CN103962798B - 管密封方法、油填充用管的密封方法及液封型压力传感器 - Google Patents

管密封方法、油填充用管的密封方法及液封型压力传感器 Download PDF

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CN103962798B CN201410042136.9A CN201410042136A CN103962798B CN 103962798 B CN103962798 B CN 103962798B CN 201410042136 A CN201410042136 A CN 201410042136A CN 103962798 B CN103962798 B CN 103962798B
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Abstract

本发明提供一种管的密封方法,在将金属制的管部件压瘪而形成密封部分时,能够对包含密封部分的两端部的整个密封部分进行压瘪,能够仅由压瘪得到的密封部分来确保高的密封性。在压紧模(18)下降而压紧模(18)的圆角部分(20)的前端(20a)与下承接金属模(12)的承接部(14)的底部(24)的距离(b)为管部件(10)的壁厚t的2倍亦即2t的位置,下承接金属模(12)的承接部(14)的底部(24)具备延伸设置部(30),该延伸设置部(30)在管部件(10)的压瘪得到的密封部分(26)的剖视图中比两端部(28)更向上方延伸设置。

Description

管密封方法、油填充用管的密封方法及液封型压力传感器
技术领域
本发明涉及管的密封方法、液封型压力传感器的油填充用管的密封方法、以及液封型压力传感器。
背景技术
一直以来,作为流体压力检测用的压力传感器,公知有专利文献1(专利第4908411号公报)、专利文献2(日本特开昭58-168930号公报)等所公开的那样的液封型压力传感器。
图12是表示这种液封型压力传感器100的纵向剖视图。
如图12所示,液封型压力传感器100由压力检测元件102、接头部件104以及罩部件106的结合体构成。
压力检测元件102具备金属制的元件主体108,在形成于该元件主体108的中央开口110内嵌入紧固有密封玻璃112。
另外,压力检测元件102的元件主体108、金属制的膜片114、形成有连通孔116的膜片保护罩118通过在它们的外周边缘部进行焊接而固定为一体。
并且,在该结构中,在元件主体108的中央开口110的部分,在密封玻璃112与膜片114之间形成有封入油的液封室120。
另一方面,如图12所示,在密封玻璃112的液封室120一侧的面部,通过粘接剂固定有单片结构的传感器片124。
该传感器片124配设在液封室120内,作为一体地形成有检测压力的压力元件、和处理该压力检测元件的输出信号的集成化的电子电路的压力传感器片而构成。
另外,在密封玻璃112上分别以贯通状态通过密封处理固定有用于对传感器片124进行信号的输入或输出的多个引线脚126、和油填充用管130。
如图12所示,引线脚126通过金制或铝制的线128与传感器片124导通连接,构成传感器片124的外部输出端子、外部输入端子。例如FPC(柔性印刷电路板)134的一端与引线脚126导通连接,FPC134的另一端与接触脚131的一端导通连接。并且,接触脚131的另一端通过例如软钎焊、熔敷等与外部引线132导通连接。
此外,在这种液封型的压力传感器100中,为了向压力传感器100的液封室120填充油而设有油填充用管130。在经由该油填充用管130向液封室120填充了油之后,利用一对按压金属模和承接金属模将作为油导入开口的油填充用管130的前端136压瘪而密封,之后,再通过焊接、软钎焊等进行密封。
并且,如图12所示,设有树脂制的盖部138,以覆盖压力检测元件102。并且,通过对圆筒形状的铆接板140进行铆接加工,将压力检测元件102、接头部件104和罩部件106一体地固定,构成压力传感器100。
另外,罩部件106由例如环氧树脂、硅树脂等密封材料(模制树脂)150模制而成。
此外,树脂制的盖部138与压力检测元件102之间由例如O型密封圈等密封材料142密封。
并且,从通路146传递到压力室148内的流体压力通过膜片保护罩118的连通孔116对膜片114的表面进行押压,利用液封室120内的传感器片124检测该押压力。
现有技术文献
专利文献1:日本专利第4908411号公报
专利文献2:日本特开昭58-168930号公报
专利文献3:日本特开2003-194649号公报
专利文献4:日本特开2000-274974号公报
发明内容
发明所要解决的课题
然而,作为如上述那样利用一对按压金属模和承接金属模将油填充用管130的前端136压瘪而密封之后,再利用焊接、软钎焊等进行密封的方法,使用的是将油填充用管130的前端136压瘪成平坦状来形成密封部分,并利用焊接、软钎焊等对密封部分进行密封的方法。
但是,在这样压瘪成平坦状来形成密封部分的压力传感器中,每当施加有流体产生的内压时,都会从内侧作用欲将该压瘪的密封部分打开的力。因此,若反复使用则在密封部分产生疲劳,存在发生破裂而产生液体泄漏的情况,因此不适合用于高压。
因此,在专利文献3(日本特开2003-194649号公报)中,如图13所示在经由油填充用管130向液封室120填充了油之后,将油填充用管130的前端136压瘪成剖面大致U字形状(参照图13(A))、或剖面大致V字形状来形成密封部分136a(参照图13(B))。
然后,通过焊接、软钎焊、熔敷等对这样压瘪的密封部分136a进行密封。由此,提高了对于因内压引起的压瘪的密封部分136a的打开的耐久性能。
另一方面,在专利文献4(日本特开2000-274974号公报)中,在对加热管等金属制的管部件进行密封时,将管部件配置在圆弧状的凹陷承接面上,并且利用冲头沿半径方向将该管部件压瘪成圆弧状且外径与管外形大致相同。
由此,以沿着圆弧状的凹陷承接面的形状在压瘪的部分的整周上形成内壁面彼此贴紧的密封部分,然后,通过对该密封部分的前端部分进行熔融接合,而确保了气密性能,并提高了小型化及生产效率。
另外,专利文献3、专利文献4那样的密封方法使用图14所示的方法来将管部件压瘪。
首先,如图14(A)所示,准备具有与壁厚t的金属制的管部件200的外径(直径)a相同的内径(直径)r的半圆形状的承接部202、和在其上方具备直线部分204的下承接金属模206。并且,准备宽度为d且在前端具备半径R(=d/2)的圆角部分208、并具有直线部分210的压紧模212。
然后,如图14(B)~图15(C)所示,将管部件200配置在下承接金属模206的半圆形状的承接部202内,利用压紧模212从上方压瘪管部件200而形成剖面大致U字形状的密封部分214。
另外,在这种方法中,如图15(B)、图16的放大图所示,压紧模212的圆角部分208的前端208a与下承接金属模206的承接部202的底部216的距离b为管部件200的壁厚t的正好为2倍亦即2t的位置。
通过从该位置进一步按下压紧模212,从而如图15(C)、图17的放大图所示,管部件200重合的部分218被压瘪而形成密封部分214。
然后,通过焊接、软钎焊、熔敷等对压瘪得到的密封部分214进行密封。
然而,如图17的放大图所示,在管部件200的密封部分214的剖视图中,两端部220位于下承接金属模206的直线部分204与压紧模212的直线部分210之间的成为平行的部分。
因此,该密封部分214的两端部220成为没有任何约束的状态,因而退让而未被压瘪。其结果,在密封部分214的两端部220成为密封不完全的状态,未在整个密封部分214都形成被压瘪的部分,有可能无法确保可靠的密封性能。
这种情况还可以从图18(A)、图18(B)明确看出,图18(A)是用简图表示显微镜观察图15(C)、图17的作为密封部分214的两端部220的A部分的金属组织的部分的图,图18(B)是用简图表示显微镜观察图15(C)、图17的作为密封部分214的中央部分222的B部分的金属组织的部分的图。
即、如图18(A)所示,在密封部分214的两端部220,金属组织未延展,明确可知未完全压瘪。
另外,这种现象不仅在如上述那样压瘪为剖面大致U字形状的情况下存在,如图13(B)所示,在压瘪为剖面大致V字形状的情况下也有可能产生同样的问题。
另外,虽然利用焊接、软钎焊、熔敷等对压瘪得到的密封部分214进行密封,但在这样密封部分214的两端部220的密封状态不完全的情况下,在焊接等产生了缺陷时,内部的液体有可能从该密封部分214的两端部220的密封状态不完全的部分泄漏。
本发明的目的在于,鉴于这种现状,提供一种管的密封方法以及液封型压力传感器的油填充用管的密封方法以及液封型压力传感器,其在将金属制的管部件压瘪而形成密封部分时,能够对包含密封部分的两端部的整个密封部分进行压瘪,不需要追加其他部位的压瘪作业等复杂的作业,能够仅由压瘪得到的密封部分来确保高的密封性。
另外,本发明的目的在于,提供一种管的密封方法以及液封型压力传感器的油填充用管的密封方法以及液封型压力传感器,其在利用焊接、软钎焊、熔敷等对压瘪得到的密封部分进行密封的情况下,即使在焊接等产生了缺陷时,也能够确保较高的密封性。
并且,本发明提供能够防止油的泄漏、长期保持较高的可靠性、稳定性,而且即使在高压力下也能够检测压力的液封型压力传感器。
用于解决课题的方法
