CN103499710B - 一种探针模组支架及基板测试设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探针模组支架及基板测试设备，涉及基板测试技术领域，可以方便工作人员对探针模组支架上的部件进行调整维修，从而节约了维修时间，提高了产品的生产效率。该探针模组支架包括工作台、用于支撑该工作台的支撑部。通过在该工作台与支撑部之间设置连接部，该工作台可以以该连接部为旋转中心相对支撑部进行旋转。

Description

一种探针模组支架及基板测试设备

技术领域

本发明涉及基板测试技术领域，尤其涉及一种探针模组支架及基板测试设备。

背景技术

TFT-LCD（ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay，薄膜晶体管液晶显示器）作为一种平板显示装置，因其具有体积小、功耗低、无辐射以及制作成本相对较低等特点，而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。现有TFT-LCD的制造工艺主要包括四个阶段，分别为彩色滤光片制备、Array（阵列基板制造）工艺、Cell（液晶盒制备）工艺以及Module（模块组装）工艺。作为TFT-LCD生产的一个重要环节，Array工艺通常是在一张玻璃基板上形成独立的TFT阵列电路，每个阵列电路分别对应一个显示像素，阵列电路的质量将直接影响产品的显示质量。

为了及时发现阵列基板制作存在的各种不良，确保阵列基板的质量，在TFT-LCD的Array工艺之后，需要对形成在阵列基板上的TFT阵列电路的电学特性进行测试，以确定其中是否存在短路、断路等不良现象。现有的测试技术运用阵列基板测试设备（ArrayTester）对TFT像素阵列电路加入信号来实现检测。

现有技术中基板测试设备通常包括探针模组（ProbeAssembly，简称PA）以及用于给探针模组提供测试信号的探针模组支架（ProbeBar，简称PB），其中探针模组支架的结构可以如图1所示的，包括工作台10，在该工作台10的下表面设置有分段拼接的PG（PatternGenerator，信号发生器）板11，在测试过程中，PG板11发出的测试信号通过工作台10传输至探针模组（图1中未示出），进而通过探针模组上的探针将该测试信号输入阵列基板，从而实现对阵列基板的电学特性进行检测。由于PG板11上有很多电路，因此在拼接过程中容易发生短路，导致信号无法加载，从而影响测试，所以需要经常调整PG板11之间的位置。然而在对PG板11进行调整维修的过程中，工作人员需要躺在设备内部狭小的空间（如图1所示的B区域）中进行维修，这样一来不仅使得维修不便、速度慢，而且工作台10底部的螺丝20等部件也容易掉落丢失，从而降低了产品的生产效率，增加了生产成本。

发明内容

本发明的实施例提供一种探针模组支架及基板测试设备，可以方便工作人员对探针模组支架上的部件进行调整维修，从而节约了维修时间，提高了产品的生产效率。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面，提供一种探针模组支架，包括工作台，所述工作台的至少一端设置有用于支撑所述工作台的支撑部，所述工作台通过信号输入端接收测试信号，所述工作台与所述支撑部之间具有连接部；

所述工作台设置为：可以所述连接部为旋转中心，相对所述支撑部旋转。

所述连接部包括：第一旋转轴，所述第一旋转轴的轴向与所述工作台的长度方向平行；

所述工作台以所述第一旋转轴为旋转轴心，相对所述支撑部旋转。

所述第一旋转轴的两端设置有用于支撑所述第一旋转轴的第一轴承和第二轴承，其中所述第一轴承位于所述工作台内，所述第二轴承位于所述支撑部内。

所述轴承的变形量小于1mm。

所述连接部包括：第二旋转轴，所述第二旋转轴的轴向与所述工作台的宽度方向平行；

所述工作台以所述第二旋转轴为旋转轴心，相对所述支撑部旋转。

所述探针模组支架还包括：用于将所述工作台与所述支撑部固定的限位部。

所述限位部包括至少一个固定螺栓，所述固定螺栓部分位于所述支撑部内部，部分位于所述工作台内部；

所述固定螺栓的长度在80～150mm之间，所述固定螺栓的直径在8～12mm之间。

所述支撑部上设置有用于连接所述信号输入端的信号接口。

本发明实施例的另一方面，提供一种基板测试设备，包括探针模组，以及如上所述的任意一种探针模组支架。

所述基板测试设备测试区域的两侧各设置一个探针模组支架。

本发明实施例提供一种探针模组支架及基板测试设备，该探针模组支架包括工作台、在工作台的至少一端设置有用于支撑该工作台的支撑部。通过在该工作台与支撑部之间设置连接部，该工作台可以以该连接部为旋转中心相对支撑部进行旋转。这样一来，通过对工作台进行的旋转，方便了工作人员对安装于工作台下表面的部件进行调整和维修，从而节约了维修时间，提高了产品的生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术提供的一种探针模组支架结构示意图；

图2为本发明提供的一种探针模组支架结构示意图；

图3为本发明提供的另一种探针模组支架结构示意图；

图4为本发明提供的一种工作台的结构示意图；

图5为本发明提供的又一种探针模组支架结构示意图；

图6为本发明提供的又一种探针模组支架结构示意图；

图7为本发明提供的一种基板测试设备结构示意图。

附图标记：

10-工作台；11-PG板；12-支撑部；13-信号接口；14-连接部；141-第一旋转轴；142-第二旋转轴；1421-铰链部；151-第一轴承；152-第二轴承；20-螺丝；21-限位部；211-螺栓；30-测试基板；301-阵列基板；302-信号加载点。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种探针模组支架，如图2所示，包括工作台10，工作台10的至少一端设置有用于支撑工作台10的支撑部12，工作台10通过信号输入端接收测试信号，工作台10与支撑部12之间具有连接部14；

工作台10设置为：可以连接部14为旋转中心，相对支撑部12旋转。

需要说明的是，工作台10以连接部14为旋转中心具体是指，以图2为例，当连接部14为圆柱体时，工作台10可以以该圆柱体的轴心为中心相对支撑部12进行旋转。再例如，如图3所示，当连接部14为半球体时，工作台10可以以该半球体的中心点为中心相对支撑部进行旋转。

本发明实施例提供一种探针模组支架，该探针模组支架包括工作台、用于支撑该工作台的支撑部。通过在该工作台与支撑部之间设置连接部，该工作台可以以该连接部为旋转中心相对支撑部进行旋转。这样一来，通过将工作台进行旋转，方便了工作人员对安装于工作台下表面的部件进行调整和维修，从而节约了维修时间，提高了产品的生产效率。

进一步地，连接部包括：第一旋转轴141，如图2所示，第一旋转轴141的轴向与工作台10的长度方向X平行；

工作台10以第一旋转轴141为旋转轴心，相对支撑部12旋转。

需要说明的是，工作台10的长度方向X具体是指，如图4所示，在本发明实施例中工作台10的长度L的方向与坐标系中X方向相同；高度H的方向与坐标系Z方向相同；宽度B的方向与坐标系Y方向相同。所以可以将坐标系中的X方向作为工作台10的长度方向，将坐标系中的Y方向作为工作台10的宽度方向。当第一旋转轴141的轴向与工作台10的长度方向X平行时，工作台10可以绕坐标系的X轴相对支撑部12旋转。具体的，当工作人员需要对位于工作台10下表面的PG板进行调整和维修时，可以将工作台10绕坐标系的X轴相对支撑部12进行180°旋转。这样一来，可以将工作台的上表面和下表面的位置进行了互换，使得具有PG板面向工作人员，从而方便对PG板的维修和调整。

进一步地，如图5以及图5的局部区域C的放大视图所示，第一旋转轴141的两端设置有用于支撑第一旋转轴141的第一轴承151和第二轴承152，其中第一轴承151位于工作台10内，第二轴承152位于支撑部12内。这样一来，通过在第一旋转轴141的两端设置第一轴承151和第二轴承152，可以固定该第一旋转轴141，并降低工作台10在以第一旋转轴141为旋转轴心，相对支撑部12进行旋转过程中的摩擦系数，从而减小相对运动的部件之间的磨损，提高设备的使用寿命。

进一步地，上述第一轴承151和第二轴承152的变形量小于1mm。需要说明的是，上述轴承的变形量具体是指，轴承在承受工作台10的重量的同时，轴承自身会因为承重而导致其内、外圈或者轴承内的滚珠有一定的变形量，该变形量小于1mm。这样一来，能够保证轴承正常工作，可以避免工作台10的位置发生变化，从而避免影响对工作台10下表面的PG板进行信号加载的过程。

进一步地，连接部14如图6所示包括：第二旋转轴142，第二旋转轴142的轴向与工作台10的宽度方向Y平行；

工作台10以第二旋转轴142为旋转轴心，相对支撑部12旋转。

需要说明的是，工作台10的宽度方向Y具体是指，如图6所示，在本发明实施例中工作台10的长度L的方向与坐标系中X方向相同；高度H的方向与坐标系Z方向相同；宽度B的方向与坐标系Y方向相同。所以可以将坐标系中的X方向作为工作台10的长度方向，将坐标系中的Y方向作为工作台10的宽度方向。当第二旋转轴142的轴向与工作台10的宽度方向Y平行时，工作台10可以绕坐标系的Y轴相对支撑部12旋转。具体的，当工作人员需要对位于工作台10下表面的PG板进行调整和维修时，可以将工作台10绕坐标系的Y轴相对支撑部12进行180°旋转。这样一来，可以将工作台的上表面和下表面的位置进行了互换，使得具有PG板面向工作人员，从而方便对PG板的维修和调整。

需要说明的是，如图6以及图6中沿箭头E方向得到的俯视图所示，该第二旋转轴142上还设置有用于连接支撑部12和工作台10的铰链部1421。该铰链部可以通过螺钉等螺纹连接部件固定于工作台10和支撑部12上。通过第二旋转轴142以及该铰链部，可以使得工作台10以第二旋转轴142为旋转轴心，相对支撑部12旋转。

以下以图6为例对工作台12的旋转过程进行描述：在工作台10的两端均设置有支撑部12，并且在支撑部12与工作台10之间设置有其轴心与工作台10宽度方向Y相同的第二旋转轴142，通过铰链部1421使得支撑部12、第二旋转轴142、工作台10相连接。当工作台需要旋转时，可以将工作台10两端的任意一端铰链部1421和第二旋转轴142拆卸掉，使得工作台10可以以另一端的第二旋转轴142为旋转轴心，相对支撑部12进行旋转。

进一步地，如图5所示，探针模组支架还可以包括用于将工作台10与支撑部12固定的限位部21。这样一来，当工作人员需要对位于工作台10下表面的PG板进行调整和维修时，可以将工作台10一端的限位部拆卸掉，然后将工作台10以连接部14为旋转中心相对支撑部12进行旋转，当旋转到指定位置后将上述拆卸掉的限位部21重新安装与工作台10上，从而避免工作台的位置变化对维修和调整工作造成影响。

其中，如图5所示，该限位部21可以包括至少一个固定螺栓211，固定螺栓211部分位于支撑部12内部，部分位于工作台10内部。

优选的，固定螺栓211的长度在80～150mm之间，固定螺栓211的直径在8～12mm之间。本发明实施例是以限位部21包括8个固定螺栓211为例进行的说明，其它具有固定作用的限位部在这里不在一一举例，但都应当属于本发明的保护范围。

进一步地看，如图2所示，支撑部12上设置有用于连接信号输入端的信号接口13。这样一来，可以通过该信号接口将信号加载到设置于工作台10下表面的PG板11上。从而通过该PG板11发出测试信并传输至探针模组，进而通过探针模组上的探针将该测试信号输入阵列基板，实现对阵列基板的电学特性进行检测。

本发明的实施例提供一种基板测试设备，包括探针模组，以及如上所述的任意一种探针模组支架。具有与本发明前述实施例提供的探针模组支架相同的有益效果，由于探针模组支架在前述实施例中已经进行了详细的描述，此处不再赘述。

本发明实施例提供一种基板测试设备，该基板测试设备包括探针模组支架，该探针模组支架包括工作台、用于支撑该工作台的支撑部。通过在该工作台与支撑部之间设置连接部，该工作台可以以该连接部为旋转中心相对支撑部进行旋转。这样一来，通过对工作台进行旋转，方便了工作人员对安装于工作台下表面的部件进行调整和维修，从而节约了维修时间，提高了产品的生产效率。

进一步地，如图7所示，在该基板测试设备测试区域F的两侧各设置一个探针模组支架。

在本发明实施例中，可以在该测试区域F沿着坐标轴Y方向的两侧分别设置一个探针模组支架。通过这样一组探针模组支架可以实现向被测试基板30上的每个阵列基板301四周加载信号，其中该信号可以通过位于阵列基板301四周的信号加载点302进行加载。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种探针模组支架，包括工作台，所述工作台的至少一端设置有用于支撑所述工作台的支撑部，所述工作台通过信号输入端接收测试信号，其特征在于，所述工作台与所述支撑部之间具有连接部；

所述工作台设置为：可以所述连接部为旋转中心，相对所述支撑部旋转，以使工作台的上表面和下表面位置互换。

2.根据权利要求1所述的探针模组支架，其特征在于，所述连接部包括：第一旋转轴，所述第一旋转轴的轴向与所述工作台的长度方向平行；

所述工作台以所述第一旋转轴为旋转轴心，相对所述支撑部旋转。

3.根据权利要求2所述的探针模组支架，其特征在于，所述第一旋转轴的两端设置有用于支撑所述第一旋转轴的第一轴承和第二轴承，其中所述第一轴承位于所述工作台内，所述第二轴承位于所述支撑部内。

4.根据权利要求3所述的探针模组支架，其特征在于，所述第一轴承和第二轴承的变形量小于1mm。

5.根据权利要求1所述的探针模组支架，其特征在于，所述连接部包括：第二旋转轴，所述第二旋转轴的轴向与所述工作台的宽度方向平行；

所述工作台以所述第二旋转轴为旋转轴心，相对所述支撑部旋转。

6.根据权利要求1所述的探针模组支架，其特征在于，还包括：用于将所述工作台与所述支撑部固定的限位部。

7.根据权利要求6所述的探针模组支架，其特征在于，所述限位部包括至少一个固定螺栓，所述固定螺栓部分位于所述支撑部内部，部分位于所述工作台内部；

所述固定螺栓的长度在80～150mm之间，所述固定螺栓的直径在8～12mm之间。

8.根据权利要求1-7任一项所述的探针模组支架，其特征在于，所述支撑部上设置有用于连接所述信号输入端的信号接口。

9.一种基板测试设备，其特征在于，包括探针模组，以及如权利要求1-8任一项所述的探针模组支架。

10.根据权利要求9所述的基板测试设备，其特征在于，所述基板测试设备测试区域的两侧各设置一个探针模组支架。