CN103400301A - 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统 - Google Patents

一种Q-time区间内制品的控制方法及系统 Download PDF

Info

Publication number
CN103400301A
CN103400301A CN2013103546107A CN201310354610A CN103400301A CN 103400301 A CN103400301 A CN 103400301A CN 2013103546107 A CN2013103546107 A CN 2013103546107A CN 201310354610 A CN201310354610 A CN 201310354610A CN 103400301 A CN103400301 A CN 103400301A
Authority
CN
China
Prior art keywords
time
interval
current
weight
wph
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013103546107A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103400301B (zh
Inventor
冯亮
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Original Assignee
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huali Microelectronics Corp filed Critical Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority to CN201310354610.7A priority Critical patent/CN103400301B/zh
Publication of CN103400301A publication Critical patent/CN103400301A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103400301B publication Critical patent/CN103400301B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

Abstract

本发明公开了一种Q-time区间制品的控制方法及系统,该方法包括如下步骤:获取当前Q-time区间制程的各参数;根据获得的各参数利用一权重计算公式计算当前Q-time区间各步骤的权重;根据获得的权重计算当前Q-time区间各步骤的负荷;判断当前Q-time区间的每个步骤的在线产品数是否大于该步骤的负荷;依据判断结果对当前Q-time区间的制程进行相应处理,本发明通过把Q time时间根据每个step的产能加权平均的分配到每个step,以得出当前区间内每个step在当前产能能力下可以承受的最大WIP数量,避免了人为判断所带来的风险,保证了制品的品质。

Description

一种Q-time区间内制品的控制方法及系统
技术领域
本发明关于一种半导体制造领域,特别是涉及一种Q-time(许容时间)区间内制品的控制方法及系统。 
背景技术
在大型的半导体制造代工厂广泛应用的制造执行系统(MES,Manufacture Execution System)中,常常要同时生产种类繁多、数量不一的芯片,而且,不同芯片的加工制程工艺不同、加工的时间周期不同,而且交货日期也各不相同。在如此复杂的生产条件下,实时合理安排生产线中各个机台的产能极其重要,如何充分发挥现有生产线的各个机台的产能,尤其是提高关键站点机台的生产能力,得到合理准确的派工清单,并依据派工清单进行生产,降低成本,提高产能,是半导体企业是否能最终在激烈的竞争中取胜的关键。 
目前,在半导体生产制造过程中,有许多工艺步骤之间存在Q time(许容时间)限制,即制品需要在规定时间内完成某段工艺,否则可能导致产品的缺陷增多,良率降低。 
然而,现在业界一般是通过一线操作人员的认为管控,凭经验和上工艺、下工艺操作人员的沟通,这样难免存在人员疏失,沟通不佳或判断失误等风险。 
发明内容
为克服上述现有技术存在的不足,本发明之目的在于提供一种Q-time区间内制品的控制方法及系统,通过把Q time时间根据每个step的产能加权平均(weight)的分配到每个step,以得出当前区间内每个step在当前产能能力下可以承受的最大WIP数量,避免了人为判断所带来的风险,保证了制品的品质,同时,本发明通过加权平均Q time时间,避免了向上循环累计计算WIP,大大降 低了运算量和硬件要求。 
为达上述及其它目的,本发明提出一种Q-time区间制品的控制方法,包括如下步骤 
步骤一,获取当前Q-time区间制程的各参数,获取的参数包括产能WPH、Q-time以及区间比Zone Ration; 
步骤二,根据获得的各参数利用一权重计算公式计算当前Q-time区间各步骤的权重; 
步骤三,根据获得的权重计算当前Q-time区间各步骤的负荷; 
步骤四,判断当前Q-time区间的每个步骤的在线产品数是否大于该步骤的负荷; 
步骤五,依据判断结果对当前Q-time区间的制程进行相应处理。 
进一步地,该权重计算公式为: 
Weight ( n ) = 1 WPH ( n ) Σ k = 1 N ( 1 WPH ( k ) ) ; Σ Weight ( n ) = 1
其中,Weight(n)指第n步骤的权重,WPH(n)为第n步骤的产能。 
进一步地,于步骤三中,利用如下公式计算各步骤的负荷: 
Loading(n)=WPH(n)*Weight(n)*Q-time(hours)*Zone Ration。 
其中,该区间比Zone Ration为可以调节的比例,可以根据需要放宽或缩紧。 
进一步地,将当前Q-time区间第一步骤的WPH设成10000或更大的值以减少其分配到的作业时间。 
进一步地,于步骤四中,若当前Q-time区间的某个步骤的在线产品数大于该步骤的负荷,则设置该步骤的标志位flag为0,反之则为1。 
进一步地,当Q time区间中所有步骤的在线产品数均小于该步骤的负荷时,即所有步骤的标志位flag均为1时,此时可以继续制造产品,否则该Q-time则不能接受继续发货。 
为达到上述及其他目的,本发明还提供一种Q-time区间制品的控制系统,至少包括 
参数获取模组,用于获取当前Q-time区间制程的各参数,包括产能WPH、Q-time、区间比Zone Ration; 
权重计算模组,用于根据所获的参数利用一权重计算公式计算当前Q-time区间每一步骤的权重; 
负荷计算模组,根据获得的权重计算当前Q-time区间各步骤的负荷; 
判断模组,用于判断当前Q-time区间的每个步骤的在线产品数是否大于该步骤的负荷; 
控制处理模组,根据判断结果进行制程控制处理。 
进一步地,该权重计算公式为 
Weight ( n ) 1 WPH ( n ) Σ k = 1 N ( 1 WPH ( k ) ) ; ΣWeight ( n ) = 1
其中,Weight(n)指第n步骤的权重,WPH(n)为第n步骤的产能。 
进一步地,该负荷计算模组利用如下公式计算各步骤的负荷: 
Loading(n)=WPH(n)*Weight(n)*Q-time(hours)*Zone Ration。 
其中,该区间比Zone Ration为可以调节的比例,可以根据需要放宽或缩紧。 
进一步地,若Q time区间中所有步骤的在线产品数均小于该步骤的负荷时,该控制处理模组控制在当前Q-time区间可以继续制造产品,否则控制该 Q-time不能接受继续发货。 
与现有技术相比,本发明一种Q-time区间内制品的控制方法及系统通过把Q time时间根据每个step的产能加权平均的分配到每个step,以得出当前区间内每个step在当前产能能力下可以承受的最大WIP数量,避免了人为判断所带来的风险,保证了制品的品质,同时,本发明通过加权平均Q time时间,避免了向上循环累计计算WIP,大大降低了运算量和硬件要求。 
附图说明
图1为本发明一种Q-time区间内制品的控制方法的步骤流程图; 
图2为本发明一种Q-time区间内制品的控制系统的系统架构图。 
具体实施方式
以下通过特定的具体实例并结合附图说明本发明的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用,本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用,在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。 
图1为本发明一种Q-time区间内制品的控制方法的步骤流程图。如图1所示,本发明本发明一种Q-time区间内制品的控制方法,包括如下步骤: 
步骤101,获取当前Q-time区间制程的各参数,如WPH(Work Per-Hour,产能)、Q-time(许容时间,例如以小时为单位)、区间比(Zone Ration)。 
步骤102,根据各参数利用一权重计算公式计算当前Q-time区间每一步骤的权重。在本发明较桂实施例中,权重计算公式如下: 
Weight ( n ) 1 WPH ( n ) Σ k = 1 N ( 1 WPH ( k ) ) ; ΣWeight ( n ) = 1
其中,Weight(n)指第n步骤的权重,WPH(n)为第n步骤的产能。 
步骤103,根据获得的权重计算当前Q-time区间各步骤的负荷(Loading)。在本发明较桂实施例中各步骤的负荷利用下式计算: 
Loading(n)=WPH(n)*Weight(n)*Q-time(hours)*Zone Ration 
其中,区间比Zone Ratio是一个可以调节的比例,可以根据需要放宽、缩紧。 
步骤104,判断当前Q-time区间的每个步骤的在线产品数(A.WIP)是否大于该步骤的负荷,在本发明较桂实施例中,若当前Q-time区间的某个步骤的在线产品数大于该步骤的负荷,则设置标志位flag为0,反之则为1。 
步骤105,依据判断结果对当前Q-time区间的制程进行相应处理。当Q time区间中所有步骤的在线产品数均小于该步骤的负荷时,即所有步骤的flag均为1时,该Q-time区间才是畅通的(Zone F1ag=1),此时可以继续制造产品,否则该Q-time则不能接受继续发货。 
需要说明的是,由于第一个步骤(step)的作业时间不计算入Q-time,故由系统直接将WPH设成10000或更大的值以减少其分配到的作业时间。 
可见,本发明把Q-time时间根据每个步骤(step)的产能(WPH)加权平均(weight)的分配到每个步骤step,以得出当前区间内每个step在当前产能能力下可以承受的最大WIP数量,减少了人为判断的疏失,保证了制品的品质。 
图2为本发明一种Q-time区间内制品的控制系统的系统架构图。如图2所示,本发明一种Q-time区间内制品的控制系统,至少包括:参数获取模组201、权重计算模组202、负荷计算模组203、判断模组204以及控制处理模组205。其中参数获取模组201用于获取当前Q-time区间制程的各参数,如WPH(Work Per-Hour,产能)、Q-time(许容时间,例如以小时为单位)、区间比(Zone Ration);权重计算模组202用于根据所获的参数利用一权重计算公式计算当前Q-time区间每一步骤的权重。在本发明较桂实施例中,权重计算公式如下 
Weight ( n ) 1 WPH ( n ) Σ k = 1 N ( 1 WPH ( k ) ) ; ΣWeight ( n ) = 1
其中,Weight(n)指第n步骤的权重,WPH(n)为第n步骤的产能。 
负荷计算模组203根据获得的权重计算当前Q-time区间各步骤的负荷(Loading)。在本发明较桂实施例中各步骤的负荷利用下式计算: 
Loading(n)=WPH(n)*Weight(n)*Q-time(hours)*Zone Ration 
其中,区间比Zone Ratio是一个可以调节的比例,可以根据需要放宽、缩紧。 
判断模组204用于判断当前Q-time区间的每个步骤的在线产品数(A.WIP)是否大于该步骤的负荷,在本发明较桂实施例中,若当前Q-time区间的某个步骤的在线产品数大于该步骤的负荷,则设置标志位flag为0,反之则为1 
控制处理模组205根据判断结果进行制程控制处理。若Qtime区间中所有步骤的在线产品数均小于该步骤的负荷时,即所有步骤的flag均为1时,该Q-time区间是畅通的(Zone F1ag=1),此时控制处理模组205控制在当前Q-time区间可以继续制造产品,否则控制该Q-time不能接受继续发货。 
需说明的是,由于第一个步骤(step)的作业时间不计算入Q-time,故由系统直接将WPH设成10000或更大的值以减少其分配到的作业时间。 
表3为本发明较桂实施例中的Q-time区间控制表: 
可见,当在区间1的步骤200中,在线产品数(A.WIP)为800,此时负 荷(loading)为715,标志位为0,此Q-time无法接受继续发货。 
综上所述,本发明一种Q-time区间内制品的控制方法及系统通过把Q time时间根据每个step的产能加权平均的分配到每个step,以得出当前区间内每个step在当前产能能力下可以承受的最大WIP数量,避免了人为判断所带来的风险,保证了制品的品质,同时,本发明通过加权平均Q time时间,避免了向上循环累计计算WIP,大大降低了运算量和硬件要求。 
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效,而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下,对上述实施例进行修饰与改变。因此,本发明的权利保护范围,应如权利要求书所列。 

Claims (10)

1.一种Q-time区间制品的控制方法,包括如下步骤
步骤一,获取当前Q-time区间制程的各参数,获取的参数包括产能WPH、Q-time以及区间比Zone Ration;
步骤二,根据获得的各参数利用一权重计算公式计算当前Q-time区间各步骤的权重;
步骤三,根据获得的权重计算当前Q-time区间各步骤的负荷;
步骤四,判断当前Q-time区间的每个步骤的在线产品数是否大于该步骤的负荷;
步骤五,依据判断结果对当前Q-time区间的制程进行相应处理。
2.如权利要求1所述的一种Q-time区间制品的控制方法,其特征在于,该权重计算公式为:
Weight ( n ) 1 WPH ( n ) Σ k = 1 N ( 1 WPH ( k ) ) ; ΣWeight ( n ) = 1
其中,Weight(n)指第n步骤的权重,WPH(n)为第n步骤的产能。
3.如权利要求2所述的一种Q-time区间制品的控制方法,其特征在于,于步骤三中,利用如下公式计算各步骤的负荷:
Loading(n)=WPH(n)*Weight(n)*Q-time(hours)*Zone Ration。
其中,该区间比Zone Ration为可以调节的比例,可以根据需要放宽或缩紧。
4.如权利要求3所述的一种Q-time区间制品的控制方法,其特征在于:将当前Q-time区间第一步骤的WPH设成10000或更大的值以减少其分配到的作业时间。
5.如权利要求1所述的一种Q-time区间制品的控制方法,其特征在于:于步骤四中,若当前Q-time区间的某个步骤的在线产品数大于该步骤的负荷,则设置该步骤的标志位flag为0,反之则为1。
6.如权利要求5所述的一种Q-time区间制品的控制方法,其特征在于:当Q time区间中所有步骤的在线产品数均小于该步骤的负荷时,即所有步骤的标志位flag均为1时,此时可以继续制造产品,否则该Q-time则不能接受继续发货。
7.一种Q-time区间制品的控制系统,至少包括:
参数获取模组,用于获取当前Q-time区间制程的各参数,包括产能WPH、Q-time、区间比Zone Ration;
权重计算模组,用于根据所获的参数利用一权重计算公式计算当前Q-time区间每一步骤的权重;
负荷计算模组,根据获得的权重计算当前Q-time区间各步骤的负荷;
判断模组,用于判断当前Q-time区间的每个步骤的在线产品数是否大于该步骤的负荷;
控制处理模组,根据判断结果进行制程控制处理。
8.如权利要求7所述的一种Q-time区间制品的控制系统,其特征在于,该权重计算公式为:
Weight ( n ) = 1 WPH ( n ) Σ k = 1 N ( 1 WPH ( k ) ) ; ΣWeight ( n ) = 1
其中,Weight(n)指第n步骤的权重,WPH(n)为第n步骤的产能。
9.如权利要求8所述的一种Q-time区间制品的控制系统,其特征在于,该负荷计算模组利用如下公式计算各步骤的负荷:
Loading(n)=WPH(n)*Weight(n)*Q-time(hours)*Zone Ration。
其中,该区间比Zone Ration为可以调节的比例,可以根据需要放宽或缩紧。
10.如权利要求7所述的一种Q-time区间制品的控制系统,其特征在于若Q time区间中所有步骤的在线产品数均小于该步骤的负荷时,该控制处理模组控制在当前Q-time区间可以继续制造产品,否则控制该Q-time不能接受继续发货。
CN201310354610.7A 2013-08-14 2013-08-14 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统 Active CN103400301B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310354610.7A CN103400301B (zh) 2013-08-14 2013-08-14 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310354610.7A CN103400301B (zh) 2013-08-14 2013-08-14 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103400301A true CN103400301A (zh) 2013-11-20
CN103400301B CN103400301B (zh) 2016-05-25

Family

ID=49563914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310354610.7A Active CN103400301B (zh) 2013-08-14 2013-08-14 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103400301B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105096021A (zh) * 2014-05-23 2015-11-25 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种追踪半导体产品队列时间的系统及方法
CN106206255A (zh) * 2016-08-01 2016-12-07 上海华虹宏力半导体制造有限公司 具有屏蔽栅的沟槽栅器件栅氧超许容时间处理方法
CN107705023A (zh) * 2017-10-12 2018-02-16 广州泰达信息科技有限公司 实现生产与品质管理信息化及标准化的控制方法及系统
WO2020061730A1 (en) * 2018-09-25 2020-04-02 Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co., Ltd. Automation process monitoring and controlling method and device
CN114296413A (zh) * 2021-12-28 2022-04-08 上海华力微电子有限公司 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101039277A (zh) * 2007-04-12 2007-09-19 华为技术有限公司 一种负载分担方法及装置
CN101715003A (zh) * 2009-11-12 2010-05-26 北京交通大学 互操作平台的负载控制优化方法
CN102013043A (zh) * 2009-09-04 2011-04-13 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体制造派工的优化方法及优化系统

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101039277A (zh) * 2007-04-12 2007-09-19 华为技术有限公司 一种负载分担方法及装置
CN102013043A (zh) * 2009-09-04 2011-04-13 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 半导体制造派工的优化方法及优化系统
CN101715003A (zh) * 2009-11-12 2010-05-26 北京交通大学 互操作平台的负载控制优化方法

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105096021A (zh) * 2014-05-23 2015-11-25 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种追踪半导体产品队列时间的系统及方法
CN105096021B (zh) * 2014-05-23 2019-06-04 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 一种追踪半导体产品队列时间的系统及方法
CN106206255A (zh) * 2016-08-01 2016-12-07 上海华虹宏力半导体制造有限公司 具有屏蔽栅的沟槽栅器件栅氧超许容时间处理方法
CN106206255B (zh) * 2016-08-01 2019-02-05 上海华虹宏力半导体制造有限公司 具有屏蔽栅的沟槽栅器件栅氧超许容时间处理方法
CN107705023A (zh) * 2017-10-12 2018-02-16 广州泰达信息科技有限公司 实现生产与品质管理信息化及标准化的控制方法及系统
WO2020061730A1 (en) * 2018-09-25 2020-04-02 Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co., Ltd. Automation process monitoring and controlling method and device
CN114296413A (zh) * 2021-12-28 2022-04-08 上海华力微电子有限公司 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统
CN114296413B (zh) * 2021-12-28 2024-02-27 上海华力微电子有限公司 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN103400301B (zh) 2016-05-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103400301A (zh) 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统
TWI616827B (zh) 排程系統及方法
CN104700200B (zh) 一种面向数字化车间的产品多元质量监控方法
CN106406252B (zh) 单元控制系统、生产系统以及控制方法
CN105446281B (zh) 工艺腔室的派货方法和系统
CN104809663B (zh) 电力专业技术服务保障监督系统及其监督方法
CN110501978B (zh) 一种机器人产品生产车间排产调度方法
CN103215572B (zh) 半导体设备工艺控制方法和半导体设备工艺控制装置
CN103336433A (zh) 基于反步法的混合自适应预测控制系统及其预测控制方法
CN107767024A (zh) 一种用于盖板玻璃生产线产品质量实时监测系统及方法
CN104423331A (zh) 半导体集成电路生产中晶圆制造调度方法及调度系统
Dokholyan et al. Influence of management automation on managerial decision-making in the agro-industrial complex
CN104915721B (zh) 订单生产周期和产量的测量方法
CN104460590A (zh) 一种半导体生产线多产品工件合并方法
CN105988424A (zh) 半导体工艺制程信息的生成方法与生成装置
CN108008707A (zh) 一种自动监控产品跑货状况的方法
CN104484747B (zh) 利用截尾样本确定产品合格率的方法
CN106384723B (zh) 具有多级主工艺步骤的热处理设备工艺控制装置及方法
CN105096021B (zh) 一种追踪半导体产品队列时间的系统及方法
CN106873555A (zh) 一种多品种小批量混流装配线的总装生产排序方法及装置
CN106909992B (zh) 一种多品种小批量混流装配线的分装生产方法及装置
CN104766808B (zh) 晶圆缺陷密度获得方法、测试方法及半导体装置形成方法
CN105140353A (zh) 一种直插式led封装中的烘烤方法
CN103559566B (zh) 一种缺陷扫描结果控制制程机台的派工方法
US20140100806A1 (en) Method and apparatus for matching tools based on time trace data

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant