CN114296413B - 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 136
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims abstract description 17
- 238000013507 mapping Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 9
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 25
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 6
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012729 immediate-release (IR) formulation Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
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Abstract
一种基于Q‑time容时区间站点断线的智能调控方法，包括：合并三层首位相连的Q‑time区间，形成嵌套Q‑time容时区间，获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式；针对每一Lot检测多层Q‑time容时区间内每一作业站点设备状况；针对每一Lot仿真预测多层Q‑time容时区间内每个站点对应设备作业程式可作业状况；针对每一Lot仿真预测多层Q‑time容时区间内每一作业站点信息；储存Q‑time容时区间内每一作业站点断线信息，针对调控方式进行标记，形成运行路径(Run Path)集合，用于晶圆制造单元产品(Lot)映射Q‑time容时区间每一站点，进行判定是否可调度派工。本发明不仅可提高派工调度准确性，降低人为错误预判，而且降低重新作业概率，减少设备复机后闲置时间，改善产品流通速率及生产周期。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统。
背景技术
半导体集成电路晶圆制造过程中由于工艺制程需求，在某些站点特别是关键站点需要设置最长等待时间(Queue Time,Q-time)，要求从某一站点(Q-time起始站点)到另一站点(Q-time结束站点)之间，必须在设置时长内进入Q-time结束站点机台进行作业；若超过设置时长未在Q-time结束站点进入机台作业，则晶圆制造单元产品(Lot)有报废或重新作业(Rework)风险，导致晶圆生产成本的增加，甚至影响产品的及时交货。
因此，晶圆制造单元产品(Lot)在Q-time起始站点智能调度时需考虑下游相关站点是否可作业。当晶圆制造单元产品(Lot)在Q-time起始站点时要考虑下游每一站点的可作业情况，即在Q-Time容时区间内每一站点是否线路畅通未断线。若下游至少有一站点断线，则不进行调度；若下游所有站点畅通，则进行调度。
目前，现有生产线人员判断下游站点是否断线，只能凭经验或手动预约检测每站点作业情况，当生产线突然变动或Q-time容时区间变动或工艺更新等情况发生时，不能系统的获取相关信息，这就导致晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险；当设备计划维修时，凭经验在Q-time起始站点决定何时管控晶圆制造单元产品(Lot)不作业，导致Q-Time容时区间内晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险；复机时无法科学的预测复机时间，从而无法及时在Q-time起始站点放货，导致下游设备复机时无法作业，致使设备空闲，从而影响产能。
寻求一种可对区间内每一站点的设备、作业条件、特殊工艺管控等进行仿真预测断线情况，并智能预测设备可作业状况，科学综合诊断出晶圆制造单元产品(Lot)在Q-time起始站点是否可智能调度，最终降低晶圆制造单元产品(Lot)概率报废及重新作业风险，改善产品流通速率及生产周期的智能调控方法及系统已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。
故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统。
发明内容
本发明之第一目的是针对现有技术中，传统晶圆制造单元产品(Lot)在Q-time起始站点调度时依靠生产线人员判断下游站点是否断线，凭借经验或手动预约检测每站点作业情况，当生产线突然变动或Q-time容时区间变动或工艺更新等情况发生时，不能系统的获取相关信息，这就导致晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险；当设备计划维修时，凭经验在Q-time起始站点决定何时管控晶圆制造单元产品(Lot)不作业，导致Q-Time容时区间内晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险；复机时无法科学的预测复机时间，从而无法及时在Q-time起始站点放货，导致下游设备复机时无法作业，致使设备空闲，从而影响产能等缺陷提供一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法。
本发明之又一目的是针对现有技术中，传统晶圆制造单元产品(Lot)在Q-time起始站点调度时依靠生产线人员判断下游站点是否断线，凭借经验或手动预约检测每站点作业情况，当生产线突然变动或Q-time容时区间变动或工艺更新等情况发生时，不能系统的获取相关信息，这就导致晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险；当设备计划维修时，凭经验在Q-time起始站点决定何时管控晶圆制造单元产品(Lot)不作业，导致Q-Time容时区间内晶圆制造单元产品(Lot)存在报废及重新作业风险；复机时无法科学的预测复机时间，从而无法及时在Q-time起始站点放货，导致下游设备复机时无法作业，致使设备空闲，从而影响产能等缺陷提供一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统。
为实现本发明之目的，本发明提供一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，包括：
执行步骤S1：合并三层首位相连的Q-time区间，形成嵌套Q-time容时区间，获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式；
执行步骤S2：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)检测多层Q-time容时区间内每一作业站点设备状况；
执行步骤S3：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q-time容时区间内每个站点对应设备作业程式可作业状况；
执行步骤S4：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q-time容时区间内每一作业站点信息；
执行步骤S5：储存Q-time容时区间内每一作业站点断线信息，针对调控方式进行标记，形成运行路径(Run Path)集合，用于晶圆制造单元产品(Lot)映射Q-time容时区间每一站点，进行判定是否可调度派工；
执行步骤S6：根据储存信息形成调度系统，用于指导生产线人员解决断线问题，为确保获得设备及站点实时信息，在实时派工时重新判别是否调度派工。
可选地，Q-time容时区间合并后在Q-time起始站点形成新的Q-time容时区间，选取最长的第三Q-time容时区间所包含的站点，仿真预测每一站点的可作业情况。
可选地，可作业情况包括设备状况，设备作业条件，站点特殊信息。
可选地，每一作业站点设备状况的检测包括：针对每一站点对应设备获取设备状况标示是否可作业，以及针对每一站点对应设备获取宕机与复机信息，仿真预测设备可作业信息。
可选地，每个站点对应设备作业程式可作业状况预测包括：晶圆制造单元产品(Lot)作业程式存在的每台设备是否禁止作业，以及晶圆制造单元产品(Lot)是否可无视禁止(Exception Inhibit)作业。
可选地，每一作业站点信息预测包括：指定样本(Sampling)量测信息，站点跳站(Skip)信息，是否忽略此站点断线信息，当晶圆制造单元产品(Lot)剩余Q-time小于或等于N小时是否忽略此站点作业信息的预测。
为实现本发明之又一目的，本发明提供一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统，所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统包括电讯号连接的信息获取模块，信息仿真处理模块，信息存储模块，信息输出模块。
可选地，所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统以界面展现，所述界面进一步包括：第一部分总体断线情况，第二部分具体站点断线情况，第三部分断线晶圆制造单元产品(Lot)信息以及断线原因，以及第四部分断线晶圆制造单元产品(Lot)所在Q-time容时区间信息。
综上所述，本发明基于Q-time容时区间对区间内每一站点的设备、作业条件、特殊工艺管控等进行自动判别，并智能预测设备可作业状况，科学综合诊断出晶圆制造单元产品(Lot)在Q-time起始站点是否可调度，可提高派工调度准确性，降低人为错误预判；设备计划宕机前对上游进行管控，清空Q-time容时区间内晶圆制造单元产品(Lot)，降低晶圆制造单元产品(Lot)重新作业概率；设备复机前智能预测复机时间，提前管控上游晶圆制造单元产品(Lot)下放，减少设备复机后闲置时间，改善产品流通速率及生产周期。
附图说明
图1所示为本发明基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法之流程图；
图2(a)～图2(c)所示为Q-time容时区间合并的不同类型示意图；
图3所示为本发明基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统结构示意图；
图4所示为本发明基于Q-Time区间断线调度界面的示意图。
具体实施方式
为详细说明本发明创造的技术内容、构造特征、所达成目的及功效，下面将结合实施例并配合附图予以详细说明。
请参阅图1，图1所示为本发明基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法之流程图。所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，包括：
执行步骤S1：合并三层首位相连的Q-time区间，形成嵌套Q-time容时区间，获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调度方式；
执行步骤S2：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)检测多层Q-time容时区间内每一作业站点设备状况；
执行步骤S3：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q-time容时区间内每个站点对应设备作业程式可作业状况；
执行步骤S4：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q-time容时区间内每一作业站点信息；
执行步骤S5：储存Q-time容时区间内每一作业站点断线信息，针对调控方式进行标记，形成运行路径(Run Path)集合，用于晶圆制造单元产品(Lot)映射Q-time容时区间每一站点，进行判定是否可调度派工；
执行步骤S6：根据储存信息形成调度系统，用于指导生产线人员解决断线问题，为确保获得设备及站点实时信息，在实时派工时重新判别是否调度派工。
在步骤S1中，合并三层首位相连的Q-time区间，形成嵌套Q-time容时区间，获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式，具体为：
1.合并三层首位相连的Q-time区间，形成嵌套Q-time容时区间
对于同一条工艺流程，通常存在连续的Q-time容时区间，即上一个Q-time容时区间的终点为下一个Q-time容时区间的起始站点；且上游Q-time容时区间起始点的产品会占用下游Q-time容时区间中站点的设备作业。故，在每个连续Q-time容时区间的起始站点需要考虑下游Q-time容时区间中站点的可作业情况，即在每个连续Q-time容时区间的起始站点需向下游合并(merge)多个Q-time容时区间来产生新的Q-time容时区间，形成嵌套Q-time容时区间。
请参阅图2(a)～图2(c)，图2(a)～图2(c)所示为Q-time容时区间合并的不同类型示意图。工艺流程中定义的初始Q-time容时区间多样，合并模式可概括为以下三类：
1.1简单Q-time容时区间合并
如图2(a)所示，工艺流程设定的Q-time容时区间为A站点到B站点，B站点到C站点，C站点到D站点，分别标记为QAB、QBC、QCD，并且设定的A站点到B站点，B站点到C站点，C站点到D站点之间未经过或经过其他站点，则从Q-time容时区间起始A站点产生新增的第一Q-time容时区间、第二Q-time容时区间、第三Q-time容时区间，B站点、C站点同理产生新的Q-time容时区间。
1.2较复杂Q-time容时区间合并
如图2(b)所示，工艺流程设定的Q-time容时区间为A站点到B站点，A站点到C站点，B站点到C站点，C站点到D站点，D站点到E站点，分别标记为QAB、QAC、QBC、QCD、QDE，并且设定的A站点到B站点，A站点到C站点，B站点到C站点，D站点到E站点之间未经过或经过其他站点，则从Q-time容时区间起始A站点产生新增的第一Q-time容时区间、第二Q-time容时区间、第三Q-time容时区间。即，当A站点为起始点时自身带有设定的多个Q-time容时区间，只选取步数最长的结束站点作为第一Q-time容时区间的结束站点。B站点、C站点、D站点同理产生新的Q-time容时区间。
1.3带有分支工艺流程Q-time容时区间合并
如图2(c)所示，工艺流程原本设定的Q-time容时区间为A站点到B站点，B站点到C站点，C站点到D站点，分别标记为QAB、QBC、QCD。但在B站点由于工艺需求，临时添加分支工艺流程，新增R1站点与R2站点，且最后回到主工艺流程的R3站点。无论B站点到R1站点，R1站点到R2站点，R2站点到R3站点是否存在Q-time，因为最外层B站点到C站点存在Q-time，因此，在第二Q-time容时区间、第三Q-time容时区间时，需涵盖R1站点与R2站点。
2.获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调度方式
根据工艺管控与产线实际生产需求，针对全厂所有Q-time容时区间涉及站点作为Q-time最起始站点A，中间起始站点B，与下游断线站点C进行分类，根据组合后的风险等级划分调控方式。
| A站点 | 5种类别 |
| A1 | 设定无视下游任意站点断线 |
| A2 | 设定不可无视下游任意站点断线 |
| A3 | 满足断线处预测复机时间且未达到预测放货量 |
| A4 | 断线由禁止作业造成 |
| A5 | 未设定信息 |
| 断线C站点 | 6种类别 |
| C1 | 跳站(Skip)站点 |
| C2 | 忽略禁止作业(ExceptionInhibitRecipe) |
| C3 | 设定无视此站点断线 |
| C4 | 设定剩余Q-time≤N小时无视此站点断线 |
| C5 | 抽样(Sampling)站点 |
| C6 | 未设定信息 |
AB与AC组合，按风险等级划分为三种调控方式：立即放货，条件放货，禁止放货。
合并后在Q-time起始站点形成新的Q-time容时区间，选取最长的第三Q-time容时区间所包含的站点，仿真预测每一站点的可作业情况。可作业情况包含：设备状态，设备作业条件，站点特殊信息。
在步骤S2中，针对每一晶圆制造单元产品(Lot)检测多层Q-time容时区间内每一作业站点设备状况，具体包括：
1.针对每一站点对应设备获取设备状况标示是否可作业
对于晶圆厂设备，除了正常作业外，需要进行定期保养，以便设备长期使用。设备状况包含生产时间，空闲时间，工程时间，计划宕机时间，非计划宕机时间。前三种状况可正常作业晶圆制造单元产品(Lot)，后两种状况不可作业晶圆制造单元产品(Lot)。则当晶圆制造单元产品(Lot)处于步骤S1中A站点时检测到下游某站点对应所有设备处于计划宕机时间与非计划宕机时间时，则设备断线。
2.针对每一站点对应设备获取宕机与复机信息，仿真预测设备可作业信息
针对晶圆制造生产线有Q-time限定，下游设备复机前提前管控上游Q-time起始站点放货，满足设备复机时当站有晶圆制造单元产品(Lot)作业以免闲置，影响产能的需求。设备在计划宕机前已经清空A站点到B站点的晶圆制造单元产品(Lot)，则复机时若设备当站没有晶圆制造单元产品(Lot)，则设备会闲置，影响产能。因此需在设备复机前在A站点提前调度晶圆制造单元产品(Lot)作业，确保当设备复机时当站有晶圆制造单元产品(Lot)等待作业。
2.1自动判定放货时间
记录每台设备计划宕机时间，计划复机时间，实际复机时间，形成一整套数据；当设备预计复机时，根据历史数据，智能推算复机时间。如B站点预计复机根据B站点预测复机时间及A站点到B站点所经过的所有站点生产时间(Cycle Time)，推算A站点开始放货时间。
式中，T为开始放货时间；
tforecast为预测复机时间；
ctABi为AB之间经过的所有站点的生产时间，i＝2,3...n-1；
RTAB1为AB之间第一站点的运行时间。
2.2自动判定放货量
上游A站点由于下游站点复机预测可以调度放货，需要根据可复机设备数量来确定预测的放货量，即确保设备不闲置，又确保晶圆制造单元产品(Lot)不超Q-time。
式中，QTY为预测放货量；
pi为预测复机设备可作业部件数量。
在步骤S3中，晶圆制造单元产品(Lot)作业先后顺序是按照工艺流程进行，当晶圆制造单元产品(Lot)到达作业站点进入机台作业时会根据作业程式进行作业，例如离子注入区域的作业程式会定义注入的粒子名称、剂量、角度等详细信息。作业程式是否可在设备作业，是此步骤需要检测的信息。
3.1晶圆制造单元产品(Lot)作业程式存在的每台设备是否禁止作业
由于晶圆制造单元产品(Lot)在设备内作业时会存在不可控因素，有时导致后续量测站点发现前道工艺存在缺陷。出于工艺管控，产品管控等原因，需在某些设备禁止作业(Inhibit)程式。则当处于A站点的晶圆制造单元产品(Lot)检测到下游某站点对应所有设备的作业程式处于禁止作业，则设备断线。
3.2晶圆制造单元产品(Lot)是否可无视禁止(Exception Inhibit)作业
基于3.1晶圆制造单元产品(Lot)作业程式存在的每台设备是否禁止作业之信息，个别晶圆制造单元产品(Lot)可无视禁止进入机台作业，如经过工艺改善，工艺缺陷理论上可消除，则需几卡晶圆制造单元产品(Lot)进行测试，查验结果是否符合工艺标准要求，这就需求指定的晶圆制造单元产品(Lot)无视禁止作业。当晶圆制造单元产品(Lot)被指定为无视禁止作业时，则在A站点时设备未断线，执行立即放货指令。
在步骤S4中，仿真预测每一站点的基础信息，所述基础信息包括：指定样本(Sampling)量测信息，站点跳站(Skip)信息，是否忽略此站点断线信息，当晶圆制造单元产品(Lot)剩余Q-time小于或等于N小时是否忽略此站点作业信息。
对于第一信息：指定样本(Sampling)量测信息
晶圆制造生产过程中涉及上千道工序，为了掌控制造过程中技术指标是否符合顾客的需求，需对晶圆制造单元产品(Lot)进行抽样检测。量测站点是对前道工序作业结果进行检测，基于工艺需求所有晶圆制造单元产品(Lot)在量测站点不需要全部进行量测，只对指定样本进行量测即可。因此要求当晶圆制造单元产品(Lot)处于Q-time容时区间起始站点时，需针对晶圆制造单元产品(Lot)的级别预测在下游断线站点否是样本。
对于第二信息：站点跳站(Skip)信息
晶圆制造生产过程中，经常由于产品过多，致使产品大量堆积在量测站点。为了缩短生产周期并保证产品质量，会根据堆货情况来决定非关键工序站点部分晶圆制造单元产品(Lot)在指定量测站点进行跳站，即当晶圆制造单元产品(Lot)进入此量测站点后由派工系统执行跳站需求，不需要进入此站点设备作业，直接跳转到下一站点等待作业。因此要求当晶圆制造单元产品(Lot)处于Q-time容时区间起始站点时，需针对晶圆制造单元产品(Lot)的级别预测下游量测站点是否跳站。若跳站，则不检测对应量测站点断线情况，执行立即放货指令，直接放货；否则继续检测其他信息。
针对第三信息：下游断线导致上游无法调度是否可忽略此站点
量测站点断线导致上游Q-time容时区间起始站点产品堆积，从而影响产品产出。此情况下需工程师根据量测站点是否在可控时间内恢复来决定是否可忽略此站点作业情况。因此要求当下游站点断线导致上游处于Q-time容时区间起始站点晶圆制造单元产品(Lot)无法下放时，需针对晶圆制造单元产品(Lot)的级别预测下游站点是否可忽略断线。
针对第四信息：重点(Key)作业站点是否可无视下游站点断线信息
当晶圆制造单元产品(Lot)处于上游Q-time容时区间结束站点，下游Q-time容时区间起始站点如步骤S1中B站点时，也需要检测下游各站点情况。生产线复杂多变，时常晶圆制造单元产品(Lot)在A站点调度下放时，下游各站点无断线；当到达B站点时，下游突然出现状况导致断线。这就需要判定晶圆制造单元产品(Lot)是否可在B站点调度下放。当B站点为重点站点时是不允许超Q-time的，因此需要在B站点设置无视下游断线情况，执行立即放货指令，直接放货。
非重点站点是否当剩余Q-time达到设定值无视下游断线信息
当B站点为非重点站点时，若超Q-time可通过重新作业进行补救。这就需工程师在某些站点设置当晶圆制造单元产品(Lot)剩余Q-time小于或者等于N小时时无视下游断线情况；当晶圆制造单元产品(Lot)剩余Q-time大于N小时时判定下游断线不可调度派工。
在步骤S5中，根据步骤S1～步骤S4，获得A站点或B站点是否忽略C站点断线进行调度，可获得以下目标函数，
式中，ti代表i站点是否断线，断线为0，不断线为1；
si代表第i个站点。
根据所述流程及以上目标函数，得出每个晶圆制造单元产品(Lot)对应运行路径(RunPath)集合中每个站点调控方式，当f＝N时，则此晶圆制造单元产品(Lot)可调度，否则断线不可调度。
在步骤S6中，根据步骤S5形成断线调度系统：其一，处于Q-time容时区间起始点的每卡晶圆制造单元产品(Lot)如果断线，则断线情况由界面显示，并标明断线原因，提醒相关人员进行解决。其二，此系统不仅显示当站断线的晶圆制造单元产品(Lot)，也显示当站断线导致上游无法调度的晶圆制造单元产品(Lot)信息。其三，智能派工时需要实时数据，则设备每次进行派工调度时，针对晶圆制造单元产品(Lot)实时检测一遍下游断线情况，综合判别是否可调度派工。
请参阅图3，图3所示为本发明基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统结构示意图。所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统，包括电讯号连接的信息获取模块，信息仿真处理模块，信息存储模块，以及信息输出模块。所述各功能模块工作原理如下：
一、信息获取模块
1.合并首位相连的Q-time容时区间，形成嵌套Q-time zone
合并三层首位相连的Q-time区间，形成嵌套Q-time容时区间。对于同一条工艺流程中，通常存在连续的Q-time容时区间，即上一个Q-time容时区间的终点为下一个Q-time容时区间的起始站点；且上游Q-time容时区间起始点的产品会占用下游Q-time容时区间中站点的设备作业，故在每个连续Q-time容时区间的起始站点需要考虑下游Q-time容时区间中站点的可作业情况，即在每个连续Q-time容时区间的起始站点需向下游合并(merge)多个Q-time容时区间来产生新的Q-time容时区间，形成嵌套Q-time容时区间。工艺流程中定义的初始Q-time容时区间多样，合并模式可根据生产线工艺流程设定分为三类：简单Q-time容时区间合并，较复杂Q-time容时区间合并，带有分支流程Q-time容时区间合并，最终得到下游每一站点基础信息。
2.获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式
根据工艺管控与产线实际生产需求，针对全厂所有Q-time容时区间涉及站点作为Q-time最起始站点A，中间起始站点B，与下游断线站点C进行分类，根据组合后的风险等级划分调控方式。
| A站点 | 5种类别 |
| A1 | 设定无视下游任意站点断线 |
| A2 | 设定不可无视下游任意站点断线 |
| A3 | 满足断线处预测复机时间且未达到预测放货量 |
| A4 | 断线由禁止作业造成 |
| A5 | 未设定信息 |
| B站点 | 6种类别 |
| B1 | 设定剩余Q-time≤N小时无视下游任意站点断线 |
| B2 | 设定无视下游任意站点断线 |
| B3 | 设定不可无视下游任意站点断线 |
| B4 | 满足断线处预测复机时间且未达到预测放货量 |
| B5 | 断线由禁止作业造成 |
| B6 | 未设定信息 |
| 断线C站点 | 6种类别 |
| C1 | 跳站(Skip)站点 |
| C2 | 忽略禁止作业(ExceptionInhibitRecipe) |
| C3 | 设定无视此站点断线 |
| C4 | 设定剩余Q-time≤N小时无视此站点断线 |
| C5 | 抽样(Sampling)站点 |
| C6 | 未设定信息 |
AB与AC组合，按风险等级划分为三种调控方式：立即放货，条件放货，禁止放货。
合并后在Q-time起始站点形成新的Q-time容时区间，选取最长的第三Q-time容时区间所包含的站点，仿真预测每一站点的可作业情况。可作业情况包含：设备状态，设备作业条件，站点特殊信息。
二、信息仿真处理模块
此模块包含三部分，检测Q-time容时区间内每一作业站点设备状况，每个站点对设备作业程式可作业状况，多层Q-time容时区间内每一作业站点信息。
1.针对每一站点对应设备获取设备状况标示是否可作业
设备状况包含生产时间，空闲时间，工程时间，计划宕机时间，非计划宕机时间。前三种状况可正常作业晶圆制造单元产品(Lot)，后两种状况不可作业晶圆制造单元产品(Lot)。则当晶圆制造单元产品(Lot)处于Q-time容时区间起始站点时检测到下游某站点对应所有设备处于计划宕机时间与非计划宕机时间时，则设备断线。
2.针对每一站点对应设备获取宕机与复机信息，仿真预测设备可作业信息
针对晶圆制造生产线有Q-time限定，下游设备复机前提前管控上游Q-time起始站点放货，满足设备复机时当站有晶圆制造单元产品(Lot)作业以免闲置，影响产能的需求。设备在计划宕机前已经清空A站点到B站点的晶圆制造单元产品(Lot)，则复机时若设备当站没有晶圆制造单元产品(Lot)，则设备会闲置，影响产能。因此需在设备复机前在A站点提前调度晶圆制造单元产品(Lot)作业，确保当设备复机时当站有晶圆制造单元产品(Lot)等待作业。
2.1自动判定放货时间
记录每台设备计划宕机时间，计划复机时间，实际复机时间，形成一整套数据；当设备预计复机时，根据历史数据，智能推算复机时间。如B站点预计复机根据B站点预测复机时间及A到B站点所经过的所有站点生产时间(Cycle Time)，推算A站点开始放货时间。
式中，T为开始放货时间；
tforecast为预测复机时间；
ctABi为AB之间经过的所有站点的生产时间，i＝2,3...n-1；
RTAB1为AB之间第一站点的运行时间。
2.2自动判定放货量
上游A站点由于下游站点复机预测可以调度放货，需要根据可复机设备数量来确定预测的放货量，即确保设备不闲置，又确保晶圆制造单元产品(Lot)不超Q-time。
式中，QTY为预测放货量；
pi为预测复机设备可作业部件数量。
三、信息存储模块
储存Q-time容时区间内每一作业站点断线信息，针对调度方式进行标记，形成运行路径(RunPath)集合，用于晶圆制造单元产品(Lot)映射Q-time容时区间每一站点，进行判定是否可调度派工。
根据信息获取模块、信息仿真处理模块，获得A站点或B站点是否忽略C站点断线进行调度，可获得以下目标函数，
式中，ti代表i站点是否断线，断线为0，不断线为1；
si代表第i个站点。
根据所述流程图及以上目标函数，得出每个晶圆制造单元产品(Lot)对应运行路径(RunPath)集合中每个站点调控方式，当f＝N时，则此晶圆制造单元产品(Lot)可调度，否则断线不可调度。
四、信息输出模块
根据信息存储模块得到信息输出模块，即断线调度系统与实时断线调度。
请参阅图4，图4所示为本发明基于Q-Time区间断线调度界面的示意图。所述基于Q-Time区间断线调度系统以界面展现，用于指导生产线人员解决断线问题；为确保获得实时设备及站点信息，在对设备实时派工时对处于Q-Time容时区间起始站点的晶圆制造单元产品(Lot)重新判别是否调度派工。进一步地，所述基于Q-Time区间断线调度界面包括第一部分总体断线情况、第二部分具体站点断线情况、第三部分断线晶圆制造单元产品(Lot)信息以及断线原因，以及第四部分断线晶圆制造单元产品(Lot)所在Q-time容时区间信息。
综上所述，本发明基于Q-time容时区间对区间内每一站点的设备、作业条件、特殊工艺管控等进行自动判别，并智能预测设备可作业状况，科学综合诊断出晶圆制造单元产品(Lot)在Q-time起始站点是否可调度，可提高派工调度准确性，降低人为错误预判；设备计划宕机前对上游进行管控，清空Q-time容时区间内晶圆制造单元产品(Lot)，降低晶圆制造单元产品(Lot)重新作业概率；设备复机前智能预测复机时间，提前管控上游晶圆制造单元产品(Lot)下放，减少设备复机后闲置时间，改善产品流通速率及生产周期。
