CN103481254A - 一种摩擦拉杆驱动的新型工作台 - Google Patents

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叶邦华
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SUZHOU KAIOU MACHINERY TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本发明是一种摩擦拉杆驱动的新型工作台，包括轻质工作台，花岗石导轨和驱动机构，所述轻质工作台浮动设置在所述花岗石导轨上方，所述驱动机构包括L形基板，在所述L形基板的竖直板上安装一块C形预载板，在所述C形预载板下方依次安装有气垫和电机摩擦轮，在所述气垫和电机摩擦轮之间设置一根牵引杆，所述牵引杆与所述轻质工作台相连接。采用本发明技术方案，刚性好，工作行程长，定位精度高，并且不易产生热变形。

Description

一种摩擦拉杆驱动的新型工作台
技术领域
本发明涉及尖端工业生产和科学研究领域，具体涉及一种摩擦拉杆驱动的新型工作台。
背景技术
超精密工作台系统按精度高低和行程大小分为两类:小行程、极高精度的工作台系统和大行程、高精度的工作台系统。小行程极高精度工作台大多采用压电元件或电磁元件作为驱动装置。行程多在数十微米的范围内,但位移分辨率可高达1nm。大行程高精度工作台是指行程达毫米级以上,但定位精度略低于小行程系统的工作台系统。它大多采用直线电机或摩擦式驱动方式,运动分辨率大多在10nm左右，而本工作台通过摩擦啦杆“抬起”工作台的驱动方式可以将精度提高到5nm左右。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种摩擦拉杆驱动的新型工作台。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：
一种摩擦拉杆驱动的新型工作台，包括轻质工作台，花岗石导轨和驱动机构，所述轻质工作台浮动设置在所述花岗石导轨上方，所述驱动机构包括L形基板，在所述L形基板的竖直板上安装一块C形预载板，在所述C形预载板下方依次安装有气垫和电机摩擦轮，在所述气垫和电机摩擦轮之间设置一根牵引杆，所述牵引杆与所述轻质工作台相连接。
进一步的，所述轻质工作台内侧面与所述花岗石导轨侧面相滑动接触，所述C形预载板的C形槽开口向下，所述气垫与所述电机摩擦轮之间有一定的压力，并且所述工作台的另一侧还安装一个相同的驱动机构。
本发明的有益效果是:
采用本发明技术方案，刚性好，工作行程长，定位精度高，并且不易产生热变形。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图中标号说明：1、轻质工作台，2、花岗石导轨，3、驱动机构，31、L形基板，32、C形预载板，33、气垫，34、电机摩擦轮，35、牵引杆。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。
参照图1所示，一种摩擦拉杆驱动的新型工作台，包括轻质工作台1，花岗石导轨2和驱动机构3，所述轻质工作台1浮动设置在所述花岗石导轨2上方，所述驱动机构3包括L形基板31，在所述L形基板31的竖直板上安装一块C形预载板32，在所述C形预载板32下方依次安装有气垫33和电机摩擦轮34，在所述气垫33和电机摩擦轮34之间设置一根牵引杆35，所述牵引杆35与所述轻质工作台1相连接。
进一步的，所述轻质工作台1内侧面与所述花岗石导轨2侧面相滑动接触，所述C形预载板32的C形槽开口向下，所述气垫33与所述电机摩擦轮34之间有一定的压力，并且所述工作台1的另一侧还安装一个相同的驱动机构3。
本发明的原理：
本工作台的驱动机构不同于一般的丝杠或直线电机，是用一种电机摩擦轮34通过摩擦力驱动的方式驱动牵引杆35，牵引杆35再带动轻质工作台1进行运动，并且牵引杆35还有支撑作用，支撑轻质工作台1悬浮在花岗石导轨2的水平面上，而通过花岗石导轨2的侧面能正常接触定位。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种摩擦拉杆驱动的新型工作台，包括轻质工作台（1），花岗石导轨（2）和驱动机构（3），其特征在于，所述轻质工作台（1）浮动设置在所述花岗石导轨（2）上方，所述驱动机构（3）包括L形基板（31），在所述L形基板（31）的竖直板上安装一块C形预载板（32），在所述C形预载板（32）下方依次安装有气垫（33）和电机摩擦轮（34），在所述气垫（33）和电机摩擦轮（34）之间设置一根牵引杆（35），所述牵引杆（35）与所述轻质工作台（1）相连接。
2.根据权利要求1所述的摩擦拉杆驱动的新型工作台，其特征在于，所述轻质工作台（1）内侧面与所述花岗石导轨（2）侧面相滑动接触，所述C形预载板（32）的C形槽开口向下，所述气垫（33）与所述电机摩擦轮（34）之间有一定的压力，并且所述工作台（1）的另一侧还安装一个相同的驱动机构（3）。
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C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20140101