CN103399665B - 阵列基板及其制造方法、触摸屏和显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种阵列基板及其制造方法、触摸屏和显示装置。该阵列基板包括衬底基板和形成于衬底基板上的栅线、数据线和公共电极层，所述栅线和所述数据线限定像素单元，所述公共电极层包括：触控扫描电极和触控感应电极；所述触控扫描电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号；所述触控感应电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号。本发明中由于触控扫描电极和触控感应电极是形成于公共电极层中的，因此无需在阵列基板上增加新的膜层，也无需在制造过程中增加新的工艺流程，从而降低了生产成本，提高了生产效率。

Description

阵列基板及其制造方法、触摸屏和显示装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种阵列基板及其制造方法、触摸屏和显示装置。
背景技术
随着显示技术的发展，触摸屏（TouchPanel）技术进入快速发展的时期。触摸屏按照结构可分为：外置式触摸屏（AddoncellTouchPanel）和嵌入式触摸屏（InCellTouchPanel）。当前主流的触摸屏基本上采用的是外置式触摸屏，外置式触摸屏是将触摸面板和液晶显示面板分别制造，然后贴合到一起而形成的具有触摸功能的液晶显示屏。但是，外挂式触摸屏存在制造成本高、光透过率低以及整机结构厚重等缺点，其难以满足消费者对触摸屏轻薄化的要求。特别是，通常外置（GlassToGlass，简称：GTG）型触摸屏需要经过两次贴合工艺才能制成，使得产品制造成本大幅增加，产品良率大幅降低，并且增加了整机结构的厚度，更加能以满足消费者对触摸屏轻薄化的要求。
随着消费者对触摸屏轻薄化的要求越来越高，嵌入式触摸屏成为触摸屏技术领域未来发展的一个重要方向。嵌入式触摸屏是将触摸屏的触控电极内嵌在液晶显示面板内部，从而极大的减小了整机结构的厚度，并且降低了制造成本。目前，现有的内嵌式触摸屏是在阵列基板上直接增加异面相交的触控扫描线和触控感应线，触控扫描线和触控感应线的相交处形成感应电容。在触控扫描线上加载触控扫描信号，当人体对触摸屏进行触摸时，人体电场会作用在感应电容上，使感应电容的电容值发生变化，触控感应线耦合出的电压信号被改变，从而根据电压信号的变化确定出触摸点位置。
现有技术中的嵌入式触摸屏的结构中，形成触控扫描线和触控感应线需要在阵列基板上增加新的膜层结构，导致在制造阵列基板的过程中需要增加新的工艺流程，从而增加了生产成本，降低了生产效率。
发明内容
本发明提供一种阵列基板及其制造方法、触摸屏和显示装置，用于降低生产成本，并提高生产效率。
为实现上述目的，本发明提供了一种阵列基板，包括衬底基板和形成于衬底基板上的栅线、数据线和公共电极层，所述栅线和所述数据线限定像素单元，所述公共电极层包括：触控扫描电极和触控感应电极；
所述触控扫描电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号；
所述触控感应电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号。
可选地，还包括：触控扫描信号线和触控感应信号线，所述触控扫描信号线与对应的所述触控扫描电极连接，所述触控感应信号线与对应的所述触控感应电极连接，所述触控扫描信号线和所述触控感应信号线均与所述栅线同层设置。
可选地，所述触控扫描信号线和对应的所述触控扫描电极通过多个过孔连接，所述触控感应信号线和对应的所述触控感应电极通过多个过孔连接。
可选地，所述公共电极层还包括：公共电极；
所述公共电极，用于在显示时间段内加载公共电极信号。
可选地，还包括：公共电极信号线，所述公共电极信号线与对应的所述公共电极连接，所述公共电极信号线与所述栅线同层设置。
可选地，所述公共电极信号线和对应的所述公共电极通过多个过孔连接。
可选地，所述触控扫描电极和所述触控感应电极形成插指电极阵列结构。
可选地，所述触控扫描电极和所述触控感应电极形成插指电极阵列结构，所述公共电极位于所述触控扫描电极和所述触控感应电极之间的间隙处。
可选地，每行触控扫描电极包括多个触控扫描子电极，每相邻的两行触控扫描电极形成一组，每组中位置相对且位于两行的两个触控扫描子电极为一体结构，相邻组的触控感应电极为一体结构。
可选地，所述公共电极包括：第一公共子电极和第二公共子电极；
所述触控扫描电极和所述触控感应电极形成插指电极阵列结构，所述第一公共子电极位于所述触控扫描电极和所述触控感应电极之间的间隙处，所述第二公共子电极位于相邻行所述插指电极阵列结构之间的间隙处。
可选地，每相邻的两行像素单元形成一组，每组中两行所述像素单元之间形成有两条所述栅线，所述触控扫描信号线和所述触控感应信号线中之一或其任意组合位于相邻组之间的间隙处。
可选地，每相邻的两行像素单元形成一组，每组中两行所述像素单元之间形成有两条所述栅线，所述触控扫描信号线、所述触控感应信号线和/或所述公共电极信号线位于相邻组之间的间隙处。
为实现上述目的，本发明提供了一种触摸屏，包括：上述阵列基板。
为实现上述目的，本发明提供了一种显示装置，包括：上述触摸屏。
为实现上述目的，本发明提供了一种阵列基板的制造方法，包括：
在衬底基板上形成栅线和数据线，所述栅线和所述数据线限定像素单元；
在所述衬底基板上形成公共电极层，所述公共电极层包括：触控扫描电极和触控感应电极，所述触控扫描电极用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号，所述触控感应电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号。
可选地，还包括：在衬底基板上形成栅线的同时，形成金属信号线，所述金属信号线包括：触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线中之一或其任意组合。
本发明具有以下有益效果：
本发明提供的技术方案中，公共电极层包括触控扫描电极、触控感应电极和公共电极，对显示信号和触控信号进行分时驱动；使得在显示信号传送时段，触控扫描电极、触控感应电极和公共电极共同实现公共信号传送；使得在触控信号传送时段，触控扫描电极和触控感应电极实现触摸信号感应传送。本发明中由于触控扫描电极和触控感应电极是形成于公共电极层中的，因此无需在阵列基板上增加新的膜层，也无需在制造过程中增加新的工艺流程，从而降低了生产成本，提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明实施例一中公共电极层的结构示意图；
图2为图1中A处的放大图；
图3为本发明实施例二中公共电极层的结构示意图；
图4为本发明实施例三中公共电极层的结构示意图；
图5为本发明实施例六提供的一种阵列基板的制造方法的流程图。
具体实施方式
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图对本发明提供的阵列基板及其制造方法、触摸屏和显示装置进行详细描述。
本发明实施例一提供了一种阵列基板，该阵列基板包括衬底基板和形成于衬底基板上的栅线、数据线和公共电极层，栅线和数据线限定像素单元。其中，公共电极层可包括：触控扫描电极和触控感应电极，触控扫描电极用于在显示时间段内加载公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号，触控感应电极用于在显示时间段内加载公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号。
本发明中，对传统的整面连接的公共电极层进行优化设计，使得公共电极层中形成触控扫描电极和触控感应电极，并采用分时驱动显示和触控技术实现触控屏的功能。其中，分时驱动显示和触控技术是指：将一帧时间划分为显示时间段和触控时间段，在触控时间段内触控扫描电极上加载触控扫描信号，而触控感应电极在该触控时间段内耦合触控扫描信号生成触控感应信号并输出该触控感应信号；在显示时间段内触控扫描电极和触控感应电极上均加载公共电极信号，此时触控扫描电极和触控感应电极起到公共电极的作用。本实施例中，优选地，公共电极层的材料为透明导电材料，例如：ITO。
图1为本发明实施例一中公共电极层的结构示意图，如图1所示，该公共电极层包括：触控扫描电极1、触控感应电极2和公共电极3。公共电极3用于在显示时间段内加载公共电极信号。本实施例中，触控扫描电极1和触控感应电极2形成插指电极阵列结构，触控扫描电极1和触控感应电极2同层设置且相互绝缘，因此形成插指结构的触控扫描电极1和触控感应电极2之间存在间隙，这样在触控扫描电极1和触控感应电极2之间的间隙处可设置公共电极3，因此公共电极3可位于触控扫描电极1和触控感应电极2之间的间隙处。优选地，每行触控扫描电极1可包括多个触控扫描子电极，每相邻的两行触控扫描电极1形成一组，每组中位置相对且位于两行的两个触控扫描子电极为一体结构，相邻组的触控感应电极2为一体结构。以图1中的第一行（图中最上面一行）和第二行为例进行描述，第一行触控扫描电极1包括触控扫描子电极11、触控扫描子电极12和触控扫描子电极13，触控扫描子电极11、触控扫描子电极12和触控扫描子电极13同层设置且相互绝缘；第二行触控扫描电极1包括触控扫描子电极14、触控扫描子电极15和触控扫描子电极16，触控扫描子电极14、触控扫描子电极15和触控扫描子电极16同层设置且相互绝缘。第一行触控扫描电极1和第二行触控扫描电极1形成一组，位置相对的触控扫描子电极11和触控扫描子电极14为一体结构，位置相对的触控扫描子电极12和触控扫描子电极15为一体结构，位置相对的触控扫描子电极13和触控扫描子电极16为一体结构。并且，相邻组的触控感应电极2为一体结构，如图1所示，例如：与第二行的触控扫描电极形成插指结构的触控感应电极2和与第三行的触控扫描电极形成插指结构的触控感应电极2为一体结构。具体地，如图1所示，公共电极3可位于触控扫描子电极和触控感应电极2之间的间隙处。
本实施例中，触控扫描电极为纵向电极，触控感应电极为横向电极。但在实际应用中，可选地，触控扫描电极还可以为横向电极，而触控感应电极为纵向电极，此种情况不再具体画出。此外，在实际应用中，触控扫描电极和触控感应电极还可以为其它结构，例如：条状结构或者菱形结构，在此不做限定。本实施例中，触控扫描电极和触控感应电极采用插指电极阵列结构，能够增大触控扫描电极和触控感应电极的互感电容，从而提高了触控的灵敏性和准确性。并且可以通过调整公共电极和插指电极阵列结构之间的间距，进一步地增大触控扫描电极和触控感应电极的互感电容，从而进一步地提高了触控的灵敏性和准确性。
本实施例中，触摸屏的精度通常在毫米级，可通过选择触控扫描电极和触控感应电极的密度和宽度以保证所需的精度。例如：如图1所示，触控扫描电极的宽度d1包括5mm至6mm，触控感应电极的宽度d2包括5mm至6mm。
进一步地，该阵列基板还可以包括：触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线。触控扫描信号线用于在显示时间段内向触控扫描电极输出公共电极信号以及在触控时间段内向触控扫描电极输出触控扫描信号。触控感应信号线用于在显示时间段内向触控感应电极输出公共电极信号以及在触控时间段内接收触控感应电极输出的触控感应信号并输出。公共电极信号线用于在显示时间段内向公共电极输出公共电极信号。触控扫描信号线与对应的触控扫描电极连接，触控感应信号线与对应的触控感应电极连接，公共电极信号线与对应的公共电极连接。优选地，每个触控扫描子电极可对应于至少一条触控扫描信号线，因此，每个触控扫描子电极可与至少一条触控扫描信号线连接。如图1所示，例如：触控扫描子电极11与对应的触控扫描信号线31和触控扫描信号线32连接，触控扫描子电极12与对应的触控扫描信号线33和触控扫描信号线34连接，触控扫描子电极13与对应的触控扫描信号线35和触控扫描信号线36连接。优选地，每个触控感应电极可对应于至少一条触控感应信号线，因此，每个触控感应电极可与至少一条触控扫描信号线连接。如图1所示，例如：触控感应电极2与对应的触控感应信号线37、触控感应信号线38、触控感应信号线39和触控感应信号线40连接。优选地，触控扫描信号线和对应的触控扫描电极可通过多个过孔41连接，触控感应信号线和对应的触控感应电极可通过多个过孔42连接，需要说明的是：图1中的实心圆点即为过孔，图中仅标注41和42两个标号进行说明，其余过孔不再一一标注。优选地，每个公共电极可对应于至少一条公共电极信号线，因此，每个公共电极可与至少一条公共电极信号线连接。如图1所示，例如：公共电极3与对应的公共电极信号线43、公共电极信号线44、公共电极信号线45和公共电极信号线46连接。优选地，公共电极信号线和对应的公共电极可通过多个过孔连接。由于公共电极层通常采用透明导电材料制成，因此触控扫描信号线和对应的触控扫描电极通过多个过孔连接，触控感应信号线和对应的触控感应电极通过多个过孔连接，以及公共电极信号线和对应的公共电极通过多个过孔连接，相当于将透明导电材料制成的电极和多个由信号线组成的金属电阻并能，这样能够最大限度的减小电极的电阻，从而提高电极传递信号的信噪比。
