CN103903961B - 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 - Google Patents
在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103903961B CN103903961B CN201410145622.3A CN201410145622A CN103903961B CN 103903961 B CN103903961 B CN 103903961B CN 201410145622 A CN201410145622 A CN 201410145622A CN 103903961 B CN103903961 B CN 103903961B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- electron beam
- medium
- deposit
- scanning
- substrate sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 46
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 40
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 36
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 43
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 26
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 230000005669 field effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 10
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 31
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000013049 sediment Substances 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 4
- 208000036626 Mental retardation Diseases 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001237 Raman spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 238000001595 flow curve Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 210000001367 artery Anatomy 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000007850 degeneration Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000004621 scanning probe microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 1
- 210000003462 vein Anatomy 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/28—Manufacture of electrodes on semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/268
- H01L21/283—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current
- H01L21/285—Deposition of conductive or insulating materials for electrodes conducting electric current from a gas or vapour, e.g. condensation
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Abstract
本发明公开了一种在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用,属于集成电路技术领域,该方法首先选取表面平整、无缺陷或少缺陷的石墨烯材料作为淀积高k介质的基底样品;将基底样品放入扫描电子显微镜的真空腔室,抽真空至5E‑4至1E‑7范围,用低能量的聚焦电子束扫描基底样品表面30s至5min,低能电子束加速电压为1~15kV;扫描过程中在基底样品表面淀积上一薄层无定形碳薄膜,厚度在0.3nm至3nm范围内;将电子束处理过的基底样品放入ALD装置中,进行高k介质材料的淀积。本发明可在无悬挂键的材料表面照样利用ALD进行介质淀积,并获得连续、均匀、致密的高质量材料,大大扩展ALD的适用范围。
Description
技术领域
本发明属于集成电路技术领域,具体涉及在石墨烯材料表面或基于石墨烯材料的器件结构上淀积高k栅介质的方法。
背景技术
在基于碳纳米管、石墨烯和类石墨烯材料的场效应晶体管(FET)和射频场效应晶体管(RF-FET)的制备工艺中,栅介质的制备是一个关键工艺,高性能的FET和RF-FET需要有高质量、超薄的栅介质为前提。原子层沉积(ALD)是淀积高k栅介质最常用的方法,它具有淀积质量高、淀积厚度精确可控等优势。ALD是利用自限制表面化学反应,将绝缘介质材料以原子尺度厚度逐层淀积至目标基底表面的。淀积过程中,ALD反应的前躯体以气相脉冲形式交替进入反应腔,ALD之所以能够精确控制淀积介质的厚度,是因为它具有反应自限制性,即每一次的前躯体脉冲进入反应腔,吸附到材料表面发生化学反应时,只能与表面的那层物质发生反应,反应结束就会自动停止,并释放出吸附的多余前躯体。以Al2O3的ALD为例,前躯体一般是TMA(三甲基铝)和H2O,反应化学方程式可以写为2Al(CH3)3+3H2O→Al2O3+3CH4△H=-376kcal。
虽然通过ALD的方法可以实现淀积厚度的原子级精确控制,得到均匀致密的薄膜,然而它却存在一个严重问题,该技术并不适用于所有的衬底材料,因为ALD过程中,如果ALD的前驱体不能有效地与原始基底反应,那么ALD过程就不能继续下去或者只在特定的缺陷处成核生长。如果没有均匀的成核点,ALD淀积的结果就会是一个个岛状物,而不是均匀连续的薄膜。若惰性材料表面缺乏悬挂键,就有可能会导致上述问题出现,例如:最常用的沟道材料Si(100)面(氢化)衬底就很难通过ALD的方法淀积上均匀而超薄的高k氧化物栅介质;高质量的石墨烯和碳纳米管表面也会因为缺乏悬挂键而难以通过ALD淀积上均匀的薄膜。研究表明,用ALD的方法只能在石墨烯的缺陷、台阶以及边缘处(含悬挂键)淀积上介质,其它区域几乎没有介质淀积上去或随机淀积成不连续的岛状物,从而使石墨烯上的高k介质分布极不均匀。
针对此问题,最近几年研究人员提出来若干种预处理的方法,使得石墨烯表面可通过ALD技术获得均匀的高k介质。这些方法主要有:
(1)利用有机聚合物作缓冲层(Farmer,D.B.,et al.,NANO LETTERS,2009.9(12));(2)淀积1~2nm Al种子层(Kim,S.,et al.,APPLIED PHYSICS LETTERS,2009.94(0621076));
(3)O3或者NO2气体处理(Jandhyala,S.,et al.,ACS Nano,2012.6(3):p.2722-2730),
但这些预处理方法都存在一定的问题:
(1)它们都不能精确控制对石墨烯表面预处理的具体位置,只能对整个硅片或整片石墨烯薄膜进行整体处理,这必然会对后续工艺过程造成一定的影响。
(2)O3或NO2处理的方法还使石墨烯造成新的、额外的缺陷,使得性能(例如:载流子迁移率)显著降低。
(3)缓冲层或Al种子层会使得栅介质的整体厚度增加,难以达到高质量超薄栅介质的要求。
发明内容
本发明的目的在于提出一种在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用,利用该方法可在无悬挂键的材料表面照样利用ALD进行介质淀积,并获得连续、均匀、致密的高质量材料,大大扩展ALD的适用范围。
本发明的技术方案如下:
一种在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法,包括以下步骤:
(1)选取表面平整、无缺陷或少缺陷的石墨烯材料作为淀积高k介质的基底样品;
(2)将基底样品放入扫描电子显微镜的真空腔室,抽真空至5E-4至1E-7范围,用低能量的聚焦电子束扫描基底样品表面30s至5min,低能电子束加速电压为1~15kV,束流大小在0.05nA至0.6nA范围之内;
(3)扫描过程中在基底样品表面淀积上一薄层无定形碳薄膜,厚度在0.3nm至3nm范围内;
(4)将电子束处理过的基底样品放入ALD装置中,进行高k介质材料的淀积,淀积温度在90℃至300℃之间,循环反应圈数一般在15到255范围内,每次脉冲之后停留时间在10s到100s之间。
本发明还进一步提供了一种石墨烯晶体管的制备方法,包括用电子束曝光的方法完成石墨烯图形化与源、漏电极的定义,蒸金属并剥离,完成源、漏金属电极的制备,源、漏电极之间的石墨烯即为晶体管的沟道区域,其特征在于,在沟道区域上淀积高k栅介质包括以下步骤:
(1)放入扫描电子显微镜的真空腔室,抽真空至5E-4至1E-7范围,用低能量的聚焦电子束扫描沟道区域表面30s至5min,低能电子束加速电压为1~15kV;
(2)扫描过程中在沟道区域表面淀积上一层无定形碳薄膜,厚度在0.3nm至3nm范围内;
(3)电子束处理后放入ALD装置中,在沟道区域上进行高k介质材料的淀积。
本发明的技术效果如下:
(1)本发明通过低能电子束扫描衬底表面的方法,在衬底材料上沉积一层厚度为1~2nm的无定形碳薄膜,同时部分电子被吸附在绝缘衬底上。经过这一步处理,衬底材料表面就能为ALD前驱体分子提供均匀的成核点,从而淀积上均匀而致密的介质薄膜。并且,此方法可以确保不破坏材料晶格结构,不会造成材料电学性能的显著退化。
(2)本发明所提出的方法只需要对待淀积高k介质的位置进行原位处理,特别适用于在器件中进行原位、局部淀积高k介质,例如:器件的沟道区,本技术不会影响其它区域。本方法的位置控制精度可以达到纳米尺度。
(3)本发明作为一种界面预处理方法,可以解决短沟道器件中ALD对衬底和淀积材料的选择性,使得ALD的适用范围大大增加,从而在短沟道器件中制备所需要的高质量高k介质。
附图说明
图1为扫描电子显微镜(SEM)观察基底样品表面的形貌,左边是未被电子束处理过的石墨烯上ALD HfO2,极其不均匀,而右边被电子束扫描过后的样品表面,能淀积上一层均匀致密的高k介质;
图2为利用本发明制备石墨烯晶体管栅介质层的扫描电子显微镜(SEM)图;
图3为器件的输出电流曲线和漏电流曲线的比较;
图4为器件的CV特性曲线。
具体实施方式
下面通过实例对本发明做进一步说明。需要注意的是,公布实施例的目的在于帮助进一步理解本发明,但是本领域的技术人员可以理解:在不脱离本发明及所附权利要求的精神和范围内,各种替换和修改都是可能的。因此,本发明不应局限于实施例所公开的内容,本发明要求保护的范围以权利要求书界定的范围为准。
实施例一:剥离单层石墨烯表面ALD淀积高k介质
制备石墨烯材料
利用透明胶带和高取向石墨鳞片,用机械剥离法制备石墨烯,衬底为低阻硅上300nm热生长SiO2。
石墨烯材料的表征。
将制备好的石墨烯在光学显微镜下观察其形貌和颜色,初步判定其表面平整度和石墨层数。用拉曼散射光谱做进一步表征,根据G峰和2D峰的高度比值来判定石墨烯的层数,并根据D峰高度判断石墨烯表面缺陷的情况。选取单层且没有缺陷的石墨烯作为样品,也就是拉曼光谱的G峰和2D峰之比约为0.5,同时没有明显的D峰。
对样品进行电子束扫描预处理。
将样品放入扫描电子束显微镜(SEM)的真空腔室,抽真空至5E-4至1E-7范围,在显微镜下找到要处理的样品表面的具体位置,选取电子扫描框放到需要处理的位置。然后用1kV的低能聚焦电子束对样品表面进行扫描,低能电子束的束流大小在0.05nA至0.6nA之间,扫描时间为2分钟。
ALD淀积高k介质
将处理过的样品放入ALD装置,进行高k介质的生长。本实例是在130℃的条件下淀积Al2O3材料,前驱体是三甲基铝和H2O,脉冲循环50圈,每次脉冲之后停留10s时间发生化学反应,淀积的厚度大约为5nm。
对淀积介质的样品做表征
ALD高k介质之后,实验表征生长的介质是否均匀。用扫描探针显微镜(AFM)观察介质表面的形貌,可以发现用电子束扫描过的石墨烯表面淀积的高k介质特别均匀且无针孔,而没有被电子束扫描的石墨烯区域介质形成一个个岛状物,没有形成连续均匀的薄膜。
实施例二:剥离多层石墨烯表面ALD淀积高k介质
制备石墨烯材料。
利用透明胶带和高取向石墨鳞片,用机械剥离法制备石墨烯,衬底为低阻硅上300nm热生长SiO2。
石墨烯材料的表征。
将制备好的石墨烯在光学显微镜下观察其形貌和颜色,初步判定其表面平整度和石墨层数。用拉曼散射光谱做进一步表征,根据G峰和2D峰的高度比值来判定石墨烯的层数,根据D峰高度判断石墨烯表面缺陷的情况。选取多层且没有缺陷的石墨烯作为样品,也就是拉曼光谱的G峰和2D峰之比大于0.5,同时没有明显的D峰。
对样品进行电子束扫描预处理。
将样品放入扫描电子束显微镜(SEM)的真空腔室,抽真空至5E-4至1E-7范围,在显微镜下找到要处理的样品表面的具体位置,选取电子扫描框放到需要处理的位置。然后用5kv左右的低能聚焦电子束对样品表面进行扫描,低能电子束的束流大小在0.05nA至0.6nA之间,扫描时间为2分钟。
ALD淀积高k介质
将处理过的样品放入ALD装置,进行高k介质的生长。本实例是在130℃的条件下淀积HfO2材料,前驱体是Hf源有机物和H2O,脉冲循环86圈,每次脉冲之后停留30s时间发生化学反应,淀积的厚度大约为10nm。
对淀积介质的样品做表征
ALD高k介质之后,用实验手段表征生长的介质是否均匀。用扫描电子显微镜(SEM)观察介质表面的形貌,发现用电子束扫描过的石墨烯表面淀积的高k介质特别均匀且无针孔,而没有被电子束扫描的石墨烯区域介质形成一个个岛状物,没有形成连续均匀的薄膜。如图1所示,左边是未被电子束处理过的石墨烯上ALD HfO2,极其不均匀,而右边被电子束扫描过后的样品表面,能淀积上一层均匀致密的高k介质。
实施例三:CVD石墨烯上ALD淀积高k介质
制备石墨烯材料。
在铜箔催化下,进行CVD生长石墨烯,并利用PMMA湿法转移的过程,得到均匀的单层石墨烯。
石墨烯材料的表征。
将制备好的石墨烯在光学显微镜下观察其形貌和颜色,初步判定石墨烯表面均匀性。用拉曼散射光谱做进一步表征,根据G峰和2D峰的高度比值来判定石墨烯的层数,根据D峰高度判断石墨烯表面缺陷的情况。选取单层且没有缺陷的石墨烯作为样品,也就是拉曼光谱的G峰和2D峰之比约为0.5,同时没有明显的D峰。
对样品进行电子束扫描预处理。
将样品放入扫描电子束显微镜(SEM)的真空腔室,抽真空至5E-4至1E-7范围,在显微镜下找到要处理的样品表面的具体位置,选取电子扫描框放到需要处理的位置。然后用2kv左右的低能聚焦电子束对样品表面进行扫描,低能电子束的束流大小在0.05nA至0.6nA之间,扫描时间为1分钟。
ALD淀积高k介质
将处理过的样品放入ALD装置,进行高k介质的生长。本实例是在250℃的条件下淀积HfO2材料,前驱体是Hf源有机物和H2O,脉冲循环70圈,每次脉冲之后停留5s时间发生化学反应,淀积的厚度大约为4nm。
对淀积介质的样品做表征
ALD高k介质之后,用实验手段表征生长的介质是否均匀,以及漏电流的量级。用扫描电子显微镜(SEM)观察介质表面的形貌,发现用电子束扫描过的石墨烯表面淀积的高k介质特别均匀且无针孔,而没有被电子束扫描的石墨烯区域介质形成一个个岛状物,没有形成连续均匀的薄膜。
实施例四:石墨烯晶体管沟道部位淀积高k栅介质
制备石墨烯材料
利用低阻硅上热生长SiO2作为衬底,在衬底上通过机械剥离法得到均匀的石墨烯样品。
图形化与源漏电极制备
用电子束曝光的方法完成石墨烯图形化与源漏电极的定义,蒸金属并剥离,因此完成了源漏金属电极的制备,源漏电极之间即为晶体管的沟道区域。
沟道区预处理
在沟道区用低能电子束(如SEM)扫描,低能电子束的束流大小在0.05nA至0.6nA之间,扫描电子的加速电压约为5kV,扫描时间在3min。
ALD淀积高k介质
在90℃的条件下淀积Al2O3材料,前驱体是三甲基铝和H2O,脉冲循环100圈,每次脉冲之后停留60s时间发生化学反应,淀积的厚度大约为10nm。因此在沟道区得到致密均匀的介质材料。如图2所示,正方形区域为处理后的沟道表面,淀积上均匀而致密介质材料,其他区域则是很多岛状物。
做成顶栅器件
利用该高质量的高k氧化物作为GFET的栅介质,接着将该样品做成顶栅MOS器件,测得栅极漏电流在fA量级,测量CV曲线表明有效厚度EOT较小,精确计算为2nm,因此介质HfO2的相对介电常数约为20。图3为器件的输出电流曲线和漏电流曲线的比较,图4为器件的CV特性曲线,表明该方法沉积的介质不但表面形貌均匀,而且漏电流特别小,是非常理想的栅介质材料。
虽然本发明已以较佳实施例披露如上,然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员,在不脱离本发明技术方案范围情况下,都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰,或修改为等同变化的等效实施例。因此,凡是未脱离本发明技术方案的内容,依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰,均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
Claims (6)
1.一种在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法,包括以下步骤:
(1)选取表面平整的石墨烯材料作为淀积高k介质的基底样品;
(2)将基底样品放入扫描电子显微镜的真空腔室,抽真空至5E-4至1E-7范围,用低能量的聚焦电子束扫描基底样品表面30s至5min,低能电子束加速电压为1~15kV;扫描过程中在基底样品表面形成一层无定形碳薄膜,厚度在0.3nm至3nm范围内;
(3)将电子束处理过的基底样品放入ALD装置中,进行高k介质材料的淀积。
2.如权利要求1所述的在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法,其特征在于,步骤(2)中低能电子束的束流大小在0.05nA至0.6nA之间。
3.如权利要求1所述的在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法,其特征在于,步骤(4)中淀积温度在90℃至300℃之间,淀积的循环反应圈数在15到255范围内,每次脉冲之后停留时间在10s到100s之间。
4.如权利要求1所述的在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法,其特征在于,步骤(4)中淀积的高k介质材料厚度介于2nm至30nm之间。
5.如权利要求1所述方法在制备场效应晶体管中的应用。
6.一种石墨烯晶体管的制备方法,包括用电子束曝光的方法完成石墨烯图形化与源、漏电极的定义,蒸金属并剥离,完成源、漏金属电极的制备,源、漏电极之间的石墨烯即为晶体管的沟道区域,其特征在于,在沟道区域上淀积高k栅介质包括以下步骤:
(1)放入扫描电子显微镜的真空腔室,抽真空至5E-4至1E-7范围,用低能量的聚焦电子束扫描沟道区域表面30s至5min,低能电子束加速电压为1~15kV;
(2)扫描过程中在沟道区域表面淀积上一层无定形碳薄膜,厚度在0.3nm至3nm范围内;
(3)电子束处理后放入ALD装置中,在沟道区域上进行高k介质材料的淀积。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410145622.3A CN103903961B (zh) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 |
PCT/CN2015/076420 WO2015154724A1 (zh) | 2014-04-11 | 2015-04-13 | 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410145622.3A CN103903961B (zh) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103903961A CN103903961A (zh) | 2014-07-02 |
CN103903961B true CN103903961B (zh) | 2017-05-03 |
Family
ID=50995227
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410145622.3A Expired - Fee Related CN103903961B (zh) | 2014-04-11 | 2014-04-11 | 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103903961B (zh) |
WO (1) | WO2015154724A1 (zh) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103903961B (zh) * | 2014-04-11 | 2017-05-03 | 北京大学 | 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 |
CN106531613B (zh) * | 2016-04-22 | 2020-07-17 | 中国科学院微电子研究所 | 一种石墨烯表面选区改性加工方法及装置 |
CN106896125A (zh) * | 2017-04-25 | 2017-06-27 | 福建师范大学 | 一种三明治型纳米结构的分析方法 |
CN107475685A (zh) * | 2017-05-19 | 2017-12-15 | 复旦大学 | 一种InOC薄膜的制备方法及其应用 |
CN110071044A (zh) * | 2018-01-23 | 2019-07-30 | 清华大学 | 场效应管的制备方法和场效应管 |
US11613807B2 (en) | 2020-07-29 | 2023-03-28 | The Curators Of The University Of Missouri | Area selective nanoscale-thin layer deposition via precise functional group lithography |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009182173A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Fujitsu Ltd | グラフェントランジスタ及び電子機器 |
WO2009132165A2 (en) * | 2008-04-24 | 2009-10-29 | President And Fellows Of Harvard College | Microfabrication of carbon-based devices such as gate-controlled graphene devices |
US7858990B2 (en) * | 2008-08-29 | 2010-12-28 | Advanced Micro Devices, Inc. | Device and process of forming device with pre-patterned trench and graphene-based device structure formed therein |
CN101404322B (zh) * | 2008-11-12 | 2010-10-13 | 北京大学 | 一种以石墨烯为电极的场效应晶体管器件及其制备方法 |
KR101643758B1 (ko) * | 2009-11-23 | 2016-08-01 | 삼성전자주식회사 | 분자빔 에피탁시 방법을 이용한 카본 절연층 제조방법 및 이를 이용한 전계효과 트랜지스터 제조방법 |
US8101474B2 (en) * | 2010-01-06 | 2012-01-24 | International Business Machines Corporation | Structure and method of forming buried-channel graphene field effect device |
CN102097297B (zh) * | 2010-11-16 | 2012-07-04 | 复旦大学 | 一种电场诱导的在石墨烯表面原子层淀积高k栅介质的方法 |
CN103000669A (zh) * | 2011-09-09 | 2013-03-27 | 中国科学院微电子研究所 | 类金刚石衬底上源漏掩埋型石墨烯晶体管器件和制作方法 |
CN102629035A (zh) * | 2011-09-29 | 2012-08-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管阵列基板及其制造方法 |
CN103325836B (zh) * | 2013-06-08 | 2016-02-10 | 中国科学院微电子研究所 | 一种石墨烯场效应晶体管及其制备方法 |
CN103325837B (zh) * | 2013-06-20 | 2016-01-13 | 中国科学院微电子研究所 | 一种碳基场效应晶体管及其制备方法 |
CN103903961B (zh) * | 2014-04-11 | 2017-05-03 | 北京大学 | 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 |
-
2014
- 2014-04-11 CN CN201410145622.3A patent/CN103903961B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-04-13 WO PCT/CN2015/076420 patent/WO2015154724A1/zh active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015154724A1 (zh) | 2015-10-15 |
CN103903961A (zh) | 2014-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103903961B (zh) | 在石墨烯材料上淀积高k栅介质的方法及应用 | |
Kim et al. | Copper-vapor-assisted chemical vapor deposition for high-quality and metal-free single-layer graphene on amorphous SiO2 substrate | |
Glavin et al. | Synthesis of few-layer, large area hexagonal-boron nitride by pulsed laser deposition | |
Wei et al. | Critical crystal growth of graphene on dielectric substrates at low temperature for electronic devices. | |
Jeong et al. | Thickness scaling of atomic-layer-deposited HfO2 films and their application to wafer-scale graphene tunnelling transistors | |
JP6192577B2 (ja) | グラフェン系の電界効果トランジスタ | |
Wei et al. | Water-assisted rapid growth of monolayer graphene films on SiO2/Si substrates | |
Asif et al. | Thickness controlled water vapors assisted growth of multilayer graphene by ambient pressure chemical vapor deposition | |
CN103981507A (zh) | 一种石墨烯制备方法 | |
Li et al. | Atomic layer deposition of Al2O3 directly on 2D materials for high‐performance electronics | |
Wang et al. | Wrinkle-dependent hydrogen etching of chemical vapor deposition-grown graphene domains | |
Cao et al. | A facile way to deposit conformal Al2O3 thin film on pristine graphene by atomic layer deposition | |
KR20140121137A (ko) | 고압의 열처리를 이용한 고품질 그래핀층 형성 방법 및 기판 | |
Kim et al. | Ultrathin monolithic HfO2 formed by Hf-seeded atomic layer deposition on MoS2: Film characteristics and its transistor application | |
Seifert et al. | Induction heating-assisted repeated growth and electrochemical transfer of graphene on millimeter-thick metal substrates | |
Kasischke et al. | Femtosecond laser patterning of graphene electrodes for thin-film transistors | |
Leach et al. | Cracking assisted nucleation in chemical vapor deposition of silicon nanoparticles on silicon dioxide | |
Wirtz et al. | Growth optimisation of high quality graphene from ethene at low temperatures | |
Huang et al. | Redox photochemistry on van der Waals surfaces for reversible doping in 2D materials | |
Cho et al. | Selectable synthesis of 2-D MoS 2 and its electronic devices: From isolated triangular islands to large-area continuous thin film | |
Tian et al. | Production of large‐area nucleus‐free single‐crystal graphene‐mesh metamaterials with zigzag edges | |
Chuang et al. | Local anodic oxidation kinetics of chemical vapor deposition graphene supported on a thin oxide buffered silicon template | |
Entani et al. | Synchrotron X-ray standing wave Characterization of atomic arrangement at interface between transferred graphene and α-Al2O3 (0001) | |
Lin et al. | Nucleation engineering for atomic layer deposition of uniform sub-10 nm high-K dielectrics on MoTe2 | |
KR101548424B1 (ko) | 구리 증기를 이용한 그래핀 합성방법 및 이에 따라 합성된 그래핀을 포함하는 소자 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170503 Termination date: 20210411 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |