CN103558224A

CN103558224A - 自动光学检测方法及设备

Info

Publication number: CN103558224A
Application number: CN201310573849.3A
Authority: CN
Inventors: 葛永利; 齐勤瑞
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Beijing BOE Display Technology Co Ltd
Priority date: 2013-11-14
Filing date: 2013-11-14
Publication date: 2014-02-05
Anticipated expiration: 2033-11-14
Also published as: CN103558224B

Abstract

本发明实施例公开了一种自动光学检测方法及设备，涉及显示技术领域，能够在自动光学检测过程中，避免出现光强和待检测基板不适应的情况，从而保证自动检测结果的准确性。本发明实施例提供的自动光学检测方法，包括：在待检测基板上形成动态光强标记，所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分；根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强，所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强；利用所述检测光强对所述待检测基板进行检测。本发明实施例还提供了一种适用于上述自动光学检测方法的自动光学检测设备。

Description

自动光学检测方法及设备

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种自动光学检测方法及设备。

背景技术

自动光学检测方法是利用光学方式获得待检测基板的表面状态，通过影像处理来检出异物或者图像异常等缺陷的一种检测方法。自动光学检测设备主要包括光源和电荷耦合元件（Charge-coupled Device，简称CCD）等多个结构。使用自动光学检测设备进行自动光学检测时，使用光源对待检测基板照射，通过CCD扫描待检测基板，获得待检测基板的图像信息，将待检测基板的图像信息与合格基板的图像信息进行比较，从而分析待检测基板上是否存在缺陷。

发明人发现，现有技术中，在自动光学检测过程中，当光源使用时间较长，光强发生变化时，或者待检测基板的材料规格等发生变化时，容易出现光强和待检测基板不适应的情况，从而影响检测结果的准确性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种自动光学检测方法及设备，能够在自动光学检测过程中，避免出现光强和待检测基板不适应的情况，从而保证自动检测结果的准确性。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种自动光学检测方法，该自动光学检测方法采用如下技术方案：

所述自动光学检测方法，包括：

在待检测基板上形成动态光强标记，所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分；

根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强，所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强；

利用所述检测光强对所述待检测基板进行检测。

所述样品标记部分包括第一彩色滤色层和第一遮光层；

所述基准标记部分包括第二遮光层。

所述动态光强标记的图像信息包括所述动态光强标记的像素值。

所述根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强，所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强包括：连续调节光强，直至获取使得所述基准标记部分的像素值最大的对应光强作为检测光强。

所述在待检测基板上形成动态光强标记包括：在所述待检测基板的非显示区域上形成动态光强标记，所述非显示区域在后期制作过程中被去除。

本发明实施例提供了一种如上所述的自动光学检测方法，该自动光学检测方法在对待检测基板进行检测之前，首先利用动态光强标记获取检测光强，然后使用检测光强对待检测基板进行检测。当光源使用时间较长，光强发生变化时，或者待检测基板的材料规格等发生变化时，通过对待检测基板检测之前获得检测光强的方法，有效地保证了光强和待检测基板相适应，从而能够提高测试结果的准确性。

为了进一步解决上述技术问题，本发明实施例还提供了一种自动光学检测设备，所述自动光学检测设备包括：

图像信息获取模块，所述图像信息获取模块用于获取待检测基板的动态光强标记的图像信息，其中，所述动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分；

检测光强获取模块，所述检测光强获取模块用于根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强，所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强。

所述图像信息获取模块包括光电耦合元件。

所述检测光强获取模块包括光强自动调整元件，所述光强自动调整元件用于实现光源的光强的连续变化。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种自动光学检测方法流程图；

图2为本发明实施例提供的动态光强标记的示意图；

图3为本发明实施例提供的动态光强标记在待检测基板上的分布示意图；

图4为本发明实施例提供的一种动态光强标记制作流程图；

图5为本发明实施例提供的图2所示的动态光强标记沿A-A’方向的截面图；

图6为本发明实施例提供的另一种动态光强标记制作流程图；

图7为本发明实施例提供的阵列基板的示意图；

图8为本发明实施例提供的图7所示的阵列基板沿A-A’方向的截面图；

图9为本发明实施例提供的光强大小与像素值的关系示意图；

图10为本发明实施例提供的自动光学检测设备示意图。

附图标记说明：

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一

本发明实施例提供了一种自动光学检测方法，具体流程如图1所示，该自动光学检测方法包括：

步骤S101、在待检测基板上形成动态光强标记，动态光强标记包括样品标记部分和基准标记部分。

步骤S102、根据动态光强标记的图像信息获取检测光强，检测光强为使得基准标记部分最明显的光强。

步骤S103、利用检测光强对待检测基板进行检测。

具体地，上述自动光学检测方法的步骤可以如下：

如图2所示，动态光强标记1包括样品标记部分2和基准标记部分3。样品标记部分2包括第一彩色滤色层21和第一遮光层22。基准标记部分3相当于人为设置的一个缺陷，基准标记部分3包括第二遮光层，第二遮光层的材质和黑矩阵的材质相同。其中选用第二遮光层作为基准标记部分3的原因在于自动光学检测过程中，第二遮光层的图像信息随着光强大小变化最敏感。

此外，如图3所示，为了不影响显示区域的正常显示，本发明实施例优选在待检测基板的非显示区域上形成动态光强标记1，非显示区域在后期制作过程中被去除。进一步地，如图3所示，可以将动态光强标记1设置于待检测基板上垂直于检测基板移动方向（图3中箭头所示）的一边上，以便在自动光学检测过程中更加方便快速的检测到动态光强标记1。

在实际检测过程中，待检测基板可以为彩膜基板，也可以为设置有彩色滤色层的阵列基板。具体地，当待检测基板为彩膜基板时，在待检测基板上形成包括样品标记部分2和基准标记部分3的动态光强标记1的过程具体包括如图4所示的步骤：

步骤S401、在衬底基板上形成彩色滤色层。

如图5所示，可以使用喷墨打印、颜料分散法、印刷等方法在衬底基板4上形成彩色滤色层。其中，由于彩色滤色层包括红色区域、绿色区域和蓝色区域，不同颜色的区域的材质为相应颜色的彩色树脂，三种颜色区域在制作过程中应分三次分别形成。示例性地，先形成红色区域，应在整个衬底基板4上涂布一层红色树脂，使用相应的掩膜板遮盖，进行曝光、显影，得到红色区域；然后在整个衬底基板4上涂布绿色树脂，使用相应的掩膜板遮盖，进行曝光、显影，得到绿色区域；最后在整个衬底基板4上涂布蓝色树脂，使用相应的掩膜板遮盖，进行曝光、显影，最后得到蓝色区域。经过上述过程后，在整个衬底基板4上形成一层包括红色区域、绿色区域和蓝色区域的彩色滤色层。上述制作过程中，红色区域、绿色区域和蓝色区域的制作顺序可以改变，本发明实施例对此不进行限定。

经上述步骤形成的彩色滤色层包括两个部分：位于非显示区域上的第一彩色滤色层21和位于显示区域上的第二彩色滤色层。

步骤S402、在形成了彩色滤色层的衬底基板上形成遮光层。

如图5所示，可以首先在形成了彩色滤色层的衬底基板4上形成一层遮光层所用材料，通常为黑色树脂，然后使用带有所需图案的掩膜板遮盖，经紫外曝光，显影，最后在形成了彩色滤色层的衬底基板上形成了遮光层。

经上述步骤形成的遮光层包括三个部分：位于非显示区域的不作为基准标记部分3的第一遮光层22、位于非显示区域的作为基准标记部分3的第二遮光层和位于显示区域的第三遮光层。

经过上述步骤S401和步骤S402后，形成了动态光强标记1的样品标记部分2和基准标记部分3，其中，样品标记部分2包括第一遮光层22和第一彩色滤色层21，基准标记部分3包括第二遮光层。

需要说明的是，在制作过程中可以如以上所述的步骤先形成彩色滤色层，再形成遮光层，也可以先形成遮光层，再形成彩色滤色层。本发明实施例对此不进行限定。此外，在制作过程中还可以包括其他结构的制作，如透明保护层和透明导电层等。

当待检测基板为设置有彩色滤色层的阵列基板时，在待检测基板上形成动态光强标记之前还包括如图6所示的步骤：

步骤S601、在衬底基板上形成栅极金属层，通过构图工艺，形成包括栅线和栅极的图形。

如图7和图8所示，首先，可以通过溅射、热蒸发等方法在衬底基板4上形成一层栅极金属层。在形成栅极金属层之前，可以在衬底基板4上先形成一层缓冲层。

其次，在栅极金属层上涂覆一层光刻胶，使用具有包括栅线5和栅极6图形的掩膜板进行遮盖，然后曝光、显影、刻蚀，最后剥离光刻胶，形成包括栅线5和栅极6的图形。

步骤S602、在形成的包括栅线和栅极的图形上，形成栅极绝缘层。

可以通过等离子体增强化学气相沉积等方法在栅线5和栅极6的图形上形成栅极绝缘层7。

步骤S603、在形成的栅极绝缘层上，形成半导体薄膜，通过构图工艺形成包括有源层的图形。

首先，可以通过溅射等方法在栅极绝缘层7上形成半导体薄膜。

其次，在半导体薄膜上涂覆一层光刻胶，然后使用具有包括有源层8图形的掩膜板进行遮盖，进行曝光、显影和刻蚀，最后剥离光刻胶，形成包括有源层8的图形。

步骤S604、在形成的包括有源层的图形上，形成源极金属层，通过构图工艺，形成包括数据线和源极的图形。

首先，在形成的包括有源层8的图形上，可以通过溅射、热蒸发等方法形成一层源极金属层。

其次，在形成的源极金属层上涂覆一层光刻胶，然后使用具有包括数据线9和源极10的图形的掩膜板进行遮盖，进行曝光、显影和刻蚀，最后剥离光刻胶，形成包括数据线9和源极10的图形，还可以同时形成漏极11。

步骤S605、在形成的包括数据线和源极的图形上，形成钝化层。

可以通过等离子体增强化学气相沉积等方法在数据线9和源极10的图形上形成一层钝化层12。

此外，在形成动态光强标记1之前还可以根据实际情况在阵列基板上形成其他结构，在形成动态光强标记1之后也可以根据实际情况在阵列基板上形成其他结构，如过孔和像素电极等，本发明实施例对此不进行限定。

具体地，当待检测基板进入自动光学检测设备后，首先，自动光学检测设备检测到动态光强标记1，使光电耦合元件位于动态光强标记正上方；然后，使用电荷耦合元件获得动态光强标记1的图像信息，通常获得的图像信息包括图像的大小，其中图像的大小具体体现为光电耦合元件测得的图像的像素值，图像的像素值越大，图像的大小越大，图像越明显。因此，在自动光学检测过程中，在获得动态光强标记1的图像信息的过程中，连续调节光强，直至获取使得基准标记部分3的像素值最大的对应光强作为检测光强。图9为基准标记部分3的像素值与光强之间的关系示意图，随着光强的增大，基准标记部分3的像素值越来越大，当光强增加到一个数值时，随着光强的继续增加，基准标记部分3的像素值不变或者变化很小（例如，曲线的斜率小于等于0.1）时，则选择该数值大小的光强作为检测光强。

步骤S103、利用检测光强对待检测基板进行检测。

确定好检测光强后，使用该检测光强对待检测基板进行检测。当光源使用时间较长时，待检测基板的材料、规格和特性值等变动时，可以再使用如上所述的步骤找到合适的检测光强再对待检测基板进行检测。

实施例二

本发明实施例还提供了一种自动光学检测设备，如图10所示，该自动光学检测设备包括：图像信息获取模块，图像信息获取模块用于获取待检测基板的动态光强标记1的图像信息，其中，动态光强标记1包括样品标记部分2和基准标记部分3。示例性地，图像信息获取模块包括光电耦合元件，使用图像信息获取模块能够获取包括动态光强标记1的像素值的图像信息。

该自动光学检测设备还包括：检测光强获取模块，检测光强获取模块用于根据动态光强标记1的图像信息获取检测光强，检测光强为使得基准标记部分3最明显的光强。检测光强获取模块包括光强自动调整元件，光强自动调整元件在自动光学检测过程中用于实现光源的光强的连续变化，从而找到使得基准标记部分3最明显的检测光强，即使得基准标记部分3的像素值最大的对应光强。

本发明实施例提供了一种如上所述的自动光学检测设备，使用该自动光学检测设备在自动光学检测过程中，通过检测光强获取模块获取了检测光强，使用检测光强对待检测基板进行检测，避免了出现光强和待检测基板不适应的情况，有效地提高了测试结果的准确性。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种自动光学检测方法，其特征在于，包括：

利用所述检测光强对所述待检测基板进行检测。

2.根据权利要求1所述的自动光学检测方法，其特征在于，

所述样品标记部分包括第一彩色滤色层和第一遮光层；

所述基准标记部分包括第二遮光层。

3.根据权利要求1或2所述的自动光学检测方法，其特征在于，所述动态光强标记的图像信息包括所述动态光强标记的像素值。

4.根据权利要求3所述的自动光学检测方法，其特征在于，所述根据所述动态光强标记的图像信息获取检测光强，所述检测光强为使得所述基准标记部分最明显的光强包括：连续调节光强，直至获取使得所述基准标记部分的像素值最大的对应光强作为检测光强。

5.根据权利要求1所述的自动光学检测方法，其特征在于，所述在待检测基板上形成动态光强标记包括：在所述待检测基板的非显示区域上形成动态光强标记，所述非显示区域在后期制作过程中被去除。

6.一种自动光学检测设备，其特征在于，包括：

7.根据权利要求6所述的自动光学检测设备，其特征在于，所述图像信息获取模块包括光电耦合元件。

8.根据权利要求6所述的自动光学检测设备，其特征在于，所述检测光强获取模块包括光强自动调整元件，所述光强自动调整元件用于实现光源的光强的连续变化。

9.根据权利要求6所述的自动光学检测设备，其特征在于，所述动态光强标记的图像信息包括所述动态光强标记的像素值。