CN103885008A - 磁力量测方法 - Google Patents

Abstract

本发明是有关于一种磁力量测方法，特别是有关一种可以克服磁场分布不均问题的磁力量测方法。此磁力量测方法可以克服测试磁场分布不均所导致的测试误差与测试失败等问题，而同时对多个待测元件(或磁力感应器)进行磁力测试，进而增加测试的产能与可靠性，并缩短测试时间与成本。

Description

磁力量测方法

技术领域

本发明涉及一种磁力量测方法，特别是有关一种可以克服磁场分布不均的磁力量测方法。

背景技术

近年来，随着微机电元件系统的发展，各种具有不同功能的小型且高性能的感应器被研发出来，例如加速度感应器、压力感应器(或压力计)、磁力感应器(或磁力计)等。一般目前磁力测试方式为了保持测试磁场的均匀分布，往往仅提供一小范围的均匀测试磁场，所以每次仅能对一个磁力感应器进行测试，导致测试的产能无法提升以及测试的时间无法缩短。若要一次对多个磁力感应器进行磁力测试，则必须提供一较大的磁场进行测试，但是一般所提供的磁场并无法达到测试磁场中的每一个位置的磁场都一致的程度，亦即测试磁场并无法均匀分布，导致各个位置上的磁力感应器量测出来的磁场值与实际的磁场值之间有误差，而无法体现磁力感应器真正的质量与工作效能，因此，此一误差将会导致无法正确地判断所测试磁力感应器是否符合规格以及是否为异常品，所以不但无法提升测试的产能，更会影响测试的可靠性。

因此，亟需要一种磁力量测方法，可以克服磁场分布不均的问题而同时对多个磁力感应器进行磁力测试。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种磁力量测方法，可以克服测试磁场分布不均所导致的测试误差与测试失败等问题，而同时对多个待测元件(或磁力感应器)进行磁力测试，进而增加测试的产能与可靠性，并缩短测试时间与成本。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的磁力量测方法，其包含:(1)提供磁力量测系统，其中，该磁力量测系统具有测试板，该测试板的中间位置设置有标准件测试点，而在该测试板的其他位置设置有多个待测元件测试点;(2)借由标准件进行校验流程，而获得磁力量测系统中测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布;(3)根据所获得的该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布，对每一个该待测元件测试点进行补偿;(4)测试各个待测元件测试点上的待测元件的磁场值;以及(5)确认各个待测元件测试点上的待测元件的磁场值是否符合规格。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的磁力量测方法，其中该磁力量测系统包含:该测试板，其中，该标准件测试点设置有标准件测试座，用以容置该标准件，每一个该待测元件测试点设置有对应的待测元件测试座，用以容置该待测元件;单轴磁力线圈，用以在该磁力量测系统中提供测试磁场进行磁力量测;以及承载机构，用以承载该测试板在该磁力量测系统中进行磁力量测、控制该测试板进行不同轴向的转动以测试该测试板上的待测元件进行不同轴向的磁力量测、以及控制该测试板在磁力量测进行运动。

前述的磁力量测方法，其中该单轴磁力线圈还包含设置于该磁力量测系统上部的上部线圈，以及设置于该磁力量测系统下部的下部线圈。

前述的磁力量测方法，其中该校验流程包含:使用标准仪器校验该标准件，以确定该标准件符合标准规格;提供电流给该磁力量测系统以产生测试磁场;以该标准件依序量测该标准测试点与各个该待测元件测试点的磁场值，以获得该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布;以及将所获得该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布记录或储存，以供待测元件进行磁力测试时使用。

前述的磁力量测方法，其中该提供电流给该磁力量测系统以产生测试磁场步骤，是提供不同的电流给该磁力量测系统以产生不同的测试磁场。

前述的磁力量测方法，其中该以该标准件依序量测该标准测试点与各个该待测元件测试点的磁场值步骤，是在不同的测试磁场中，以该标准件依序量测该标准测试点与各个该待测元件测试点的磁场值，而获得各个该测试磁场的磁场特性曲线以及其于该测试板上的磁场分布。

前述的磁力量测方法，其还包含确认磁场值步骤于步骤(4)之前实施，借由放置于标准件测试点上的该标准件量测该磁力量测系统所提供的测试磁场是否符合预定的磁场值。

前述的磁力量测方法，其中当确认该磁力量测系统所提供的测试磁场符合预定的磁场值，则进行步骤(4)。

前述的磁力量测方法，其中当确认该磁力量测系统所提供的测试磁场不符合预定的磁场值，则会对标准件进行自我检测步骤，以确定该标准件是否符合标准规格或是否有异常。

前述的磁力量测方法，其中当确定该标准件符合标准规格或是没有异常，则依据该标准件所量测的磁场值调整供给该磁力量测系统的电流，而调整该磁力量测系统的测试磁场的磁场值。

前述的磁力量测方法，其中步骤(3)是根据步骤(2)所获得的该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布，调整供给该磁力量测系统的电流，而将待测元件测试点的磁场值调整到预定磁场值。

前述的磁力量测方法，其中在该步骤(2)中，经由以该标准件在标准件量测点测得的磁场值与以该标准件在各个待测元件量测点测得的磁场值相比较，可以获得每一个待测元件量测点的补偿值(offset)。

前述的磁力量测方法，其中每一个待测元件量测点的补偿值(offset)是以该标准件在该待测元件量测点测得的磁场值减去以该标准件在标准件量测点测得的磁场值所得的差值。

前述的磁力量测方法，其中该步骤(3)预先在该磁力量测系统中设定每一个待测元件量测点量测出来得磁场值要加上该待测元件量测点量测对应的补偿值为量测的磁场值。

前述的磁力量测方法，其中该步骤(3)预先在该磁力量测系统中设定每一个待测元件量测点量测出来得磁场值的规格，需减去该待测元件量测点量测对应的补偿值为该待测元件量测点量测而得磁场值的规格。

借由上述技术方案，本发明磁力量测方法至少具有下列优点及有益效果：提供一种可以克服测试磁场分布不均的问题的磁力量测方法，而同时对多个待测元件进行磁力测试，可以有效地增加测试的产能与可靠性，并缩短测试时间与成本。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图,详细说明如下。

附图说明

图1A、图1B、以及图1C分别为本发明的磁力量测方法所使用的磁力量测系统的不同轴向转动前后的立体示意图。

图2为图1A-图1C所示的磁力量测系统的测试板的平面图。

图3为本发明的一实施例的磁力量测方法的流程图。

图4为本发明的一实施例的磁力量测方法中的测试板上各个待测元件量测点所量测到的磁场值与所获得的补偿值。

图5为本发明的一实施例的磁力量测方法中校验流程的流程图。

图6为本发明的另一实施例的磁力量测方法中的流程图。

图7为本发明的又一实施例的磁力量测方法中的流程图。

【主要元件符号说明】

10：磁力量测系统

12：测试板

14：单轴磁力线圈

14a:上部线圈

14b:下部线圈

16：承载机构

17：标准件

18：标准件测试点

19：标准件测试座

20a-20p：待测元件测试点

21a-21p：待测元件测试座

22a-22p：待测元件

100-500：磁力量测方法的各个步骤

202-208：校验流程的各个步骤

600-618：磁力量测方法的各个步骤

700-720：磁力量测方法的各个步骤

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的磁力量测方法其具体实施方式、方法、步骤、特征及其功效，详细说明如后。

图1A、图1B、以及图1C分别为本发明的磁力量测方法所使用的磁力量测系统10的原始状态以及不同轴向转动后的立体示意图。首先，请参阅图1A，磁力量测系统10包含测试板12、单轴磁力线圈14、以及承载机构16。参阅图2，测试板12的中心位置上设置有标准件测试点18，其为标准件17放置进行磁力量测位置，而在测试板12的其他位置设置有一个或多个待测元件测试点20a-20p，为各个待测元件22a-22p，例如磁力感应器、磁力计等，进行磁力量测(或磁力测试)或特性测试的位置。另外，在标准件测试点18上设置有标准件测试座19，用以容置标准件17进行磁力量测，而在每一待测元件测试点20a-20p都设置有待测元件测试座21a-21p，用以容置待测元件22a-22p进行磁力量测(或磁力测试)或特性测试。

请参阅图1A，单轴磁力线圈14为单轴赫姆霍兹线圈，用以在磁力量测系统10中提供测试磁场进行磁力量测，单轴磁力线圈14可以依照提供给磁力量测系统10的电流大小或是磁力量测系统10提供给单轴磁力线圈14的电流大小，而产生不同强度的测试磁场。其次，单轴磁力线圈14包含设置于磁力量测系统10上部的上部线圈14a，以及设置于磁力量测系统10下部的下部线圈14b，而测试磁场则在上部线圈14a与下部线圈14b之间产生。

承载机构16设置于上部线圈14a与下部线圈14b之间，用以承载测试板12在磁力量测系统中(或单轴磁力线圈14所产生的测试磁场中)进行磁力量测或特性测试，并且控制测试板12进行不同轴向的转动，而以单轴磁力线圈14所产生的测试磁场对测试板12上的待测元件22a-22p进行不同轴向的磁力量测。由于单轴磁力线圈14固定不动，所以其所提供的测试磁场的方向也固定不动，而测试板12借由承载机构16做不同轴向的翻转而可以在仅提供单轴磁力线圈的状况下对待测元件进行不同轴的磁力测试(或磁力测试)。

如图1A所示，其为磁力量测系统10的原始状态，承载机构16并未进行任何转动，待测元件以Z轴面对单轴磁力线圈14所提供的测试磁场，而对待测元件的Z轴进行磁力测试。请参阅图1B，其为承载机构16将测试板12以X轴为轴心翻转90度之后的状态，待测元件以Y轴面对单轴磁力线圈14所提供的测试磁场，而对待测元件的Y轴进行磁力测试。请参阅图1C，其为承载机构16将测试板12以Y轴为轴心翻转90度之后的状态，待测元件以X轴面对单轴磁力线圈14所提供的测试磁场，而对待测元件的X轴进行磁力测试。另外，承载机构16还可以在对测试板12上的待测元件磁力量测时，控制测试板12进行运动，例如直线往复运动、旋转等运动，用以进行运动状态的磁力测试。

在磁力量测系统10中，单轴磁力线圈14所提供的测试磁场范围够大而足以容纳多个待测元件进行磁力量测，而测试板12的标准件测试点18不但位于测试板12的中间位置，更位于单轴磁力线圈14所产生的测试磁场的中心位置，因此，理论上，标准件测试点18所量测到的磁场值应该等于测试磁场的磁场值。虽然，理论上，单轴磁力线圈14所提供的测试磁场为一均匀的磁场，但实际上，除了测试磁场的中心位置可以达到测试磁场真正的磁场值之外，其他位置的磁场值还是会有误差，所以单轴磁力线圈14所产生的测试磁场的磁场分布仍然不够均匀，而只是一个大致均匀的磁场而已。因此，测试板12上的待测元件测试点20a-20p所量测到的磁场值，不但彼此之间会有差异，且与真正的测试磁场的磁场值也会有差异，即与标准件测试点18所量测出的磁场值也会有误差，也因此会导致对待测元件进行的磁力量测(或测试)会产生误差，进而影响测试的可靠度，并对产品的质量产生误判。有鉴于此，本发明提供一种磁力量测的方法，以克服图1A所示的磁力量测系统10的测试磁场分布不均的问题，而同时对多个待测元件进行磁力测试。

图3为本发明的一实施例的磁力量测方法的流程图。请同时参阅图1A、图2、以及图3，本发明的磁力量测方法如下：首先，提供如图1A所示的磁力量测系统10(步骤100)，磁力量测系统10具有测试板12，测试板的中间位置设置有标准件测试点18，而在具有测试板的其他位置设置有多个待测元件测试点20a-20p。接着，对磁力量测系统10(或单轴磁力线圈14)提供电流，而于磁力量测系统10中产生具有预设磁场值的测试磁场，所提供的电流大小则根据所欲达成的测试磁场的强度(或磁场值)而决定。然后，借由标准件17进行校验流程(步骤200)，而获得磁力量测系统10中的测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于测试板12上的磁场分布。在步骤200中，借由标准件17而量测标准件测试点18与各个待测元件测试点20a-20p的磁场值，并经由以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值与以标准件17在各个待测元件量测点20a-20p测得的磁场值相比较，并进行运算而可以获得每一个待测元件量测点20a-20p的补偿值(offset)。此补偿值为以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值与以标准件17在各个待测元件量测点20a-20p之间的差值，其可以为以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值减去以标准件17在待测元件量测点20a-20p测得的磁场值所得的差值，或是以标准件17在待测元件量测点20a-20p测得的磁场值减去以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值所得的差值。

举例来说，请参阅图4，其显示在磁场值为750的测试磁场中，以标准件17在标准件量测点18与各个待测元件量测点20a-20p量测到的磁场值，以及根据这些磁场值所计算出的补偿值。在图4中，每一个待测元件量测点20a-20p下方的数字代表以标准件17在各个待测元件量测点20a-20p量测到的磁场值，而在各个待测元件量测点20a-20p内的数字代表借由校验流程(步骤200)所得到的各个待测元件量测点20a-20p的补偿值。此补偿值为以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值减去以标准件17在待测元件量测点20a-20p测得的磁场值所得的差值。举例来说，在磁场值为750的测试磁场中(如图4所示)，以标准件17在标准件测试点18量测到的磁场值为该测试磁场的磁场值750，而以标准件17在待测元件测试点20a量测到的磁场值为752，而待测元件测试点20a的补偿值则为-2。

接着，根据所获得的测试磁场的磁场特性曲线以及测试磁场于测试板12上的磁场分布，对每一个待测元件测试点20a-20p进行补偿(步骤300)。然后，将待测元件22a-22p分别放置于待测元件测试点20a-20p上，并测试各个待测元件测试点20a-20p上的待测元件22a-22p的磁场值(步骤400)。由于在步骤300中已经对于每一待测元件测试点20a-20p进行补偿，所以使得每一个待测元件测试点20a-20p上的待测元件22a-22p中经过补偿所量测到磁场值为其在一均匀磁场所应量测到的磁场值，或是使得各待测元件测试点20a-20p依照测试磁场在各个待测元件测试点20a-20p提供的真正磁场值而分别具有对应该磁场值的真正规格。因此，在步骤400中，各待测元件测试点20a-20p上的待测元件22a-22p所量测出来磁场值为模拟在完全均匀测试磁场所量测的磁场值，或是为在实际上磁场分布不均的测试磁场中所量测到实际磁场值。

接着，将所量测到的各个待测元件22a-22p的磁场值与预定的磁场值或预定的磁场值范围进行比对，以确认各个待测元件22a-22p的磁场值是否符合此种待测元件预定的规格(spec.)(步骤500)，进而判断各个待测元件22a-22p的质量，即判定各个待测元件22a-22p为正常品或异常品。要注意的是，若是在步骤300中，对于每一个待测元件测试点20a-20p的补偿为使其模拟在完全均匀测试磁场所量测的磁场值，则此预定的磁场值或预定的磁场值范围则为待测元件原本要求的规格。若是在步骤300中，对于每一个待测元件测试点20a-20p的补偿为依照其在实际上不均匀的测试磁场中所量测到的磁场值而调整各个不同待测元件测试点20a-20p所设定的规格，则此预定的磁场值或预定的磁场值范围则为待测元件原本要求的规格经过补偿而得的规格。

因此，本发明的磁力量测方法借由对每一个待测元件测试点20a-20p进行的补偿，而可以模拟在完全均匀的测试磁场所量测的磁场值，或是得到每一个待测元件测试点20a-20p上的待测元件22a-22p在不均匀的测试磁场的测试时各别对应的规格，所以可以得到各个待测元件22a-22p测试的实际表现，避免因磁场分布不均所产生的量测误差，而可以同时对多个待测元件进行磁力量测(或测试)并提升磁力量测的可靠性，进而提升测试产能与缩减测试成本。

请同时参阅图5与图1A，在步骤200中的校验流程包含下列步骤：首先，使用标准仪器对所欲使用的标准件17进行校验，以确定标准件17符合标准规格(步骤202)，要确定标准件17符合标准规格才可以使用于后续步骤或本发明的磁力量测方法，若经校验标准件17不符合标准规格则更换新的标准件。接着，提供电流给磁力量测系统10(或单轴磁力线圈14)以产生测试磁场(步骤204)。

然后，以通过校验的标准件17依序量测测试板12上的标准测试点18与各个待测元件测试点20a-20p的磁场值，借由这些磁场值可以获得此测试磁场的磁场特性曲线以及此测试磁场于测试板12上的磁场分布(步骤206)，进而计算出各个待测元件测试点20a-20p在此测试磁场中的补偿值，而制作出在此测试磁场中各个待测元件测试点20a-20p与补偿值的对应表。各个待测元件测试点20a-20p在此测试磁场中的补偿值的产生与计算方式，已经于前文对步骤200的描述中详细说明，于此不再赘述。

举例来说，请参阅图4，其显示在磁场值为750的测试磁场中，以标准件17在标准件测试点18量测到的磁场值为该测试磁场的磁场值750，分别减去以标准件17在各个待测元件测试点20a-20p量测到的磁场值752-745，而可以得到各个待测元件测试点20a、20b、20c…20p的补偿值-2、+2、+5…+5。

接着，将步骤206中所获得该测试磁场的磁场特性曲线以及此测试磁场于测试板12上的磁场分布记录或储存于磁力量测系统10中，甚至将借此所计算出的补偿值或各个待测元件测试点20a-20p与补偿值的对应表记录或储存磁力量测系统10中，以供待测元件进行磁力测试时进行补偿使用(步骤208)。

在图5所示的校验流程仅提供电流而产生测试磁场(步骤204)，并以标准件对此测试磁场的各个位置(标准件测试点与各个待测元件测试点)量测磁场值，以获得此测试磁场的磁场特性曲线以及此测试磁场于测试板上的磁场分布(步骤206)。但是，此校验流程也可以步骤204中提供不同的电流以产生不同磁场值(或磁场强度)的测试磁场，并于步骤206中以标准件对不同电流所产生的测试磁场的各个位置(标准件测试点与各个待测元件测试点)量测磁场值，以获得各个不同电流所产生测试磁场的磁场特性曲线以及这些测试磁场于测试板上的磁场分布，进而计算出每一电流所产生的测试磁场中的各个位置(标准件测试点与各个待测元件测试点)的补偿值或每一电流所产生的测试磁场中的各个待测元件测试点与补偿值的对应表。或者，在图5所示的校验流程中，重复步骤204与步骤206，而提供不同的电流以产生不同磁场值(或磁场强度)的测试磁场，并以对不同电流产生的测试磁场进行各个位置的磁力量测，而可以获得各个不同电流所产生的测试磁场的磁场特性曲线以及这些测试磁场于测试板上的磁场分布，进而计算出每一电流所产生的测试磁场中的各个位置(标准件测试点与各个待测元件测试点)的补偿值或每一电流所产生的测试磁场中的各个待测元件测试点与补偿值的对应表。另外，在图3所示的磁力量测方法中，由于步骤300可以采用不同的方式对每一个待测元件测试点进行补偿，而因不同的补偿方式，步骤400与步骤500的进行方式也会有所不同，将于下文对其一一说明。

首先，在本发明的一实施例中，在经过图3所示的磁力量测方法中的步骤100与步骤200，而得到磁力量测系统所提供的测试磁场的磁场特性曲线以及此测试磁场于测试板上的磁场分布，甚至经计算而得到此测试磁场中的各个位置(标准件测试点与各个待测元件测试点)的补偿值或此测试磁场中的各个待测元件测试点与补偿值的对应表之后，于步骤300中，预先在磁力量测系统中设定每一个待测元件量测的待测元件点量测出来的磁场值要加上或减去对应该待测元件量测点量测对应的补偿值(由步骤200得到的)，才是该待测元件量测点量上的待测元件所量测的磁场值，即为该待测元件量测点量的待测元件在均匀的测试磁场中所测到的磁场值。

借由上述方式于步骤300对各个待测元件测试点进行补偿时，其后续的步骤400与步骤500的详细流程如图6所示，说明如下：参阅图6与图1A，首先，提供电流给磁力量测系统10(或单轴磁力线圈14)，以产生所需的测试磁场(步骤600)。接着，将标准件17放置于标准件测试点18上执行确认磁场值步骤，而确认磁力量测系统10所提供的测试磁场，借由放置于标准件测试点18上的标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场是否符合预设的磁场值(步骤602)。当标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场不符合预设的磁场值时，则会对标准件17进行自我检测步骤，以确定标准件17是否符合标准规格或是否有异常(步骤604)。若经自我检测后(步骤604)，发现标准件17不符合标准规格或有异常，则更换新的标准件(步骤606)。反之，若经自我检测后(步骤604)，发现标准件17符合标准规格或没有异常，则表示目前磁力量测系统的所提供的测试磁场未达到预设的磁场值，则调整提供给磁力量测系统10(或单轴磁力线圈14)的电流大小，使其达预设的磁场值(步骤608)，并且回到步骤602再一次量测磁力量测系统10所提供的测试磁场是否符合预设的磁场值。若经调整后，重新量测标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场仍然未符合预设的磁场值，则重新再对标准件17进行自我检测步骤(步骤604)。

反之，若经调整后，重新量测标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场已符合预设的磁场值，则对各个待测元件测试点20a-20p上的待测元件22a-22p进行测试而量测其磁场值(步骤610)。在步骤610中，各个待测元件测试点20a-20p上的待测元件22a-22p所实际量测到的磁场值，会依照前述步骤200于磁力量测系统中所设定的每一个待测元件量测的待测元件点量测出来的磁场值要加上或减去对应该待测元件量测点的补偿值之后，才做为各个待测元件所量测出的磁场值，即每一个待测元件所测出的实际磁场值加上或减去其对应补偿值才是其用以做为判定是否符合规格的磁场值。其中，当此补偿值为以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值减去以标准件17在待测元件量测点20a-20p测得的磁场值所得的差值时，则以待测元件量测出来的实际磁场值要加上对应该待测元件量测点量测对应的补偿值之后，才为待测元件在均匀的测试磁场所量测出的磁场值。若此补偿值为以标准件17在待测元件量测点20a-20p测得的磁场值减去以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值所得的差值时，则以待测元件量测出来的实际磁场值要减去对应该待测元件量测点量测对应的补偿值之后，才为待测元件在均匀的测试磁场所量测出的磁场值。

然后，以各个待测元件所量测的磁场值，即实际磁力值经补偿后所得到的磁力值，与预设的磁场值或预设的磁场值范围(即待测元件本身设定的规格(SPEC))进行比较，而确认各个待测元件是否符合规格(步骤612)。若待测元件所量测的磁场值(实际磁场值经补偿后所得到的磁场值)在预设的磁场值的误差范围内或预设的磁场值范围内，则判定此待测元件为正常品(步骤614)。反之，若待测元件所量测的磁场值(实际磁场值经补偿后所得到的磁场值)不在预设的磁场值的误差范围内或预设的磁场值范围内，则判定此待测元件为异常品(步骤616)。最后，在所有的待测元件都完成磁力量测并判定其为正常品或异常品后，则结束测试(步骤618)。

在此一实施例中，借由步骤200所获得的测试磁场的磁场特性曲线以及测试磁场于测试板上的磁场分布，进而计算出每一个待测元件测试点的补偿值，并借由此补偿值对各个待测元件测试点上的待测元件所测试的磁场值做一补偿，而得到各个待测元件测试点上的待测元件在均匀测试磁场中所量测的磁场值，而可以精确地比对各待测元件是否符合规格，避免因测试磁场分布不均所造成的误差，进而提升测试的可靠度，又可以同时对多个待测元件进行测试，进而提升测试产能。

然而，在本发明的另一实施例中，在经过图3所示的磁力量测方法中的步骤100与步骤200，而得到磁力量测系统所提供的测试磁场的磁场特性曲线以及此测试磁场于测试板上的磁场分布，甚至计算而得到此测试磁场中的各个位置(标准件测试点与各个待测元件测试点)的补偿值或此测试磁场中的各个待测元件测试点与补偿值的对应表之后，于步骤300中，预先在磁力量测系统中设定每一个待测元件量测的待测元件点量测出来的磁场值规格要加上或减去对应该待测元件量测点的补偿值(由步骤200得到的)，才是该待测元件量测点量上的待测元件的真正(磁场值)规格，即为该待测元件量测点量的待测元件因测试磁场提供给其不同的磁场值，而具有不同(磁场值)规格。

在此一实施例中，借由上述方式于步骤300对各个待测元件测试点进行补偿时，其后续的步骤400与步骤500的详细流程与前述实施例相同(如图6所示)，但是不同的是在此实施例中，步骤610中各个待测元件的磁场值为其实际在测试磁场装量测到的磁场值(未经过任何补偿的磁场值)，但是其在步骤612所用以进行的预设的磁场值或预设的磁场值范围，则为经过补偿的预设的磁场值或预设的磁场值范围(即经过补偿的规格(SPEC))，因此，各个待测元件测试点具有不同但符合其测试磁场在该测试点的磁场分布的规格。其中，当此补偿值为以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值减去以标准件17在待测元件量测点20a-20p测得的磁场值所得的差值时，则以待测元件预设的磁场值或预设的磁场值范围(即未经过补偿的规格(SPEC))加上对应该待测元件量测点的补偿值之后，才为待测元件在此测试磁场下测试的真正规格。若此补偿值为以标准件17在待测元件量测点20a-20p测得的磁场值减去以标准件17在标准件量测点18测得的磁场值所得的差值时，则以待测元件预设的磁场值或预设的磁场值范围(即未经过补偿的规格(SPEC))减去对应该待测元件量测点量的补偿值之后，才是此测试磁场下每一个待测元件量测点上的待测元件磁力测试的真正规格。

因此，在此实施例中，借由步骤200所获得的测试磁场的磁场特性曲线以及测试磁场于测试板上的磁场分布，进而计算出每一个待测元件测试点的补偿值，并借由此补偿值对各个待测元件测试点上的所预设的规格做一补偿，而得到各个待测元件测试点上的待测元件在测试磁场中真正的规格，而可以精确地比对各待测元件是否符合规格，避免因测试磁场分布不均所造成的误差，进而提升测试的可靠度，又可以同时对多个待测元件进行测试，进而提升测试产能。

在上述图6所示的两个实施例中，步骤610与步骤612等同图3所示的步骤400与步骤500，因此，步骤600-步骤608都是在测试待测元件的磁场值之前(即步骤610或步骤400之前)实施。

另外，在本发明的又一实施例中，在经过图3所示的磁力量测方法中的步骤100与步骤200，而得到磁力量测系统所提供的测试磁场的磁场特性曲线以及此测试磁场于测试板上的磁场分布，甚至计算而得到此测试磁场中的各个位置(标准件测试点与各个待测元件测试点)的补偿值或此测试磁场中的各个待测元件测试点与补偿值的对应表之后，于步骤300中，根据步骤200所获得测试磁场的磁场特性曲线调整一待测元件测试点的磁场值，而使该待测元件测试点的磁场值符合用以预定用以进行测试的测试磁场的磁场值，即借由调整提供给磁力量测系统(或单轴磁力线圈)的电流，而将测试磁场于该待测元件测试点的磁场值调整为所需的测试磁场值。

借由上述方式于步骤300对各个待测元件测试点进行补偿时，其后续的步骤400与步骤500的详细流程如图7所示，说明书如下：请参阅图7与图1A，首先，提供电流给磁力量测系统10(或单轴磁力线圈14)，以产生所需的测试磁场(步骤700)。接着，将标准件17放置于标准件测试点18上执行确认磁场值步骤，而确认磁力量测系统10所提供的测试磁场，借由放置于标准件测试点18上的标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场是否符合预设的磁场值(步骤702)。当标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场不符合预设的磁场值时，则会对标准件17进行自我检测步骤，以确定标准件17是否符合标准规格或是否有异常(步骤704)。若经自我检测后(步骤704)，发现标准件17不符合标准规格或有异常，则更换新的标准件(步骤706)。反之，若经自我检测后(步骤704)，发现标准件17符合标准规格或没有异常，则表示目前磁力量测系统的所提供的测试磁场未达到预设的磁场值，则调整提供给磁力量测系统10(或单轴磁力线圈14)的电流大小，使其达预设的磁场值(步骤708)，并且回到步骤702再一次量测磁力量测系统10所提供的测试磁场是否符合预设的磁场值。若经调整后，重新量测标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场仍然未符合预设的磁场值，则重新再对标准件17进行自我检测步骤(步骤704)。

反之，若经调整后，重新量测标准件17量测磁力量测系统10所提供的测试磁场已符合预设的磁场值，则根据测试磁场的磁场特性曲线，调整提供给磁力量测系统(或单轴磁力线圈)的电流，而将测试磁场于该待测元件测试点的磁场值调整为所需的测试磁场值(步骤710)。以图4为例，若欲以待测元件测试点20a进行测试，则调整电流而将磁力量测系统所提供的测试磁场在待测元件测试点20a的磁场值(752)，调整为标准的磁场值(750)，即原本的测试磁场在标准件测试点的磁场值。接着，对该待测元件测试点20a上的待测元件22a进行测试而量测其磁场值(步骤712)。在此步骤中，待测元件22a所量测到的磁场值，为在先前标准件于标准件测试点测试时所使用的(标准)磁场值下所量测而得的磁场值。

然后，以此待测元件所量测的磁场值与预设的磁场值或预设的磁场值范围(即待测元件本身设定的规格(SPEC))进行比较，而确认各个待测元件是否符合规格(步骤714)。若待测元件所量测的磁场值在预设的磁场值的误差范围内或预设的磁场值范围内，则判定此待测元件为正常品(步骤716)。反之，若待测元件所量测的磁场值不在预设的磁场值的误差范围内或预设的磁场值范围内，则判定此待测元件为异常品(步骤718)。最后，在完成该待测元件都完成磁力量测并判定其为正常品或异常品后，则结束测试(步骤720)。

在此一实施例中，在步骤710(即图3所示的步骤300)中，由于借由调整提供给磁力量测系统(或单轴磁力线圈)的电流，而将测试磁场于一待测元件测试点的磁场值调整为所需的测试磁场值，将会导致其他的待测元件测试点的磁场值改变，而导致其他位置的待测元件测试点在磁性量测时产生误差。因此，虽然可以借由经过调整的待测元件测试点准确地量测出在预设的磁场值下，精确地量测出该待测元件测试点上的待测元件的真实磁场值，但是显然因其他位置的待测元件测试点的磁场值也改变，而无法使用其他位置的待测元件测试点进行测试，所以此一方法仅适用于对单一待测元件以不同电流产生的测试磁场进行特性测试的时候。

有鉴于上述实施例，本发明提供一种可以克服测试磁场分布不均的磁力量测方法，而同时对多个待测元件进行磁力测试，可以有效地增加测试的产能与可靠性，并缩短测试时间与成本。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (15)