本实施例中，优选地，触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线均与栅线同层设置。在实际应用中，可选地，触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线也可以与栅线非同层设置，触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线与栅线之间设置有绝缘层。在实际应用中，可选地，触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线也可以与数据线同层设置。当触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线均与栅线同层设置时，可以采用同一个掩膜板同时制作出触控扫描信号线、触控感应信号线、公共电极信号线和栅线，无需采用额外的掩膜板，从而简化了生产流程，降低了制造成本，提高了生产效率。同理，当触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线均与数据线同层设置时，也简化了生产流程，降低了制造成本，提高了生产效率。
本实施例中，像素单元可包括：薄膜晶体管（ThinFilmTransistor，简称：TFT）和像素电极。优选地，本实施例提供的阵列基板可应用于高级超维场转换（AdvancedSuperDimensionSwitch，简称：ADS）型显示装置或者超高级超维场转换（HighAdvancedSuperDimensionSwitch，简称：HADS）型显示装置。在触摸屏中，通常具有触控功能的结构的精度在毫米级，而具有显示功能的结构的精度在微米级，因此，通常一个触控扫描电极和触控感应电极可覆盖多行或者多列像素单元。其中，精度指的是触摸屏中一个触控单元的尺寸或者一个像素单元的尺寸。本实施例中，由于具有触控功能的结构和具有显示功能的结构在精度上存在数量级的差异，因此为了能够更清楚的表示出像素单元的结构，对图1中的局部结构进行放大形成图2。图2为图1中A处的放大图，如图2所示，栅线6和数据线7限定像素单元5，像素单元5包括：薄膜晶体管51和像素电极52，每相邻的两行像素单元5形成一组，每组中两行像素单元5之间形成有两条栅线6。两条栅线6分别控制上下两行像素单元5，靠近上行像素单元5的栅线6控制上行像素单元5，而靠近下行像素单元5的栅线6控制下行像素单元5。通过上述结构变换，节省出一部分栅线的位置，这样就可以在相邻组之间的间隙处设置触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线中之一或其任意组合，也就是说，触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线中之一或其任意组合可位于相邻组之间的间隙处，且触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线均可与栅线6同层设置，具体地，如图2所示，公共电极信号线46设置于上行像素电极5的上方且通过过孔48与公共电极3连接，触控扫描信号线34设置于下行像素单元5的下方且通过过孔49与触控扫描电极1连接。综上所述，在相邻组之间的间隙处可设置一条或者多条信号线。上述对结构变换，节省出了一部分栅线的位置布置上述触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线，不会过多占用开口区域，使得触摸屏像素的开口率达到最大化。
本实施例提供的阵列基板的公共电极层包括触控扫描电极、触控感应电极和公共电极，对显示信号和触控信号进行分时驱动；使得在显示信号传送时段，触控扫描电极、触控感应电极和公共电极共同实现公共信号传送；使得在触控信号传送时段，触控扫描电极和触控感应电极实现触摸信号感应传送。本实施例中由于触控扫描电极和触控感应电极是形成于公共电极层中的，因此无需在阵列基板上增加新的膜层，也无需在制造过程中增加新的工艺流程，从而降低了生产成本，提高了生产效率。本实施例中，在公共电极层中形成触控扫描电极和触控驱动电极，充分考虑了触控扫描电极和触控驱动电极的互感电容，降低了触控扫描电极的对地电容和触控感应电极的对地电容，并对显示信号和触摸信号进行分时驱动，从而减小了触摸屏的RC延迟，降低了噪声，增大了触摸屏的信噪比（SNR）。由于对显示信号和触摸信号进行分时驱动，因此能够降低触控和显示功能的相互干扰，从而提高了触摸屏显示画面的品质和触控的准确性。
本发明实施例二提供了一种阵列基板，该阵列基板包括衬底基板和形成于衬底基板上的栅线、数据线和公共电极层，栅线和数据线限定像素单元。其中，公共电极层可包括：触控扫描电极和触控感应电极，触控扫描电极用于在显示时间段内加载公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号，触控感应电极用于在显示时间段内加载公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号。
图3为本发明实施例二中公共电极层的结构示意图，如图3所示，该公共电极层包括：触控扫描电极1和触控感应电极2。本实施例中，触控扫描电极1和触控感应电极2形成插指电极阵列结构，触控扫描电极1和触控感应电极2同层设置且相互绝缘。优选地，每行触控扫描电极1可包括多个触控扫描子电极，每相邻的两行触控扫描电极1形成一组，每组中位置相对且位于两行的两个触控扫描子电极为一体结构，相邻组的触控感应电极2为一体结构。本实施例中，对触控扫描电极1和触控感应电极2的具体描述可参见上述实施例一的描述，此处不再赘述。
进一步地，该阵列基板还可以包括：触控扫描信号线和触控感应信号线。对触控扫描信号线和触控感应信号线的具体描述可参见上述实施例一中的描述，此处不再赘述。
本实施例中，优选地，触控扫描信号线和触控感应信号线均与栅线同层设置。在实际应用中，可选地，触控扫描信号线和触控感应信号线也可以与栅线非同层设置，触控扫描信号线和触控感应信号线与栅线之间设置有绝缘层。在实际应用中，可选地，触控扫描信号线和触控感应信号线也可以与数据线同层设置。
本实施例中，每相邻的两行触控扫描信号线和/或触控感应信号线位于相邻组之间的间隙处。具体描述可参见实施例一中的描述，此处不再赘述。
本实施例与上述实施例一的区别在于：本实施例中，公共电极层中不包括公共电极，具体地，在触控扫描子电极和触控感应电极之间的间隙处未设置公共电极。由于公共电极层中未设置公共电极，因此在显示时间段内，通过在触控扫描电极和触控感应电极上加载公共电极信号，使得触控扫描电极和触控感应电极起到公共电极的作用。本实施例与上述实施例一相比，由于在公共电极层未设置公共电极，从而简化了公共电极层的图形复杂度，降低了工艺制造难度。
本发明实施例三提供了一种阵列基板，该阵列基板包括衬底基板和形成于衬底基板上的栅线、数据线和公共电极层，栅线和数据线限定像素单元。其中，公共电极层可包括：触控扫描电极和触控感应电极，触控扫描电极用于在显示时间段内加载公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号，触控感应电极用于在显示时间段内加载公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号。
图4为本发明实施例三中公共电极层的结构示意图，如图4所示，该公共电极层包括：触控扫描电极1、触控感应电极2和公共电极3。公共电极3用于在显示时间段内加载公共电极信号。本实施例中，触控扫描电极1和触控感应电极2形成插指电极阵列结构，触控扫描电极1和触控感应电极2同层设置且相互绝缘。公共电极3可包括：第一公共子电极301和第二公共子电极302，第一公共子电极301位于触控扫描电极和触控感应电极之间的间隙处，第二公共子电极302位于相邻行插指电极阵列结构之间的间隙处。本实施例中，优选地，每行触控扫描电极1可包括多个触控扫描子电极，如图4所示，例如：第一行（图中最上面一行）触控扫描电极1包括触控扫描子电极11、触控扫描子电极12和触控扫描子电极13，第一公共子电极301可位于触控扫描子电极和触控感应电极2之间的间隙处。
进一步地，该阵列基板还可以包括：触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线。本实施例中，优选地，触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线均与栅线同层设置。对上述触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线的描述可参见实施例一的描述，此处不再赘述。如图4所示，本实施例与上述实施例一的区别在于：第一公共子电极301与对应的公共电极信号线43、公共电极信号线44、公共电极信号线45和公共电极信号线46连接；第二公共子电极302与对应的公共电极信号线47连接。优选地，公共电极信号线和对应的公共电极可通过多个过孔连接。
需要说明的是：在本发明上述实施例一对应的图1中、实施例二对应的图3中和实施例三对应的图4中，作为示意，均仅在第一行的插指电极阵列结构对应位置上画出各种信号线，其余行并未具体画出信号线，但本领域技术人员应当清楚，在实际应用中其余行的插指电极阵列结构对应的位置上也是存在信号线的。
本发明实施例四提供了一种触摸屏，该触摸屏包括阵列基板，该阵列基板可采用上述实施例一、实施例二或者实施例三中的阵列基板，此处不再具体描述。
本发明实施例五提供了一种显示装置，该显示装置包括触摸屏，该触摸屏可采用上述实施例四中的触摸屏，此处不再具体描述。
图5为本发明实施例六提供的一种阵列基板的制造方法的流程图，如图5所示，该方法包括：
步骤101、在衬底基板上形成栅线和数据线，栅线和数据线限定像素单元。
本实施例中，像素单元包括：薄膜晶体管TFT和像素电极。其中，TFT包括：栅极、源极、漏极和有源层。
可选地，步骤101包括：
步骤1011、在衬底基板上形成栅极和栅线，并且在形成栅线的同时形成金属信号线，该金属信号线可包括：触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线中之一或其任意组合。
步骤1012、在栅极、栅线和金属信号线上形成栅绝缘层，该栅绝缘层覆盖整个衬底基板。
步骤1013、在栅绝缘层上形成有源层图形。
步骤1014、在形成有有源层图形的衬底基板上形成源极、漏极和与源极连接的数据线，栅线和数据线限定像素单元。
步骤1015、在像素单元中形成与漏极连接的像素电极。
步骤1016、在形成有像素电极的衬底基板上形成钝化层，并在钝化层上形成过孔。
步骤102、在衬底基板上形成公共电极层，公共电极层包括：触控扫描电极和触控感应电极，触控扫描电极用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号，所述触控感应电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号。
可选地，公共电极层还可以包括公共电极，公共电极用于在显示时间段内加载公共电极信号。
其中，公共电极层形成于钝化层上并填充于过孔中，以使触控扫描信号线和对应的触控扫描电极通过过孔连接，触控感应信号线和对应的触控感应电极通过过孔连接，以及公共电极信号线和对应的公共电极通过过孔连接。
本实施例中，栅极、栅线、金属信号线、有源层图形、源极、漏极、数据线、触控扫描电极、触控感应电极和公共电极均可以通过构图工艺形成。可选地，构图工艺至少可包括：光刻胶涂覆、掩膜、曝光、显影、刻蚀以及光刻胶剥离等工艺。
本实施例提供的阵列基板的制造方法可用于制造实施例一、实施例二或者实施例三中所述的阵列基板，对阵列基板结构的描述可参见上述实施例，此处不再赘述。
本实施例提供的阵列基板的制造方法制造出的阵列基板中，包括触控扫描电极、触控感应电极和公共电极，对显示信号和触控信号进行分时驱动；使得在显示信号传送时段，触控扫描电极、触控感应电极和公共电极共同实现公共信号传送；使得在触控信号传送时段，触控扫描电极和触控感应电极实现触摸信号感应传送。本实施例中由于触控扫描电极和触控感应电极是形成于公共电极层中的，因此无需在阵列基板上增加新的膜层，也无需在制造过程中增加新的工艺流程，从而降低了生产成本，提高了生产效率。当触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线均与栅线同层设置时，可以采用同一个掩膜板同时制作出触控扫描信号线、触控感应信号线、公共电极信号线和栅线，无需采用额外的掩膜板，从而简化了生产流程，降低了制造成本，提高了生产效率。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (15)

1.一种阵列基板，包括衬底基板和形成于衬底基板上的栅线、数据线和公共电极层，所述栅线和所述数据线限定像素单元，其特征在于，所述公共电极层包括：触控扫描电极和触控感应电极；
所述触控扫描电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号；
所述触控感应电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号；
所述触控扫描电极与所述触控感应电极沿所述像素单元的列方向并彼此插接；
每相邻的两行像素单元形成一组，每组中两行所述像素单元之间形成有两条所述栅线。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，还包括：触控扫描信号线和触控感应信号线，所述触控扫描信号线与对应的所述触控扫描电极连接，所述触控感应信号线与对应的所述触控感应电极连接，所述触控扫描信号线和所述触控感应信号线均与所述栅线同层设置。
3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述触控扫描信号线和对应的所述触控扫描电极通过多个过孔连接，所述触控感应信号线和对应的所述触控感应电极通过多个过孔连接。
4.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述公共电极层还包括：公共电极；
所述公共电极，用于在显示时间段内加载公共电极信号。
5.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，还包括：公共电极信号线，所述公共电极信号线与对应的所述公共电极连接，所述公共电极信号线与所述栅线同层设置。
6.根据权利要求5所述的阵列基板，其特征在于，所述公共电极信号线和对应的所述公共电极通过多个过孔连接。
7.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述触控扫描电极和所述触控感应电极形成插指电极阵列结构，所述公共电极位于所述触控扫描电极和所述触控感应电极之间的间隙处。
8.根据权利要求1或7所述的阵列基板，其特征在于，每行触控扫描电极包括多个触控扫描子电极，每相邻的两行触控扫描电极形成一组，每组中位置相对且位于两行的两个触控扫描子电极为一体结构，相邻组的触控感应电极为一体结构。
9.根据权利要求4所述的阵列基板，其特征在于，所述公共电极包括：第一公共子电极和第二公共子电极；
所述触控扫描电极和所述触控感应电极形成插指电极阵列结构，所述第一公共子电极位于所述触控扫描电极和所述触控感应电极之间的间隙处，所述第二公共子电极位于相邻行所述插指电极阵列结构之间的间隙处。
10.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述触控扫描信号线和/或所述触控感应信号线位于相邻组之间的间隙处。
11.根据权利要求5所述的阵列基板，其特征在于，所述触控扫描信号线、所述触控感应信号线和所述公共电极信号线中之一或其任意组合位于相邻组之间的间隙处。
12.一种触摸屏，其特征在于，包括：权利要求1至11任一所述的阵列基板。
13.一种显示装置，其特征在于，包括：权利要求12所述的触摸屏。
14.一种阵列基板的制造方法，其特征在于，包括：
在衬底基板上形成栅线和数据线，所述栅线和所述数据线限定像素单元；
在所述衬底基板上形成公共电极层，所述公共电极层包括：触控扫描电极和触控感应电极，所述触控扫描电极用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内加载触控扫描信号，所述触控感应电极，用于在显示时间段内加载所述公共电极信号以及在触控时间段内输出触控感应信号；并且，
所述触控扫描电极与所述触控感应电极沿所述像素单元的列方向并彼此插接；
每相邻的两行像素单元形成一组，每组中两行所述像素单元之间形成有两条所述栅线。
15.根据权利要求14所述的阵列基板的制造方法，其特征在于，还包括：
在衬底基板上形成栅线的同时，形成金属信号线，所述金属信号线包括：触控扫描信号线、触控感应信号线和公共电极信号线中之一或其任意组合。
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