本发明是为了实现上述那样的现有技术中的课题及目的而提出的方案,本发明的管的密封方法将金属制的管部件的端部压瘪而形成密封部分的管的密封方法,该管的密封方法的特征在于,具备下述工序:在将下承接金属模打开的状态下,将管部件配置在下承接金属模的承接部内的工序;将上述下承接金属模闭合的工序;利用压紧模经由上述下承接金属模的上部开口部从上方将管部件压瘪而形成密封部分的工序;以及将上述下承接金属模打开而取出管部件的工序,上述下承接金属模具备承接部,该承接部具备具有内径(直径)r的圆角部分,上述内径(直径)r相对于管部件的外径(直径)a具有r≥a的关系,上述压紧模是宽度为d且在前端具备半径d/2的半圆形状的圆角部分,并且在圆角部分的上方具有直线部分的压紧模,上述压紧模的宽度d相对于闭合了下承接金属模的状态的下承接金属模的上部开口部的宽度c具有c>d的关系,在上述压紧模下降,在压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b成为管部件的壁厚t的2倍亦即2t的位置,下承接金属模的承接部的圆角部分具备在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中比两端部更向上方延伸设置的延伸设置部。
通过这样构成,在压紧模下降、压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b为管部件的壁厚t的2倍的2t的位置,下承接金属模的承接部的圆角部分具备在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中比两端部更向上方延伸设置的延伸设置部。
因此,在从该状态使压紧模进一步下降的状态下,在密封部分的剖视图中,两端部在下承接金属模的承接部的延伸设置的R部的延伸设置部与压紧模的直线部分之间成为被约束的状态而被压瘪。
其结果,在密封部分的剖视图中,在两端部成为完全密封状态,形成在密封部分的剖视图中整体上都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
因此,不需要追加其他部位的压瘪作业等复杂的作业,能够仅由压瘪得到的密封部分来确保高的密封性。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,在上述压紧模的下降最终位置,在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中,至少下承接金属模的承接部的圆角部分的上述延伸设置部向上方延伸设置到两端部的位置。
通过这样构成,直到压紧模的下降最终位置,在密封部分的剖视图中,两端部在下承接金属模的承接部的延伸设置的圆角部分的延伸设置部与压紧模的直线部分之间成为被约束的状态而被压瘪,由此形成在密封部分的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,上述管部件的壁厚t与管部件的外径(直径)a的关系为a-2t≥2t,上述管部件的壁厚t与管部件的外径(直径)a及压紧模的宽度d的关系具有a-2t≥d的关系。
通过这样构成,在管部件的壁厚t较薄的情况下,在密封部分的剖视图中,在两端部成为完全密封的状态,形成在密封部分的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,上述管部件的壁厚t与管部件的外径(直径)a的关系为a-2t<2t,上述管部件的壁厚t与管部件的外径(直径)a及压紧模的宽度d的关系具有a-2t≤d的关系。
通过这样构成,在管部件的壁厚t较厚的情况下,在密封部分的剖视图中,在两端部成为完全密封的状态,形成在密封部分的剖视图中整体上都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,在上述压紧模的下降最终位置,压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件的壁厚t具有t≤b<2t的关系。
通过这样构成,在管部件的壁厚t较薄的情况下,由于在管部件重合的部分形成有压瘪得到的密封部分,因此形成在密封部分的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,在上述压紧模的下降最终位置,压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件的壁厚t具有1.6t≤b≤1.7t的关系。
通过这样构成,在管部件的壁厚t较厚的情况下,由于在管部件重合的部分形成有压瘪得到的密封部分,因此形成在密封部分的剖视图中整体上都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,将上述管部件的端部压瘪而形成的密封部分的长度方向的距离L为t≤L。
通过这样构成,在密封部分的长度方向也形成被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,利用焊接、软钎焊、熔敷对上述压瘪而形成的密封部分进行密封。
通过这样构成,由于利用焊接、软钎焊、熔敷对压瘪而形成的密封部分进行密封,因此作为双重密封发挥功能,从而能够进一步确保可靠的密封性能。
而且,由于如上述那样压瘪而形成的密封部分具有高的密封性能,即使万一在焊接等发生了缺陷的情况下,也能够确保高的密封性。
