CN103706199A - 过滤器滤材和过滤器滤材的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够防止在撤除了持续地施加的压缩方向上的力之后沿着压缩方向的方向上的尺寸变得短于压缩前的尺寸的过滤器滤材及其制造方法。其特征在于，构成为配置在滤材原材的一面侧的各间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的各间隔保持部隔着各平板部重叠。

Description

过滤器滤材和过滤器滤材的制造方法

技术领域

本发明涉及用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的过滤器滤材及其制造方法，特别是涉及对构成为能够捕集该颗粒的滤材原材进行褶锏加工而成的过滤器滤材。

背景技术

以往，作为在制造半导体、液晶的工厂的无尘室等中使用的过滤器滤材，公知有图5所示那样的过滤器滤材100（参照专利文献1）。该过滤器滤材100是通过对构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材200在多处弯曲而形成为皱襞状而成的。

该过滤器滤材100包括通过使滤材原材200弯曲而形成的多个弯曲部100a、以滤材原材200中的除弯曲部100a之外的区域相对的方式配置而形成的多个平板部100b、以及用于保持相邻的平板部100b、100b彼此的间隔的多个间隔保持部300。

该间隔保持部300由多个肋（bead）部300a形成，肋部300a是通过在滤材原材200的两个面上空开间隔地涂敷粘接剂（热熔胶等）而形成的。具体地讲，间隔保持部300是通过在滤材原材200的一面侧中的各平板部100b之间及另一面侧中的各平板部100b之间将形成于各平板部100b的肋部300a彼此接合而形成的。也就是说，间隔保持部300形成在滤材原材200的一面侧中的各平板部100b之间及另一面侧中的各平板部100b之间。

此外，形成在滤材原材200一面侧的间隔保持部300和形成在另一面侧的间隔保持部300构成为隔着平板部100b而不会重叠。具体地讲，滤材原材200的一面侧的间隔保持部300沿着弯曲部100a空开间隔地配置有多个，滤材原材200的另一面侧的间隔保持部300配置在相邻的一面侧的间隔保持部300、300之间。由此，与在平板部100b的整个区域中形成肋部300a来形成间隔保持部300的情况相比，粘接剂的使用量降低。

另外，有时对上述那样的过滤器滤材100施加使平板部100b彼此的间隔缩窄这样的力（具体地讲，沿着与平板部100b交叉的方向压缩过滤器滤材100的力）（以下也记作压缩方向上的力）。例如，在过滤器滤材100收容在袋体中的情况下，有时成为利用袋体对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态。此外，在以平板部100b成为大致水平的状态的方式保管过滤器滤材100的情况下，成为利用自重对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态。

而且，若维持对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态，则有可能使过滤器滤材100固定成平板部100b彼此的间隔较窄的状态。

具体地讲，在被施加压缩方向上的力之前的过滤器滤材100中，如图6的（a）所示，利用间隔保持部300保持着平板部100b彼此的间隔，但通过对过滤器滤材100施加压缩方向上的力，如图6的（b）所示，滤材原材200的一面侧的间隔保持部300和滤材原材200的另一面侧的间隔保持部300会沿着压缩方向接近。由此，在各平板部100b中产生变形，各平板部100b彼此的间隔变窄。而且，若对过滤器滤材100施加有压缩方向上的力的状态持续下去，则有可能各平板部100b的形状不会恢复为变形之前的状态（对过滤器滤材100施加压缩方向上的力之前的状态）而固定成平板部100b彼此的间隔较窄的状态。

这样，若各平板部100b彼此的间隔变窄，则过滤器滤材100的沿着压缩方向的方向上的尺寸变得短于期望的尺寸。因此，例如在将过滤器滤材100安装在模板上而形成过滤器单元时，在过滤器滤材100和模板之间产生间隙，成为密闭性不良的过滤器单元。此外，由于各平板部100b之间的间隔变窄，也有可能导致过滤器滤材100的压力损失变大。

专利文献1：日本特开平09－313856号公报

发明内容

因此，本发明的课题在于，提供能够防止在撤除了持续地施加的压缩方向上的力时沿着压缩方向的方向上的尺寸变得短于压缩前的尺寸的过滤器滤材及其制造方法。

本发明的过滤器滤材包括：

多个弯曲部，该多个弯曲部是通过将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材弯曲成皱襞状而形成的；

多个平板部，该多个平板部是通过将滤材原材中的除弯曲部之外的区域以相对的方式配置而形成的；以及

多个间隔保持部，多个间隔保持部构成为配置在滤材原材的一面侧中的各平板部和另一面侧中的各平板部之间而用于保持相邻的弯曲部彼此的间隔，

该过滤器滤材的特征在于，

构成为配置在滤材原材的一面侧的各间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的各间隔保持部隔着各平板部重叠。

