CN103465043A - 一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台 - Google Patents
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Abstract
本发明是一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台，包括底座，大工作台和小工作台，所述大工作台安装在所述底座的导轨上，所述小工作台安装在所述大工作台的导轨上，在所述小工作台内部安装有连接块，所述连接块连接电磁铁驱动器，所述大工作台侧面通过丝杠螺母连接副连接精密丝杠，所述精密丝杠通过联轴器连接交流伺服电机。采用本发明技术方案，实现了大行程工作台的超高精度定位，并且结构较小，运动灵活，易于安装调试。
Description
技术领域
本发明涉及超精密定位领域，具体涉及一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台。
背景技术
随着电子技术，生物工程等学科的发展，精密工作台被国内外广泛研究，对精密工作台的行程和分辨率要求越来越高。
精密工作台按精度高低和行程大小可分为两类：小行程、超高精度的工作台和大行程、高精度工作台。前者大多采用电磁元件或压电元件等作为驱动装置，其研究技术已经相当成熟，但行程多在数十微米范围内，无法满足大行程要求，后者行程范围在几十毫米到几百毫米甚至更大范围，但精度不高，无法完成高精度定位要求。因此结合两者的优点，研究出一种大行程、超高精度工作台可同时兼顾大行程和高定位精度。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的问题，提供一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台。
为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：
一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台，包括底座，大工作台和小工作台，所述大工作台安装在所述底座的导轨上，所述小工作台安装在所述大工作台的导轨上，在所述小工作台内部安装有连接块，所述连接块连接电磁铁驱动器，所述大工作台侧面通过丝杠螺母连接副连接精密丝杠，所述精密丝杠通过联轴器连接交流伺服电机。
进一步的，所述电磁铁驱动器运动方向与所述小工作台一致，所述连接块与所述小工作台的缝隙之间设置有高弹性垫料层，所述连接块与所述小工作台同步运动，在所述电磁铁驱动器外侧还安装有光栅尺，在所述光栅尺两侧分别安装半导体激光器和光电接收器。
本发明的有益效果是:
采用本发明技术方案，实现了大行程工作台的超高精度定位，并且结构较小，运动灵活，易于安装调试。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中标号说明：1、底座，11、导轨，2、大工作台，21、导轨，3、小工作台，4、连接块，5、电磁铁驱动器，6、丝杠螺母连接副,7、精密丝杠，8、联轴器，9、交流伺服电机，10、光栅尺，12、半导体激光器，13、光电接收器，14、高弹性垫料层。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。
参照图1所示，一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台，包括底座1，大工作台2和小工作台3，所述大工作台2安装在所述底座1的导轨11上，所述小工作台3安装在所述大工作台2的导轨21上，在所述小工作台3内部安装有连接块4，所述连接块4连接电磁铁驱动器5，所述大工作台2侧面通过丝杠螺母连接副6连接精密丝杠7，所述精密丝杠7通过联轴器8连接交流伺服电机9。
进一步的，所述电磁铁驱动器5运动方向与所述小工作台3一致，所述连接块4与所述小工作台3的缝隙之间设置有高弹性垫料层14，所述连接块4与所述小工作台3同步运动，在所述电磁铁驱动器5外侧还安装有光栅尺10，在所述光栅尺10两侧分别安装半导体激光器12和光电接收器13。
本发明的原理：
大工作台2通过交流伺服电机9的驱动来实现大行程范围内微米级精度的定位，而小工作台3通过电磁铁驱动器5来实现微米行程范围内纳米级精度的补偿定位，高弹性垫料层14保证了小工作台3和连接块4运动的同步性；光栅尺10，半导体激光器12和光电接收器13的检测组合可以通过控制器实现工作台的全闭环控制，进一步提高工作台的精度。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台，包括底座（1），大工作台（2）和小工作台（3），其特征在于，所述大工作台（2）安装在所述底座（1）的导轨（11）上，所述小工作台（3）安装在所述大工作台（2）的导轨（21）上，在所述小工作台（3）内部安装有连接块（4），所述连接块（4）连接电磁铁驱动器（5），所述大工作台（2）侧面通过丝杠螺母连接副（6）连接精密丝杠（7），所述精密丝杠（7）通过联轴器（8）连接交流伺服电机（9）。
2.根据权利要求1所述的电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台，其特征在于，所述电磁铁驱动器（5）运动方向与所述小工作台（3）一致，所述连接块（4）与所述小工作台（3）的缝隙之间设置有高弹性垫料层（14），所述连接块（4）与所述小工作台（3）同步运动，在所述电磁铁驱动器（5）外侧还安装有光栅尺（10），在所述光栅尺（10）两侧分别安装半导体激光器（12）和光电接收器（13）。
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| CN2013104458033A CN103465043A (zh) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | 一种电磁铁辅助驱动的新型精密定位工作台 |
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- 2013-09-27 CN CN2013104458033A patent/CN103465043A/zh active Pending
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