CN103268027A - 一种tft基板的测试装置及测试方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种TFT基板的测试装置及测试方法，包括：一载台，所述载台至少一个侧边设有滑动结构；一位于所述载台上方的检测单元；以及至少一探针单元，其中，所述探针单元包括：至少一个探针；一滑动部件，所述至少一个探针单元随着所述滑动部件沿所述滑动结构滑动。采用本发明的TFT基板的测试装置在可以实现快速变换测试规格的同时，也减少了测试框架的储备量，避免了储备测试框架对仓储空间和资金的占有。

Description

一种TFT基板的测试装置及测试方法

技术领域

本发明涉及平板显示技术，特别涉及一种TFT基板的测试装置及测试方法。

背景技术

TFT基板在制作完成后，需要利用测试装置对TFT基板检测以确认其是否能够正常工作。由于刚制作完成的TFT基板还没有与CF基板贴合，在TFT基板上也没有液晶元件，当然也没有设置信号连接器。因此必须通过测试装置的探针对TFT基板输入测试信号，并由检测单元模拟CF基板和液晶元件，对TFT基板进行检测。

图1为现有的TFT基板测试装置的示意图。如图1所示，现有的TFT基板测试装置100包括：载台101、位于所述载台101上方的检测单元102、检测框架103。所述载台101用于放置待测的TFT基板。所述检测单元102用于模拟CF基板和液晶元件。所述检测框架103上具有一中空部分，用于暴露放置在所述载台101上的待测TFT基板，所述探测框架103的上表面固定有多个探针104。

使用上述TFT基板测试装置进行TFT基板检测时，通常包括如下步骤：首先，升起所述检测框架103；接着，将待测TFT基板放置于所述载台101上，并使待测TFT基板固定于所述载台101上；接着，落下检测框架103，使所述探针104与待测TFT基板上的信号接入点接触；接着，将检测单元102移动到待测TFT基板的上方对待测TFT基板进行检测；检测结束后，将检测单元102移动到所述检测框架103之外的区域；接下来，升起检测框架103；最后，将待测TFT基板搬离所述载台101。可知，在对现有TFT基板测试装置进行维修保养的时候，也要进行上述类似的动作过程。

由此可知，现有的TFT基板测试装置具有以下几个缺点：

首先，在对待测TFT基板进行检测时，所述探针104与待测TFT基板上的信号接入点接触，因此所述探针104是固定在探测框架103与TFT基板上的信号接入点对应的位置，对于不同规格的TFT基板，在TFT基板上的信号接入点的数目以及配置位置都不同，而使用现有的TFT基板测试装置要完成对不同规格TFT基板的测试，必须备有对应不同规格TFT基板的检测框架，因此需要占用大量资金和仓储空间；并且，测试中如果更换不同规格的TFT基板时，需更换对应规格的检测框架，而更换检测框架的工程复杂，需要占用比较长的时间。因此使用现有的TFT基板测试装置一方面需要准备大量的不同规格的检测框架，而且无法快速地在生产线上进行测试规格的变换。

此外，在进行上述检测和保养时，检测框架103上的探针104始终处于一个位置，即能够与待测TFT基板上的信号接入点接触的位置，这一位置紧靠待测TFT基板的检测区域，在使用检测单元102对待测TFT基板进行检测时，由于检测单元102自身具有一定的体积，而且在检测时，检测单元102距离待测TFT基板的距离非常近，因此，当检测单元102检查到待测TFT基板的周边区域时，非常容易碰撞到所述探针104；另外，在TFT基板测试装置进行维修保养时，需要多次移动检测单元102和检测框架103，同样会增加检测单元102与检测框架103上的探针104碰撞的机会，由于探针104是由细长的金属针组成的，因此频繁碰撞会导致探针104的损坏，而一旦检测框架103上的探针104损坏，便无法完成对待测TFT基板的电信号输入，导致检测无法进行；并且，因为探针104是固定在检测框架103上的，一旦探针104损坏，就要更换整个检测框架103，整个检测框架103的费用昂贵，而且更换整个检测框架103的工程复杂，需要占用很长时间。

发明内容

本发明的目的在于提供一种TFT基板的测试装置及测试方法，解决在使用TFT基板的测试装置时需要频繁更换测试框架的问题，以达到快速地进行测试规格的变换的目的。

本发明的另一目的在于，在进行检测和保养时使探针远离载台，避免了探针与检测单元的碰撞，防止探针损坏。

为了解决上述技术为题，本发明提供一种TFT基板的测试装置，包括：

一载台，所述载台至少一个侧边设有滑动结构；

一位于所述载台上方的检测单元；以及

至少一探针单元，其中，所述探针单元包括：

至少一个探针；

一滑动部件，所述至少一个探针单元随着所述滑动部件沿所述滑动结构滑动。

可选的，所述探针单元还包括一连接所述至少一个探针和滑动部件的驱动装置，所述驱动装置用于控制所述至少一个探针旋转。

可选的，所述滑动结构是设置在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑动导轨。

可选的，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑动导轨预定位置的紧固部件。

可选的，所述滑动结构是开设在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑槽。

可选的，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑槽预定位置的紧固部件。

可选的，所述驱动装置为马达，所述探针设置于所述马达的转动轴上，所述马达通过转动轴的转动控制所述探针改变位置并固定于第一位置或第二位置。

可选的，当所述探针位于所述第一位置时，所述探针远离所述载台；当所述探针位于所述第二位置时，所述探针与待测TFT基板上的信号接入点接触。

可选的，所述马达为步进式马达。

可选的，所述滑动部件的断面呈矩形或楔形。

可选的，所述载台的多个侧边均设有滑动结构。

可选的，所述载台的所有侧边均设有滑动结构。

可选的，所述检测单元包括：

一液晶盒；

设置于所述液晶盒上方的光源；以及

设置于所述液晶盒上方的光学接收器。

可选的，所述液晶盒包括：

一透明导电玻璃；

一与所述透明导电玻璃相对设置的反射玻璃；以及

充满于所述透明导电玻璃和反射玻璃之间的液晶。

相应的还提供一种使用TFT基板的测试装置的测试方法，包括：

将所述探针单元的探针固定于第一位置，使所述探针单元的探针远离载台；

将待测TFT基板放置于所述载台上；

将所述探针单元沿滑动结构滑动到预定位置；

将所述探针单元的探针固定于第二位置，使所述探针与待测TFT基板上的信号接入点接触；

将检测单元移动至所述待测TFT基板的上方，并测试所述待测TFT基板。

可选的，所述测试方法还包括：测试结束后将所述探针单元的探针重新固定于第一位置；以及将所述待测TFT基板搬离所述载台。可选的，所述探针单元还包括一连接所述多个探针和滑动部件的驱动装置；其中，所述驱动装置用于控制所述多个探针旋转。

