CN103332867B - 一种oled面板减薄装置及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种OLED面板减薄装置，包括刻蚀液喷淋系统，还包括氮气喷管、石英隔板和恒温加热器，所述氮气喷管与OLED面板的上表面成一夹角且不与OLED面板接触，OLED面板上每个预留电极测试孔的位置处均安装一个氮气喷管；所述石英隔板平行安装于OLED面板的背面，所述石英隔板背离OLED面板的一侧设有位置与OLED面板上预留电极测试孔位置对应的安装槽；所述恒温加热器安装于所述安装槽内；所述刻蚀液喷淋系统的喷淋管位于OLED面板上方且不与OLED面板接触；本发明还公开了所述OLED面板减薄装置的使用方法。所述OLED面板减薄装置结构简单，使用过程不会引入杂质，避免了对OLED面板质量合格与否的误判且操作简便，便于推广使用。

Description

一种OLED面板减薄装置及其使用方法

技术领域

本发明属于有机电致发光显示技术领域，具体涉及一种OLED面板减薄装置及其使用方法。

背景技术

智能手机和平板电脑的不断发展要求显示屏更轻更薄。受制造工艺限制，玻璃基板厚度已经无法做到更薄了，因此无论是液晶面板还是OLED面板都只能要在对位贴合或者封装完成后，对面板进行减薄以达到更轻更薄的质量要求。相对于液晶面板的减薄，OLED面板在减薄过程中的制造难度较大，因为在OLED面板的减薄过程中，OLED器件的预留检测电极很容易被刻蚀液腐蚀，从而导致器件的损坏。目前，OLED面板刻蚀减薄时，电极保护的通常做法是：进行刻蚀前，使用硅胶封堵预留电极在面板上的检测孔，待刻蚀完成后再剔除这些硅胶。采用这种做法的缺点是后期很难将硅胶完全清除，而OLED的电流检测精度等级为纳安级别，在如此高精度的测量条件下，极小的残胶微粒也能使测量结果产生严重偏差，造成对OLED器件合格与否的误判，影响前面工序制程工艺参数的设定，进而影响整个工艺制程的稳定性。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术存在的上述问题，提供一种既能有效保护电极又不会引入杂质的OLED面板减薄装置及其使用方法。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种OLED面板减薄装置，用于实现OLED面板的减薄，包括刻蚀液喷淋系统，还包括氮气喷管、石英隔板和加热器，所述氮气喷管与OLED面板的上表面成一夹角且不与OLED面板接触，OLED面板上每个预留电极测试孔的位置处均安装一个氮气喷管；所述石英隔板平行安装于OLED面板的背面，所述石英隔板背离OLED面板的一侧设有位置与OLED面板上预留电极测试孔位置对应的安装槽；所述加热器安装于所述安装槽内；所述刻蚀液喷淋系统的喷淋管位于OLED面板上方且不与OLED面板接触。

进一步地，所述氮气喷管与OLED面板的夹角范围为45°～50°。

进一步地，所述氮气喷管与OLED面板的上表面间的夹角使氮气气流的方向与刻蚀液液流的方向相反。

进一步地，所述氮气喷管喷出的氮气在面板上形成的氮气保护区域的面积大于预留电极测试孔的面积。

进一步地，所述预留电极测试孔的形状为椭圆形。

进一步地，所述氮气喷管与OLED面板上表面的距离为检测孔长轴长度的0.5～1.5倍。

进一步地，所述氮气喷管喷出的氮气的纯度为99.999％、气压为0.25MPa～0.35MPa。

进一步地，所述氮气喷管的材质为SUS316L。

进一步地，所述石英隔板上设有与升降设备配合的隔板台阶面和用于安装螺栓的沉孔台阶面。

进一步地，所述加热器为恒温加热器。

进一步地，所述恒温加热器为PTC恒温加热器。

进一步地，所述OLED面板减薄装置还包括OLED面板托架和氮气喷管托架，OLED面板托架和氮气喷管托架可锁紧固定，二者的位置通过自动控制装置进行控制。

一种所述OLED面板减薄装置的操作方法，包括以下步骤：

步骤1：将安装有恒温加热器的石英隔板安装于基台上，使沉孔台阶面与基台的台阶面对准，然后用螺栓将石英隔板于基台锁紧；

步骤2：将OLED面板安装于面板托架上，将装有氮气喷管的氮气喷管托架安装于OLED面板上方，调整位置使氮气喷管与OLED面板之间的相对位置满足预设要求，然后将面板托架与氮气喷管托架锁紧固定得到组合托架；

步骤3：通过自动控制装置移动组合托架，使OLED面板平行位于石英隔板的上方；

步骤4：安装刻蚀液喷淋系统；

步骤5：打开恒温加热器，进行预升温，待温度达到设定值后，开启恒温模式；

步骤6：打开氮气喷管阀门，缓慢升压，在达到设定气压值后开启刻蚀喷淋系统，刻蚀液从刻蚀液喷流管中流出并对OLED面板进行刻蚀减薄；

步骤7：刻蚀完成后，关闭刻蚀喷淋系统；

步骤8：保持氮气打开状态，通过自动控制装置移动组合托架，使OLED面板离开石英隔板，并关闭恒温加热器；

步骤9：待面板温度降至常温后，对OLED面板喷淋纯水，喷淋一段时间后关闭纯水，进而关闭氮气，完成OLED面板的减薄工艺。

其中，喷淋纯水是为了清除残留的刻蚀液，先降至常温是因为刻蚀后面板温度较高，防止接触纯水发生龟裂。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

首先，本发明所述OLED面板减薄装置，通过氮气喷管供应具有一定压力的氮气对OLED面板上预留电极测试孔进行保护，避免刻蚀液由测试孔浸入面板腐蚀电极，造成面板报废，同时通过恒温加热器对预留电极测试孔位置处的OLED面板进行加热，避免此处面板因氮气蒸发骤冷造成的开裂，该装置的使用避免了传统硅胶保护引入杂质、误判等问题，又通过隔板将OLED面板和恒温加热器予以固定，保证刻蚀环境的稳定性，提高刻蚀质量；

其次，本发明所述OLED面板减薄装置的使用，不需要在OLED面板上预留电极测试孔内封堵硅胶，后期也无需取出硅胶，提高OLED面板生产的自动化水平，提高生产效率；

最后，本发明所述OLED面板减薄装置结构简单，使用方法简单明了，便于在业内推广应用。

附图说明

图1是本发明的OLED面板减薄装置的结构示意图；

图2是本发明的OLED面板减薄装置实施例中预留电极的保护示意图；

图3是本发明的OLED面板减薄装置中石英隔板的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，本实施例中的OLED面板减薄装置，包括刻蚀液喷淋系统，还包括氮气喷管1、石英隔板2和恒温加热器3，所述氮气喷管1与OLED面板4的上表面形成大小为45°～50°的夹角且所述氮气喷管1与OLED面板4上表面的距离为预留电极椭圆形检测孔长轴长度的0.5～1.5倍，夹角的设置使氮气气流的方向与刻蚀液喷淋系统中的刻蚀液液流方向相反，便于在OLED面板4表面形成氮气保护区域；OLED面板4上每个预留电极测试孔41的位置处均安装一个氮气喷管1；氮气喷管1的作用在于提供具有适当气压的氮气气流以在检测孔的位置处形成致密的氮气保护区域，防止刻蚀液从检测孔流入OLED面板内部，所述气压优选为0.25MPa～0.35MPa；本实施例所用氮气的纯度为99.999％，在刻蚀产生高温的情况下，氮气可以隔绝氧气，可防止电极被氧化；本实施例中每个预留电极测试孔41处均对应一个氮气喷管1，且氮气喷管1喷出的高压氮气在面板上形成的氮气保护区域11的面积大于预留电极测试孔41的面积，如图2所示，这样设置可以提高氮气对电极保护的准确度，同时最大限度减小氮气对OLED面板上未设置电极测试孔41区域的影响，达到保护电极的同时保证刻蚀效果的目的；调整氮气气压、氮气喷管1与OLED面板间的夹角大小及氮气喷管1与预留电极测试孔41的间距，可有效隔离刻蚀液，防止预留电极被腐蚀；本实施例中的氮气喷管1可以采用SUS316L，SUS316L具有很好的耐腐蚀性。

刻蚀液喷淋系统的喷淋管5位于OLED面板4的上方且不与OLED面板4接触。

石英隔板2平行安装于OLED面板4的背面，该石英隔板2背离OLED面板4的一侧设有位置与OLED面板4上预留电极测试孔41位置对应的安装槽31，恒温加热器3安装于安装槽31内，这里的恒温加热器3可以选用PTC恒温加热器。石英具有很强的耐腐蚀性和透光性，既可以有效抵御刻蚀液的腐蚀，防止PTC恒温加热器3被损坏，同时利于PTC恒温加热器产生的红外光透过；PTC恒温加热器有很好的恒温发热特性，通过红外热辐射的形式对预留电极测试孔41的位置进行非接触式加热，防止由于氮气蒸发作用导致预留电极测试孔附近的面板温度降低，造成面板整体温度不均而造成的破裂。

为了便于OLED面板4减薄时用电极保护装置与其他升降设备配合，石英隔板2表面设有隔板台阶面32；为了便于固定，石英隔板2的表面还设有于安装螺栓的沉孔台阶面33。

为了便于OLED面板4和氮气喷管1的固定，本实施例中的OLED面板减薄装置还包括OLED面板4托架和氮气喷管1托架，OLED面板4托架和氮气喷管1托架可锁紧固定，通过自动控制装置对二者的位置进行控制。

本实施例中的OLED面板减薄装置的操作方法，包括以下步骤：

步骤1：将安装有PTC恒温加热器3的石英隔板2安装于基台上，使沉孔台阶面33与基台的台阶面对准，然后用螺栓将石英隔板于基台锁紧；

步骤2：将OLED面板4安装于面板托架上，通将装有氮气喷管1的氮气喷管托架安装于靠近预留电极测试孔41的位置，调整位置使氮气喷管1与预留电极测试孔41满足预设要求，然后将面板托架与氮气喷管托架锁紧固定得到组合托架；

步骤3：通过自动控制装置移动组合托架，使OLED面板4平行位于石英隔板2的上方，如图1所述；

步骤4：安装刻蚀液喷淋系统；

步骤5：打开PTC恒温加热器3，进行预升温，待温度达到设定值后，开启恒温模式；

步骤6：打开氮气喷管阀门，缓慢升压，在达到设定气压值后开启刻蚀液喷淋系统，刻蚀液从刻蚀液喷流管5中流出，对OLED面板4进行刻蚀减薄；

步骤7：刻蚀减薄完成后，关闭刻蚀喷淋系统；

步骤8：保持氮气打开状态，通过自动控制装置移动组合托架，使OLED面板4离开石英隔板2，并关闭PTC恒温加热器3；

步骤9：待面板温度降至常温后，对OLED面板4喷淋纯水，喷淋一段时间后关闭纯水，进而关闭氮气，完成OLED面板4的减薄工艺。

其中，喷淋纯水是为了清除残留的刻蚀液，先降至常温是因为刻蚀后OLED面板4的温度较高，防止接触纯水发生龟裂。

采用本实施例所述的OLED面板减薄装置可以有效保护电极不受腐蚀，同时不会引入新杂质，且其操作方法结构简单，操作方便。

尽管这里参照本发明的最佳解释性实施例对本发明进行了描述，但是，应该理解，本领域技术人员可以设计出很多其他的修改和实施方式，这些修改和实施方式将落在本申请公开的原则范围和精神之内。更具体地说，在本申请公开、附图和权利要求的范围内，可以对主题组合布局的组成部件和/或布局进行多种变型和改进。除了对组成部件和/或布局进行的变型和改进外，对于本领域技术人员来说，其他的用途也将是明显的。

Claims (9)

1.一种OLED面板减薄装置，其特征在于：包括刻蚀液喷淋系统，还包括OLED面板托架、氮气喷管、氮气喷管托架、石英隔板和加热器，所述氮气喷管与OLED面板的上表面成一夹角且不与OLED面板接触，OLED面板上每个预留电极测试孔的位置处均安装一个氮气喷管；所述OLED面板托架和氮气喷管托架锁紧固定；所述石英隔板平行安装于OLED面板的背面，所述石英隔板背离OLED面板的一侧设有位置与OLED面板上预留电极测试孔位置对应的安装槽；所述加热器安装于所述安装槽内；所述刻蚀液喷淋系统的喷淋管位于OLED面板上方且不与OLED面板接触。

2.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于：所述氮气喷管与OLED面板的夹角为45°～50°，所述夹角使氮气气流的方向与刻蚀液液流的方向相反。

3.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于：所述氮气喷管喷出的氮气在面板上形成的氮气保护区域的面积大于预留电极测试孔的面积。

4.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于：所述氮气喷管与OLED面板上表面的距离为检测孔长轴长度的0.5～1.5倍。

5.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于：所述氮气喷管喷出的氮气的纯度为99.999％、所述氮气喷管喷出的氮气的气压为0.25MPa～0.35MPa。

6.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于：所述氮气喷管的材质为SUS316L。

7.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于：所述石英隔板上设有与升降设备配合的隔板台阶面和用于安装螺栓的沉孔台阶面。

8.根据权利要求1所述的OLED面板减薄装置，其特征在于：所述加热器为PTC恒温加热器。

9.权利要求1至8任一项权利要求所述的OLED面板减薄装置的使用方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：将安装有恒温加热器的石英隔板安装于基台上，使沉孔台阶面与基台的台阶面对准，然后用螺栓将石英隔板于基台锁紧；

步骤2：将OLED面板安装于面板托架上，将装有氮气喷管的氮气喷管托架安装于OLED面板上方，调整位置使氮气喷管与OLED面板之间的相对位置满足预设要求，然后将面板托架与氮气喷管托架锁紧固定得到组合托架；

步骤3：通过自动控制装置移动组合托架，使OLED面板平行位于石英隔板的上方；

步骤4：安装刻蚀液喷淋系统；

步骤5：打开恒温加热器，进行预升温，待温度达到设定值后，开启恒温模式；

步骤6：打开氮气喷管阀门，缓慢升压，在达到设定气压值后开启刻蚀喷淋系统，刻蚀液从刻蚀液喷流管中流出并对OLED面板进行刻蚀减薄；

步骤7：刻蚀完成后，关闭刻蚀喷淋系统；

步骤8：保持氮气打开状态，通过自动控制装置移动组合托架，使OLED面板离开石英隔板，并关闭恒温加热器；

步骤9：待面板温度降至常温后，对OLED面板喷淋纯水，喷淋一段时间后关闭纯水，进而关闭氮气，完成OLED面板的减薄工艺。