另外,本发明的管的密封方法的特征在于,将管部件配置在上述下承接金属模的承接部内的工序在打开左右一对能够相互接近或分离的下承接金属模的状态下进行。
通过这样构成,由于在打开左右一对能够相互接近或分离的下承接金属模的状态能够取下管部件,因此将比较长的管部件压瘪时的操作容易,能够减少时间和成本。
另外,本发明的特征在于,上述管的密封方法是液封型压力传感器的油填充用管的密封方法。
另外,本发明是一种液封型压力传感器,其特征在于,利用上述所述的管的密封方法来密封并制造油填充用管。
通过这样构成,能够提供一种能够防止油的泄漏、长期保持高的可靠性、稳定性,而且在高压力下也能够检测压力的液封型压力传感器。
本发明的效果如下。
根据本发明,在压紧模下降,在压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b为管部件的壁厚t的2倍的2t的位置,下承接金属模的承接部的圆角部分具备在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中比两端部更向上方延伸设置的延伸设置部。
因此,在从该状态使压紧模进一步下降的状态下,在密封部分的剖视图中,两端部在下承接金属模的承接部的延伸设置的圆角部分与压紧模的直线部分之间成为被约束的状态而被压瘪。
其结果,在密封部分的剖视图中,在两端部成为完全密封状态,形成在密封部分的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
因此,不需要追加其他部位的压瘪的作业等复杂的作业,能够仅由压瘪得到的密封部分来确保高的密封性。
进而,能够提供一种能够防止油的泄漏、长期保持高的可靠性、稳定性,而且在高压力下也能够检测压力的液封型压力传感器。
附图说明
图1是示意性地说明本发明的管的密封方法的工序的概要的剖视图。
图2是示意性地说明本发明的管的密封方法的工序的概要的剖视图。
图3是示意性地说明本发明的管的密封方法的工序的概要的剖视图。
图4是放大说明图3(A)的状态的剖视图。
图5是放大说明图3(B)的状态的剖视图。
图6是利用本发明的管的密封方法形成密封部分后的管的纵向剖视图。
图7(A)是用简图表示显微镜观察图5的作为密封部分26的两端部28的A部分的金属组织的部分的图,图7(B)是用简图表示显微镜观察作为密封部分26的中央部分的B部分的金属组织的部分的图。
图8是密封部分26的整体的显微镜照片。
图9是利用本发明的其他实施例的管的密封方法形成密封部分后的管的纵向剖视图。
图10是示意性地说明本发明的管的密封方法的工序的概要的、与图1相同的剖视图。
图11是示意性说明本发明的管的密封方法的工序的概要的与图5相同的放大剖视图。
图12是表示现有的液封型压力传感器100的纵向剖视图。
图13是利用现有的管的密封方法形成密封部分后的管的局部放大立体图。
图14是示意性地说明现有的管的密封方法的工序的概要的剖视图。
图15是示意性地说明现有的管的密封方法的工序的概要的剖视图。
图16是放大说明图15(B)的状态的剖视图。
图17是放大说明图15(C)的状态的剖视图。
图18(A)是用简图表示显微镜观察图15(C)、图17的作为密封部分26的两端部28的A部分的金属组织的部分的图,图18(B)是用简图表示显微镜观察图15(C)、图17的作为密封部分26的中央部分的B部分的金属组织的部分的图。
图中:
10—管部件,10a—端部,12—下金属模,12a—左侧下金属模,12b—右侧下金属模,14—承接部,16—上部开口部,18—压紧模,20—圆角部分,20a—前端,22—直线部分,24—底部,26—密封部分,28—两端部,30—延伸设置部,100—压力传感器,102—压力检测元件,104—接头部件,106—罩部件,108—元件主体,110—中央开口,112—密封玻璃,114—膜片,116—连通孔,118—膜片保护罩,120—液封室,124—传感器片,126—引线脚,128—线,130—油填充用管,131—接触脚,132—外部引线,134—FPC(柔性印刷电路板),136—前端,136a—密封部分,138—盖部,140—铆接板,142—密封材料,146—通路,148—压力室,150—密封材料(模制树脂),200—管部件,202—承接部,204—直线部分,206—金属模,208—圆角部分,208a—前端,210—直线部分,212—压紧模,214—密封部分,216—底部,218—重合部分,220—两端部,222—中央部分,b—距离,c—宽度,d—宽度,d/2—半径,L—距离,R—半径,t—壁厚。
具体实施方式
以下,基于附图对本发明的实施方式(实施例)更加详细地进行说明。
(实施例1)
图1~图3是示意性地说明本发明的管的密封方法的工序的概要的剖视图,图4是放大说明图3(A)的状态的剖视图,图5是放大说明图3(B)的状态的剖视图,图6是利用本发明的管的密封方法形成密封部分后的管的纵向剖视图。