可选的，所述滑动结构是设置在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑动导轨。

可选的，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑动导轨预定位置的紧固部件。

可选的，所述滑动结构是开设在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑槽。

可选的，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑槽预定位置的紧固部件。

可选的，所述驱动装置为马达，所述探针设置于所述马达的转动轴上，所述马达通过转动轴的转动控制探针改变位置并固定于所述第一位置或第二位置。

可选的，所述马达为步进式马达。

可选的，所述滑动部件呈矩形或楔形。

可选的，所述载台的多个侧边均设有滑动结构。

可选的，所述载台所有侧边均设有滑动结构。

可选的，所述检测单元包括：

一液晶盒；

设置于液晶盒上方的光源；以及

设置于液晶盒上方的光学接收器。

可选的，所述液晶盒包括：

一透明导电玻璃；

一与所述透明导电玻璃相对设置的反射玻璃；以及

充满于所述透明导电玻璃和反射玻璃之间的液晶。

本发明的TFT基板的测试装置去除了测试框架，并在载台侧边设置了滑动结构，使得探针单元能够在滑动结构中自由滑动并可以固定在预定位置，探针单元的探针可以根据需要自由的更换，对于不同规格的TFT基板可以使用对应规格的探针单元，并将探针单元滑动到对应的不同规格TFT基板对应的位置，即可实现对应不同规格TFT基板的变换。即，采用本发明的TFT基板的测试装置在可以实现快速变换测试规格的同时，减少测试框架的储备量，避免了储备测试框架对仓储空间和资金的占有。

此外，本发明通过马达转动轴的转动可以控制探针改变位置并固定于第一位置或第二位置，将探针固定于第一位置时探针远离载台，避免了探针与检测单元的碰撞，防止探针损坏。

附图说明

图1为现有的TFT基板的测试装置的结构示意图；

图2为本发明实施例一的TFT基板的测试装置的结构示意图；

图3为图2中滑动结构的放大的剖面图；

图4为图2中TFT基板的测试装置沿DD’线的的剖面图；

图5为图2中驱动装置和探针的放大的结构示意图；

图6为图2中检测单元的结构示意图；

图7为图6中液晶盒的未施加电压时结构示意图；

图8为图6中液晶盒的施加电压时结构示意图；

图9为本发明实施例二的TFT基板的测试装置中滑动结构的放大的剖面图；

图10为本发明实施例三的TFT基板的测试装置的剖面图。

具体实施方式

本发明的核心思想在于去除测试框架，并在载台侧边设置了滑动结构，使得探针单元能够在滑动结构中自由滑动并可以固定在预定位置，探针单元的探针可以根据需要自由的更换，对于不同规格的TFT基板可以使用对应规格的探针单元，并将探针单元滑动到对应的不同规格TFT基板对应的位置，即可实现对应不同规格TFT基板的变换。即，采用本发明的TFT基板的测试装置在可以实现快速变换测试规格的同时，减少测试框架的储备量，避免了储备测试框架对仓储空间和资金的占有。此外，本发明通过马达转动轴的转动可以控制探针改变位置并固定于第一位置或第二位置，将探针固定于第一位置时探针远离载台，避免了探针与检测单元的碰撞，防止探针损坏。

实施例一

如图2所示，本实施例的TFT基板的测试装置200包括：载台201、设置于所述载台201至少一个侧边的滑动结构202、位于所述载台201上方的检测单元203及至少一个探针单元204。

下面依次详细说明滑动结构、探针单元以及检测单元。

滑动结构

如图3所示，所述滑动结构202是设置在所述载台201侧边上且平行于所述侧边的滑动导轨。本实施例中，所述滑动结构202分别设置在载台201的两条侧边上。可以理解的是，为了适应更多规格的TFT基板，也可以在所述载台201的两个以上多个侧边或所有侧边都设置滑动结构202。当然，只要能够完成对待测TFT基板的测试，也可以只在载台201的一条侧边上设置滑动结构202。

探针单元

结合图2和图4，所述探针单元204包括至少一个探针205和一滑动部件206，所述至少一个探针单元204可以随着所述滑动部件206沿滑动结构202滑动。所述探针单元204还包括一连接至少一个探针205和滑动部件206的驱动装置207，所述驱动装置207用于控制所述至少一个探针205的旋转。进一步的，所述探针单元204还包括用于将所述滑动部件206固定在所述滑动结构202内预定位置的紧固部件211。所述紧固部件211例如为螺丝。所述驱动装置207优选为马达，在本实施例中所述马达为步进式马达。

如图5所示，所述探针205设置于所述马达的转动轴208上。探针205可以根据待测TFT基板的信号接入点的多少以及分布组成若干个探针组209，每组探针组209固定在一个中空的固定套210上。所述固定套210的断面与所述转动轴208的断面相应，以使固定套210能够嵌套并固定在转动轴208上，使探针205可以绕着马达的转动轴208旋转。如果变换了不同规格的待测TFT基板时，可以直接更换对应规格的探针组209即可。本实施例中是采用了固定套的方式将探针固定在马达的转动轴上，在其它具体实施例中也可以是用其他的固定方式，本发明对探针在转动轴上的固定方式不做限定。

结合图4和图5，所述马达通过转动轴208的转动控制所述探针205改变位置并固定于第一位置或第二位置。当所述探针205位于所述第一位置时，所述探针205远离所述载台201；当所述探针205位于所述第二位置时，所述探针205与待测TFT基板上的信号接入点接触。

所述滑动部件206位于所述滑动结构202内，可以自由的在所述滑动结构202内滑动，当滑动部件206沿着滑动结构202滑动时，能够带动探针205沿着所滑动结构202滑动。本实施例中，为了保证滑动部件206在滑动结构202内的稳定性，将滑动部件206的端面设计成楔形。当然，滑动结构202的断面也可以是其它形状，只要其与滑动部件206的断面形状相配合即可。

检测单元

由于刚制作完成的TFT基板还没有与CF基板贴合，在TFT基板上也没有液晶元件，为了能够提前预判断TFT基板组成液晶显示面板以后显示效果，由检测单元模拟CF基板和液晶元件，对TFT基板进行检测。

如图6所示，所述检测单元203包括：液晶盒212、设置于所述液晶盒212上方的光源213以及设置于所述液晶盒212上方的光学接收器214。

结合图6和图7，所述液晶盒212包括：透明导电玻璃215、与所述透明导电玻璃215相对设置的反射玻璃216以及充满于所述透明导电玻璃215和反射玻璃216之间的液晶217。当待测TFT基板218和透明导电玻璃215都没有电信号输入时，液晶217的排列方向是杂乱无章的，因此当光源213的光线从垂直方向入射到液晶盒212时，光线被液晶217多次折射和反射玻璃216的反射后，从其他方向射出，这时光学接收器214接收不到出射光线。

结合图4、图6和图8，以正极性液晶分子为例，当探针205对待测TFT基板218输入检测电信号，同时在透明导电玻璃215上也输入相应的公共电压时，在待测TFT基板218和透明导电玻璃215之间建立起一预定电场。此处需要说明的是，该电场大小取决于施加在待测TFT基板218和透明导电玻璃215间的电压差绝对值，与待测TFT基板218和透明导电玻璃215的电压差值的正负没有关系。那么，在预定电场的作用下液晶217按照统一的方向规则排列，当光源213的光线从垂直方向入射到液晶盒212时，光线经过规则排列的液晶217后并经反射玻璃216的反射垂直出射，这时光学接收器214接收到出射光线。而且根据所施加的电压大小，液晶分子会与水平面形成一定的倾角，射出的光线经过该液晶分子调制后将呈现一定的强度，通过分析出射光线的强度可以确定待测TFT基板是否正常动作。需要说明的是，在图8中，为了表示清楚，以垂直向下的箭头表示入射光线，以垂直向上的箭头表示出射光线，事实上对于垂直射入液晶盒的光线，入射光线和出射光线的传播路径是重合的。

本发明还提供一种利用上述TFT基板的测试装置进行测试的测试方法，结合图2至图6，所述测试方法包括如下步骤：

首先，通过驱动装置207将所述探针单元204的探针205固定于第一位置，使所述探针205远离载台201；

接着，将待测TFT基板放置于所述载台201上；

接着，将所述探针单元204沿滑动结构202滑动到预定位置，所述预定位置对应不同规格TFT基板上的信号接入点的位置；

接着，通过驱动装置207改变所述探针单元204的探针205位置并将其固定于第二位置，使所述探针205与待测TFT基板上的信号接入点接触；

接着，将检测单元203移动至所述待测TFT基板的上方，通过探针205对所述待测TFT基板施加测试电信号，同时在检测单元203的透明导电玻璃215上施加一公共电压，然后通过测试检测单元203的光学接收器214的光强，确认所述待测TFT基板是否能够正常动作；

接着，上述测试结束后，通过驱动装置207改变所述探针205位置并其重新固定于第一位置；

最后，将所述待测TFT基板搬离所述载台201。

在上述测试过程中，在待测TFT基板放置和搬离时，在检测单元203移动时，所述探针205始终位于远离载台201的第一位置，从而可以减少了上述移动动作对探针205造成的碰撞的可能性。

在对TFT基板的测试装置进行维修保养时，也可以采用类似的作业方法。首先，将所述探针单元204的探针205固定于第一位置，使所述探针205远离载台201；接着，对所述TFT基板的测试装置进行维修保养。也就是说，在整维修保养期间，所述探针205始终位于远离载台201的第一位置，减少了维修保养动作可能对探针205造成的碰撞损伤。甚至，在维修保养期间，可以将所述探针205从所述探针单元204上拆卸下来，从根本上杜绝了探针205被碰撞损伤的可能性。

实施例二

本实施例与实施例一不同之处在于，所述滑动结构202是开设在所述载台201侧边上且平行于所述侧边的滑槽。如图9所示，所述滑动结构202是分别设置在载台201的两条侧边上。可以理解的是，为了适应更多规格的TFT基板，也可以在所述载台201的所有侧边都设置滑动结构202。当然，只要完成对待测TFT基板的测试，也可以只在载台201的一条侧边上设置滑动结构202。

实施例三

如图2所示，在实施例一中通过滑动结构202，探针205可以沿所述滑动结构202的长度方向（图2中的Y轴方向）自由滑动，但是不能沿所述滑动结构202的宽度方向（图2中的X轴方向，垂直于Y轴方向）移动，如果TFT基板的信号接入点在滑动结构202的宽度方向发生变化时，就无法利用上述TFT基板的测试装置进行测试了。为此，本实施例将滑动部件206的断面设计成矩形，保证探针205沿所述滑动结构202的宽度方向（与所述长度方向垂直的方向）也能有一定的移动范围。

如图10所示，通过控制滑动部件206在滑动结构202内嵌入长度，可以使滑动部件206沿所述滑动结构202的宽度方向进行小范围的移动。可知，滑动结构202的断面与滑动部件206也可以为其他任意形状，如球形，只要满足滑动部件206嵌入滑动结构202后能够自由滑动，即可实现本发明的目的。

综上所述，在本发明TFT基板的测试装置中去除了测试框架，通过在载台侧边设置了滑动结构，使得探针单元能够在滑动结构中自由滑动并可以固定在预定位置。探针单元的探针可以根据需要自由的更换，对于不同规格的TFT基板，可以使用对应规格的探针单元，并将探针单元滑动到对应的不同规格TFT基板对应的位置，即可实现对应不同规格TFT基板的变换。也就是说，并不需要更换整个测试框架，就可以实现了快速地进行测试规格的变换。而且，通过马达转动轴的转动可以控制探针改变位置并固定于第一位置或第二位置，将探针固定于第一位置时，探针远离载台避免了探针与检测单元的碰撞。采用本发明的TFT基板的测试装置在可以实现快速变换测试规格的同时，也减少了测试框架的储备量，避免了储备测试框架对仓储空间和资金的占有。

需要说明的是，本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。

Claims (28)

1.一种TFT基板的测试装置，包括：

一载台，所述载台至少一个侧边设有滑动结构；

一位于所述载台上方的检测单元；以及

至少一探针单元，其中，所述探针单元包括：

至少一个探针；

一滑动部件，所述至少一个探针单元随着所述滑动部件沿所述滑动结构滑动。

2.如权利要求1所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述探针单元还包括一连接所述至少一个探针和滑动部件的驱动装置，所述驱动装置用于控制所述至少一个探针旋转。

3.如权利要求1所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述滑动结构是设置在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑动导轨。

4.如权利要求3所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑动导轨预定位置的紧固部件。

5.如权利要求1所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述滑动结构是开设在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑槽。

6.如权利要求5所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑槽预定位置的紧固部件。

7.如权利要求2所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述驱动装置为马达，所述探针设置于所述马达的转动轴上，所述马达通过转动轴的转动控制所述探针改变位置并固定于第一位置或第二位置。

8.如权利要求7所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，当所述探针位于所述第一位置时，所述探针远离所述载台；当所述探针位于所述第二位置时，所述探针与待测TFT基板上的信号接入点接触。

9.如权利要求7所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述马达为步进式马达。

10.如权利要求1至9中任意一项所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述滑动部件的断面呈矩形或楔形。

11.如权利要求1至9中任意一项所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述载台的多个侧边均设有滑动结构。

12.如权利要求1至9中任意一项所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述载台的所有侧边均设有滑动结构。

13.如权利要求1所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述检测单元包括：

一液晶盒；

设置于所述液晶盒上方的光源；以及

设置于所述液晶盒上方的光学接收器。

14.如权利要求13所述的TFT基板的测试装置，其特征在于，所述液晶盒包括：

一透明导电玻璃；

一与所述透明导电玻璃相对设置的反射玻璃；以及

充满于所述透明导电玻璃和反射玻璃之间的液晶。

15.一种使用权利要求1所述的TFT基板的测试装置的测试方法，包括：

将所述探针单元的探针固定于第一位置，使所述探针单元的探针远离载台；

将待测TFT基板放置于所述载台上；

将所述探针单元沿滑动结构滑动到预定位置；

将所述探针单元的探针固定于第二位置，使所述探针与待测TFT基板上的信号接入点接触；

将检测单元移动至所述待测TFT基板的上方，并测试所述待测TFT基板。

16.如权利要求15所述的测试方法，其特征在于，所述测试方法还包括：测试结束后将所述探针单元的探针重新固定于第一位置；以及将所述待测TFT基板搬离所述载台。

17.如权利要求15所述的测试方法，其特征在于，所述探针单元还包括一连接所述多个探针和滑动部件的驱动装置；

其中，所述驱动装置用于控制所述多个探针旋转。

18.如权利要求15述的测试方法，其特征在于，所述滑动结构是设置在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑动导轨。

19.如权利要求18所述的测试方法，其特征在于，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑动导轨预定位置的紧固部件。

20.如权利要求15述的测试方法，其特征在于，所述滑动结构是开设在所述载台侧边上且平行于所述侧边的滑槽。

21.如权利要求20所述的测试方法，其特征在于，所述探针单元还包括用于将所述滑动部件固定在所述滑槽预定位置的紧固部件。

22.如权利要求17所述的测试方法，其特征在于，所述驱动装置为马达，所述探针设置于所述马达的转动轴上，所述马达通过转动轴的转动控制探针改变位置并固定于所述第一位置或第二位置。

23.如权利要求22所述的测试方法，其特征在于，所述马达为步进式马达。

24.如权利要求15至23中任意一项所述的测试方法，其特征在于，所述滑动部件呈矩形或楔形。

25.如权利要求15至23中任意一项所述的测试方法，其特征在于，所述载台的多个侧边均设有滑动结构。

26.如权利要求15至23中任意一项所述的测试方法，其特征在于，所述载台所有侧边均设有滑动结构。

27.如权利要求15所述的测试方法，其特征在于，所述检测单元包括：

一液晶盒；

设置于液晶盒上方的光源；以及

设置于液晶盒上方的光学接收器。

28.如权利要求27所述的测试方法，其特征在于，所述液晶盒包括：

一透明导电玻璃；

一与所述透明导电玻璃相对设置的反射玻璃；以及

充满于所述透明导电玻璃和反射玻璃之间的液晶。

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