CN103943566A - 辊 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种辊，其能够对对象物施加均匀的按压力。辊（1）具备：按压辊（2）；挠曲防止辊（4），其具有与按压辊（2）的轴心（A1）平行的轴心（A2）并且直径比按压辊（2）的直径大，该挠曲防止辊（4）被配设成与按压辊（2）相邻，并且该挠曲防止辊（4）在其外周部（5）与按压辊（2）的外周部（3）抵接的状态下对按压辊（2）以能够滚动的方式进行按压；以及连结部（6），其将按压辊和该挠曲防止辊连结起来，因此，与只由一个辊构成的情况相比能够提高刚性，能够防止按压辊略微挠曲。因此，按压辊能够对粘结带施加均匀的按压力，从而能够在防止在粘结带（9）和板状物（W）之间形成气泡的情况下将粘结带粘贴到板状物。

Description

辊

技术领域

本发明涉及对粘结带等对象物进行按压的辊。

背景技术

关于在正面具有器件的半导体晶片和光器件晶片等板状物，在从其背面侧进行磨削而被薄化之后，使用切削装置等分割成一个一个的芯片。在磨削这样的板状物之前，为了保护板状物的正面的器件而粘贴有正面保护带（例如，参照下述的专利文献1）。

在利用切削装置将板状物分割成一个一个的芯片时，为了容易地对分割后的芯片进行处理，还粘贴在表面具有粘结层的切割带（例如，参照下述的专利文献2）。并且，在对形成了分割起点的板状物施加外力而将板状物分割成一个一个的芯片的情况下，在将能够扩张的延展片（expanded sheet）粘贴到板状物之后，利用扩张装置对延展片进行扩张，由此对板状物施加外力而将板状物分割成一个一个的芯片（例如，参照下述的专利文献3）。

在将上述那样的正面保护带、切割带、延展片等粘结带粘贴到板状物的情况下，通常，一边使用辊或刮板（squeegee）按压粘结带一边粘贴到板状物（例如，参照下述的专利文献4和专利文献5）。

现有技术文献

专利文献1：日本特开平05-198542号公报

专利文献2：日本特开平01-297483号公报

专利文献3：日本特开2007-123658号公报

专利文献4：日本特开平10-189694号公报

专利文献5：日本特开2011-49287号公报

但是，当一边利用刮板按压粘结带一边粘贴到板状物时，刮板相对于粘结带滑动接触，因此，摩擦力根据粘结带和刮板的材质而增大，刮板打滑而无法均匀地按压粘结带，存在发生粘贴不良这样的问题。

另一方面，当一边利用辊按压粘结带一边粘贴到板状物时，辊自身由于该按压时的按压力而稍微地挠曲，因而难以均匀地按压粘结带。因此，若在将粘结带粘贴到板状物时无法进行均匀的按压，则存在如下等问题：在粘结带和板状物之间残留空气而形成气泡，在之后磨削板状物时板状物的完成厚度存在偏差，或是在板状物的切割中或扩张中发生芯片崩飞（チップ飛び）。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而完成的，发明的应解决的课题是提供一种辊，其能够对按压对象物施加均匀的按压力。

本发明为一种辊，其具备：按压辊；挠曲防止辊，其具有与该按压辊的轴心平行的轴心并且具有比该按压辊的直径大的直径，所述挠曲防止辊被配设成与该按压辊相邻，并且所述挠曲防止辊在其外周与该按压辊的外周抵接的状态下对该按压辊以能够滚动的方式进行按压；以及连结部，其将该按压辊和该挠曲防止辊连结起来。

优选的是，所述按压辊的至少外周由弹性部件构成。

所述连结部以具有游隙的方式将该按压辊和该挠曲防止辊连结起来，所述游隙容许所述挠曲防止辊在按压时相对于所述按压辊相对地下沉。

优选的是，所述按压辊的直径为6～8mm。

发明效果

在本发明涉及的辊中，利用连结部将按压辊和挠曲防止辊以能够滚动的方式连结起来，因此，与只由一个按压辊构成的情况相比能够提高刚性，能够防止按压辊略微挠曲。因此，按压辊能够对粘结带等对象物施加均匀的按压力，从而能够在防止在对象物和板状物之间形成气泡的情况下将对象物粘贴到板状物。

其结果是，在之后的磨削中，板状物的完成厚度不会产生偏差，也不会在板状物的切割和扩张中产生芯片崩飞。

上述按压辊的至少外周由于利用弹性部件形成，因而容易变形。因此，即使在板状物的上表面存在细微的凹凸的情况下，按压辊的外周也能够仿照细微的凹凸而将对象物均匀地粘贴到板状物的上表面。

并且，本发明涉及的辊具备直径比按压辊的直径大的挠曲防止辊，因此，能够在防止按压辊的挠曲的同时使按压辊形成为小径。因此，即使是具备容易变形的外周的按压辊，也能够抑制与对象物抵接的面积，不需要为了在按压对象物时使按压辊的细微的起伏或凹陷平坦而施加过度的负荷。由此，例如在将该辊组装到带粘贴装置时，不需要使带粘贴装置的刚性和精度高，从而能够防止装置变得大型。

而且，在本发明涉及的辊中，按压辊和挠曲防止辊在具有游隙的状态下被连结起来，该游隙容许挠曲防止辊相对于按压辊相对地下沉，因此，挠曲防止辊能够相对于按压辊相对地下沉而紧贴，按压辊能够均匀地按压对象物。

上述按压辊的直径形成为6～8mm，因此，按压辊与对象物接触的面积减小，从而能够对对象物均匀地施加按压辊的按压力。

附图说明

图1是表示辊的第一例的结构的立体图。

图2是表示辊的结构的侧视图。

图3是表示一边用辊按压粘结带一边粘贴到板状物的状态的侧视图。

图4是表示辊的第二例的结构的侧视图。

标号说明

1:辊；2：按压辊；2a：轴部；3：外周部；3a：周面；4：挠曲防止辊；4a：轴部；5：外周部；5a：周面；6：连结部；7：游隙；7a：第一贯通孔；7b：第二贯通孔；8：间隙；9：粘结带；10：辊；11：按压辊；11a：轴部；12：外周部；13：挠曲防止辊；13a：轴部；14：外周部；15：连结部；16：游隙；17：避让部；W：板状物；Wa：上表面；D：器件。

具体实施方式

图1所示的辊1是用于按压粘结带等对象物并将其粘贴到板状物的辊的第一例。辊1具备：按压辊2，其按压对象物；挠曲防止辊4，其防止按压辊2挠曲；以及连结部6，其将按压辊2和挠曲防止辊4以能够滚动的方式连结起来。

按压辊2具备轴部2a和环状的外周部3，该轴部2a具有水平方向（X轴方向）的轴心A1，按压辊2能够以轴心A1为中心旋转。对于按压辊2的至少外周部3，优选利用弹性部件形成。作为弹性部件，例如能够使用硅橡胶。并且，优选按压辊2形成为小径，例如形成为直径为6mm～8mm。在使按压辊2的直径为6mm的情况下，例如使轴部2a的直径为4mm，使外周部3的厚度为1mm。

挠曲防止辊4具有比按压辊2的直径大的直径，挠曲防止辊4具备轴部4a和环状的外周部5，该轴部4a具有与按压辊2的轴心A1平行的轴心A2。对于挠曲防止辊4的至少外周部5，也优选利用弹性部件形成。挠曲防止辊4能够以轴心A2为中心旋转。

如图1和图2所示，挠曲防止辊4被配设成与按压辊2相邻，挠曲防止辊4的外周部5的周面5a在与按压辊2的外周部3的周面3a抵接的状态下对按压辊2以能够滚动的方式进行按压。由此，能够防止按压辊2在按压对象物时产生挠曲。

像这样构成的按压辊2和挠曲防止辊4利用连结部6以能够滚动的方式连结。即，如图2所示，在连结部6形成有第一贯通孔7a，挠曲防止辊4的轴部4a以能够旋转的方式支承于第一贯通孔7a。在形成于连结部6的第一贯通孔7a的下方形成有第二贯通孔7b，按压辊2的轴部2a以能够旋转的方式支承于第二贯通孔7b。

连结部6的第一贯通孔7a形成为纵向上比轴部4a长，从而具有游隙7，该游隙7容许挠曲防止辊4相对于按压辊2相对地下沉。通过使轴部4a在游隙7中向下方移动，挠曲防止辊4能够相对于按压辊2相对地下沉。另外，当挠曲防止辊4没有相对于按压辊2下沉时，在挠曲防止辊4的外周部5的周面5a和按压辊2的外周部3的周面3a之间形成有间隙8。

接下来，参照图3对利用辊1将粘结带9粘贴到板状物W的动作进行说明。板状物W不受特别限定，例如能够使用半导体晶片和光器件晶片等。在板状物W的上表面Wa形成有多个器件D。所使用的粘结带9只要具有粘结性即可，不受特别限定。

一边利用辊1按压粘结带9一边将其粘贴到板状物W的上表面Wa。具体来说，辊1沿Z轴方向下降，使按压辊2与粘结带9的上表面接触。接着，使辊1在利用按压辊2按压粘结带9的上表面的同时沿Y轴方向滚动。这时，随着轴部4a在连结部6的游隙7中向下方移动，挠曲防止辊4相对于按压辊2相对地下沉。这样一来，挠曲防止辊4在挠曲防止辊4的外周部5的周面5a与按压辊2的外周部3的周面3a抵接的状态下对按压辊2进行按压。由此，能够防止外周部3a由于按压辊2按压粘结带9的按压力而产生挠曲。

这样，通过由挠曲防止辊4对按压辊2进行按压，并且按压辊进一步沿Y轴方向滚动，在按压辊2的外周部3按压粘结带9的上表面的同时将粘结带9粘贴到形成有器件D的板状物W的上表面Wa的整个面。

如上所述，在辊1中，按压辊2和挠曲防止辊4利用连结部6以能够滚动的方式连结，因此，与只由一个辊构成的情况相比能够提高刚性，能够防止按压辊2略微挠曲。因此，按压辊2能够对粘结带9施加均匀的按压力，从而能够在防止在粘结带9和板状物W之间形成气泡的情况下将粘结带9粘贴到板状物W。

按压辊2的外周部3由于利用弹性部件形成而容易变形。因此，即使在板状物W的上表面Wa存在细微的凹凸的情况下，按压辊2的外周部3也能够仿照细微的凹凸而将粘结带9均匀地粘贴到板状物W的上表面Wa。

另一方面，有时在按压辊2的产生存在细微的起伏或凹陷，因此，若按压粘结带9时的负荷不够，则有时由于该起伏或凹陷而在粘结带9和板状物W之间残留空气而形成气泡。特别是若按压辊2发生变形，则在与粘结带9抵接的抵接部处成为面接触而不是线接触，因此，为了在按压辊2与粘结带9抵接的区域使细微的起伏或凹陷平坦，需要过度的负荷，从而需要辊1具有刚性。并且，在将辊1组装到带粘贴装置的情况下，需要使带粘贴装置的刚性和精度高，因此，存在装置变得大型这样的问题。

但是，由于辊1具备直径比按压辊2的直径大的挠曲防止辊4，因此，能够在防止按压辊2的挠曲的同时使按压辊2形成为小径。因此，即使是具备由弹性部件构成而容易变形的外周部3的按压辊2，也能够抑制与粘结带9抵接的面积，不需要在按压粘结带9时为了使按压辊2的细微的起伏或凹陷等平坦而施加过度的负荷。

而且，在辊1中，按压辊2和挠曲防止辊4在具有游隙7的状态下被连结起来，该游隙7容许挠曲防止辊4相对于按压辊2相对地下沉，因此，挠曲防止辊4能够相对于按压辊2相对地下沉而紧贴，从而按压辊2能够均匀地按压粘结带9。

由于按压辊2的直径形成为6mm～8mm，所以按压辊2与粘结带9接触的面积减小，从而能够将按压辊2的按压力均匀地施加到粘结带9。

按压粘结带9的辊不限定于上述辊1的结构。图4所示的辊10是按压粘结带等对象物的辊的第二例。辊10具备：按压辊11，其按压对象物；挠曲防止辊13，其防止按压辊11的挠曲；以及连结部15，其将按压辊11和挠曲防止辊13以能够滚动的方式连结起来。

按压辊11的直径形成为比图1所示的按压辊2的直径小。按压辊11具备轴部11a和环状的外周部12，该轴部11a具有水平方向的轴心。对于该外周部12，也优选利用弹性部件形成。

挠曲防止辊13是与图1所示的挠曲防止辊4大致相同的结构。即，挠曲防止辊13具有比按压辊11的直径大的直径，挠曲防止辊13具备轴部13a和环状的外周部14，该轴部13a具有与按压辊11的轴心平行的轴心。对于挠曲防止辊13的外周部14，也优选利用弹性部件形成。

在连结部15具有游隙16，该游隙16容许挠曲防止辊13相对于按压辊11相对地下沉。通过使轴部13a在游隙16中向下方移动，挠曲防止辊13能够相对于按压辊11相对地下沉。在辊10中，由于按压辊11形成为直径比图2所示的按压辊2的直径小，因此，为了避免连结部15在倾斜时与对象物接触而形成有避让部17，该避让部17是对连结部15的下端处的辊10的前进方向上的前后两端进行切除而成的。像这样构成的辊10能够进行与上述的辊1相同的动作，能够对对象物施加均匀的按压力。

另外，辊1和辊10不仅能够作为手动粘贴用来使用，还能够组装到带粘贴装置等自动装置中来使用。

Claims (4)

1.一种辊，其具备：

按压辊；

挠曲防止辊，其具有与该按压辊的轴心平行的轴心并且具有比该按压辊的直径大的直径，所述挠曲防止辊被配设成与该按压辊相邻，并且所述挠曲防止辊在其外周与该按压辊的外周抵接的状态下对该按压辊以能够滚动的方式进行按压；以及

连结部，其将该按压辊和该挠曲防止辊连结起来。

2.根据权利要求1所述的辊，其中，

所述按压辊的至少外周由弹性部件构成。

3.根据权利要求2所述的辊，其中，

所述连结部以具有游隙的方式将该按压辊和该挠曲防止辊连结起来，所述游隙容许所述挠曲防止辊在按压时相对于所述按压辊相对地下沉。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的辊，其中，

所述按压辊的直径为6～8mm。