CN103376184A - 一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法，监控系统包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置和显示装置；数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，操作装置用于向系统发送执行命令，处理装置用于处理数据并将数据转换成趋势图表，显示装置用于读取所处理装置中经转换的趋势图表并显示；处理装置与数据捕捉装置、操作装置和显示装置分别连接。本发明的有益效果是：将导入的参数自动换算成百分比形式，在趋势图上清晰完整地展现零到百分之百之间的变化关系，解决了真空变化小，其他参数变化大，在同一个趋势图中无法正常显示的问题；用户还能从存储装置中导出相同参数的两条或几条历史曲线进行比较和分析，方便工作。
Description
技术领域
本发明涉及图表监控技术领域，具体涉及一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法。
背景技术
趋势图是实时或历史标签数据的一种可视化表示或图表，它可以帮助操作员跟踪工厂中正在发生的活动，是监控系统的重要组成部分。以往老的基于真空环境下的趋势图主要有以下缺点：
1. 由于真空压强的特殊关系，在抽真空的时候，真空度非常小，接近于零，常为1.0E-6至9.0E-3豪巴左右，而溅射电源参数功率、电压、电流又常为100以上的常数，这就造成了在一个趋势图内现实的时候真空变化非常小，电源参数变化非常大，经常是我们关系的区域看不清，不关心的区域又很明显地在趋势图内变化，干扰我们的视线，影响设备监控基本功能。
2. 导入趋势图中的画笔有限，不能根据具体情况，导入我们需要观察变化的数据。
3. 不能比较相同参数的两条曲线的历史变化。
本发明能克服现有技术中的缺点，提供一种在高真空计数下真空度的变化曲线与电流电压在同一张趋势图下清晰明显的表现情况。
发明内容
针对目前趋势图监控技术存在的上述问题，本发明提供一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法技术方案。
一种基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置和显示装置；所述数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，所述操作装置用于向系统发送执行命令，所述处理装置用于处理数据并将所述数据转换成趋势图表，所述显示装置用于读取所述处理装置中经转换的趋势图表并显示；
所述处理装置与所述数据捕捉装置、所述操作装置和所述显示装置分别连接。
上述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，所述处理装置包括图表转换模块和量度调整模块，所述图表转换模块用于将捕捉到的数据转换成趋势图表，所述趋势图表用曲线表示数据的变化情况；所述量度调整模块用于调整所述趋势图表中的数据集合的量度标准；所述图表转换模块与所述数据捕捉装置、所述显示装置和所述量度调整模块分别连接，所述操作装置与所述图表转换模块和所述量度调整模块分别连接。
上述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，所述数据捕捉装置包括压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块，所述压强检测模块用于测量所述真空环境下的真空压强，所述电压检测模块用于测量所述真空环境下的电源电压，所述电流检测模块用于测量所述真空环境下的电源电流，所述功率检测模块用于测量所述真空环境下的电源功率。
上述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，还包括存储装置，所述存储装置用于储存趋势图表数据；所述存储装置与所述处理装置中的所述图表转换模块连接。
一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其中，具体步骤包括：
步骤1，所述数据捕捉装置测量所述真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数并传送至所述处理装置中；
步骤2，所述操作装置向所述处理装置中的所述量度调整模块发送调整量度的命令，所述量度调整模块按预置策略调整所述趋势图中的量度标准；
步骤3，所述处理装置中的所述图表转换模块接收所述数据捕捉装置传送的数据并处理，依据调整后的所述量度标准，将所述数据转换成趋势图表，并将所述趋势图表传送至所述显示装置，同时将所述趋势图表传送至所述存储装置储存；
步骤4，所述显示装置显示接收的所述趋势图表。
上述的一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其中，所述步骤2中，所述预置策略是指所述量度调整模块在所述趋势图中设定一个最大值，并根据所述最大值将量度标准设定为按百分比显示。
本发明的有益效果：
将导入的参数自动换算成百分比形式，在趋势图上清晰完整地展现零到百分之百之间的变化关系，解决了真空变化小，其他参数变化大，在同一个趋势图中无法正常显示的问题，让用户随意添加自己需要的参数曲线，而不用担心纵坐标量程问题；用户还能从存储装置中导出相同参数的两条或几条历史曲线进行比较和分析历史数据，做好调试和生产工作。
附图说明
图1为本发明一种基于真空环境下的趋势图监控系统的结构示意图；
图2为本发明一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
如图1所示为一种基于真空环境下的趋势图监控系统的组成结构，其中包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置、显示装置和存储装置；数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，操作装置用于向系统发送执行命令，处理装置用于处理数据并将数据转换成趋势图表，显示装置用于读取处理装置中经转换的趋势图表并显示，存储装置用于储存趋势图表数据；
处理装置包括图表转换模块和量度调整模块，图表转换模块用于将捕捉到的数据转换成趋势图表；量度调整模块用于调整趋势图表中的量度标准；图表转换模块与数据捕捉装置、显示装置和坐标调整模块分别连接，操作装置与图表转换模块和量度调整模块分别连接。
操作装置是键盘和鼠标，显示装置是显示屏；数据捕捉装置包括压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块等设备，用于测量真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数。
处理装置中的图表转换模块与处理装置中的量度调整模块、数据捕捉装置、显示装置和存储装置分别连接，操作装置与图表转换模块和量度调整模块分别连接。
如图2所示为一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法的流程示意图，具体包括：
步骤1，通过压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块等数据捕捉装置采集真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数并传送至处理装置；
步骤2，操作装置向处理装置中的量度调整模块发送调整量度标准的命令，量度调整模块按预置策略调整趋势图中的量度标准；
按照预置策略调整量度刻度具体指用户通过操作界面向量度调整模块发送调整执行命令，量度调整模块通过更改VBA程序将量度标准更改为按百分比形式显示，同时通过设定最大值的方法来显示和限制曲线，这样每条曲线就会通过程序内部转换乘直接可阅读的清晰的可按百分比显示的曲线，轻易实现了观察无限趋进于零的真空度趋势与溅射电源参数变化情况在同一个趋势图里变化的曲线的目的。
步骤3，处理装置中的图表转换模块接收数据捕捉装置传送的数据并处理，依据调整后的最大值，将数据转换成相应的百分比形式并构成趋势图表，将趋势图表传送至显示装置，同时将趋势图表传送至存储装置储存；
步骤4，显示装置显示接收的趋势图表。
用户还可以通过操作装置增加需要的数据记录模型，将需要监视的标签添加进趋势图中并运行。
用户还可以根据需要从存储装置中调出相同参数的两条或多条历史曲线，进行比较和分析历史数据，做好调试和生产工作。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的申请专利范围，所以凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等效结构变化，均包含在本发明的保护范围内。
Claims (6)
1. 一种基于真空环境下的趋势图监控系统，其特征在于，包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置和显示装置；所述数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，所述操作装置用于向系统发送执行命令，所述处理装置用于处理数据并将所述数据转换成趋势图表，所述显示装置用于读取所述处理装置中经转换的趋势图表并显示；
所述处理装置与所述数据捕捉装置、所述操作装置和所述显示装置分别连接。
2.如权利要求1所述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其特征在于，所述处理装置包括图表转换模块和量度调整模块，所述图表转换模块用于将捕捉到的数据转换成趋势图表，所述趋势图表用曲线表示数据的变化情况；所述量度调整模块用于调整所述趋势图表中的数据集合的量度标准；所述图表转换模块与所述数据捕捉装置、所述显示装置和所述量度调整模块分别连接，所述操作装置与所述图表转换模块和所述量度调整模块分别连接。
3.如权利要求1所述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其特征在于，所述数据捕捉装置包括压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块，所述压强检测模块用于测量所述真空环境下的真空压强，所述电压检测模块用于测量所述真空环境下的电源电压，所述电流检测模块用于测量所述真空环境下的电源电流，所述功率检测模块用于测量所述真空环境下的电源功率。
4.如权利要求1所述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其特征在于，还包括存储装置，所述存储装置用于储存趋势图表数据；所述存储装置与所述处理装置中的所述图表转换模块连接。
5.一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其特征在于，具体步骤包括：
步骤1，所述数据捕捉装置测量所述真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数并传送至所述处理装置中；
步骤2，所述操作装置向所述处理装置中的所述量度调整模块发送调整量度的命令，所述量度调整模块按预置策略调整所述趋势图中的量度标准；
步骤3，所述处理装置中的所述图表转换模块接收所述数据捕捉装置传送的数据并处理，依据调整后的所述量度标准，将所述数据转换成趋势图表，并将所述趋势图表传送至所述显示装置，同时将所述趋势图表传送至所述存储装置储存；
步骤4，所述显示装置显示接收的所述趋势图表。
6.如权利要求5所述的一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其特征在于，所述步骤2中，所述预置策略是指所述量度调整模块在所述趋势图中设定一个最大值，并根据所述最大值将量度标准设定为按百分比显示。
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