CN103592815B - 一种掩膜板、基板及显示装置 - Google Patents
一种掩膜板、基板及显示装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103592815B CN103592815B CN201310581233.0A CN201310581233A CN103592815B CN 103592815 B CN103592815 B CN 103592815B CN 201310581233 A CN201310581233 A CN 201310581233A CN 103592815 B CN103592815 B CN 103592815B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- transparent area
- mask plate
- substrate
- film layer
- height
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
本发明提供了一种掩膜板、基板及显示装置，涉及显示技术领域，解决了现有的掩膜板形成的彩色膜层其上表面不平整，具有角段差的问题。本发明实施例提供了一种掩膜板，包括全透光区、部分透光区和不透光区，所述不透光区将掩膜板分割成多个阵列排布的曝光单元，每一所述曝光单元包括全透光区和部分透光区，所述部分透光区设置在所述透光区和不透光区之间，其中所述掩膜板的曝光单元对应形成薄膜的图案单元，且所述曝光单元的全透光区对应形成的薄膜的高度大于所述部分透光区对应形成的薄膜的高度。
Description
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩膜板、基板及显示装置。
背景技术
液晶显示器包括阵列基板、彩膜基板以及设置在阵列基板和彩膜基板之间的液晶。其中，如图1所示，彩膜基板包括设置在衬底基板1上的黑矩阵膜层以及彩色膜层（其中，所示黑矩阵膜层包括黑矩阵2，所示彩色膜层包括R(红)、G(绿)、B(蓝)三种不同颜色的彩色图案3。
现有的彩膜基板的制作方法中，首先在衬底基板上形成黑矩阵膜层，再在所述衬底基板上经过涂布薄膜、曝光、显影、刻蚀以及剥离等工序形成所述彩色膜层。其中，彩色膜层是通过掩膜板4进行曝光形成的，掩膜板4包括透光区401和不透光区402。彩膜基板上形成的彩色膜层由于衬底基板上形成有黑矩阵，则形成的彩色图案3如图1所述，其上表面不平整，即出现角段差，会造成配向不良，影响显示效果。
发明内容
本发明的实施例提供一种掩膜板、基板及其制作方法，通过所述掩膜板形成的膜层，其固化后上表面为平面，没有角段差。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本发明实施例提供了一种掩膜板，包括全透光区、部分透光区和不透光区，所述不透光区将掩膜板分割成多个阵列排布的曝光单元，每一所述曝光单元包括全透光区和部分透光区，所述部分透光区设置在所述透光区和不透光区之间，其中所述掩膜板的曝光单元对应形成薄膜的图案单元，且所述曝光单元的全透光区对应形成的薄膜的高度大于所述部分透光区对应形成的薄膜的高度。
可选的，所述掩膜板曝光单元的各部分透光区的宽度为2-15μm。
可选的，所述掩膜板曝光单元的各全透光区的宽度为15-120μm。
本发明实施例提供了一种基板，包括：透明基板以及设置在所述透明基板上的第一膜层，其中，所述第一膜层通过本发明提供的任一所述的掩膜板形成，所述第一膜层包括多个阵列排布的图案单元，且通过曝光直接形成的图案单元中对应掩膜板全透光区的高度大于对应部分透光区的高度。
可选的，所述第一膜层为彩色膜层，所述图案单元为像素单元，所述图案单元对应掩膜板全透光区为基板透光区，所述图案单元对应掩膜板部分透光区为基板不透光区。
可选的，所述彩色膜层像素单元中透光部分的高度与不透光部分的高度差为0.4-1μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各透光部分的厚度为1.5-3.5μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各不透光部分的厚度为1.1-2.5μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各透光部分的宽度为15-120μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各不透光部分的宽度为2-15μm。
可选的，所述基板为阵列基板或彩膜基板。
本发明实施例提供了一种显示装置，包括本发明实施例提供的任一所述的基板。
本发明实施例提供的一种掩膜板、基板及显示装置，所述掩膜的曝光单元对应形成的薄膜的图案单元，且所述曝光单元的全透光区对应形成的薄膜的高度大于所述部分透光区对应形成的薄膜的高度，则形成的薄膜经固化后其上表面没有角段差（进而可以提升显示效果。
附图说明
图1为现有技术中利用掩膜板形成彩色膜层的示意图；
图2为本发明实施例提供的一种掩膜板；
图3为利用图2所示的掩膜板形成彩色膜层的示意图；
图4为本发明实施例提供的彩膜基板示意图；
附图标记：
1-透明基板；2-黑矩阵；3-彩色图案；4-掩膜板；401-全透光区；402-不透光区；403-部分透光区；5-彩膜基板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
需要说明的是，现有的构图工艺一般通过掩膜板形成需要的薄膜图案，其具体工艺包括：在薄膜上涂胶，利用掩膜板对所述光刻胶进行曝光，再利用显影液将需去除的光刻胶冲蚀掉，再刻蚀掉未覆盖光刻胶的薄膜部分，最后将剩下的光刻胶剥离。其中，根据所述光刻胶的不同，所述掩膜板在所述基板上形成的薄膜图案相同或者相对。以图1所示的现有掩膜板为例，具体的，当所述光刻胶为正性光刻胶，则所述掩膜板的不透光区对应的光刻胶完全保留，所述透光区域对应的光刻胶被完全去除，即薄膜图案对应掩膜板的不透光区。若所述光刻胶为负性光刻胶，则所述掩膜板的全透光区对应的光刻胶完全保留，所述不透光区对应的光刻胶被完全去除，即薄膜图案对应掩膜板的透光区。且本发明实施例中以所述光刻胶为负性光刻胶为例进行详细说明。正性光刻胶的掩膜板设置与负向光刻胶相反，在这里就不作赘述。
本发明提供了一种掩膜板4，如图2所示，包括全透光区401、部分透光区403和不透光区402，所述不透光区402将掩膜板100分割成多个阵列排布的曝光单元，每一所述曝光单元包括全透光区401和部分透光区403，所述部分透光区403设置在所述透光区401和不透光区402之间，其中所述掩膜板4的曝光单元对应形成的薄膜的图案单元，且所述曝光单元的全透光区401对应形成的薄膜的高度大于所述部分透光区403对应形成的薄膜的高度。
需要说明的是，现有的掩膜板一般是通过在透明基板上贴附薄膜使其不透光或者部分透光，本发明附图中提供的掩膜板仅用于说明，不作为具体实施方案。
本发明实施例提供的一种掩膜板，所述掩膜板的曝光单元包括全透光区和部分透光区，所述掩膜板的曝光单元对应形成的薄膜的图案单元，且所述曝光单元的全透光区对应形成的薄膜的高度大于所述部分透光区对应形成的薄膜的高度，薄膜图案固化之后没有角段差，进而可以提升显示效果。
可选的，所述掩膜板曝光单元的各部分透光区的宽度为2-15μm。如图2所示，部分透光区b的宽度为2-15μm。需要说明的是，本发明实施例中的各数值范围均包括临界值。即掩膜板曝光单元的各部分透光区的宽度可以为2μm或15μm。
可选的，所述掩膜板曝光单元的各全透光区的宽度为15-120μm。如图2所示，全透光区a的宽度为15-120μm。其中，掩膜板曝光单元的各全透光区的宽度可以为15μm或120μm。
本发明实施例提供了一种基板，包括：透明基板以及设置在所述透明基板上的第一膜层，其中，所述第一膜层通过本发明实施例提供的任一所述的掩膜板形成，所述第一膜层包括多个阵列排布的图案单元，且通过曝光直接形成的图案单元中对应掩膜板全透光区的高度大于对应部分透光区的高度。
需要说明的是，所述基板上设置有第一膜层，所述第一膜层通过本发明实施例提供的任一所述的掩膜板形成，则所述第一膜层的图案与所述掩膜的透光区的图案相同。所述薄膜图案的高度，在本发明实施例中以所述基板的上表面为基准。具体的，如图3所示，利用本发明实施例提供的掩膜板4形成彩膜基板5上的彩色膜层为例，即包括R（红）、G（绿）、B（蓝）三种不同颜色的彩色图案3，且所述彩色膜层与对应掩膜板4全透光区401的高度大于对应部分透光区403的高度。
可选的，所述第一膜层为彩色膜层，所述图案单元为像素单元，所述图案单元对应掩膜板全透光区为基板透光区，所述图案单元对应掩膜板部分透光区为基板不透光区。
具体的，如图3所示，所述第一膜层为彩色膜层，且以所述彩色膜层设置在彩膜基板为例，则所述图案单元为像素单元，所述图案单元对应掩膜板全透光区为彩膜基板的透光区，所述图案单元对应掩膜板部分透光区与黑矩阵重叠，且为彩膜基板的不透光区。由于彩膜基板上的透光区的薄膜的高度大于彩膜基板上不透光区的薄膜的高度，这样彩色膜层固化之后最终形成如图4所示的薄膜图案，即各彩色膜层的上表面为平面，薄膜表面没有角段差。
可选的，所述基板为阵列基板或彩膜基板。即所述第一膜层可以形成在阵列基板上的膜层也可以是形成在彩膜基板上的膜层。本发明实施例及附图以所述第一膜层为彩色膜层且形成在所述彩膜基板为例进行详细说明。
可选的，所述彩色膜层像素单元中透光部分的高度与不透光部分的高度差为0.4-1μm。如图3所示，彩色膜层透光部分的高度与不透光部分的高度差c为0.4-1μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各透光部分的厚度为1.5-3.5μm。如图3所示，彩色膜层透光部分的厚度h为1.5-3.5μm。其中，彩色膜层像素单元中各透光部分的厚度可以为1.5μm或3.5μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各不透光部分的厚度为1.1-2.5μm。如图3所示，彩色膜层不透光部分的厚度k为1.1-2.5μm。其中，彩色膜层像素单元中各不透光部分的厚度可以为1.1μm或2.5μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各透光部分的宽度为15-120μm。如图3所示，彩色膜层透光部分的宽度m为15-120μm。其中，彩色膜层像素单元中各透光部分的宽度可以为15μm或120μm。
可选的，所述彩色膜层像素单元中各不透光部分的宽度为2-15μm。如图3所示，彩色膜层不透光部分的宽度n为2-15μm。其中，彩色膜层像素单元中各不透光部分的宽度可以为2μm或15μm。
本发明实施例提供了一种显示装置，包括本发明实施例提供的任一所述的基板。所述显示装置可以为液晶显示器、电子纸、OLED(OrganicLight）EmittingDiode（有机发光二极管)显示器等显示器件以及包括这些显示器件的电视、数码相机、手机、平板电脑等任何具有显示功能的产品或者部件。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (12)
1.一种掩膜板，其特征在于，包括全透光区、部分透光区和不透光区，所述不透光区将掩膜板分割成多个阵列排布的曝光单元，每一所述曝光单元包括全透光区和部分透光区，所述部分透光区设置在所述透光区和不透光区之间，其中所述掩膜板的曝光单元对应形成薄膜的图案单元，且所述曝光单元的全透光区对应形成的薄膜的高度大于所述部分透光区对应形成的薄膜的高度。
2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板曝光单元的各部分透光区的宽度为2-15μm。
3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板曝光单元的各全透光区的宽度为15-120μm。
4.一种基板，包括：透明基板以及设置在所述透明基板上的第一膜层，其特征在于，所述第一膜层通过权利要求1-3任一项所述的掩膜板形成，所述第一膜层包括多个阵列排布的图案单元，且通过曝光直接形成的图案单元中对应掩膜板全透光区的高度大于对应部分透光区的高度。
5.根据权利要求4所述的基板，其特征在于，所述第一膜层为彩色膜层，所述图案单元为像素单元，所述图案单元对应掩膜板全透光区为基板透光区，所述图案单元对应掩膜板部分透光区为基板不透光区。
6.根据权利要求5所述的基板，其特征在于，所述彩色膜层像素单元中透光部分的高度与不透光部分的高度差为0.4-1μm。
7.根据权利要求5所述的基板，其特征在于，所述彩色膜层像素单元中各透光部分的厚度为1.5-3.5μm。
8.根据权利要求5所述的基板，其特征在于，所述彩色膜层像素单元中各不透光部分的厚度为1.1-2.5μm。
9.根据权利要求5所述的基板，其特征在于，所述彩色膜层像素单元中各透光部分的宽度为15-120μm。
10.根据权利要求5所述的基板，其特征在于，所述彩色膜层像素单元中各不透光部分的宽度为2-15μm。
11.根据权利要求4-10任一项所述的基板，其特征在于，所述基板为阵列基板或彩膜基板。
12.一种显示装置，其特征在于，包括权利要求4-11任一项所述的基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310581233.0A CN103592815B (zh) | 2013-11-18 | 2013-11-18 | 一种掩膜板、基板及显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310581233.0A CN103592815B (zh) | 2013-11-18 | 2013-11-18 | 一种掩膜板、基板及显示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103592815A CN103592815A (zh) | 2014-02-19 |
| CN103592815B true CN103592815B (zh) | 2016-05-11 |
Family
ID=50083012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310581233.0A Active CN103592815B (zh) | 2013-11-18 | 2013-11-18 | 一种掩膜板、基板及显示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103592815B (zh) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104317158B (zh) * | 2014-11-14 | 2018-05-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种掩膜板、掩膜板组、彩膜基板及显示装置 |
| CN104345493A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-11 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 彩膜基板及其制作方法、显示面板、掩膜板 |
| CN104779145B (zh) * | 2015-04-10 | 2017-10-27 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 掩膜板及其制备方法 |
| CN104810322A (zh) | 2015-05-18 | 2015-07-29 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其制造方法、显示面板、显示装置、掩模板 |
| CN105629557B (zh) * | 2016-01-08 | 2018-12-21 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种彩膜基板及其制备方法、液晶显示器 |
| CN106526948A (zh) * | 2016-11-09 | 2017-03-22 | 惠科股份有限公司 | 一种应用于显示面板制程的光罩 |
| CN106773261B (zh) * | 2017-01-05 | 2019-11-08 | 京东方科技集团股份有限公司 | 彩膜基板的制造方法、彩膜基板和显示面板 |
| CN107993583B (zh) | 2017-11-27 | 2019-09-17 | 武汉华星光电技术有限公司 | 微型发光二极管显示装置及其制作方法 |
| CN107976873A (zh) * | 2018-01-02 | 2018-05-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板及曝光方法 |
| CN109143772B (zh) * | 2018-10-10 | 2024-03-19 | 信利半导体有限公司 | 灰阶掩膜板 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102854656A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光基板以及其相关制作方法 |
-
2013
- 2013-11-18 CN CN201310581233.0A patent/CN103592815B/zh active Active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102854656A (zh) * | 2012-09-29 | 2013-01-02 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 彩色滤光基板以及其相关制作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103592815A (zh) | 2014-02-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103592815B (zh) | 一种掩膜板、基板及显示装置 | |
| US9971187B2 (en) | Method for fabricating photoresist pattern, color filter and display device | |
| CN103700688B (zh) | 彩膜基板及其制作方法、显示装置 | |
| CN103219336B (zh) | 一种阵列基板、显示装置以及阵列基板的制备方法 | |
| CN103676293B (zh) | 一种彩膜基板及其制作方法、显示装置 | |
| CN103246154B (zh) | 一种用于封框胶固化遮挡的掩模板的制造方法 | |
| US20210202583A1 (en) | Display substrate and manufacturing method thereof | |
| CN212625583U (zh) | 一种显示面板和显示器 | |
| CN104865735A (zh) | 彩膜基板及其制作方法、液晶显示面板 | |
| KR102003269B1 (ko) | 광학 필터의 제조 방법 및 광학 필터를 구비하는 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 | |
| CN103424942A (zh) | 彩膜基板及其制备方法、显示装置 | |
| US10804331B2 (en) | Display substrate and fabrication method thereof, display device | |
| CN101819349B (zh) | 彩膜基板及其制造方法和液晶面板 | |
| CN111785760B (zh) | 一种显示基板及其制备方法、显示装置 | |
| CN110531550A (zh) | 一种显示面板及显示装置 | |
| US9030767B2 (en) | Color filter and manufacturing method thereof | |
| CN104835783A (zh) | 一种量子点薄膜阵列制备方法 | |
| CN103489893A (zh) | Coa基板、显示装置及该coa基板的制造方法 | |
| US20150301240A1 (en) | Method for repairing display substrate, display substrate and display apparatus | |
| CN204302626U (zh) | 一种阵列基板及显示装置 | |
| CN206301116U (zh) | 一种彩膜基板、显示面板、显示装置 | |
| CN107369777A (zh) | 一种oled基板及其制备方法、显示装置 | |
| CN103943659B (zh) | 显示基板及其制造方法和显示装置 | |
| CN107785401B (zh) | 彩膜基板的制作方法、彩膜基板及显示面板 | |
| CN106773250A (zh) | 一种彩膜基板及其制备方法以及显示面板和显示器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant |