CN103218284A

CN103218284A - 一种设备使用率信息获取方法

Info

Publication number: CN103218284A
Application number: CN2013100819884A
Authority: CN
Inventors: 龚丹莉; 徐燕菁; 娄晓祺; 邵雄
Original assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Current assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date: 2013-03-14
Filing date: 2013-03-14
Publication date: 2013-07-24
Anticipated expiration: 2033-03-14
Also published as: CN103218284B

Abstract

本发明涉及一种设备使用率信息获取方法，具体包括以下步骤：操控端中的输入设备将设备指示数据和设备数据整合方式数据传送并存储于预设数据库中；信息采集端获取生产设备的实时使用状态数据和历史使用状态数据，并将实时使用状态数据和历史使用状态数据储存在设备使用状态数据库中；操控端中的调用设备调用存储于预设数据库中的设备指示数据信息，并根据该设备指示数据信息获取设备使用状态数据库中的数据；处理端调用设备数据整合方式数据对操控端获数据进行处理后，生成图表数据，并将该图表数据传送至操控端中的输出设备进行输出。通过本发明方法能够实现设备运行状态数据的灵活分析，相应的提高设备利用率。

Description

一种设备使用率信息获取方法

技术领域

本发明涉及数据信息技术领域，尤其涉及一种基于设备使用率监测系统的设备使用率信息获取方法。

背景技术

在当今的半导体制造业中，由于对半导体产品的要求越来越高，从而导致了半导体生产中的工艺也越来越复杂，因此，生产一个成品半导体器件就需要经过一个很繁复的工艺步骤。

在这些工艺步骤中包含着众多的工艺数据和相关的设备数据，通过生产自动化系统和制造执行系统等可对当前的设备记录每一个细微的动作数据，如记录每批货的载入时间、机器设置时间、测试程序载入时间、生产开始时间和生产完成时间等等，甚至记录每颗IC的测试时间和分级时间等。

虽然记录的上述数据对于整个生产过程来说非常全面，但随之带来的过大的信息量会加大信息处理的难度。且随着运行时间的增加，系统中所包含的信息量也会越来越多，使用者获得有效信息的困难度也越来越高。

中国专利（公开号：CN1707459A）公开了一种成型机台监控系统及方法,该成型机台监控系统包括有多个成型机台、一应用服务器、多个客户端计算机及一数据库。应用服务器包括多个软件功能模块,用于监控成型机台操作状态,判断及发送异常信息至指定地址,并对操作状态进行分析统计。客户端计算机具有一用户界面用于显示应用服务器发送的成型机台操作状态相关信息。数据库用于存储成型机台监控过程中使用或产生的各种信息,包括成型机台编号及工作参数如:模号、模次、开机时间、异常信息接收地址等。

中国专利（公开号：CN102200943A）公开了一种基于后台自动检测CPU使用率的方法和设备,通过后台设备定时向数据库查询需检测素材的文件记录信息,并根据查询到的所述素材的文件记录信息检测CPU使用率,然后将检测得到的所述CPU使用率发送给所述数据库,当用户需要查询素材CPU使用率时,只需向前台设备发送请求,即可获得相应的CPU使用率展示,通过应用本发明,不仅简化了用户的操作步骤,而且提高了检测的准确率。

上述两个中国专利虽然都对设备的利用率进行监控和获取，但均不是应用于半导体的生产流水线的设备上。

可见，目前还没有公开任何应用于半导体生产中的获取设备使用率的方法。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种获取设备使用率的方法。

本发明解决技术问题所采用的技术方案为：

一种设备使用率信息获取方法，应用于生产设备的设备使用率监测系统中，所述设备使用率监测系统包括操控端、处理端和信息采集端，其中，所述操控端包括信息输入设备、信息输出设备和信息调用设备，其中，所述设备使用率检测系统中还包括预设数据库和设备使用状态数据库，所述方法包括以下步骤：

所述操控端中的所述信息输入设备将设备指示数据和设备数据整合方式数据传送并存储于所述预设数据库中；

所述信息采集端获取所述生产设备的实时使用状态数据和历史使用状态数据，并将所述实时使用状态数据和所述历史使用状态数据储存在所述设备使用状态数据库中；

所述操控端中的所述调用设备调用存储于所述预设数据库中的所述设备指示数据，并根据该设备指示数据获取所述设备使用状态数据库中的所述实时使用状态数据和/或所述历史使用状态数据；

所述处理端调用所述设备数据整合方式数据对所述操控端获取的所述实时使用状态数据和/或所述历史使用状态数据进行处理后，生成图表数据，并将该图表数据传送至所述操控端中的所述输出设备进行输出。

所述的设备使用率信息获取方法，其中，所述数据整合方式信息包括数据整合方式，所述数据整合方式包括以下步骤：

通过所述操控端在所述预设数据库中形成数据信息模版；

根据所述设备指示数据信息，将所述设备使用状态数据库中的所述数据分配至所述数据信息模版中的对应位置处。

所述的设备使用率信息获取方法，其中，所述设备指示数据包括设备的名称和设备的型号。

所述的设备使用率信息获取方法，其中，所述设备使用状态数据库中的数据包括：每批货的载入时间、机器设置时间、测试程序载入时间、生产开始时间和生产完成时间。

所述的设备使用率信息获取方法，其中，所述信息采集端对制造执行系统中的所述历史记录进行采集而获取所述历史使用状态数据。

所述的设备使用率信息获取方法，其中，采用柱状图作为所述图表。

所述的设备使用率信息获取方法，其中，采用折线图作为所述图表。

所述的设备使用率信息获取方法，其中，采用饼状图作为所述图表。

上述技术方案具有如下优点或有益效果：

本发明对设备使用状态信息进行监控、采集、分析和整合，其中，通过对设备使用状态信息进行适当的调用，使得原本繁杂的数据信息能够进行归类和整合，实现在数据库中方便调用所需数据，去除不需要的冗余信息，实现设备运行状态数据的灵活分析，进而改变设备管理的片面性，盲目性和被动性，相应的提高设备利用率，从而能够进一步合理安排各设备的产能。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1是本发明方法实施例中的步骤示意图；

具体实施方式

本发明是一种设备使用率信息获取方法，基于设备使用率监测系统，本发明方法中的设备使用率检测系统包括：操控端、处理端和信息采集端。其中，操控端包括信息输入设备、信息输出设备和信息调用设备。

设备使用率检测系统还包括预设数据库和设备使用状态数据库。

图1是本发明方法实施例的步骤示意图。

如图1所示：

首先，通过操控端中的信息输入设备将各设备的设备指示数据信息和设备数据整合方式信息存储于预设数据库中，其中，设备指示数据信息包括：设备名称、设备类型等。

然后，通过信息采集端对设备的实时使用状态数据以及设备的历史使用状态数据进行采集，并储存在设备使用状态数据库中。

其中，获取设备的历史使用状态数据的具体方式为：

通过信息采集端，在制造执行系统（MES）的历史记录下采集所有设备从运行开始至当下的所有使用状态数据。

接着，操控端的调用设备对预设数据库中的设备指示信息进行调用，并根据调用的设备指示信息获取设备使用状态数据库中的实时使用状态数据和历史使用状态数据。其中，调用预设数据库中的设备指示信息并获取所需要的设备的相关设备信息，之后，通过这些设备信息在设备使用状态数据库中获取与这些设备对应的实时使用数据和历史使用状态数据。

最后，处理端调用在预设数据库中存储的设备数据整合方式数据，对上一步骤中获取的设备的实时使用状态数据和历史使用状态数据进行处理，处理后的数据生成图表数据，并将该图表数据传送至操作端中的输出设备，以进行图表的输出。

通过上述方法结合具体实施例对本发明方法进行进一步的阐述：

根据预设数据库中的设备指示数据，工程师可根据实际情况，通过操控端对当下生产工艺中相关设备的设备指示数据信息进行调用。

工程师可根据实际情况，通过操作端对当下生产加工有关的相关设备建立设备列表界面。其中，对于设备列表中的设备信息可根据实际需求进行添加和删减，从而设定合适的设备列表信息。

通过系统的信息采集端，系统会自动对生产设备的实时使用状态数据和历史使用状态数据进行采集。

在日常的生产过程中，制造执行系统（MES）会自动记录下过去的每一天中每个设备的所有使用状态情况，并将该使用状态情况形成历史记录全部保存在制造执行系统中的相关存储单元中。通过制造执行系统的历史记录，获取每一台设备的所有状态数据信息，其中，由于制造执行系统对设备在一天内的所有状态都进行记录保存，因此，在此通过制造执行系统历史记录中获得的数据信息内容十分繁杂，包括如：每批货的载入时间、机器设置时间、测试程序载入时间、生产开始时间、生产完成时间等等，甚至于每个IC的测试时间、分级时间等。而这些信息之中并不是所有信息都需要为当前的生产所用，因此，对于当前所需要的信息而言，其他信息就成为了冗余信息，该冗余信息会使得获取当前生产中所需要的数据信息变得困难。

因此，根据实际的需求，调用设备数据整合方式数据，建立设备状态统计模版表。根据当前生产工艺的需要，在该设备状态统计模版中设定所需要的数据类型，如在该设备状态对应统计模版表中设定有以下几个数据：（1）设备的可用时间；（2）设备的不可用时间；（3）设备在各个状态下所持续的时间。其中，将设备实际工作的时间定义为可用时间，将设备的宕机时间定义为不可用时间。

根据设备列表，将上述步骤中通过制造执行系统历史记录获取的所有数据信息对应分配至设备状态统计模版表中，形成设备状态统计表。

在本实施例中形成的是日二维时间分布数据表，该日二维时间分布数据表反应的是各设备一天内的相关数据信息。其中，日二维时间分布数据表中可包括与设备列表中的设备相对应的所需数据信息，如某某设备在当天的某一状态下持续的时间信息等。

通过调用制造执行系统相关存储单元中的这些历史记录，获取不同机台一天内的机台各种状态以及与这些状态相对应的设备状态持续时间。

根据生产过程中的每日任务计划，每天将日二维时间分布数据表中的数据进行替换和更新，从而形成每天的日二维时间分布数据表。

将一周中的日二维时间分布数据表进行统计，形成对应的周二维时间分布数据表，周二维时间分布数据表反应设备列表下的设备在一周内的所需的数据信息的集合；将一个月中的日二维时间分布数据表进行统计，形成对应的月二维时间分布数据表，月二维时间分布数据表反应设备列表下的设备在一月内的所需的数据信息的集合。

最后，根据实际需求生成直观的数据图，如通过在二维时间分布表中分配设备的状态数据形成设备状态占有率图、通过在二维时间分布表中分配设备异常时间的数据形成设备异常时间统计图等。

其中，对于在设备列表中新建的设备，通过制造执行系统历史记录获取该设备自开始运行时至当前的所有数据信息，同样采用上述方法进行操作。

综上所述，本发明的一种获取设备使用率的方法是通过将实际生产过程中所使用的各个设备的信息数据进行收集、归类、统计和比较，形成直观的数据图，从而将众多繁杂的数据信息中的无用信息和对当前生产无关的信息加以去除，因此，使用本发明的方法获取设备使用率的相关信息数据过程无需人为的过多干预，依靠生产线上的生产自动化系统、制造执行系统等就能够实现，并且反映的数据的准确性高，具有很高的可操作性和可靠性。

对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims

1.一种设备使用率信息获取方法，应用于生产设备的设备使用率监测系统中，所述设备使用率监测系统包括操控端、处理端和信息采集端，其中，所述操控端包括信息输入设备、信息输出设备和信息调用设备，其特征在于，所述设备使用率检测系统中还包括预设数据库和设备使用状态数据库，所述方法包括以下步骤：

2.如权利要求1所述的设备使用率信息获取方法，其特征在于，所述数据整合方式信息包括数据整合方式，所述数据整合方式包括以下步骤：

通过所述操控端在所述预设数据库中形成数据信息模版；

3.如权利要求1所述的设备使用率信息获取方法，其特征在于，所述设备指示数据包括设备的名称和设备的型号。

4.如权利要求1所述的设备使用率信息获取方法，其特征在于，所述设备使用状态数据库中的数据包括：每批货的载入时间、机器设置时间、测试程序载入时间、生产开始时间和生产完成时间。

5.如权利要求1所述的设备使用率信息获取方法，其特征在于，所述信息采集端对制造执行系统中的所述历史记录进行采集而获取所述历史使用状态数据。

6.如权利要求1所述的设备使用率信息获取方法，其特征在于，采用柱状图作为所述图表。

7.如权利要求1所述的设备使用率信息获取方法，其特征在于，采用折线图作为所述图表。

8.如权利要求1所述的设备使用率信息获取方法，其特征在于，采用饼状图作为所述图表。