本领域技术人员均应了解，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果任何修改或变型落入所附权利要求书及等同物的保护范围内时，认为本发明涵盖这些修改和变型。
Claims (8)
1.一种基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，其特征在于，所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，包括：
执行步骤S1：合并三层首尾相连的Q-time区间，形成嵌套Q-time容时区间，获取起始站点与下游断线站点组合后根据风险等级判定的调控方式；
执行步骤S2：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)检测多层Q-time容时区间内每一作业站点设备状况；
执行步骤S3：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q-time容时区间内每个站点对应设备作业程式可作业状况；
执行步骤S4：针对每一晶圆制造单元产品(Lot)仿真预测多层Q-time容时区间内每一作业站点信息；
执行步骤S5：储存Q-time容时区间内每一作业站点断线信息，针对调控方式进行标记，形成运行路径(Run Path)集合，用于晶圆制造单元产品(Lot)映射Q-time容时区间每一站点，进行判定是否可调度派工；
执行步骤S6：根据储存信息形成调度系统，用于指导生产线人员解决断线问题，为确保获得设备及站点实时信息，在实时派工时重新判别是否调度派工。
2.如权利要求1所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，其特征在于，Q-time容时区间合并后在Q-time起始站点形成新的Q-time容时区间，选取最长的第三Q-time容时区间所包含的站点，仿真预测每一站点的可作业情况。
3.如权利要求2所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，其特征在于，可作业情况包括设备状况，设备作业条件，站点特殊信息。
4.如权利要求1所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，其特征在于，每一作业站点设备状况的检测包括：针对每一站点对应设备获取设备状况标示是否可作业，以及针对每一站点对应设备获取宕机与复机信息，仿真预测设备可作业信息。
5.如权利要求1所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，其特征在于，每个站点对应设备作业程式可作业状况预测包括：晶圆制造单元产品(Lot)作业程式存在的每台设备是否禁止作业，以及晶圆制造单元产品(Lot)是否可无视禁止(Exception Inhibit)作业。
6.如权利要求1所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法，其特征在于，每一作业站点信息预测包括：指定样本(Sampling)量测信息，站点跳站(Skip)信息，是否忽略此站点断线信息，当晶圆制造单元产品(Lot)剩余Q-time小于或等于N小时是否忽略此站点作业信息的预测。
7.一种如权利要求1所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法之系统，其特征在于，所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统包括电讯号连接的信息获取模块，信息仿真处理模块，信息存储模块，信息输出模块。
8.如权利要求7所述系统，其特征在于，所述基于Q-time容时区间站点断线的智能调控系统以界面展现，所述界面进一步包括：第一部分总体断线情况，第二部分具体站点断线情况，第三部分断线晶圆制造单元产品(Lot)信息以及断线原因，以及第四部分断线晶圆制造单元产品(Lot)所在Q-time容时区间信息。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114296413A CN114296413A (zh) | 2022-04-08 |
| CN114296413B true CN114296413B (zh) | 2024-02-27 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111626368.5A Active CN114296413B (zh) | 2021-12-28 | 2021-12-28 | 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114296413B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW440988B (en) * | 2000-04-19 | 2001-06-16 | Taiwan Semiconductor Mfg | Device and method for dispatching chips |
| US6470231B1 (en) * | 2000-04-21 | 2002-10-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and system for auto dispatching wafer |
| CN101789373A (zh) * | 2009-01-23 | 2010-07-28 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 提高表面性能的方法 |
| CN103400301A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-20 | 上海华力微电子有限公司 | 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统 |
| CN105045243A (zh) * | 2015-08-05 | 2015-11-11 | 同济大学 | 一种半导体生产线动态调度装置 |
| CN112365181A (zh) * | 2020-11-24 | 2021-02-12 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 一种动态工艺流程的Qtime WIP管控方法 |
| CN112670217A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-04-16 | 长江存储科技有限责任公司 | 芯片制造流程预测方法及芯片制造流程预测装置 |
| CN113642819A (zh) * | 2020-05-11 | 2021-11-12 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置和方法 |
-
2021
- 2021-12-28 CN CN202111626368.5A patent/CN114296413B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW440988B (en) * | 2000-04-19 | 2001-06-16 | Taiwan Semiconductor Mfg | Device and method for dispatching chips |
| US6470231B1 (en) * | 2000-04-21 | 2002-10-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method and system for auto dispatching wafer |
| CN101789373A (zh) * | 2009-01-23 | 2010-07-28 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 提高表面性能的方法 |
| CN103400301A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-20 | 上海华力微电子有限公司 | 一种Q-time区间内制品的控制方法及系统 |
| CN105045243A (zh) * | 2015-08-05 | 2015-11-11 | 同济大学 | 一种半导体生产线动态调度装置 |
| CN113642819A (zh) * | 2020-05-11 | 2021-11-12 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置和方法 |
| CN112365181A (zh) * | 2020-11-24 | 2021-02-12 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 一种动态工艺流程的Qtime WIP管控方法 |
| CN112670217A (zh) * | 2021-01-05 | 2021-04-16 | 长江存储科技有限责任公司 | 芯片制造流程预测方法及芯片制造流程预测装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 基于神经网络的半导体生产流水线时间窗口内派工策略优化;范永洁;王勇;;电子技术(02);第69-71页 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114296413A (zh) | 2022-04-08 |
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