CN103811391B - 晶圆位置调节装置 - Google Patents

晶圆位置调节装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103811391B
CN103811391B CN201410076562.4A CN201410076562A CN103811391B CN 103811391 B CN103811391 B CN 103811391B CN 201410076562 A CN201410076562 A CN 201410076562A CN 103811391 B CN103811391 B CN 103811391B
Authority
CN
China
Prior art keywords
motor
axle
wafer
kinetic energy
moving cell
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201410076562.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103811391A (zh
Inventor
张航
王凯
慕晓航
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
North China Science And Technology Group Ltd By Share Ltd
Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd filed Critical Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority to CN201410076562.4A priority Critical patent/CN103811391B/zh
Publication of CN103811391A publication Critical patent/CN103811391A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103811391B publication Critical patent/CN103811391B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及一种晶圆位置调节装置，包括：一电动机，用于提供动能；一电机驱动器，用于驱动电动机；一控制单元，用于控制电机驱动器的工作状态，工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；传动机构，用于传动电动机提供的动能至第一运动单元和第二运动单元，第一运动单元调节经过第一流水线的晶圆的位置，第二运动单元调节经过第二流水线的晶圆的位置。其结构简单、实施技术成熟；在调试中，仅调试单个控制单元、单个电机驱动器和单台电机即可，调试方便、高效。

Description

晶圆位置调节装置
技术领域
本发明涉及半导体加工制造技术领域，更具体地说，涉及一种晶圆位置调节装置。
背景技术
目前，半导体设备的归整或位置调节多采用专用的规整机构规整晶圆，通常都是使用一个控制器控制一个伺服或者步进电机驱动器，每个电机驱动器再控制一台电机，每个电机仅带动一根传动轴，通过传动轴对晶圆进行归整或位置调节。
而为在多条流水线上同步地调节晶圆的位置，则需要设置相应的多个传动轴、相应多个电机以及驱动器。
采用这种规整方法的缺点是：
1.每根轴需要一个驱动器和一台电机，从而占用较大的半导体设备空间；
2.控制每根轴都需要编写单独的程序进行单独调试，在调试和设计过程中增加了设备运行成本。
因此，本领域研发人员期望获得一种结构简单、调试便利的晶圆位置调节装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种晶圆位置调节装置，其结构简单、调试便利。
为实现上述目的，本发明一技术方案如下：
一种晶圆位置调节装置，包括：一电动机，用于提供动能；一电机驱动器，用于驱动电动机；一控制单元，用于控制电机驱动器的工作状态，工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；传动机构，用于传动电动机提供的动能至第一运动单元和第二运动单元，第一运动单元调节经过第一流水线的晶圆的位置，第二运动单元调节经过第二流水线的晶圆的位置；其中，第一、第二运动单元分别包括第一轴、第二轴，传动机构包括：第一传动单元，用于传动电动机的动能至第一轴，第一轴旋转以调节第一流水线上的晶圆的位置；以及，第二传动单元，用于传动电动机的动能至第二轴，第二轴旋转以调节第二流水线上的晶圆的位置；第一轴、第二轴以及电动机的轴通过一传动链连接，第一传动单元包括传动链上设置的第一拉紧机构，第二传动单元包括传动链上设置的第二拉紧机构，第一拉紧机构拉紧传动链以传动电动机的动能至第一轴，第二拉紧机构拉紧传动链以传动电动机的动能至第二轴。
优选地，控制单元与电机驱动器进行双工通信。
优选地，控制单元通过电机驱动器控制电动机的工作状态，以及通过电机驱动器调节电动机的转速，控制单元还接收由电机驱动器反馈的电动机的工作状态信息与转速信息。
本发明提供的晶圆位置调节装置，以单个控制单元控制单个电机驱动器、驱动单台电动机，同时带动两根轴的运动，从而可在两条流水线上并行地调节晶圆位置，其结构简单、实施技术成熟；在调试中，仅调试单个控制单元、单个电机驱动器和单台电机即可，调试方便、高效。
附图说明
图1示出本发明一实施例提供的晶圆位置调节装置的框图；
图2示出本发明一实施例提供的晶圆位置调节装置中传动机构结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
如图1所示，本发明一实施例提供的晶圆位置调节装置包括如下模块：控制单元10、电机驱动器20、电动机30、第一传动单元401、第二传动单元402以及第一轴501、第二轴502。
具体地，电动机30用于提供动能以在两条生产线上并行调节晶圆的位置；电机驱动器20用于驱动电动机30；控制单元10，用于控制电机驱动器20的工作状态，其工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭，例如，还可包括电动机加速、电动机减速等；第一传动单元401和第二传动单元402组成了传动机构，用于传动电动机30提供的动能至第一运动单元和第二运动单元，以分别调节第一流水线上的晶圆的位置、调节第二流水线上的晶圆的位置；从而可同时对两批晶圆进行规整。
进一步地，第一、第二运动单元分别包括第一轴501、第二轴502，第一、第二轴可分别独立地转动，进而带动晶圆位置调节机构(附图未示出)的动作。
其中，第一传动单元401传动电动机30的动能至第一轴501，第一轴501旋转使得对应的晶圆位置调节机构在第一流水线上调节晶圆位置；第二传动单元402传动电动机30的动能至第二轴502，第二轴502旋转使得对应的晶圆位置调节机构在第二流水线上调节晶圆位置。
进一步地，如图2所示，第一轴501、第二轴502以及电动机30的轴301通过一传动链400连接，第一传动单元401包括传动链400上设置的第一拉紧机构4010，第二传动单元402包括传动链400上设置的第二拉紧机构4020，第一拉紧机构4010拉紧传动链400以传动电动机30的动能至第一轴501，第二拉紧机构4020拉紧传动链400以传动电动机30的动能至第二轴502。
其中，第一轴501的直径可与第二轴502的直径相同，从而晶圆可在第一流水线和第二流水线上对晶圆具有相同的调节比例或速度；第一轴的直径也可与第二轴的直径不同，从而晶圆在第一流水线和第二流水线上具有不同的调节比例或速度。
在晶圆只需在一个流水线(例如第二流水线)运动以调节位置时，可将第一拉紧机构4010与传动链400脱离，或使第一轴501脱离晶圆位置调节机构。
该实施例提供的晶圆位置调节装置，以单个控制单元10控制单个电机驱动器20、再驱动单台电动机30，同时带动两根轴501、502的运动，从而可在两条流水线上并行调节晶圆位置，其结构简单、实施技术成熟；此外，在调试中，仅调试单个控制单元10、单个电机驱动器20和单台电机30即可，调试更加方便、高效。
根据本发明上述实施例的一改进实施方式，控制单元10与电机驱动器20进行双工通信。同时，电机驱动器20可控制电动机30的工作状态，以及例如通过传感器获知电动机30的工作状态。
进一步地，控制单元10通过电机驱动器20控制电动机30的工作状态，以及通过电机驱动器20调节电动机30的转速，控制单元10还接收由电机驱动器20反馈的电动机30的工作状态信息与转速信息。
这样，控制单元10可实现对电动机30的闭环控制。例如通过PID调节方式，精确地在第一流水线和/或第二流水线上对晶圆进行规整。
可以理解，根据本发明的思想，传动机构还可具有其他具体的实施方式，只要能以单个控制单元控制单个电机驱动器、驱动单台电动机，并将动能传动至两根或多根轴上，进而可在两条流水线或多条流水线上调节晶圆位置，均应视为本发明的简单变形设计，因此，应落入本发明的范围。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (6)

1.一种晶圆位置调节装置，包括：
一电动机，用于提供动能；
一电机驱动器，用于驱动所述电动机；
一控制单元，用于控制所述电机驱动器的工作状态，所述工作状态至少包括电动机开启与电动机关闭；
传动机构，用于传动所述电动机提供的动能至第一运动单元和第二运动单元，所述第一运动单元调节经过第一流水线的晶圆的位置，所述第二运动单元调节经过第二流水线的晶圆的位置；
其中，所述第一、第二运动单元分别包括第一轴、第二轴，所述传动机构包括：
第一传动单元，用于传动所述电动机的动能至所述第一轴，所述第一轴旋转以调节所述第一流水线上的晶圆的位置；以及，
第二传动单元，用于传动所述电动机的动能至所述第二轴，所述第二轴旋转以调节所述第二流水线上的晶圆的位置；
所述第一轴、第二轴以及所述电动机的轴通过一传动链连接，所述第一传动单元包括所述传动链上设置的第一拉紧机构，所述第二传动单元包括所述传动链上设置的第二拉紧机构，所述第一拉紧机构拉紧所述传动链以传动所述电动机的动能至所述第一轴，所述第二拉紧机构拉紧所述传动链以传动所述电动机的动能至所述第二轴。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一轴的直径与所述第二轴的直径相同。
3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一轴的直径与所述第二轴的直径不同。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制单元与所述电机驱动器进行双工通信。
5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述控制单元通过所述电机驱动器控制所述电动机的工作状态，以及通过所述电机驱动器调节所述电动机的转速，所述控制单元还接收由所述电机驱动器反馈的所述电动机的工作状态信息与转速信息。
6.根据权利要求1、4或5所述的装置，其特征在于，所述电动机为步进式电机或伺服电机。
CN201410076562.4A 2014-03-04 2014-03-04 晶圆位置调节装置 Active CN103811391B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410076562.4A CN103811391B (zh) 2014-03-04 2014-03-04 晶圆位置调节装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410076562.4A CN103811391B (zh) 2014-03-04 2014-03-04 晶圆位置调节装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103811391A CN103811391A (zh) 2014-05-21
CN103811391B true CN103811391B (zh) 2016-08-17

Family

ID=50707979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410076562.4A Active CN103811391B (zh) 2014-03-04 2014-03-04 晶圆位置调节装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103811391B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201311937Y (zh) * 2008-11-26 2009-09-16 河南新能光伏有限公司 一种层压缓存输送机
CN102569509A (zh) * 2011-12-31 2012-07-11 无锡市奥曼特科技有限公司 板式pecvd设备上下料系统的碳板输送装卸台
CN102738050A (zh) * 2012-06-18 2012-10-17 中国电子科技集团公司第四十八研究所 太阳能电池生产线硅片自动传输系统
EP2533279A1 (en) * 2011-06-06 2012-12-12 Applied Materials Italia S.r.l. Support and transport unit for a print substrate for a plant for depositing print tracks, and relative deposition method

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201311937Y (zh) * 2008-11-26 2009-09-16 河南新能光伏有限公司 一种层压缓存输送机
EP2533279A1 (en) * 2011-06-06 2012-12-12 Applied Materials Italia S.r.l. Support and transport unit for a print substrate for a plant for depositing print tracks, and relative deposition method
CN102569509A (zh) * 2011-12-31 2012-07-11 无锡市奥曼特科技有限公司 板式pecvd设备上下料系统的碳板输送装卸台
CN102738050A (zh) * 2012-06-18 2012-10-17 中国电子科技集团公司第四十八研究所 太阳能电池生产线硅片自动传输系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN103811391A (zh) 2014-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015523207A (ja) ローラーミルおよび被粉砕材料をローラーミルで粉砕するための方法
CN104037111A (zh) 一种精密型扩膜装置
CN100496838C (zh) 电火花线切割机床的电极丝恒张力运丝方法及装置
CN206367013U (zh) 一种无人机轻型手爪
CN106151484A (zh) 一种消除齿轮侧隙的装置、方法、控制系统及控制方法
CN102555093B (zh) 一种硅片多线切割张力控制系统及控制方法
CN103811391B (zh) 晶圆位置调节装置
CN102615728A (zh) 一种晶体硅剖方机切割线张力控制装置
CN208214975U (zh) 一种间歇分度传动机构
CN206135692U (zh) 一种永磁传动装置以及泵
EA201000676A1 (ru) Управление тяжелыми машинами
CN107690603A (zh) 一种数控机床及主轴电机的转速调整方法
CN202114020U (zh) 色选机背景板旋转执行机构
CN104196811B (zh) 低速旋转驱动机构
CN203805157U (zh) 一种自动调节锯带张力装置
CN202038755U (zh) 用于多功能轮转配页机的连续收纸调节装置
CN103910243A (zh) 一种张力恒定的可变速喂入装置
CN202670908U (zh) 一种自动调节纱线张力的调节器
CN204041607U (zh) 低速旋转驱动机构
CN103469375A (zh) 自调匀整装置的差动变速机构
CN206976488U (zh) 电芯卷绕驱动装置及电芯卷绕机
CN202652137U (zh) 单片机控制步进电机调速装置
CN203725402U (zh) 一种高速分选装置
CN206271820U (zh) 电芯卷绕驱动装置及电芯卷绕机
CN202603355U (zh) 自动旋转式喂料机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address
CP03 Change of name, title or address

Address after: 100015 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District

Patentee after: North China Science and technology group Limited by Share Ltd.

Address before: 100016 Jiuxianqiao East Road, Beijing, No. 1, No.

Patentee before: BEIJING SEVENSTAR ELECTRONIC Co.,Ltd.

TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20180117

Address after: 100176 No. 8, Wenchang Avenue, Beijing economic and Technological Development Zone

Patentee after: BEIJING NAURA MICROELECTRONICS EQUIPMENT Co.,Ltd.

Address before: 100015 No. 1 East Jiuxianqiao Road, Beijing, Chaoyang District

Patentee before: North China Science and technology group Limited by Share Ltd.