CN103376184B - 一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法 - Google Patents
一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103376184B CN103376184B CN201210120727.4A CN201210120727A CN103376184B CN 103376184 B CN103376184 B CN 103376184B CN 201210120727 A CN201210120727 A CN 201210120727A CN 103376184 B CN103376184 B CN 103376184B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- trendgram
- data
- processing means
- vacuum environment
- chart
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000013481 data capture Methods 0.000 claims abstract description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 24
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Abstract
本发明公开了一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法，监控系统包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置和显示装置；数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，操作装置用于向系统发送执行命令，处理装置用于处理数据并将数据转换成趋势图表，显示装置用于读取所处理装置中经转换的趋势图表并显示；处理装置与数据捕捉装置、操作装置和显示装置分别连接。本发明的有益效果是：将导入的参数自动换算成百分比形式，在趋势图上清晰完整地展现零到百分之百之间的变化关系，解决了真空变化小，其他参数变化大，在同一个趋势图中无法正常显示的问题；用户还能从存储装置中导出相同参数的两条或几条历史曲线进行比较和分析，方便工作。
Description
技术领域
本发明涉及图表监控技术领域，具体涉及一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法。
背景技术
趋势图是实时或历史标签数据的一种可视化表示或图表，它可以帮助操作员跟踪工厂中正在发生的活动，是监控系统的重要组成部分。以往老的基于真空环境下的趋势图主要有以下缺点：
1. 由于真空压强的特殊关系，在抽真空的时候，真空度非常小，接近于零，常为1.0E-6至9.0E-3豪巴左右，而溅射电源参数功率、电压、电流又常为100以上的常数，这就造成了在一个趋势图内现实的时候真空变化非常小，电源参数变化非常大，经常是我们关系的区域看不清，不关心的区域又很明显地在趋势图内变化，干扰我们的视线，影响设备监控基本功能。
2. 导入趋势图中的画笔有限，不能根据具体情况，导入我们需要观察变化的数据。
3. 不能比较相同参数的两条曲线的历史变化。
本发明能克服现有技术中的缺点，提供一种在高真空计数下真空度的变化曲线与电流电压在同一张趋势图下清晰明显的表现情况。
发明内容
针对目前趋势图监控技术存在的上述问题，本发明提供一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法技术方案。
一种基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置和显示装置；所述数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，所述操作装置用于向系统发送执行命令，所述处理装置用于处理数据并将所述数据转换成趋势图表，所述显示装置用于读取所述处理装置中经转换的趋势图表并显示；
所述处理装置与所述数据捕捉装置、所述操作装置和所述显示装置分别连接。
上述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，所述处理装置包括图表转换模块和量度调整模块，所述图表转换模块用于将捕捉到的数据转换成趋势图表，所述趋势图表用曲线表示数据的变化情况；所述量度调整模块用于调整所述趋势图表中的数据集合的量度标准；所述图表转换模块与所述数据捕捉装置、所述显示装置和所述量度调整模块分别连接，所述操作装置与所述图表转换模块和所述量度调整模块分别连接。
上述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，所述数据捕捉装置包括压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块，所述压强检测模块用于测量所述真空环境下的真空压强，所述电压检测模块用于测量所述真空环境下的电源电压，所述电流检测模块用于测量所述真空环境下的电源电流，所述功率检测模块用于测量所述真空环境下的电源功率。
上述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其中，还包括存储装置，所述存储装置用于储存趋势图表数据；所述存储装置与所述处理装置中的所述图表转换模块连接。
一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其中，具体步骤包括：
步骤1，所述数据捕捉装置测量所述真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数并传送至所述处理装置中；
步骤2，所述操作装置向所述处理装置中的所述量度调整模块发送调整量度的命令，所述量度调整模块按预置策略调整所述趋势图中的量度标准；
步骤3，所述处理装置中的所述图表转换模块接收所述数据捕捉装置传送的数据并处理，依据调整后的所述量度标准，将所述数据转换成趋势图表，并将所述趋势图表传送至所述显示装置，同时将所述趋势图表传送至所述存储装置储存；
步骤4，所述显示装置显示接收的所述趋势图表。
上述的一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其中，所述步骤2中，所述预置策略是指所述量度调整模块在所述趋势图中设定一个最大值，并根据所述最大值将量度标准设定为按百分比显示。
本发明的有益效果：
将导入的参数自动换算成百分比形式，在趋势图上清晰完整地展现零到百分之百之间的变化关系，解决了真空变化小，其他参数变化大，在同一个趋势图中无法正常显示的问题，让用户随意添加自己需要的参数曲线，而不用担心纵坐标量程问题；用户还能从存储装置中导出相同参数的两条或几条历史曲线进行比较和分析历史数据，做好调试和生产工作。
附图说明
图1为本发明一种基于真空环境下的趋势图监控系统的结构示意图；
图2为本发明一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。
如图1所示为一种基于真空环境下的趋势图监控系统的组成结构，其中包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置、显示装置和存储装置；数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，操作装置用于向系统发送执行命令，处理装置用于处理数据并将数据转换成趋势图表，显示装置用于读取处理装置中经转换的趋势图表并显示，存储装置用于储存趋势图表数据；
处理装置包括图表转换模块和量度调整模块，图表转换模块用于将捕捉到的数据转换成趋势图表；量度调整模块用于调整趋势图表中的量度标准；图表转换模块与数据捕捉装置、显示装置和坐标调整模块分别连接，操作装置与图表转换模块和量度调整模块分别连接。
操作装置是键盘和鼠标，显示装置是显示屏；数据捕捉装置包括压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块等设备，用于测量真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数。
处理装置中的图表转换模块与处理装置中的量度调整模块、数据捕捉装置、显示装置和存储装置分别连接，操作装置与图表转换模块和量度调整模块分别连接。
如图2所示为一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法的流程示意图，具体包括：
步骤1，通过压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块等数据捕捉装置采集真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数并传送至处理装置；
步骤2，操作装置向处理装置中的量度调整模块发送调整量度标准的命令，量度调整模块按预置策略调整趋势图中的量度标准；
按照预置策略调整量度刻度具体指用户通过操作界面向量度调整模块发送调整执行命令，量度调整模块通过更改VBA程序将量度标准更改为按百分比形式显示，同时通过设定最大值的方法来显示和限制曲线，这样每条曲线就会通过程序内部转换乘直接可阅读的清晰的可按百分比显示的曲线，轻易实现了观察无限趋进于零的真空度趋势与溅射电源参数变化情况在同一个趋势图里变化的曲线的目的。
步骤3，处理装置中的图表转换模块接收数据捕捉装置传送的数据并处理，依据调整后的最大值，将数据转换成相应的百分比形式并构成趋势图表，将趋势图表传送至显示装置，同时将趋势图表传送至存储装置储存；
步骤4，显示装置显示接收的趋势图表。
用户还可以通过操作装置增加需要的数据记录模型，将需要监视的标签添加进趋势图中并运行。
用户还可以根据需要从存储装置中调出相同参数的两条或多条历史曲线，进行比较和分析历史数据，做好调试和生产工作。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的申请专利范围，所以凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等效结构变化，均包含在本发明的保护范围内。
Claims (5)
1.一种基于真空环境下的趋势图监控系统，其特征在于，包括数据捕捉装置、操作装置、处理装置和显示装置；所述数据捕捉装置用于捕捉数据并录入，所述操作装置用于向系统发送执行命令，所述处理装置用于处理数据并将所述数据转换成趋势图表，所述显示装置用于读取所述处理装置中经转换的趋势图表并显示；
所述处理装置分别与所述数据捕捉装置、所述操作装置和所述显示装置连接；
所述数据捕捉装置包括压强检测模块、电压检测模块、电流检测模块和功率检测模块，所述压强检测模块用于测量所述真空环境下的真空压强，所述电压检测模块用于测量所述真空环境下的电源电压，所述电流检测模块用于测量所述真空环境下的电源电流，所述功率检测模块用于测量所述真空环境下的电源功率。
2.如权利要求1所述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其特征在于，所述处理装置包括图表转换模块和量度调整模块，所述图表转换模块用于将捕捉到的数据转换成趋势图表，所述趋势图表用曲线表示数据的变化情况；所述量度调整模块用于调整所述趋势图表中的数据集合的量度标准；所述图表转换模块分别与所述数据捕捉装置、所述显示装置和所述量度调整模块连接，所述操作装置与所述图表转换模块和所述量度调整模块分别连接。
3.如权利要求1所述的基于真空环境下的趋势图监控系统，其特征在于，还包括存储装置，所述存储装置用于储存趋势图表数据；所述存储装置与所述处理装置中的所述图表转换模块连接。
4.一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其特征在于，具体步骤包括：
步骤1，数据捕捉装置测量所述真空环境下的真空压强以及电源的电压、电流和功率参数并传送至处理装置中；
步骤2，操作装置向所述处理装置中的量度调整模块发送调整量度的命令，所述量度调整模块按预置策略调整所述趋势图中的量度标准；
步骤3，所述处理装置中的图表转换模块接收所述数据捕捉装置传送的数据并处理，依据调整后的所述量度标准，将所述数据转换成趋势图表，并将所述趋势图表传送至显示装置，同时将所述趋势图表传送至存储装置储存；
步骤4，所述显示装置显示接收的所述趋势图表。
5.如权利要求4所述的一种基于真空环境下的趋势图监控系统的应用方法，其特征在于，所述步骤2中，所述预置策略是指所述量度调整模块在所述趋势图中设定一个最大值，并根据所述最大值将量度标准设定为按百分比显示。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210120727.4A CN103376184B (zh) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | 一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210120727.4A CN103376184B (zh) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | 一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103376184A CN103376184A (zh) | 2013-10-30 |
| CN103376184B true CN103376184B (zh) | 2016-11-23 |
Family
ID=49461639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210120727.4A Active CN103376184B (zh) | 2012-04-24 | 2012-04-24 | 一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103376184B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106446074A (zh) * | 2016-09-07 | 2017-02-22 | 努比亚技术有限公司 | 图表数据的显示装置及方法 |
| CN108287528B (zh) * | 2017-12-06 | 2020-02-14 | 莱芜钢铁集团电子有限公司 | 一种多点共面的曲线显示方法和装置 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05215633A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-24 | Fujitsu Ltd | 真空装置の監視装置及び監視方法 |
| CN2177233Y (zh) * | 1993-12-28 | 1994-09-14 | 中南工业大学 | 一种数字式热偶真空计 |
| JPH1183661A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Anelva Corp | 電離真空計の制御装置 |
| CN101221082A (zh) * | 2007-01-09 | 2008-07-16 | 唐家银 | 一种新型真空计 |
| CN101297294A (zh) * | 2004-05-21 | 2008-10-29 | 派拉斯科技术公司 | 图形重新检验用户设置界面 |
| CN101539470A (zh) * | 2008-03-18 | 2009-09-23 | 佳能安内华科技股份有限公司 | 静电电容膜片真空计和真空处理设备 |
| CN101661570A (zh) * | 2009-09-24 | 2010-03-03 | 河北工业大学 | 真空灭弧室真空度测量及寿命管理专家系统和使用方法 |
| CN101762355A (zh) * | 2009-12-31 | 2010-06-30 | 太原理工大学 | 高压配电装置真空管真空度在线监测装置及其方法 |
| CN201569538U (zh) * | 2009-03-19 | 2010-09-01 | 河南省泓钻科技发展有限公司 | 一种反磁控冷阴极脉冲放电真空开关真空度在线监测装置 |
-
2012
- 2012-04-24 CN CN201210120727.4A patent/CN103376184B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05215633A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-24 | Fujitsu Ltd | 真空装置の監視装置及び監視方法 |
| CN2177233Y (zh) * | 1993-12-28 | 1994-09-14 | 中南工业大学 | 一种数字式热偶真空计 |
| JPH1183661A (ja) * | 1997-09-02 | 1999-03-26 | Anelva Corp | 電離真空計の制御装置 |
| CN101297294A (zh) * | 2004-05-21 | 2008-10-29 | 派拉斯科技术公司 | 图形重新检验用户设置界面 |
| CN101221082A (zh) * | 2007-01-09 | 2008-07-16 | 唐家银 | 一种新型真空计 |
| CN101539470A (zh) * | 2008-03-18 | 2009-09-23 | 佳能安内华科技股份有限公司 | 静电电容膜片真空计和真空处理设备 |
| CN201569538U (zh) * | 2009-03-19 | 2010-09-01 | 河南省泓钻科技发展有限公司 | 一种反磁控冷阴极脉冲放电真空开关真空度在线监测装置 |
| CN101661570A (zh) * | 2009-09-24 | 2010-03-03 | 河北工业大学 | 真空灭弧室真空度测量及寿命管理专家系统和使用方法 |
| CN101762355A (zh) * | 2009-12-31 | 2010-06-30 | 太原理工大学 | 高压配电装置真空管真空度在线监测装置及其方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103376184A (zh) | 2013-10-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN204504488U (zh) | 一种钢管闪光对焊在线监测系统 | |
| US20180299944A1 (en) | Production Management Method and System Using Power Consumption Features | |
| CN104181873A (zh) | 一种数字化的产品检测的实现方法、装置及系统 | |
| CN108000239A (zh) | 数控加工在线检测系统 | |
| CN107767024A (zh) | 一种用于盖板玻璃生产线产品质量实时监测系统及方法 | |
| CN103376184B (zh) | 一种基于真空环境下的趋势图监控系统及其应用方法 | |
| CN201698237U (zh) | 铜离子浓度自动分析和控制系统 | |
| CN203012028U (zh) | 一种高压电力设备非接触式预警系统 | |
| CN106803004A (zh) | 一种基于三维施工模型的质量过程监控数据集成方法 | |
| CN203196910U (zh) | 一种产品包装盒表面印刷质量自动检测装置 | |
| CN104096686A (zh) | 一种产品包装盒表面印刷质量自动检测装置 | |
| CN115343318A (zh) | 一种基于无线通信的无源灰分仪远程标定系统 | |
| CN105487036A (zh) | 一种电子式互感器误差特性分析系统 | |
| CN201488816U (zh) | 一种带自动温度湿度检测修正模块的手持红外检测设备 | |
| CN204090048U (zh) | 一种视频质量评价分析仪系统 | |
| CN103631232A (zh) | 数据监测控制方法和装置 | |
| CN204972071U (zh) | 一种多功能手术台 | |
| CN103954674A (zh) | 一种水质重金属在线监测装置 | |
| CN102749055B (zh) | 一种可交互的位移测量系统 | |
| CN204359824U (zh) | 一种具有二维码的基座及用于检测该基座的检测装置 | |
| CN207263278U (zh) | 一种电池极板的涂板在线监控装置 | |
| CN102398700B (zh) | 一种工业炸药全自动包装设备智能监控系统 | |
| CN205139687U (zh) | 一种线束压着品质在线管理系统 | |
| CN109389229A (zh) | 以技术分析为导向的仪控设备维修策略分析方法 | |
| CN103399529A (zh) | 铁水成分碳含量计算机控制方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20170413 Address after: 201600 Songjiang science and Technology Park, Guanghua Road, Shanghai, No. 3, layer 328 Patentee after: SHANGHAI NORTHGLASS COATING TECHNOLOGY INDUSTRIAL Co.,Ltd. Address before: 201108 Songjiang District science and Technology Park Guanghua Road, Shanghai, No. 328 Co-patentee before: SHANGHAI NORTHGLASS TECHNOLOGY INDUSTRIAL Co.,Ltd. Patentee before: SHANGHAI NORTHGLASS COATING TECHNOLOGY INDUSTRIAL Co.,Ltd. Co-patentee before: LUOYANG NORTHGLASS TECHNOLOGY Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20240109 Address after: 3rd Floor, No. 328 Guanghua Road, Science and Technology Park, Songjiang District, Shanghai, 201600 Patentee after: Shanghai Beibo Vacuum Coating Technology Co.,Ltd. Address before: Floor 3, No. 328 Guanghua Road, Songjiang Science and Technology Park, Shanghai, 201600 Patentee before: SHANGHAI NORTHGLASS COATING TECHNOLOGY INDUSTRIAL Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |