控制系统。

具体地，相关技术中，参照图1所示，FA(Factory Automation，工厂自动化)系统遵循相关的SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute，半导体制程设备安全准则)标准，通过接口程序实现了工厂主机Host与集簇设备控制软件CTC(Cluster ToolController，集簇设备控制软件)之间无缝的通信。FA通过消息处理模块，任务Job模块的其他模块对Host消息流进行接收并解析，并通过通信模块向Bridge发送控制命令，最终分派给CTC实现设备的控制。同时，CTC可以主动给Bridge发送交互信息，促使Bridge向FA触发交互事件，FA经过业务模块处理后按照SEMI标准转换成消息流发送给工厂主机Host。

然而，在相关技术中，如果FA的IRemoteServer类型服务发生异常，则会导致Bridge无法有效调用服务，并且如果FA整个进程发生异常，则会导致Bridge无法连接FA，从而必须登录服务器手动重启FA进程，操作繁琐，降低了使用体验。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。

为此，本发明的目的在于提出一种的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，该系统在FA进程发生异常时，可以对异常的FA进程进行重启，无需登录服务器手动重启FA进程，简单便捷。

为达到上述目的，本发明实施例提出了一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，包括：

服务端，所述服务端具有FA进程和FA守护进程；

所述FA进程具有重置模块，所述重置模块用于重置RemoteServer服务；

所述FA守护进程用于对所述FA进程进行监控，当所述FA进程异常时，对异常的FA进程进行重启；以及

工控机，所述工控机与所述服务端进行通信，所述工控机具有Bridge进程，所述Bridge进程与所述FA进程进行通信。

根据本发明实施例提出的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，通过服务端的FA守护进程对FA进程进行监控，在监控到FA进程异常时，能够对异常的FA进程进行本地重启，无需登录服务器手动重启FA进程，保证FA进程稳定可靠且简单便捷，更加自动化，提高使用体验。

另外，根据本发明上述实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统还可以具有如下附加的技术特征：

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述重置模块包括以下一个或多个子模块：InitRemoteServer子模块，用于重启所有服务；以及RestartRemoteServer子模块，用于启动IRemoteServer类型的指定服务。

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述FA守护进程通过DOS(Disk OperatingSystem，磁盘操作系统)命令重启所述异常的FA进程。

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述Bridge进程包括初始化通信模块，所述初始化通信模块用于初始化并加载配置文件。

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述Bridge进程还包括超时异常模块，所述超时异常模块用于获取所述服务端所容忍的超时时间，并更新所述配置文件，以及在所述IRemoteServer服务的时间超过所述超时时间且累计次数超过预设容忍次数时，调取所述服务端的RestartRemoteServer子模块对对应的IRemoteServer服务进行重启。

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述服务端具有FA进程和FA守护进程，支持各自独立启动，或者通过批处理或附加进程的方式统一启动。

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述Bridge进程通过Remoting远程获取FA的IRemoteFactory接口类型服务对象，进而获取IRemoteServer类型服务对象，最终调用服务完成消息流的传递，当远程服务对象异常时，所述Bridge进程无限自动请求获取服务对象。

进一步地，在本发明的一个实施例中，所述Bridge进程通过所述FA守护进程提供的IRemoteStart接口手动重启所述FA进程。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为相关技术中工厂主机HOST、FA、Bridge与CTC之间的关系示意图；

图2为相关技术中FA与Bridge的通信示意图；

图3为根据本发明一个实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统的结构示意图；以及

图4为根据本发明一个具体实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统的结构示意图；

图5为根据本发明一个实施例的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统的通信示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在描述根据本发明实施例提出的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统之前，参照图2所示，先来简单描述一下相关技术中FA进程与Bridge进程，以及FA与Bridge的通信，从而有利于更好地理解本发明实施例提出的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统。

1、FA进程：

FA独立运行在服务端，进程启动并初始化所有符合SEMI标准的IRemoteServer类型服务，包括：E37Server-TCP/IP通讯管理服务、E30Server-设备通讯与控制管服务、E87Server-Carrier相关服务、E90Server-料片服务、E40Server\E94Serve-Job服务等。然后，FA启动IRemoteFactory类型服务，用于远程获取IRemoteServer服务对象，其中，IRemoteFactory结构如下：

最后，FA注册TCP(Transmission Control Protocol，传输控制协议)通道，实现远程控制和获取服务对象功能，同时加载其他模块完成具体业务功能。

2、Bridge进程：

Bridge运行在工控机，进程初始化并加载XML(Extensible Markup Language，可扩展标记语言)配置文件，实现与FA的TCP连接。

XML配置参数示例如下：

<Config>

<Faconfig name＝"faconfig"value＝"tcp://192.168.1.1:5000/bridgeserver"/>

</Config>

3、FA和Bridge通信：

FA和Bridge接口之间基于以太网的TCP/IP的通信协议，通过Remoting协议实现高速SECS消息服务(HSMS)。Bridge通过Remoting远程获取FA的IRemoteFactory接口类型服务对象，进而获取IRemoteServer类型服务对象，最终调用服务完成消息流的传递。当远程服务对象异常时，Bridge无限自动请求获取服务对象。

然而，参照图2所示，一旦FA的IRemoteServer类型服务发生异常，将导致Bridge无法有效调用服务，并且如果FA整个进程发生异常，也会导致Bridge无法连接FA，从而必须登录服务器手动重启FA进程，操作十分繁琐，不能很好地满足用户的使用要求，降低了使用体验。

本发明正是基于上述问题，而提出了一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统。

下面参照附图描述根据本发明实施例提出的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统。参照图3所示，该通信系统10包括：服务端100与工控机200。

其中，服务端100具有FA进程110和FA守护120进程，FA进程110具有重置模块111，重置模块111用于重置RemoteServer服务，FA守护进程120用于对FA进程110进行监控，当FA进程110异常时，对异常的FA进程进行重启。工控机200与服务端100进行通信，工控机200具有Bridge进程210，Bridge210进程与FA进程110进行通信。本发明实施例的通信系统100在服务端100运行FA进程110和FA守护进程120，FA守护进程120负责监控FA进程110的状态和本地重启异常的FA进程。

具体地，在本发明的一个实施例中，参照图4所示，服务端具有FA进程110和FA守护进程120，支持各自独立启动，或者通过批处理或附加进程的方式统一启动。可以理解为，服务端100需要运行FA进程110和FA守护进程120，支持各自独立启动，也可以通过批处理或附加进程等方式统一启动，其中，启动方式仅是示意性的，本发明并不仅限于这几种启动方式。

其中，FA进程110包括除了常规的初始化通信模块和业务处理模块外(常规模块在图中未进行具体标示)，增加了重置IRemoteServer服务的模块即重置模块111。重置模块111为IRemoteFactory类型服务注入了新的服务方法：InitRemoteServer和RestartRemoteServer。IRemoteFactory类型如下：

具体地，在本发明的一个实施例中，参照图4所示，重置模块111包括以下一个或多个子模块：InitRemoteServer子模块1111和RestartRemoteServer子模块1112。其中，InitRemoteServer子模块1111用于重启所有服务，即释放所有对象及占用资源后重新创建该对象。RestartRemoteServer子模块1112用于启动IRemoteServer类型的指定服务例如E87Server，实现方式示例如下：

在本发明的一个实施例中，FA守护进程120通过DOS命令重启异常的FA进程。

进一步地，FA守护进程120负责实时监听FA进程110的状态，本地重启异常的FA进程。当FA进程110异常导致服务无法访问后，FA守护进程120可自动通过运行DOS命令重启FA进程，实现方式示例如下：

其中，Bridge进程210可通过FA守护进程120提供的IRemoteStart接口手动重启FA进程，具体的Socket\Tcp通信方式可与FA初始化通信模块一致。

进一步地，在本发明的一个实施例中，参照图4所示，Bridge进程210包括初始化通信模块211。初始化通信模块211用于初始化并加载配置文件。

进一步地，在本发明的一个实施例中，参照图4所示，Bridge进程210还包括超时异常模块212。超时异常模块212用于获取服务端100所容忍的超时时间，并更新配置文件，以及在IRemoteServer服务的时间超过超时时间且累计次数超过预设容忍次数时，调取服务端100的RestartRemoteServer子模块1112对对应的IRemoteServer服务进行重启。

具体地，参照图4所示，Bridge进程210独立运行在工控机200，Bridge进程210包括优化的初始化通信模块211、超时异常处理模块212及其他业务模块(图中未进行具体标示)等。

其中，在本发明的一个实施例中，Bridge进程210通过Remoting远程获取FA的IRemoteFactory接口类型服务对象，进而获取IRemoteServer类型服务对象，最终调用服务完成消息流的传递，当远程服务对象异常时，Bridge进程210无限自动请求获取服务对象。

具体地，初始化通信模块211用于进程初始化并加载优化的XML配置文件，根据<Faconfig>配置信息注册FAserver的TCP通道，Remoting协议远程连接FA进程110并实时获取通信状态信息。<FaGuard>配置信息用于远程连接FA守护进程120，完成远程启动FA进程110。<InitTimeOut>配置信息用于记录系统默认的超时等待时间(TimeOut)，单位可以为毫秒。<TimeOutCount>配置信息用于记录默认的超时容忍次数。具体参数示例如下：

进一步地，当超时异常模块212与FA进程110首次通信成功后，超时模块212自动通过IRemoteServer类型的E30Server获取服务端容忍的超时时间(T3)，然后更新本地内存的TimeOut和<InitTimeOut>配置信息。进一步地，在本发明的一个实施例中，Bridge进程210通过FA守护进程120提供的IRemoteStart接口手动重启FA进程110。

具体地，在通信过程中，如果某个IRemoteServer类型服务需要手动重置或调用等待时间超过TimeOut并且累积次数超过系统默认的容忍次数，则该模块将创建异步线程，通过Remoting技术远程调用IRemoteFactory的RestartRemoteServer接口来重启服务，直至Bridge收到重置成功信号后自动获取服务。如果IRemoteFactory类型服务出现异常产生超时并且累积超过容忍次数，则该模块将通过TCP连接调用FA守护进程120的IRemoteStart接口重启FA进程110，然后Bridge进程210重新启动初始化通信模块211。

简言之，在本发明的一个实施例中，参照图5所示，FA进程110和Bridge进程210的接口之间基于以太网的TCP/IP的通信协议，通过Remoting的方式实现高速SECS消息服务。Bridge进程210通过Remoting技术远程获取FA进程110的IRemoteFactory类型服务对象(如FaServer)，在引入超时和异常处理机制之后，可直接通过FaServer获取并调用SEMI标准的服务。

根据本发明实施例提出的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，在服务端增加了FA守护进程，通过服务端的FA守护进程对FA进程进行监控，在监控到FA进程异常时，能够对异常的FA进程进行本地重启，在工控机Bridge端增加了超时异常处理模块，负责检测并实时处理远程服务调用过程中引发的异常，同时不影响其他各个业务模块的正常工作，在FA进程的某个服务异常后，Bridge进程可远程重启服务，恢复FA与Bridge之间的通信，相当于增加了远程重启FA服务机制，例如FA服务异常后，Bridge可通过Remoting远程重启IRemoteServer服务，以及FA进程异常后，Bridge进程可直接远程重启FA进程并自动建立TCP连接，也相当于增加了远程重启FA进程机制，例如FA进程异常后，Bridge通过接口访问FA守护进程，FA守护进程运行DOS命令重启FA进程并自动建立TCP连接，无需登录服务器手动重启FA进程，保证FA进程稳定可靠且简单便捷，更加自动化，提高使用体验，更好地满足用户的使用要求。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本发明的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本发明的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读介质中，以供指令执行系统、装置或设备(如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统)使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，"计算机可读介质"可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。计算机可读介质的更具体的示例(非穷尽性列表)包括以下：具有一个或多个布线的电连接部(电子装置)，便携式计算机盘盒(磁装置)，随机存取存储器(RAM)，只读存储器(ROM)，可擦除可编辑只读存储器(EPROM或闪速存储器)，光纤装置，以及便携式光盘只读存储器(CDROM)。另外，计算机可读介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。

应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列(PGA)，现场可编程门阵列(FPGA)等。

本技术领域的普通技术人员可以理解实现上述实施例方法携带的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，该程序在执行时，包括方法实施例的步骤之一或其组合。

此外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理模块中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个模块中。上述集成的模块既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能模块的形式实现。所述集成的模块如果以软件功能模块的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，也可以存储在一个计算机可读取存储介质中。

上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (6)

1.一种半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，其特征在于，包括：

服务端，所述服务端具有FA进程和FA守护进程；

所述FA进程具有重置模块，所述重置模块用于重置RemoteServer服务；

所述FA守护进程用于对所述FA进程进行监控，当所述FA进程异常时，

对异常的FA进程进行重启；以及

工控机，所述工控机与所述服务端进行通信，所述工控机具有Bridge进程，所述Bridge进程与所述FA进程进行通信，其中，所述Bridge进程包括初始化通信模块和超时异常模块，所述初始化通信模块用于初始化并加载配置文件，所述超时异常模块用于获取所述服务端所容忍的超时时间，并更新所述配置文件，以及在IRemoteServer服务的时间超过所述超时时间且累计次数超过预设容忍次数时，调取所述服务端的RestartRemoteServer子模块对对应的IRemoteServer服务进行重启。

2.如权利要求1所述的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，其特征在于，所述重置模块包括以下一个或多个子模块：

InitRemoteServer子模块，用于重启所有服务；以及

RestartRemoteServer子模块，用于启动IRemoteServer类型的指定服务。

3.如权利要求1所述的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，其特征在于，所述FA守护进程通过DOS命令重启所述异常的FA进程。

4.如权利要求1所述的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，其特征在于，所述服务端具有FA进程和FA守护进程，支持各自独立启动，或者通过批处理或附加进程的方式统一启动。

5.如权利要求1所述的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，其特征在于，所述Bridge进程通过Remoting远程获取FA的IRemoteFactory接口类型服务对象，进而获取IRemoteServer类型服务对象，最终调用服务完成消息流的传递，当远程服务对象异常时，所述Bridge进程无限自动请求获取服务对象。

6.如权利要求1所述的半导体工艺设备中服务端与工控机的通信系统，其特征在于，所述Bridge进程通过所述FA守护进程提供的IRemoteStart接口手动重启所述FA进程。