采用该技术方案，通过配置在滤材原材的一面侧的间隔保持部（以下也记作一面侧间隔保持部）和配置在滤材原材的另一面侧的间隔保持部（也记作另一面侧间隔保持部）隔着平板部重叠，在对过滤器滤材施加有压缩方向上的力时，也能够防止各平板部的变形，能够防止各平板部彼此的间隔缩窄。

具体地讲，通过一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部隔着平板部重叠，在对过滤器滤材施加有压缩方向上的力时，也能够防止一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部沿着压缩方向接近。由此，能够防止位于一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部之间的平板部变形，能够防止平板部彼此的间隔变窄。由此，能够防止过滤器滤材中的沿着压缩方向的方向上的尺寸变短。

此外，优选的是，构成为配置在滤材原材的一面侧的间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的间隔保持部在平板部的中央部隔着平板部重叠。

采用该技术方案，能够更有效地防止在对过滤器滤材施加有压缩方向上的力时产生的平板部的变形。因此，能够更有效地保持过滤器滤材的沿着压缩方向的方向上的尺寸。

具体地讲，平板部的中央部（具体地讲是连接于一个平板部的一对弯曲部之间的中央部、或者弯曲部的延伸的方向上的中央部）的刚性低于平板部的外周部的刚性。因此，在对过滤器滤材施加有压缩方向上的力时，平板部的中央部易于变形。因此，通过一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部在平板部的中央部隔着平板部重叠，能够像上述那样有效地防止平板部的变形。由此，能够更有效地保持过滤器滤材的沿着压缩方向的方向上的尺寸。

优选的是，配置在滤材原材的一面侧的各间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的各间隔保持部以与直线状地延伸的弯曲部交叉的方式沿着平板部形成为直线状，

从弯曲部和平板部的连结位置到各间隔保持部的一端部为止的长度大于一个平板部中的与一对弯曲部的连结位置之间的长度的50%。

采用该技术方案，通过从弯曲部和平板部的连结位置到各间隔保持部的一端部为止的长度大于平板部中的与一对弯曲部的连结位置之间的长度的50%，一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部在平板部的中央部隔着平板部重叠。此外，由于一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部从与弯曲部交叉的位置连续配置到平板部的中央部，因此，平板部的位于一面侧间隔保持部和另一面侧间隔保持部之间的部分的刚性上升，能够进一步抑制平板部的变形。

本发明的过滤器滤材的制造方法中的过滤器滤材包括：

多个弯曲部，多个弯曲部是通过将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材弯曲成皱襞状而形成的；

多个平板部，多个平板部是通过将滤材原材中的除弯曲部之外的区域以相对的方式配置而形成的；以及

多个间隔保持部，多个间隔保持部构成为配置在滤材原材的一面侧中的各平板部和另一面侧中的各平板部之间而用于保持相邻的弯曲部彼此的间隔，

该过滤器滤材的制造方法的特征在于，

在上述滤材原材中的用于形成各平板部的区域的两个面上以隔着滤材原材重叠的方式配置了粘接剂之后，使滤材原材弯曲成皱襞状而形成多个弯曲部和多个平板部，并且，在滤材原材的一面侧中的各平板部之间将滤材原材的一面侧的粘接剂彼此接合并在滤材原材的另一面侧中的各平板部之间将滤材原材的另一面侧的粘接剂彼此接合，从而以隔着各平板部重叠的方式在滤材原材的一面侧和另一面侧形成间隔保持部。

像以上那样，采用本发明，能够防止在撤除了持续地施加的压缩方向上的力时沿着压缩方向的方向上的尺寸变得短于压缩前的尺寸。

附图说明

图1是表示本实施方式的过滤器滤材的立体图。

图2是表示该实施方式的滤材原材的立体图和局部放大图。

图3的（a）是利用与平板部交叉的面剖切该实施方式的过滤器滤材而成的剖视图，图3的（b）是利用沿着过滤器滤材的长度方向及宽度方向延伸的面剖切间隔保持部重叠部而成的剖视图。

图4的（a）是表示另一实施方式的过滤器滤材的间隔保持部的剖视图，图4的（b）是表示又一个实施方式的过滤器滤材的间隔保持部的剖视图。

图5是表示以往的过滤器滤材的立体图。

图6的（a）、图6的（b）是利用与各平板部交叉的面剖切图5中的过滤器滤材而成的剖视图，其中，图6的（a）是表示在对过滤器滤材施加压缩方向上的力之前的状态的剖视图，图6的（b）是表示对过滤器滤材施加有压缩方向上的力的状态的剖视图。

附图标记说明

1、过滤器滤材；1a、弯曲部；1b、平板部；2、滤材原材；2a、多孔质层；2b、基材层；3、间隔保持部；3a、肋部；A1、弯曲预定区域；A2、平板部预定区域；B1、间隔保持部重叠部。

具体实施方式

下面，参照图1～图3说明本发明的实施方式。另外，在以下的附图中，对相同或者相当的部分标注相同的参照附图标记，不重复其说明。

如图1所示，本实施方式的过滤器滤材1包括：多个弯曲部1a，该多个弯曲部1a是通过使构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材2弯曲成皱襞状（以下也记作褶锏加工）而形成的；多个平板部1b，该多个平板部1b是通过将滤材原材2中的除弯曲部1a之外的区域以相对的方式配置而形成的；以及多个间隔保持部3，该多个间隔保持部3构成为配置在滤材原材2的一面侧中的各平板部1b之间和另一面侧中的各平板部1b之间而保持相邻的弯曲部1a、1a彼此的间隔。

如图2所示，上述滤材原材2在弯曲成皱襞状之前的状态下形成为一个方向成为纵向的平面状。另外，滤材原材2既可以构成为通过自以一个方向成为纵向的方式形成为长条状且被卷起的状态放卷而成为平面状，也可以是以一个方向成为纵向的方式形成为平面状的单片体。

此外，滤材原材2包括用于捕集被过滤气体所含有的颗粒的多孔质层2a、和具有透气性且层叠于该多孔质层2a的基材层2b。在本实施方式中，滤材原材2包括多个（具体地讲是两个）多孔质层2a，在多孔质层2a彼此之间配置有基材层2b。这样，通过使用多个多孔质层2a形成滤材原材2，与由单一的多孔质层2a形成滤材原材2的情况相比，能够抑制压力损失、捕集效率产生偏差。此外，由于能够抑制贯通滤材原材2这样的针孔的形成，因此，能够得到无泄漏的构造的滤材原材2。

使用构成为能够捕集上述颗粒的多孔质的片材（以下也记作多孔质片）形成上述多孔质层2a。作为该多孔质片，并没有特别的限定，能够根据过滤器滤材1的用途而适当选择。例如可以使用通过将聚四氟乙烯（PTFE）形成为片状而成的PTFE片。作为该PTFE片的形成方法，例如可以采用下述的方法。

具体地讲，向PTFE细粉中添加液状润滑剂而形成膏状的混合物。作为PTFE细粉，并没有特别的限定，例如可以使用聚四氟乙烯（polyflon）F－104（大金工业公司制造）、氟纶（fluon）CD－123（旭·ICI Fluoropolymers公司制造）、特氟隆6J（三井·杜邦氟化工公司制造）等。作为液状润滑剂，并没有特别的限定，只要能够对混合物表面赋予适度的润湿性即可，若液状润滑剂能够利用提取处理、加热处理而被除去，则特别优选。例如除了流体石蜡、石脑油、白油、甲苯、二甲苯等烃油之外，还可采用乙醇类、酮类、酯类和它们中的两类以上的混合物等作为液状润滑剂。作为液状润滑剂的添加量，并没有特别的限定，能够根据PTFE细粉和液状润滑剂的种类、PTFE片的成形方法来适当地调整。具体地讲，作为液状润滑剂的添加量，优选的是，相对于PTFE细粉100重量份为5重量份～50重量份。

然后，对由PTFE细粉和液状润滑剂构成的上述混合物进行预成形而制作预成形体。具体地讲，通过将上述混合物挤出成形为棒状来制作预成形体。优选的是，在液状润滑剂不会自混合物分离的程度的压力下进行该预成形。

接着，通过将得到的预成形体挤出成形、轧制成形而成形为片状。具体地讲，能够列举出将预成形体供给到一对辊之间来进行轧制而形成为片状的方法、将预成形体挤出成形为片状的方法、或者将预成形体挤出成形为片状并该片状的材料进一步供给到一对辊之间来进行轧制而形成为片状的方法等。作为得到的片状的成形体的厚度，并没有特别的限定，例如优选为0.05mm～0.5mm。

接着，通过将得到的片状的成形体单轴拉伸或者双轴拉伸而使该片状的成形体多孔质化，成为PTFE片。在本实施方式中，将片状的成形体沿着纵向方向拉伸，并且也沿着与纵向方向正交的宽度方向拉伸（双轴拉伸）。另外，优选的是，在将片状的成形体拉伸之前自该成形体除去液状润滑剂。作为除去液状润滑剂的方法，可以采用将该成形体加热的方法（加热法）、将该成形体浸渍在溶剂中来提取液状润滑剂的方法（提取法）。

在将片状的成形体沿着纵向方向拉伸时，拉伸倍率较大的方式能够促进该成形体的原纤化而易于使该成形体多孔质化。作为拉伸倍率，例如优选为10倍～30倍。此外，作为拉伸该成形体时的温度条件，并没有特别的限定，例如为150℃以上且小于327℃。

通过将沿着纵向方向拉伸后的片状的成形体沿着宽度方向拉伸，有效地使该成形体原纤化，能够得到孔径的偏差较小的PTFE片。作为将片状的成形体沿着宽度方向拉伸的条件，并没有特别的限定，例如拉伸倍率优选为20倍～100倍。此外，优选的是，将片状的成形体沿着宽度方向拉伸至以宽度方向上的拉伸倍率与之前的纵向方向上的拉伸倍率之积表示的面积拉伸倍率为450倍以上。面积拉伸倍率越大，越能够进一步促进原纤化，能够得到PF值越大的多孔质的PTFE片。此外，作为拉伸温度，并没有特别的限定，例如优选为40℃～100℃。

像以上那样形成的PTFE片具有压力损失为50mmH₂O以下、捕集效率为99.9%以上的优异的特性。特别是，在面积拉伸倍率为450倍以上的情况下，压力损失降低到小于20mmH₂O而捕集效率不会大幅度降低，并且PF值为22以上，成为极为优异的性能的多孔质的PTFE片。此外，得到的各PTFE片之间的压力损失的偏差也变小。因此，成为运行成本较低且显示出极为优异的除尘性能的多孔质的PTFE片。

另外，为了获得强度提升、尺寸稳定性，也可以进一步对像以上那样得到的PTFE片进行热处理（烧制处理）。通常，在PTFE烧结体的熔点以上使PTFE片的尺寸固定而对PTFE片进行热处理。此外，利用该热处理，能够降低压力损失。因此，在PTFE片的PF值为22以上、显示压力损失为20mmH₂O以上的情况下，也能够利用该热处理使压力损失降低到小于20mmH₂O。

优选的是，像以上那样形成的PTFE片在利用差示扫描量热计得出的结晶熔解曲线上的345±5℃的温度区域中具有吸热峰值。此外，优选该PTFE片的结晶转化率为0.25～0.85。此外，优选该PTFE片的比重（用质量除以表观体积而得到的“表观比重”）为1.4以下。

上述基材层2b由具有透气性的片材（以下也记作透气性片）形成。作为透气性片，并没有特别的限定，例如能够列举出无纺布、纺布、筛网等。特别是，在使多孔质层2a（多孔质层片）和基材层2b（透气性片）热熔接（热层压）的情况下，优选为由具有热塑性的原材料构成的透气性片。

作为透气性片的材质，例如能够列举出聚乙烯、聚丙烯等聚烯烃、尼龙、聚酯、芳纶（具体地讲是芳香族系聚酰胺等）、或者将它们复合而成的材质（例如由芯／鞘构造的纤维构成的无纺布、低熔点材料和高熔点材料的双层无纺布等）。除此之外，作为透气性片的材质，例如能够列举出PFA（四氟乙烯／全氟烷基乙烯基醚共聚物）、FEP（四氟乙烯／六氟丙烯共聚物）、PTFE的多孔质膜等氟系多孔膜。

特别是，能够列举出由芯鞘构造的复合纤维且是芯成分的熔点高于鞘成分的熔点的合成纤维构成的无纺布、利用由低熔点材料和高熔点材料这两层构成的无纺布等构成的透气性片。通过使用这样的无纺布，能够抑制在将多孔质层2a（多孔质层片）和基材层2b（透气性片）热层压时在基材层2b中产生收缩。此外，通过使用该无纺布，滤材原材2在被进行褶锏加工时的加工性良好，能够增加滤材原材2的可弯曲的部位（折入间距减小）。

作为上述那样的滤材原材2的形成方法，并没有特别的限定，例如也可以是如下的方法：在用于形成多孔质层2a的多孔质片和用于形成基材层2b的透气性片之间配置热熔胶、压敏型粘接剂，将多孔质片和透气性片压接。或者，也可以是将透气性片在被加热而软化了的状态下与多孔质片压接（热层压）的方法。

在使用像上述那样构成的滤材原材2形成过滤器滤材1时，首先，对滤材原材2进行褶锏加工。具体地讲，将滤材原材2沿着与一个方向（纵向方向）正交的宽度方向在多处弯曲而形成为皱襞状。由此，在滤材原材2中形成过滤器滤材1中的弯曲部1a和平板部1b。另外，在以下的说明中，滤材原材2中的用于形成弯曲部1a的区域被作为弯曲预定区域A1。

接着，在滤材原材2的两个面上涂敷粘接剂形成肋部3a。具体地讲，将形成为皱襞状的滤材原材2拉伸为褶锏加工前的平坦状态，并在滤材原材2的两个面上涂敷粘接剂而形成肋部3a。在滤材原材2的两个面上分别局部地形成肋部3a。具体地讲，形成在滤材原材2的一面侧和另一面侧的肋部（以下也记作一面侧肋部和另一面侧肋部）3a分别沿着滤材原材2的纵向方向空开间隔地形成有多个，并且沿着滤材原材2的宽度方向空开间隔地形成有多个（在本实施方式中是3个）。此外，一面侧肋部3a和另一面侧肋部3a沿着滤材原材2的一个方向（纵向方向）形成在同一直线上。

此外，作为肋部3a的形状，并没有特别的限定，在本实施方式中，沿着滤材原材2的一个方向（纵向方向）形成为线状。此外，肋部3a形成在弯曲预定区域A1中的在形成了弯曲部1a时成为峰侧的面的附近。具体地讲，肋部3a以与滤材原材2中的弯曲预定区域A1交叉的方式形成。在本实施方式中，构成为形成为线状的肋部3a在其大致中央部与弯曲预定区域A1交叉。此外，肋部3a形成在形成了弯曲部1a时成为峰侧的面上。也就是说，构成为相邻的弯曲预定区域A1、A1中的一个弯曲预定区域A1和一面侧肋部3a交叉、并且另一个弯曲预定区域A1和另一面侧肋部3a交叉。

此外，作为从该肋部3a和弯曲预定区域A1的交叉位置到肋部3a的端部为止的长度，并没有特别的限定，优选为肋涂敷长度比率大于50%的长度。肋涂敷长度比率是指，从肋部3a和弯曲预定区域A1的交叉位置到肋部3a的一端部为止的长度相对于相邻的弯曲预定区域A1、A1之间的距离的比例。也就是说，肋部3a从与弯曲预定区域A1的交叉位置形成到超过相邻的弯曲预定区域A1、A1之间的区域A2（即，成为平板部1b的区域A2）（以下记为平板部预定区域A2）的中央部的位置。另外，相邻的弯曲预定区域A1、A1之间的距离是指，沿着滤材原材2的一个方向（纵向方向）连结一个弯曲预定区域A1的中央部和另一个弯曲预定区域A1的中央部的距离。

此外，一面侧肋部3a和另一面侧肋部3a以隔着滤材原材2（具体地讲是平板部预定区域A2）重叠的方式形成。更详细地讲，以分别与相邻的弯曲预定区域A1、A1交叉的一面侧肋部3a和另一面侧肋部3a中的、沿着滤材原材2的一个方向（纵向方向）形成在同一直线上的肋部3a彼此在平板部预定区域A2中隔着滤材原材2重叠的方式形成。此外，一面侧肋部3a和另一面侧肋部3a以位于平板部预定区域A2的内侧的端部彼此隔着滤材原材2重叠的方式形成。此外，作为平板部预定区域A2中的一面侧肋部3a和另一面侧肋部3a重叠的位置，并没有特别的限定，优选为沿着滤材原材2的一个方向（纵向方向）的方向上的大致中央部。

作为用于构成肋部3a的粘接剂，并没有特别的限定，例如能够列举出热熔胶。作为将热熔胶涂敷在滤材原材2上时的温度，根据热熔胶的成分而不同，例如优选为100℃～250℃，更优选为140℃～230℃。

然后，将像上述那样形成有肋部3a的滤材原材2在各弯曲预定区域A1中再次弯曲而形成为皱襞状。由此，如图3的（a）所示，形成多个弯曲部1a和多个平板部1b，并且，各肋部3a中的位于各平板部1b之间的部位彼此接合而形成间隔保持部3，从而形成过滤器滤材1。因此，在使用热熔胶作为用于构成肋部3a的粘接剂的情况下，优选的是，在热熔胶软化到热熔胶彼此能够接合的程度时（敞露时间内）将滤材原材2再次形成为皱襞状。

另外，在以下的说明中，将过滤器滤材1中的与滤材原材2的一个方向（纵向方向）相当的方向上的尺寸设为过滤器滤材1的长度L1。此外，将过滤器滤材1中的与滤材原材2的另一个方向（宽度方向）相当的方向上的尺寸设为过滤器滤材1的宽度L2。此外，将以滤材原材2的一面侧成为峰侧的方式形成的弯曲部1a和以滤材原材2的另一面侧成为峰侧的方式形成的弯曲部1a之间的间隔设为过滤器滤材1的高度L3。

在像上述那样形成的过滤器滤材1中，在滤材原材2的一面侧和另一面侧分别形成有间隔保持部3。此外，各间隔保持部3从过滤器滤材1的高度L3方向上的一侧朝向另一侧形成为直线状。此外，如图3的（a）、图3的（b）所示，过滤器滤材1的一面侧的各间隔保持部3（以下也记作一面侧间隔保持部3）和另一面侧的各间隔保持部3（以下也记作另一面侧间隔保持部3）沿着过滤器滤材1的长度方向（具体地讲是在沿着长度方向延伸的直线上）交替地排列。

而且，一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3以隔着平板部1b重叠的方式形成。具体地讲，一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3以它们位于平板部1b的中央侧的端部彼此隔着平板部1b重叠的方式形成。此外，一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3构成为在过滤器滤材1的高度L3方向上的大致中央部隔着平板部1b重叠。具体地讲，构成为从弯曲部1a和平板部1b的连结位置到各间隔保持部3的一端部为止的长度大于一个平板部1b中的与一对弯曲部1a、1a的连结位置之间的长度的50%。由此，构成为一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3在过滤器滤材1的高度L3方向上的大致中央部重叠。

通过像上述那样使一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3重叠，沿着过滤器滤材1的长度方向形成各间隔保持部3隔着平板部1b重叠的部位（以下也记作间隔保持部重叠部）B1。如图3的（a）所示，该间隔保持部重叠部B1形成在过滤器滤材1的高度L3方向上的大致中央部。此外，如图3的（b）所示，间隔保持部重叠部B1在过滤器滤材1的宽度L2方向上空开间隔地形成有多个（具体地讲是3处）。在过滤器滤材1的宽度L2方向上的各间隔保持部重叠部B1之间未形成间隔保持部3，在平板部1b之间形成有空间。

具有上述结构的过滤器滤材1可以被以平板部1b与被过滤气体的流动方向交叉的方式配置而被使用。由此，被过滤气体主要会透过平板部1b。此外，也可以在以该过滤器滤材1的外形（从高度L3方向看到的形状）成为预定的形状的方式形成该过滤器滤材1之后将该过滤器滤材1收容在框体（未图示）中而作为过滤器单元来使用。作为该框体的形状，只要是能够收容过滤器滤材1的形状，就没有特别的限定，例如能够列举出内尺寸为1180mm×1180mm、外尺寸为1220mm×1220mm、厚度为75mm的长方体状、具有预定的内径的圆形形状等。此外，作为框体的材质，并没有特别的限定，可以使用铝制的材料。

在过滤器滤材1和框体之间填充有敛缝剂。作为该敛缝剂，例如能够列举出二液环氧敛缝剂（具体地讲是汉高公司制造将Macroplast8104MC－18和Macroplast UK5400以3：1的比例混合而成的二液环氧敛缝剂）。此外，该过滤器滤材1适合用作无尘室等的HEPA（High Efficiency Particulate Air：高效空气过滤器）过滤器、和ULPA（Ultra Low Penetration Air：超高效空气过滤器）过滤器。

像以上那样，采用本发明的过滤器滤材及其制造方法，在撤除了持续地施加的压缩方向上的力时，能够防止沿着压缩方向的方向上的尺寸变得短于压缩之前的尺寸。

即，上述过滤器滤材1通过一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3隔着平板部1b重叠，在对过滤器滤材1施加有压缩方向上的力时，也能够防止各平板部1b的变形，能够防止各平板部1b彼此的间隔缩窄。

具体地讲，通过一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3隔着平板部1b重叠，能够防止一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3沿着压缩方向接近。由此，能够防止位于一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3之间的平板部1b变形，能够防止各平板部1b彼此的间隔缩窄。由此，能够防止过滤器滤材1的沿着压缩方向的方向上的尺寸（长度L1方向上的尺寸）变短。

此外，平板部1b的中央部（具体地讲是与一个平板部1b相连的一对弯曲部1a、1a之间的中央部、或者弯曲部1a所延伸的方向上的中央部）的刚性低于平板部1b的外周部的刚性。因此，在对过滤器滤材1施加有压缩方向上的力时，平板部1b的中央部易于变形。因此，通过一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3在平板部1b的中央部隔着平板部1b重叠，能够像上述那样有效地防止平板部1b的变形。

此外，通过从弯曲部1a和平板部1b的连结位置到各间隔保持部3的一端部为止的长度大于一个平板部1b中的与一对弯曲部1a、1a的连结位置之间的长度的50%，一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3在平板部1b的中央部会隔着平板部1b重叠。此外，由于一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3从与弯曲部1a交叉的位置形成到平板部1b的中央部，因此，平板部1b的位于一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3之间的部分的刚性上升，能够进一步抑制平板部1b的变形。

另外，本发明的过滤器滤材及其制造方法并不限定于上述实施方式，能够在不脱离本发明的主旨的范围内进行各种变更。此外，不言而喻，也可以任意地采用上述的多个实施方式的结构、方法等来进行组合（也可以将1个实施方式的结构、方法等应用于另一个实施方式的结构、方法等），并且，也可以任意地选择下述的各种变更例的结构、方法等并将其应用于上述的实施方式的结构、方法等。

例如，在上述实施方式中，以肋部3a与弯曲部1a交叉的方式形成了肋部3a，但并不限定于此，如图4的（a）所示，也可以仅由用于形成间隔保持部3’的部分形成肋部3a’。或者，如图4的（b）所示，也可以仅由用于构成过滤器滤材1的间隔保持部重叠部B1的部分构成肋部3a’’和间隔保持部3’’。

此外，在上述实施方式中，间隔保持部3沿着弯曲部1a空开间隔地形成有多个，但并不限定于此，也可以沿着弯曲部1a一体地形成。

此外，在上述实施方式中，滤材原材2沿着宽度方向在多处弯曲，但并不限定于此，也可以是，使被形成为单片体状的滤材原材以放射线状在多处弯曲而形成圆锥状的过滤器滤材。

此外，在上述实施方式中，使用由多孔质层2a和基材层2b构成的滤材原材2构成过滤器滤材1，但并不限定于此，例如也可以使用仅由多孔质层2a形成的滤材原材。此外，在上述实施方式中，使用多个多孔质层2a形成滤材原材2，但并不限定于此，也可以仅由单一的多孔质层2a和基材层2b形成滤材原材。

此外，在上述实施方式中，一面侧间隔保持部3（一面侧肋部3a）和另一面侧间隔保持部3（另一面侧肋部3a）构成为它们位于平板部1b（平板部预定区域A2）的中央部侧的端部彼此重叠，但并不限定于此，例如也可以构成为它们位于平板部1b（平板部预定区域A2）的内侧的部位整体彼此重叠。

此外，在上述实施方式中，构成为一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3在平板部1b的高度L3方向上的大致中央部重叠，但并不限定于此，也可以构成为一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3在自平板部1b的中央部向平板部1b的外周侧偏离的位置重叠。

实施例

下面，说明本发明的实施例。

制作过滤器滤材

1.多孔质片

作为多孔质片，使用了PTFE片。具体地讲，相对于PTFE细粉（大金工业公司制造商品名称：F104）100重量份，添加液状润滑剂（Normal Decane）19重量份而形成膏状的混合物。然后，通过在将该混合物预成形之后将该混合物挤出成形，形成了一个方向成为纵向的平板状的成形体。之后，将该平板状的成形体轧制为0.2mm的厚度。然后，为了自平板状的成形体除去液状润滑剂，在干燥炉内以150℃对该成形体进行加热。之后，将平板状的成形体在280℃的环境下沿着纵向方向拉伸15倍，并且在100℃的环境下沿着与纵向方向正交的宽度方向拉伸15倍，形成了PTFE片。

2.透气性片

作为透气性片，使用了以一个方向成为纵向的方式形成的PET／PE芯鞘无纺布（尤妮佳公司制造商品名称：T1003WDO）。

3.制作滤材原材

以上述多孔质片的纵向方向和透气性片的纵向方向大致平行的方式在透气性片的两个面上层叠多孔质片的同时，将上述多孔质片和上述透气性片输送到一对辊构件（热辊和支承辊）之间。由此，将多孔质片和透气性片热封而粘合，制作图2所示那样的滤材原材2。另外，作为各辊构件，使用了外径为200mm的构件。此外，各片的输送速度为10m／min，粘合时的压力为0.8MPa。

4.褶锏加工

在对得到的滤材原材2进行了褶锏加工之后，如图2所示那样形成了肋部3a。然后，制作了图1和图3所示那样的过滤器滤材1。作为用于形成肋部3a的粘接剂（热熔胶），使用了汉高公司制造的Macromelt6202（聚酰胺系）、或者汉高公司制造的Technomelt Q3115（EVA系）。

实施例1

过滤器滤材

利用上述方法制作了过滤器滤材1，使该的长度L1为1298mm、宽度L2为1180mm、高度L3为35mm。另外，用于形成肋部3a的粘接剂（热熔胶）和肋涂敷长度比率表示在下述表1中。

测定收缩率

以得到的过滤器滤材1的平板部1b大致水平（换言之，过滤器滤材1的长度L1方向大致铅垂）的方式将过滤器滤材1配置成平面状。然后，从上方沿着长度L1方向对过滤器滤材1施加3kg的负荷。

然后，测定了被施加了负荷后的过滤器滤材1的长度L1。根据得到的测定结果和下述（2）式计算出收缩率。计算出的收缩率表示在下述表1中。

收缩率（%）＝｛（负荷前的过滤器滤材的长度－负荷后的过滤器滤材的长度）／负荷前的过滤器滤材的长度｝×100···（2）

过滤器单元的密封性

将得到的过滤器滤材1收容在框体中而制作了过滤器单元。具体地讲，将过滤器滤材1收容在内尺寸为1180mm×1180mm、外尺寸为1220mm×1220mm、厚度为75mm的铝制的框体中。然后，向过滤器滤材1和框体之间填充敛缝剂而制作了过滤器单元。作为敛缝剂，使用了二液环氧敛缝剂（具体地讲是汉高公司制造将Macroplast8104MC－18和MacroplastUK5400以3：1的比例混合而成的二液环氧敛缝剂）。

在制作过滤器单元时，将在过滤器滤材1和框体之间未形成间隙情况设为“○”、将在过滤器滤材1和框体之间形成有间隙的情况设为“×”，评价了过滤器单元的密封性。评价结果表示在下述表1中。

实施例2～6、比较例1和比较例2

使用下述表1所示的粘接剂作为形成肋部3a的粘接剂（热熔胶），并且肋涂敷长度比率如下述表1所示，除此之外，在与实施例1相同的条件下制作了过滤器滤材1和过滤器单元，并测定了收缩率。收缩率和过滤器单元的密封性的评价表示在下述表1中。

表1

总结

根据各实施例和各比较例的比较，看出各实施例的收缩率低于各比较例的收缩率。其原因在于，通过像各实施例那样肋涂敷长度比率为50%以上，成为一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3在平板部1b的大致中央部隔着平板部1b重叠的状态，沿着过滤器滤材1的长度L1方向形成有间隔保持部重叠部B1。由此，在对过滤器滤材1施加有负荷（压缩方向上的力）时，也利用间隔保持部重叠部B1支承该负荷，能够抑制在平板部1b中产生变形。因此，能够维持平板部1b彼此的间隔，能够抑制过滤器滤材1的收缩。

也就是说，能够看出，通过将一面侧间隔保持部3和另一面侧间隔保持部3以隔着平板部1b重叠的方式形成，能够抑制过滤器滤材1的收缩。

Claims (4)

1.一种过滤器滤材，其包括：

多个弯曲部，多个弯曲部是通过将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材弯曲成皱襞状而形成的；

多个平板部，多个平板部是通过将滤材原材中的除弯曲部之外的区域以相对的方式配置而形成的；以及

多个间隔保持部，多个间隔保持部构成为配置在滤材原材的一面侧中的各平板部和另一面侧中的各平板部之间而用于保持相邻的弯曲部彼此的间隔，

该过滤器滤材的特征在于，

构成为配置在上述滤材原材的一面侧的各间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的各间隔保持部隔着各平板部重叠。

2.根据权利要求1所述的过滤器滤材，其特征在于，

构成为配置在滤材原材的一面侧的间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的间隔保持部在平板部的中央部隔着平板部重叠。

3.根据权利要求1或2所述的过滤器滤材，其特征在于，

配置在滤材原材的一面侧的各间隔保持部和配置在滤材原材的另一面侧的各间隔保持部以与直线状地延伸的弯曲部交叉的方式沿着平板部形成为直线状，

从弯曲部和平板部的连结位置到各间隔保持部的一端部为止的长度大于一个平板部中的与一对弯曲部的连结位置之间的长度的50%。

4.一种过滤器滤材的制造方法，该过滤器滤材包括：

多个弯曲部，多个弯曲部是通过将构成为能够捕集被过滤气体所含有的颗粒的滤材原材弯曲成皱襞状而形成的；

多个平板部，多个平板部是通过将滤材原材中的除弯曲部之外的区域以相对的方式配置而形成的；以及

多个间隔保持部，多个间隔保持部构成为配置在滤材原材的一面侧中的各平板部和另一面侧中的各平板部之间而用于保持相邻的弯曲部彼此的间隔，

该过滤器滤材的制造方法的特征在于，

在上述滤材原材中的用于形成各平板部的区域的两个面上以隔着滤材原材重叠的方式配置了粘接剂之后，使滤材原材弯曲成皱襞状而形成多个弯曲部和多个平板部，并且，在滤材原材的一面侧中的各平板部之间将滤材原材的一面侧的粘接剂彼此接合并在滤材原材的另一面侧中的各平板部之间将滤材原材的另一面侧的粘接剂彼此接合，从而以隔着各平板部重叠的方式在滤材原材的一面侧和另一面侧形成间隔保持部。

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