在图1~图6中,符号10整体表示利用本发明的管的密封方法进行密封的管部件。
如图1(A)所示,准备通过未图示的动作机构而能够相互接近或分离的、左右一对的下承接金属模12、即由左侧下金属模12a和右侧下金属模12b构成的下承接金属模12。
如图1(B)所示,在该下承接金属模12形成有在闭合了左侧下金属模12a和右侧下金属模12b的状态下,具有内径(直径)为r的圆角部分的承接部14(14a、14b)。
该情况下,管部件10的外径(直径)a与承接部14(14a、14b)的内径(直径)r的关系优选为,内径(直径)r相对于管部件的外径(直径)a为r≥a的关系。
另外,如图1(A)、图1(B)所示,准备通过未图示的动作机构能够上下移动且经由下承接金属模12的上部开口部16能够下降至承接部14内的压紧模18。
如图1(A)、图1(B)所示,该压紧模18是具有宽度为d、在前端具备半径d/2的半圆形状的圆角部分20,并且在该圆角部分20的上方具有直线部分22的压紧模。
并且,如图1(B)所示,构成为,压紧模18的宽度d相对于闭合了下承接金属模12的状态的下承接金属模12的上部开口部16的宽度c为c>d的关系。
如图6所示,使用这样构成的下承接金属模12和压紧模18来对管部件10的端部10a进行密封的方法如下进行。
首先,如图1(A)所示,使左右一对能够相互接近或分离的下承接金属模12、即左侧下金属模12a和右侧下金属模12b处于打开的状态,并使其处于能够经由下承接金属模12的上部开口部16而将管部件10配置在承接部14(14a、14b)的状态。
然后,在该状态下,如图1(B)所示,经由下承接金属模12的上部开口部16将管部件10配置在下承接金属模12的承接部14(14a、14b)之后,闭合下承接金属模12。
此外,在该实施例中,使左侧下金属模12a和右侧下金属模12b处于打开的状态,经由下承接金属模12的上部开口部16将管部件10配置在下承接金属模12的承接部14(14a、14b)。
但是,也可以采用下述方法,即、在将左侧下金属模12a和右侧下金属模12b打开的状态、或者将左侧下金属模12a和右侧下金属模12b闭合的状态下,将管部件10从管部件10的轴线方向插入,即从与图1(B)的纸面垂直的方向将管部件10配置于下承接金属模12的承接部14(14a、14b)。
另外,在该实施例中,由左右一对能够相互接近或分离的下承接金属模12、即左侧下金属模12a和右侧下金属模12b构成,但也可以由一体的一个下承接金属模12构成。该情况下,采用将管部件10从管部件10的轴线方向插入到下承接金属模12的承接部14的方法即可。
接着,如图2(A)所示,通过使压紧模18下降,成为压紧模18的前端的圆角部分20的前端20a与配置在下承接金属模12的承接部14内的管部件10的上部抵接的状态。
然后,通过使压紧模18下降,从而如图2(B)所示,配置在下承接金属模12的承接部14内的管部件10开始被压瘪。
然后,进一步使压紧模18下降,成为图3(A)的状态,如图4的放大图所示,管部件10成为重合的状态,成为压紧模18的圆角部分20的前端20a与下承接金属模12的承接部14的底部24的距离b为管部件10的壁厚t的2倍亦即2t的位置。
在该状态下,如图4的放大图所示,在下承接金属模12,下承接金属模12的承接部14的圆角部分形成有在管部件10的压瘪得到的密封部分26的剖视图中比两端部28更向上方延伸设置的延伸设置部30。
因此,通过使压紧模18进一步下降,从而如图3(B)、图5的放大图所示,在密封部分26的剖视图中,两端部28在下承接金属模12的承接部14的作为延伸设置的圆角部分的延伸设置部30和压紧模18的直线部分22之间成为被约束的状态而被压瘪。
其结果,在密封部分26的剖视图中,在两端部28为完全密封状态,形成在密封部分26的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
因此,不需要追加其他部位的压瘪的作业等复杂的作业,从而能够仅由压瘪得到的密封部分来确保高的密封性。
该情况下,如图5的放大图所示,优选在压紧模18的下降最终位置,在管部件10的压瘪得到的密封部分26的剖视图中,至少下承接金属模12的承接部14的圆角部分的延伸设置部30向上方延伸设置到两端部28的位置。
通过这样构成,直至压紧模18的下降最终位置,在密封部分26的剖视图中,两端部28在下承接金属模12的承接部14的延伸设置的圆角部分的延伸设置部30与压紧模18的直线部分22之间处于被约束的状态而被压瘪,形成在密封部分26的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,在该实施例的情况下,如图1(A)、图1(B)所示,优选管部件10的壁厚t与管部件10的外径(直径)a的关系为a-2t≥2t,管部件10的壁厚t与管部件10的外径(直径)a及压紧模18的宽度d的关系为a-2t≥d的关系。
通过这样构成,在管部件10的壁厚t较薄的情况下,在密封部分26的剖视图中,在两端部28成为完全密封状态,形成在密封部分26的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
并且,该情况下,如图5的放大图所示,优选在压紧模18的下降最终位置,压紧模18的圆角部分20的前端20a与下承接金属模12的承接部14的底部24的距离b相对于管部件10的壁厚t具有t≤b<2t的关系。
通过这样构成,在管部件10的壁厚t较薄的情况下,由于在管部件10重合的部分形成有被压瘪的密封部分26,因此形成在密封部分26的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,压瘪量、即在压紧模18的下降最终位置,在压紧模18的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件10的壁厚t比2t大的情况(压瘪量较小的情况)下,在管部件10重合的部分,被压瘪的密封部分26的密封不完全,无法确保可靠的密封性能,存在泄漏的可能性。
另外,压瘪量、即在压紧模18的下降最终位置,在压紧模18的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件10的壁厚t比t小的情况(压瘪量较大的情况)下,存在在管部件10重合的部分产生所谓的回弹现象,被压瘪的密封部分26打开的可能性。其结果,被压瘪的密封部分26的密封不完全而无法确保可靠的密封性能,存在泄漏的可能性。
此外,如图6的纵向剖视图所示,将管部件10的端部10a压瘪而形成的密封部分26的长度方向的距离L没有特别限定。
即、虽然点焊也可以,但如果考虑密封性能,则优选相对于管部件10的壁厚t为t≤L。另外,若长度L太长,则导致管部件10的规格(长度)变大,因此长度方向的距离L根据用途来设定即可。
通过这样构成,形成在密封部分26的长度方向也被压瘪的部分,能够确保可靠的密封性能。
另外,这样,在形成密封部分26之后,虽然未图示,但使压紧模18从下承接金属模12的承接部14向上方移动,并使下承接金属模12、即左侧下金属模12a和右侧下金属模12b向分离的方向移动,打开下承接金属模12取出管部件10即可。
接着,这样在管部件10的端部10a形成密封部分26之后,根据用途适当地利用例如焊接、软钎焊、熔敷对管部件10的密封部分26进行密封即可,对此未图示。
通过这样构成,由于利用焊接、软钎焊、熔敷对压瘪而形成的密封部分26进行密封,因此该密封部分作为双重密封而发挥功能,能够进一步确保可靠的密封性能。
而且,如上述那样压瘪而形成的密封部分26自身具有较高的密封性能,因此万一在焊接等产生了缺陷的情况下,也能够确保较高的密封性。
该情况下,作为利用本发明的管的密封方法进行密封的管部件10的种类只要是富有延展性的金属则没有特别限定,根据用途适当选择即可。例如,如后文所述,在用于液封型压力传感器的油填充用管的密封方法的情况下,使用Fe-Ni系合金等合金即可。
这样,在利用本发明的管的密封方法进行密封的管部件10中,由图7(A)、图7(B)以及作为整体的显微镜照片的图8可知,形成有在密封部分26的剖视图中整体都被压瘪的部分,能够确保可靠的密封性能,上述图7(A)是用简图表示显微镜观察图5的作为密封部分26的两端部28的A部分的金属组织的部分的图,上述图7(B)是用简图表示显微镜观察作为密封部分26的中央部分的B部分的金属组织的部分的图。
即、如图7、图8所示,在到密封部分26的两端部28为止的整个密封部分26,金属组织都发生了延展,可知完全被压瘪。
另外,相对于利用图17所示的现有的管的密封方法进行密封的管部件,利用本发明的管的密封方法进行密封的管部件10的气密压力提高了3~5倍。
此外,在该实施例中,如图6所示,在管部件10的端部10a形成有密封部分26,但也可以如图9(A)所示,在离开管部件10的端部10a的位置形成密封部分26,并且也可以如图9(B)所示,在管部件10的端部10a和离开管部件10的端部10a的位置10b双方形成密封部分26等,密封部分26的位置、数量等能够进行适当变更。
并且,如图12所示,本发明的管的密封方法能够适当用于液封型的压力传感器100的油填充用管130的密封方法。当然,液封型压力传感器100的结构并不限定于图12所示的液封型的压力传感器100。
通过这样构成,能够提供可防止油的泄漏、长期保持较高的可靠性、稳定性、而且即使在高压力下也能够检测压力的液封型压力传感器。
(实施例2)
图10是示意性地说明本发明的管的密封方法的工序的概要的与图1相同的剖视图,图11是示意性地说明本发明的管的密封方法的工序的概要的与图5相同的放大剖视图。
该实施例的装置10基本上是与图1~图9所示的本发明的管的密封方法相同的结构,对于相同的构成部件标注相同的参照编号而省略其详细的说明。
如图10~图11所示,该实施例的管的密封方法表示的是管部件10的壁厚t较厚的情况。
即、如图10(A)、图10(B)所示,管部件10的壁厚t与管部件10的外径(直径)a的关系为a-2t<2t,优选管部件10的壁厚t与管部件10的外径(直径)a及压紧模的宽度d的关系具有a-2t≤d的关系。
通过这样构成,在管部件10的壁厚t较厚的情况下,在密封部分26的剖视图中,在两端部28成为完全密封的状态,形成在密封部分26的剖视图中整体都被压瘪的部分,能够确保可靠的密封性能。
该情况下,如图11所示,优选在压紧模18的下降最终位置,压紧模18的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件10的壁厚t为1.6t≤b≤1.7t的关系。
通过这样构成,在管部件的壁厚t较厚的情况下,由于在管部件10重合的部分形成有压瘪得到的密封部分26,因此形成在密封部分26的剖视图中整体都被压瘪的部分,从而能够确保可靠的密封性能。
另外,在压瘪量、即在压紧模18的下降最终位置,压紧模18的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件10的壁厚t比1.7t大的情况(压瘪量较小的情况)下,在管部件10重合的部分,压瘪得到的密封部分26的密封不完全,不能确保可靠的密封性能,存在泄漏的可能性。
另外,在压瘪量、即在压紧模18的下降最终位置,压紧模18的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件10的壁厚t比1.6t小的情况(压瘪量较大的情况)下,在管部件10重合的部分,存在产生所谓回弹现象,压瘪得到的密封部分26打开的可能性。其结果,压瘪得到的密封部分26的密封不完全,不能确保可靠的密封性能,存在泄漏的可能性。
实际上,在这样的范围进行使用本发明的管的密封方法来将管部件10压瘪、使用氮气作为检查流体从1MPa开始1MPa地阶段性地使压力上升而加压到5MPa的实验的结果,使用了本发明的管的密封方法的管部件10没有发生泄漏。相对于此,在上述范围外进行压瘪的管部件发生了泄漏。
以上,对本发明的优选实施方式进行了说明,但本发明并不限定于此,例如,在上述实施例中,采用了能够左右移动的左右一对的左侧下金属模12a和右侧下金属模12b、以及能够上下移动的压紧模18的、所谓立式的金属模,但也可以使用所谓卧式的金属模等,在不脱离本发明的目的的范围能够进行各种变更。
产业上的可利用性
本发明能够应用于管的密封方法及液封型压力传感器的油填充用管的密封方法以及液封型压力传感器。

Claims (23)

1.一种管的密封方法,将金属制的管部件的端部压瘪而形成密封部分,该管的密封方法的特征在于,具备下述工序:
在将下承接金属模打开的状态下,将管部件配置在下承接金属模的承接部内的工序;
将上述下承接金属模闭合的工序;
利用压紧模经由上述下承接金属模的上部开口部从上方将管部件压瘪而形成密封部分的工序;以及
将上述下承接金属模打开而取出管部件的工序,
上述下承接金属模具备承接部,该承接部具备具有内径r的圆角部分,上述内径r相对于管部件的外径a具有r≥a的关系,
上述压紧模是宽度为d且在前端具备半径d/2的半圆形状的圆角部分,并且在圆角部分的上方具有直线部分的压紧模,
上述压紧模的宽度d相对于闭合了下承接金属模的状态的下承接金属模的上部开口部的宽度c具有c>d的关系,
在上述压紧模下降,压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b成为管部件的壁厚t的2倍亦即2t的位置,下承接金属模的承接部的圆角部分具备在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中比两端部更向上方延伸设置的延伸设置部。
2.根据权利要求1所述的管的密封方法,其特征在于,
在上述压紧模的下降最终位置,在管部件的压瘪得到的密封部分的剖视图中,至少下承接金属模的承接部的圆角部分的上述延伸设置部向上方延伸设置到两端部的位置。
3.根据权利要求1所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管部件的壁厚t与管部件的外径a的关系为a-2t≥2t,上述管部件的壁厚t与管部件的外径a及压紧模的宽度d的关系具有a-2t≥d的关系。
4.根据权利要求2所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管部件的壁厚t与管部件的外径a的关系为a-2t≥2t,上述管部件的壁厚t与管部件的外径a及压紧模的宽度d的关系具有a-2t≥d的关系。
5.根据权利要求1所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管部件的壁厚t与管部件的外径a的关系为a-2t<2t,上述管部件的壁厚t与管部件的外径a及压紧模的宽度d的关系具有a-2t≤d的关系。
6.根据权利要求2所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管部件的壁厚t与管部件的外径a的关系为a-2t<2t,上述管部件的壁厚t与管部件的外径a及压紧模的宽度d的关系具有a-2t≤d的关系。
7.根据权利要求3或4所述的管的密封方法,其特征在于,
在上述压紧模的下降最终位置,压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件的壁厚t具有t≤b<2t的关系。
8.根据权利要求5或6所述的管的密封方法,其特征在于,
在上述压紧模的下降最终位置,压紧模的圆角部分的前端与下承接金属模的承接部的底部的距离b相对于管部件的壁厚t具有1.6t≤b≤1.7t的关系。
9.根据权利要求1~6任一项中所述的管的密封方法,其特征在于,
将上述管部件的端部压瘪而形成的密封部分的长度方向的距离L为t≤L。
10.根据权利要求1~6任一项中所述的管的密封方法,其特征在于,
利用焊接、或熔敷对上述压瘪而形成的密封部分进行密封。
11.根据权利要求1~6任一项中所述的管的密封方法,其特征在于,
将管部件配置在上述下承接金属模的承接部内的工序在打开左右一对能够相互接近或分离的下承接金属模的状态下进行。
12.根据权利要求1~6任一项中所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管的密封方法是液封型压力传感器的油填充用管的密封方法。
13.根据权利要求7所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管的密封方法是液封型压力传感器的油填充用管的密封方法。
14.根据权利要求8所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管的密封方法是液封型压力传感器的油填充用管的密封方法。
15.根据权利要求9所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管的密封方法是液封型压力传感器的油填充用管的密封方法。
16.根据权利要求10所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管的密封方法是液封型压力传感器的油填充用管的密封方法。
17.根据权利要求11所述的管的密封方法,其特征在于,
上述管的密封方法是液封型压力传感器的油填充用管的密封方法。
18.一种液封型压力传感器,其特征在于,
利用权利要求12所述的管的密封方法来密封并制造油填充用管。
19.一种液封型压力传感器,其特征在于,
利用权利要求13所述的管的密封方法来密封并制造油填充用管。
20.一种液封型压力传感器,其特征在于,
利用权利要求14所述的管的密封方法来密封并制造油填充用管。
21.一种液封型压力传感器,其特征在于,
利用权利要求15所述的管的密封方法来密封并制造油填充用管。
22.一种液封型压力传感器,其特征在于,
利用权利要求16所述的管的密封方法来密封并制造油填充用管。
23.一种液封型压力传感器,其特征在于,
利用权利要求17所述的管的密封方法来密封并制造油填充用管。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000274974A (ja) * 1999-03-24 2000-10-06 Fujikura Ltd ヒートパイプの端部封止方法
CN1480703A (zh) * 2002-09-06 2004-03-10 徐惠群 不用缩管的热管封口结构及其制造方法
CN1517662A (zh) * 2003-01-15 2004-08-04 徐惠群 圆管状热管的封口结构及其制造方法
CN1948882A (zh) * 2005-10-11 2007-04-18 富准精密工业(深圳)有限公司 热管及其封口方法
CN201988643U (zh) * 2011-03-11 2011-09-28 张瑞廷 封口模具

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000274974A (ja) * 1999-03-24 2000-10-06 Fujikura Ltd ヒートパイプの端部封止方法
CN1480703A (zh) * 2002-09-06 2004-03-10 徐惠群 不用缩管的热管封口结构及其制造方法
CN1517662A (zh) * 2003-01-15 2004-08-04 徐惠群 圆管状热管的封口结构及其制造方法
CN1948882A (zh) * 2005-10-11 2007-04-18 富准精密工业(深圳)有限公司 热管及其封口方法
CN201988643U (zh) * 2011-03-11 2011-09-28 张瑞廷 封口模具

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