1.一种磁力量测方法，其特征在于其包含:

(1)提供磁力量测系统，其中，该磁力量测系统具有测试板，该测试板的中间位置设置有标准件测试点，而在该测试板的其他位置设置有多个待测元件测试点;

(2)借由标准件进行校验流程，而获得磁力量测系统中测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布;

(3)根据所获得的该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布，对每一个该待测元件测试点进行补偿;

(4)测试各个待测元件测试点上的待测元件的磁场值;以及

(5)确认各个待测元件测试点上的待测元件的磁场值是否符合规格。

2.如权利要求1所述的磁力量测方法，其特征在于该磁力量测系统包含:

该测试板，其中，该标准件测试点设置有标准件测试座，用以容置该标准件，每一个该待测元件测试点设置有对应的待测元件测试座，用以容置该待测元件;

单轴磁力线圈，用以在该磁力量测系统中提供测试磁场进行磁力量测;以及

承载机构，用以承载该测试板在该磁力量测系统中进行磁力量测、控制该测试板进行不同轴向的转动以测试该测试板上的待测元件进行不同轴向的磁力量测、以及控制该测试板在磁力量测进行运动。

3.如权利要求2所述的磁力量测方法，其特征在于该单轴磁力线圈还包含设置于该磁力量测系统上部的上部线圈，以及设置于该磁力量测系统下部的下部线圈。

4.如权利要求1所述的磁力量测方法，其特征在于该校验流程包含:

使用标准仪器校验该标准件，以确定该标准件符合标准规格;

提供电流给该磁力量测系统以产生测试磁场;

以该标准件依序量测该标准测试点与各个该待测元件测试点的磁场值，以获得该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布;以及

将所获得该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布记录或储存，以供待测元件进行磁力测试时使用。

5.如权利要求4所述的磁力量测方法，其特征在于该提供电流给该磁力量测系统以产生测试磁场步骤，是提供不同的电流给该磁力量测系统以产生不同的测试磁场。

6.如权利要求5所述的磁力量测方法，其特征在于该以该标准件依序量测该标准测试点与各个该待测元件测试点的磁场值步骤，是在不同的测试磁场中，以该标准件依序量测该标准测试点与各个该待测元件测试点的磁场值，而获得各个该测试磁场的磁场特性曲线以及其于该测试板上的磁场分布。

7.如权利要求1所述的磁力量测方法，其特征在于其还包含确认磁场值步骤于步骤(4)之前实施，借由放置于标准件测试点上的该标准件量测该磁力量测系统所提供的测试磁场是否符合预定的磁场值。

8.如权利要求7所述的磁力量测方法，其特征在于当确认该磁力量测系统所提供的测试磁场符合预定的磁场值，则进行步骤(4)。

9.如权利要求7所述的磁力量测方法，其特征在于当确认该磁力量测系统所提供的测试磁场不符合预定的磁场值，则会对标准件进行自我检测步骤，以确定该标准件是否符合标准规格或是否有异常。

10.如权利要求9所述的磁力量测方法，其特征在于当确定该标准件符合标准规格或是没有异常，则依据该标准件所量测的磁场值调整供给该磁力量测系统的电流，而调整该磁力量测系统的测试磁场的磁场值。

11.如权利要求1所述的磁力量测方法，其特征在于步骤(3)是根据步骤(2)所获得的该测试磁场的磁场特性曲线以及该测试磁场于该测试板上的磁场分布，调整供给该磁力量测系统的电流，而将待测元件测试点的磁场值调整到预定磁场值。

12.如权利要求1所述的磁力量测方法，其特征在于在该步骤(2)中，经由以该标准件在标准件量测点测得的磁场值与以该标准件在各个待测元件量测点测得的磁场值相比较，可以获得每一个待测元件量测点的补偿值。

13.如权利要求12所述的磁力量测方法，其特征在于每一个待测元件量测点的补偿值是以该标准件在该待测元件量测点测得的磁场值减去以该标准件在标准件量测点测得的磁场值所得的差值。

14.如权利要求13所述的磁力量测方法，其特征在于该步骤(3)预先在该磁力量测系统中设定每一个待测元件量测点量测出来得磁场值要加上该待测元件量测点量测对应的补偿值为量测的磁场值。

15.如权利要求13所述的磁力量测方法，其特征在于该步骤(3)预先在该磁力量测系统中设定每一个待测元件量测点量测出来得磁场值的规格，需减去该待测元件量测点量测对应的补偿值为该待测元件量测点量测而得磁场值的规格。

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