CN103525573A - 高性能光伏硅片专用清洗液 - Google Patents
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- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 27
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 claims abstract description 8
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims abstract description 7
- 239000008139 complexing agent Substances 0.000 claims abstract description 7
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims abstract description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 25
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N N-Methylmorpholine Chemical compound CN1CCOCC1 SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical compound C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 claims description 6
- YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N Morpholine Chemical compound C1COCCN1 YNAVUWVOSKDBBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000013543 active substance Substances 0.000 claims description 6
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 claims description 6
- LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N diisopropanolamine Chemical compound CC(O)CNCC(C)O LVTYICIALWPMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229940043276 diisopropanolamine Drugs 0.000 claims description 6
- BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N nonane Chemical compound CCCCCCCCC BKIMMITUMNQMOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- FBUKVWPVBMHYJY-UHFFFAOYSA-N nonanoic acid Chemical compound CCCCCCCCC(O)=O FBUKVWPVBMHYJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N sebacic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCCC(O)=O CXMXRPHRNRROMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 235000019832 sodium triphosphate Nutrition 0.000 claims description 6
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 claims description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 5
- -1 polyoxyethylene Polymers 0.000 claims description 5
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000003109 Disodium ethylene diamine tetraacetate Substances 0.000 claims description 4
- ZGTMUACCHSMWAC-UHFFFAOYSA-L EDTA disodium salt (anhydrous) Chemical group [Na+].[Na+].OC(=O)CN(CC([O-])=O)CCN(CC(O)=O)CC([O-])=O ZGTMUACCHSMWAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 claims description 4
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 235000019301 disodium ethylene diamine tetraacetate Nutrition 0.000 claims description 4
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 claims description 4
- 229940051841 polyoxyethylene ether Drugs 0.000 claims description 4
- 229920000056 polyoxyethylene ether Polymers 0.000 claims description 4
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 claims description 4
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 4
- KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N succinic acid Chemical group OC(=O)CCC(O)=O KDYFGRWQOYBRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 4
- 229960004418 trolamine Drugs 0.000 claims description 4
- WIHIUTUAHOZVLE-UHFFFAOYSA-N 1,3-diethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(O)COCC WIHIUTUAHOZVLE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 1-aminopropan-2-ol Chemical compound CC(O)CN HXKKHQJGJAFBHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- SNTWKPAKVQFCCF-UHFFFAOYSA-N 2,3-dihydro-1h-triazole Chemical compound N1NC=CN1 SNTWKPAKVQFCCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical group NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229940058020 2-amino-2-methyl-1-propanol Drugs 0.000 claims description 3
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N Dicyclohexylamine Chemical compound C1CCCCC1NC1CCCCC1 XBPCUCUWBYBCDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000005643 Pelargonic acid Substances 0.000 claims description 3
- 101710194948 Protein phosphatase PhpP Proteins 0.000 claims description 3
- PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L Sodium Sulfate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]S([O-])(=O)=O PMZURENOXWZQFD-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 3
- SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N Triisopropanolamine Chemical compound CC(O)CN(CC(C)O)CC(C)O SLINHMUFWFWBMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 3
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 claims description 3
- CBTVGIZVANVGBH-UHFFFAOYSA-N aminomethyl propanol Chemical compound CC(C)(N)CO CBTVGIZVANVGBH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 claims description 3
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 3
- HWGNBUXHKFFFIH-UHFFFAOYSA-I pentasodium;[oxido(phosphonatooxy)phosphoryl] phosphate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O HWGNBUXHKFFFIH-UHFFFAOYSA-I 0.000 claims description 3
- 229910052938 sodium sulfate Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 235000011152 sodium sulphate Nutrition 0.000 claims description 3
- UEUXEKPTXMALOB-UHFFFAOYSA-J tetrasodium;2-[2-[bis(carboxylatomethyl)amino]ethyl-(carboxylatomethyl)amino]acetate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].[Na+].[O-]C(=O)CN(CC([O-])=O)CCN(CC([O-])=O)CC([O-])=O UEUXEKPTXMALOB-UHFFFAOYSA-J 0.000 claims description 3
- UNXRWKVEANCORM-UHFFFAOYSA-I triphosphate(5-) Chemical compound [O-]P([O-])(=O)OP([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O UNXRWKVEANCORM-UHFFFAOYSA-I 0.000 claims description 3
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 abstract 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 abstract 1
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 abstract 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 4
- 231100000111 LD50 Toxicity 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 3
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 2
- 230000002000 scavenging effect Effects 0.000 description 2
- LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M sodium nitrite Chemical compound [Na+].[O-]N=O LPXPTNMVRIOKMN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 2
- RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N Abietic-Saeure Natural products C12CCC(C(C)C)=CC2=CCC2C1(C)CCCC2(C)C(O)=O RSWGJHLUYNHPMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N Rosin Natural products O(C/C=C/c1ccccc1)[C@H]1[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H](O)[C@@H](CO)O1 KHPCPRHQVVSZAH-HUOMCSJISA-N 0.000 description 1
- 238000006701 autoxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013626 chemical specie Substances 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002085 irritant Substances 0.000 description 1
- 231100000021 irritant Toxicity 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 239000002516 radical scavenger Substances 0.000 description 1
- 210000001533 respiratory mucosa Anatomy 0.000 description 1
- SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N sodium hypochlorite Chemical compound [Na+].Cl[O-] SUKJFIGYRHOWBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000010288 sodium nitrite Nutrition 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N trans-cinnamyl beta-D-glucopyranoside Natural products OC1C(O)C(O)C(CO)OC1OCC=CC1=CC=CC=C1 KHPCPRHQVVSZAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
本发明公开了一种高性能光伏硅片专用清洗液，由高分子羧酸、有机胺、表面活性剂、络合剂、腐蚀抑制剂、其它助剂、水组成。本发明清洗性能优异、使用安全、环保。
Description
技术领域
本发明涉及一种光伏硅片清洗液。
背景技术
在太阳能光伏企业，为确保电池片的电性能、可靠性和成品率，首先要对前道线切割加工后的硅片进行粗清洗，把以物理形式吸附在硅片表面的有机物玷污（油脂、松香、环氧树脂、聚乙二醇等）、尘埃颗粒以及以化学形式存在于硅片自身氧化膜中的金属离子杂质去除掉，同时又不损坏硅片、或造成金属离子杂质的重新沉淀和再次污染。清洗的方法，首先是去除硅片表面的有机物玷污和尘埃颗粒，然后再溶解氧化膜、去除金属离子杂质。对清洗液的要求，一是清洗性能（清洗效率）、渗透性能（渗透时间）要好；二是对硅片无腐蚀和损伤；三是对人体无危害，对环境无污染，安全卫生质量可靠；四是适用清洗工艺要广泛，不用加热，常温下即可使用。由于工艺、技术落后多种原因，目前市售的硅片专用清洗剂普遍不尽人意。一是清洗效率低（＜90%），渗透时间长（＞8S），清洗性能和渗透性能差；二是PH值偏高（＞11），导致硅片腐蚀损伤较突出；三是配方含有次氯酸钠、有机溶剂等有刺激性气味或有毒物质，安全卫生质量差；四是清洗工艺单一，且需要加热至40℃以上方能使用（消耗能源）。
发明内容
本发明的目的在于提供一种清洗性能优异、使用安全的高性能光伏硅片专用清洗液。
本发明的技术方案是：
一种高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：由下列重量组成组成：
高分子羧酸 2～4％
有机胺 3～5％
表面活性剂 15～40％
络合剂 5～15％
腐蚀抑制剂 0.2～1％
其它助剂 3～12％
水 余量。
所述高分子羧酸是辛酸、正壬酸、癸二酸、己二酸、壬二酸、月桂二酸或油酸。
所述有机胺是一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、一异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、吗啉、二环己胺、N-甲基吗啉、2-氨基-2-甲基-1-丙醇或二乙胺基乙醇。
所述表面活性剂是脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠（5～12）、脂肪醇聚氧乙烯醚（5～12）、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚氧乙烯聚氧丙烯醚（9～20）、烷基醇酰胺、脂肪醇聚氧乙烯酯（5～12）或磺酸盐。
所述络合剂是乙二胺四乙酸二钠、乙二胺四乙酸四钠或三聚磷酸钠。
所述腐蚀抑制剂是丁二酸衍生物、苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、1H-1或2，4-三氮唑。
所述其它助剂是乙醇、丙醇、丁二醇、丙二醇、乙二醇单丁醚或丙二醇正丁醚。
本发明是应用于太阳能光伏企业对线切割加工后的硅片的粗清洗，确保后道制备的电池片的电性能、可靠性和成品率；具有优良的清洗性能（可去除掉附着在硅片表面的有机物玷污、尘埃颗粒以及硅片氧化膜中的金属离子杂质，清洗率≥99.5%）、渗透性能（能又好又快地渗透到硅片内部，渗透时间≤2S）。适中的PH值（5%稀释液，PH值为9.6±0.5），对硅片无腐蚀和损伤。不使用对环境和人体造成危害的亚硝酸钠等有毒物质，产品生物半致死量LD50≥5000mg/kg，半致死浓度LC50≥5000mg/m3，呼吸道粘膜刺激≤1级，具有可靠的安全卫生质量。可适用于超声波、喷流、浸渍等多种方式的清洗工艺，且不用加热（无能源消耗），常温下即可使用。
下面结合实施例对本发明作进一步说明。
具体实施方式
实施例1：
将下列重量组分在一定条件下混合搅拌，得产品：
三乙醇胺 3%
油酸 2%
脂肪醇聚氧乙烯醚（9） 12%
磺酸钠 5%
聚氧乙烯聚氧丙烯醚（12） 7%
丁二酸衍生物 0.5%
乙二胺四乙酸二钠 10%
丁二醇 7%
去离子水 余量。
实施例2：
一种高性能光伏硅片专用清洗液，由下列重量组成组成：
高分子羧酸 2～4％（例2%、3%、4%）
有机胺 3～5％（例2%、3%、5%）
表面活性剂 15～40％（例15%、25%、40%）
络合剂 5～15％（例5%、10%、15%）
腐蚀抑制剂 0.2～1％（例0.2%、0.8%、1%）
其它助剂 3～12％（例3%、8%、12%）
水 余量。
所述高分子羧酸是辛酸、正壬酸、癸二酸、己二酸、壬二酸、月桂二酸或油酸。
所述有机胺是一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、一异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、吗啉、二环己胺、N-甲基吗啉、2-氨基-2-甲基-1-丙醇或二乙胺基乙醇。
所述表面活性剂是脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠（5～12）、脂肪醇聚氧乙烯醚（5～12）、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚氧乙烯聚氧丙烯醚（9～20）、烷基醇酰胺、脂肪醇聚氧乙烯酯（5～12）或磺酸盐。
所述络合剂是乙二胺四乙酸二钠、乙二胺四乙酸四钠或三聚磷酸钠。
所述腐蚀抑制剂是丁二酸衍生物、苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、1H-1或2，4-三氮唑。
所述其它助剂是乙醇、丙醇、丁二醇、丙二醇、乙二醇单丁醚或丙二醇正丁醚。
Claims (7)
1.一种高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：由下列重量组成组成：
高分子羧酸 2～4％
有机胺 3～5％
表面活性剂 15～40％
络合剂 5～15％
腐蚀抑制剂 0.2～1％
其它助剂 3～12％
水 余量。
2.根据权利要求1所述的高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：所述高分子羧酸是辛酸、正壬酸、癸二酸、己二酸、壬二酸、月桂二酸或油酸。
3. 根据权利要求1或2所述的高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：所述有机胺是一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、一异丙醇胺、二异丙醇胺、三异丙醇胺、吗啉、二环己胺、N-甲基吗啉、2-氨基-2-甲基-1-丙醇或二乙胺基乙醇。
4. 根据权利要求1或2所述的高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：所述表面活性剂是脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠（5～12）、脂肪醇聚氧乙烯醚（5～12）、脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚氧乙烯聚氧丙烯醚（9～20）、烷基醇酰胺、脂肪醇聚氧乙烯酯（5～12）或磺酸盐。
5. 根据权利要求1或2所述的高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：所述络合剂是乙二胺四乙酸二钠、乙二胺四乙酸四钠或三聚磷酸钠。
6. 根据权利要求1或2所述的高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：所述腐蚀抑制剂是丁二酸衍生物、苯并三氮唑、甲基苯并三氮唑、1H-1或2，4-三氮唑。
7. 根据权利要求1或2所述的高性能光伏硅片专用清洗液，其特征是：所述其它助剂是乙醇、丙醇、丁二醇、丙二醇、乙二醇单丁醚或丙二醇正丁醚。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310480447.9A CN103525573A (zh) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 高性能光伏硅片专用清洗液 |
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|---|---|---|---|
| CN201310480447.9A CN103525573A (zh) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 高性能光伏硅片专用清洗液 |
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|---|---|
| CN103525573A true CN103525573A (zh) | 2014-01-22 |
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ID=49927928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310480447.9A Pending CN103525573A (zh) | 2013-10-15 | 2013-10-15 | 高性能光伏硅片专用清洗液 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN103525573A (zh) |
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