CN103209578B - 基板处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板处理装置，该基板处理装置包括：头部单元，对基板进行规定的作业；移动装置，具有导轨和沿着所述导轨移动的滑动部，并且使所述头部单元沿着一轴方向移动；其中，所述头部单元以至少一部分从所述滑动部的移动方向的端面向外侧突出的状态固定于所述滑动部。由此，不进行复杂的控制也能够使头部单元移动到相对于导轨的端面突出在外侧的位置。

Description

基板处理装置

技术领域

本发明涉及对基板进行各种作业的基板处理装置。

背景技术

将各种电子元件安装于基板的作业一般包括多个作业(例如对基板印刷焊膏的焊料印刷作业、对基板安装电子元件的元件安装作业、对安装有电子元件的基板进行加热来进行焊接的焊接作业、检查各作业的作业结果的检查作业等)。这些对基板进行的各种作业由焊料印刷机、元件安装机、回流炉、检查机等各种基板处理装置来进行。

作为基板处理装置已知有具备移动装置的基板处理装置，该移动装置使对基板进行规定作业的头部单元沿着导轨向一轴方向移动。但是，该移动装置中，由于头部单元的移动被限制在导轨的铺设范围内，因此该范围之外(比导轨的轴方向的端面更外侧)便成为头部单元的死角。

因此，为了消除这种头部单元的死角，例如日本专利公开公报特开2009-111421号中记载的基板处理装置具备2级式的移动装置。该2级式的移动装置具备分别具有沿X轴方向延伸的导轨的第1轨道形成部和第2轨道形成部。第1轨道形成部在X轴方向上不移动而保持规定的位置，第2轨道形成部沿着第1轨道形成部在X轴方向上移动。而且头部单元沿着第2轨道形成部在X轴方向上移动。根据该2级式的移动装置，通过第2轨道形成部移动到相对于第1轨道形成部的导轨的端面突出在外侧的位置且头部单元移动到第2轨道形成部的导轨的端部，由此，头部单元能够到达比第1轨道形成部的导轨的端面更外侧的位置。

然而，所述那样的使第2轨道成形部和头部单元分别移动的2级式的移动装置中，需进行复杂的控制，因此希望对此加以改善。

发明内容

本发明的目的在于提供一种不进行复杂的控制也能够使头部单元移动到相对于导轨的端面突出在外侧的位置的基板处理装置。

实现所述目的的本发明所涉及的基板处理装置包括：头部单元，对基板进行规定的作业；移动装置，具有导轨和沿着所述导轨移动的滑动部，并且使所述头部单元沿着一轴方向移动；其中，所述移动装置包括：第1移动装置，具备第1滑动部和具有第1端面的第1导轨；第2移动装置，具备第2滑动部和具有第2端面的第2导轨；其中，所述第1移动装置和所述第2移动装置以所述第1端面与所述第2端面相对的方式设置，由所述第1移动装置移动的所述头部单元以该头部单元的至少一部分从所述第1滑动部的端面向所述第2端面突出的状态固定于所述第1滑动部，由所述第2移动装置移动的所述头部单元以该头部单元的至少一部分从所述第2滑动部的端面向所述第1端面突出的状态固定于所述第2滑动部。

根据本发明，不需要复杂的控制就能使头部单元移动到相对于导轨的端面突出在外侧的位置。

附图说明

图1是示出本发明的基板处理装置的一实施方式所涉及的元件安装装置的外观的立体图。

图2是所述元件安装装置的俯视平面图。

图3是所述元件安装装置所具备的臂和头部单元的立体图。

图4是臂和头部单元的侧视平面图。

图5是图4的V-V线剖面图，是示出可动限位器处于移动限制位置的状态的图。

图6是示出头部单元移动到X方向轨道的端部为止的状态的剖面图。

图7是示出头部单元由可动限位器压向X方向轨道的中心侧的状态的剖面图。

具体实施方式

以下，参照图1～图7详细说明将本发明具体化的一个实施方式。本实施方式的基板处理装置是对于被输送到规定的位置(安装作业位置)的基板(未图示)，从元件供给部11选出电子元件(未图示)来进行安装的元件安装装置10。

元件安装装置10具备头部单元50，所述头部单元50从元件供给部11向安装作业位置移送电子元件来进行安装作业(规定的作业)。具备多个头部单元50(在本实施方式中为4个)，例如各头部单元50能分别独立地对放置在基台12上的4个基板进行安装作业，或者多个头部单元50能同时对放置在基台12上的1个或者2个基板进行安装作业。以下，在各构成件中，设与基板的输送方向平行的方向为X轴方向，与基板的输送方向成直角的方向为Y轴方向，上下方向为Z轴方向来进行说明。

元件安装装置10的基台12中具备能输送基板并且使其停止于规定位置的输送机13(参照图2)。以2个输送机13为一对，在基台12的宽度方向(Y轴方向)的大致中央设有二对(计4个)。由此，能够将基板的输送路构成为1道或者2道。即，如果是大型的基板，使二对中的一方一对输送机13间的宽度变窄并且使另一方一对输送机13间的宽度变宽，将基板设置于该扩宽一侧的一对输送机13，由此能将基板排成1列来输送。如果是小型的基板，能对每一对输送机13分别设置基板来使基板排成2列输送。

元件供给部11是能自由移动的总括交换台车，能在输送机13的两侧(图2的左右两侧)的装卸空间S进行装卸。在各元件供给部11放置有多个提供IC、晶体管、电容器等电子元件的元件送料器14。在安装于装卸空间S的元件供给部11的上方被未图示的开闭盖覆盖。在元件安装装置10的动作中，当所述开闭盖打开时，其动作就紧急停止。

元件安装装置10具备在输送机13的上方隔开规定间隔在Y轴方向上延伸的2个框架20和在2个框架20之间在X轴方向上延伸的臂30(移动装置)。在臂30上安装有头部单元50。

臂30能沿着框架20在Y轴方向上移动，头部单元50能沿着臂30在X轴方向(本发明中的一轴方向)上移动。由此，头部单元50能自由地在XY方向上水平移动。

臂30呈悬臂状被支撑于框架20(臂30的一端侧与框架20卡合，另一端侧为自由端的支撑状态)，在各框架20中分别具备一对，计4个。从框架20向基台12的中心延伸，被一方框架20支撑的臂30和以同样的方式被另一方框架20支撑的臂30隔着基台12的中心相向地设置。此外，将包括被一方框架20支撑的臂30和被另一方框架20支撑的臂30的一对臂30的组合称为一对相对臂30A(第1移动装置)、30B(第2移动装置)。在一对相对臂30A、30B在X轴方向上并排的情况下，从各臂30的框架20突出的尺寸设定为其自由端彼此不接触。

臂30由线性电机驱动，能沿着框架20在Y轴方向上自由移动。作为线性电机，是在框架20的内侧面装配有由固定永磁铁构成的磁片21，在臂30的基端侧装配有由多个线圈构成的可动部31。另外，作为线性导轨，在各框架20的整个长度上具备上下一对Y方向轨道22，臂30上具备以嵌合于Y方向轨道22的状态能沿着Y方向轨道22移动的一对Y方向滑块32。

在基台12的多个部位设有记号设置部15，该记号设置部15能设立印有共用识别记号的成圆柱状的记号构件(未图示)。记号设置部15是成圆形凹陷而形成的凹部。多个记号设置部15分别排列在二对输送机13的各外侧(参照图2)。沿着各对输送机13分别并排设有4个记号设置部15，其中位于X轴方向的中央的2个记号设置部15位于在一对相对臂30A、30B的自由端之间形成的间隙的正下方的位置。

头部单元50具备能选出或者安装电子元件的多个吸嘴51。吸嘴51在选出或者安装电子元件时下降，并且按选出或者安装电子元件的方向绕垂直方向的轴线旋转。在X轴方向上多个(在本实施方式中为6个)吸嘴51并排而成的列在Y轴方向上排列有多个列(在本实施方式中为2列)。如图4所示，吸嘴51在靠近头部单元50的宽度方向的两端的位置分别各设置有一半。此外，吸嘴51由线性电机驱动，能独立地升降。

在头部单元50的背面侧(臂30侧)具备基盘52。基盘52为覆盖头部单元50的背面侧的大致整体的大致长方形的板状，其上下方向的尺寸为涵盖臂30的大致全高的尺寸(参照图3)。

另外，如图5所示，在基盘52的背面侧设有一对挡板(称为第1挡板53A和第2挡板53B)。一对挡板53A、53B隔着在头部单元50的宽度方向的大致中心突出地设置的突出部54而设于其两侧。一对挡板53A、53B均包括聚氨酯制的构件，分别与后述的固定限位器36A、36B对应具备。此外，一对挡板53A、53B也可以不是聚氨酯制成的，而是例如橡胶制成的、弹簧等。

而且，在基盘52的背面侧具备轴55。轴55的两端通过轴承装配于基盘52，以能旋转的方式轴支撑。轴55位于头部单元50的宽度方向(X轴方向)的大致中心，设于比一对挡板53A、53B还靠背面侧。轴55为在上下方向上延伸的细长的圆柱状，其长度尺寸为收纳于后述的上下的X方向轨道34之间的尺寸。轴55在上下的X方向轨道34之间，设置在与上下的X方向轨道34垂直的方向重叠的位置。

在头部单元50中具备基台12的共用识别记号和识别基板的基准标记(未图示)的记号识别装置56。如图3所示，记号识别装置56固定于头部单元50的下端(比基盘52靠下侧)，与头部单元50一起向X轴方向和Y轴方向移动。记号识别装置56整体上在头部单元50的宽度方向上为细长的箱型，其一端从头部单元50的侧面向框架20侧突出，另一端设置在与头部单元50的侧面一致的位置。在记号识别装置56的框架20侧的端部具备CCD照相机57。利用该CCD照相机57和未图示的多个镜，能拍摄记号识别装置56的长边方向的两端部的正下方的图像。

头部单元50由滚珠丝杠驱动，能沿着臂30在X轴方向上自由移动在。臂30上具备在X轴方向上延伸的滚珠丝杠轴和驱动该滚珠丝杠轴的伺服马达33。另外，在臂30上具备X方向轨道34(导轨)和能在嵌合于X方向轨道34的状态下沿着X方向轨道34移动的X方向滑块35(滑动部)。

如图4所示，X方向轨道34在上下各有1个而设有一对，均涵盖臂30在X轴方向上的整个长度而延伸。上侧的X方向轨道34位于比框架20靠上侧的位置，下侧的X方向轨道34位于比框架20靠下侧的位置。上下的X方向轨道34均与框架20的内侧面(侧面)交叉并延伸。另外，上下的X方向轨道34的一方的端面处于框架20的内侧面，而另一方的端面到达与臂30的自由端侧的侧面在X轴方向上的位置为相同的位置。

X方向滑块35以2个为一组在上下的X方向轨道34上分别各设有一组。各X方向滑块35为与各X方向轨道34嵌合的截面大致U字状，沿着X方向轨道34形成为细长的形状。在各组的滑块中，2个X方向滑块35与X方向轨道34的延伸方向相接地设置而成。X方向滑块35的移动方向的端面(长边方向的端面)为在不从X方向轨道34的端面突出的范围内，能沿着X方向轨道34在其整个长度上移动。此外，相连设置的一组X方向滑块35的长边方向的合计尺寸为比基盘52的宽度尺寸大一些的尺寸。

如图5所示，头部单元50在相对于X方向滑块35(一组的X方向滑块35的连结体)向臂30的自由端侧错开的位置固定于X方向滑块35。由此，头部单元50的一部分从X方向滑块35的两端面中的位于臂30的自由端侧的端面35A向外侧突出。详细地说，头部单元50的宽度方向的大致中心位置固定于X方向滑块35的端部近傍，少于头部单元50的宽度方向的一半，也就是说，包含靠头部单元50的宽度方向的一端设置的吸嘴51群(吸嘴的一部分)的范围从X方向滑块35的端面35A突出。

如图4所示，在臂30上具备在X轴方向上隔开规定距离设置的一对固定限位器36A、36B。一对固定限位器36A、36B中的一方(称为第1固定限位器36A)设于臂30的自由端侧，另一方(称为第2固定限位器36B)设于臂30的基端侧。两个固定限位器36A、36B为上下方向(Z轴方向)上长的大致长方形的板状，与第1固定限位器36A相比，第2固定限位器36B的长度尺寸大。第1固定限位器36A和第2固定限位器36B的上端面的高度位置大致相等。第1固定限位器36A设于靠上侧的X方向轨道34的位置。第1固定限位器36A的侧面与臂30的侧面和X方向轨道34的端面大致齐平(X轴方向上的位置相同)。另外，第2固定限位器36B与可动部31相邻设置。

在臂30的自由端侧具备能相对于臂30在Y轴方向上能相对移动的可动限位器37。可动限位器37与第1固定限位器36A的内侧(基端侧)相邻设置，整体上为在Y轴方向上长的形状(参照图5)。可动限位器37相对于臂30在Y轴方向上相对移动，由此在向头头部单元50的移动区域突出而限制头部单元50的移动的移动限制位置(参照图5)和从头部单元50的移动区域退避而允许头部单元50的移动的移动允许位置(参照图6)之间移动。

在可动限位器37的Y轴方向的一端侧具备限位器部38，所述限位器部38当可动限位器37到达移动限制位置时就向上下的X方向轨道34之间突出。限位器部38中具备挡板(称为第3挡板39)。第3挡板39包括聚氨酯制的构件，在限位器部38的上下方向上成细长的柱状。第3挡板39设于限位器部38的侧面(与第1固定限位器36A相反的一侧的侧面)，在可动限位器37处于移动限制位置时，与头部单元50的轴55在X轴方向上并排(相对)(参照图5)。此外，第3挡板39与第1挡板53A和第2挡板53B同样，不一定由聚氨酯制成，也可以是例如橡胶制成、弹簧等。

在可动限位器37的与限位器部38相反的一侧(元件供给部11侧)的端部设有手柄41。作业员通过握着该手柄41沿Y轴方向推拉，能手动地使臂30沿Y轴方向移动。

在可动限位器37处于移动限制位置时，限位器部38向第1固定限位器36A的内侧突出，头部单元50的移动范围缩小限位器部38的宽度尺寸的量。另一方面，在可动限位器37处于移动允许位置时，限位器部38从第1固定限位器36A的内侧退避，头部单元50的移动范围扩大限位器部38的宽度尺寸。

关于头部单元50的移动范围，预先设定限制值。在本实施方式的元件安装装置10中，设定为在头部单元50的吸嘴51选出或者安装电子元件的元件安装作业时，可动限位器37设置于移动限制位置，头部单元50在第2固定限位器36B与可动限位器37之间移动。另外，设定为在头部单元50的记号识别装置56进行识别记号的记号识别作业时，可动限位器37设置于移动允许位置，头部单元50在第2固定限位器36B与第1固定限位器36A之间移动。此外，将元件安装作业时的头部单元50的移动范围称为通常移动范围，将记号识别作业时的头部单元50的移动范围称为扩张移动范围。

通常移动范围和扩张移动范围在一端侧(臂30的基端侧)的位置相等。在头部单元50移动到最靠近所述一端侧时，第1挡板53A的侧面接近第2固定限位器36B设置。此时，X方向滑块35分别向框架20的上方和下方突入，头部单元50的侧面接近框架20的内侧面。

通常移动范围和扩张移动范围在另一端侧(臂30的自由端侧)的位置不同。在头部单元50移动到通常移动范围的最靠近所述另一端侧时，头部单元50的轴55接近可动限位器37的第3挡板39。另外，在头部单元50移动到扩张移动范围的最靠近另一端侧时，头部单元50的第2挡板53B接近第1固定限位器36A。此外，在第2挡板53B的角部形成有与后述的可动限位器37的抵接部42的倾斜同等的坡度的倾斜面。

可动限位器37具有在移动到移动限制位置时抵接于头部单元50的轴55的抵接部42。抵接部42设于限位器部38的顶端，为从X方向轨道34的中心侧朝向自由端侧向头部单元50的移动区域突出的尺寸逐渐增加的倾斜面。

下面说明元件安装装置10进行的作业的一个例子。首先，进行记号识别作业。最初，识别基台12的共用识别记号。在此，说明基台12的共用识别记号设置于基台12的中心的情况。

利用一对相对臂30A、30B中具备的头部单元50来识别相同的共用识别记号。首先，利用一对相对臂30A、30B中的一方臂30A中具备的头部单元50进行共用识别记号的识别作业。如图6所示，在该共用记号识别作业时，可动限位器37设置于移动允许位置，头部单元50能在扩张移动范围内移动。另外，在另一方臂30B中，可动限位器37设置于移动限制位置，头部单元50设置于通常移动范围内。

然后，使一方臂30A的头部单元50移动到扩张移动范围的端部为止。这样，利用臂30A中具备的未图示的传感器，识别出头部单元50设置在扩张移动范围的端部。此时，头部单元50的宽度方向上的一端侧比X方向轨道34的端面向外侧突出，记号识别装置56的端部到达共用识别记号的正上方。然后，利用记号识别装置56拍摄并识别基台12的共用识别记号。

当共用识别记号的拍摄结束时，在该一方臂30A中，可动限位器37设置在移动限制位置，头部单元50的移动被限制在通常移动范围内。

这样，一旦一个头部单元50的记号识别作业结束，就开始下一个头部单元50的记号识别作业。该次头部单元50的记号识别作业以与上所述同样的顺序进行。此时，先结束记号识别作业的头部单元50设置在通常移动范围内，因此避免了先结束记号识别作业的头部单元50与下一个进行记号识别作业的头部单元50的碰撞。

一旦利用各头部单元50中具备的记号识别装置56识别出了相同的共用识别记号，则根据分别算出的坐标来进行各头部单元50的坐标系的校正，以使该坐标一致。

然而，在记号识别作业的中途，有时例如所述开闭盖开启，由此元件安装装置10会紧急停止。这样，如图7所示，在记号识别作业中的臂30中，可动限位器37跳出到移动限制位置，与设置在扩张移动范围的端部的头部单元50的轴55抵接，将该轴55推回X方向轨道34的中心侧。由此，头部单元50设置在通常移动范围内，因此在例如作业员手动使臂30移动的情况下，能防止头部单元50碰撞到周围的情况。此外，在可动限位器37推动轴55返回时，轴55发生旋转，因此该推回变得容易。

然后，识别基板的基准标记。各头部单元50通过识别基板的基准标记来识别基板的固定位置。此外，在基板的基准标记位于基台12的中心(通常移动范围内的头部单元50下，成死角的部分)的情况下，与共用记号识别作业时同样，将可动限位器37设置在移动允许位置，使头部单元50移动到扩张可能范围的端部来进行基准标记的识别作业。

然后，进行元件安装作业。各头部单元50根据基板的固定位置校正电子元件的搭载位置来将电子元件安装在基板上。在该元件安装作业时，可动限位器37设置在移动限制位置，头部单元50在通常移动范围内移动。此外，利用臂30中具备的未图示的传感器来识别可动限位器37设置在移动限制位置的情况。

另外，在记号识别作业中、元件安装作业中，万一头部单元50要与第1固定限位器36A、第2固定限位器36B或者可动限位器37碰撞的情况下，臂30中具备的传感器察觉到这一点，设定为使伺服马达33的电源关闭。

根据如上述那样构成的本实施方式，实现以下效果。本实施方式的元件安装装置10具备：具备将电子元件安装到基板的作业的头部单元50和使头部单元50在X轴方向上移动的臂30。臂30具备X方向轨道34和沿着X方向轨道34移动的X方向滑块35。头部单元50以至少一部分从X方向滑块35的移动方向上的端面35A向外侧突出的状态固定于X方向滑块35。

由此，在X方向滑块35移动到X方向轨道34的自由端时，头部单元50的一部分比X方向轨道34的端面向外侧突出。另外，臂30是X方向滑块35相对于X方向轨道34移动的1级式的，因此不需要复杂的控制就能使头部单元50移动到比X方向轨道34的端面向外侧突出的位置。

以一对相对臂30A、30B在X轴方向并排的方式设有一对臂30。相对臂30A包括具有该相对臂30A的自由端侧的端面(第1端面)的X方向轨道34(第1导轨)和能沿着该X方向轨道34移动的X方向滑块35(第1滑动部)。同样，相对臂30B包括具有该相对臂30B的自由端侧的端面(第2端面)的X方向轨道34(第2导轨)和能沿着该X方向轨道34移动的X方向滑块35(第2滑动部)。并且，一对相对臂30A、30B以相对臂30A的X方向轨道34的所述端面(第1端面)与相对臂30B的X方向轨道34的所述端面(第2端面)相对的方式设置于X轴方向。由相对臂30A移动的头部单元50以至少一部分从X方向滑块35(第1滑动部)的端面35A向相对臂30B的X方向轨道34的所述端面(第2端面)突出的状态固定于X方向滑块35。另外，由相对臂30B移动的头部单元50以至少一部分从X方向滑块35(第2滑动部)的端面35A向相对臂30A的X方向轨道34的所述端面(第1端面)突出的状态固定于X方向滑块35。由此，在X方向滑块35移动到X方向轨道34的自由端时，头部单元50的一部分突出在相对臂30A的X方向轨道34的所述端面(第1端面)与相对臂30B的X方向轨道34的所述端面(第2端面)之间，因此能防止这之间成为死角。

在X方向轨道34的基端侧(一端侧)具备大致垂直于X方向轨道34的框架20，X方向轨道34与框架20的内侧面交叉延伸。在此，在X方向轨道不与框架的内侧面交叉而是在其跟前中断的情况下，头部单元50的移动范围就被限制为到框架的跟前为止。然而，X方向轨道34与框架20的内侧面交叉延伸，因此头部单元50能在更大的范围中移动。由此，即使头部单元50固定于相对于X方向滑块35向与框架20相反的一侧偏离的位置，也能防止由于该偏离导致在框架20侧死角变大。

另外，臂30具备能在移动限制位置和移动允许位置之间移动的可动限位器37，所述移动限制位置是向头部单元50的移动区域突出，限制头部单元50的移动的位置，所述移动允许位置是从头部单元50的移动区域退避，允许头部单元50的移动的位置。由此，能通过使可动限位器37移动来适当改变头部单元50的移动区域。

当对基板的作业停止时，可动限位器37移动到移动限制位置，抵接于位于X方向轨道34的端部的头部单元50，头部单元50被推回X方向轨道34的中心侧。由此，在对基板的作业停止时，例如在作业员手动使臂30移动的情况下，能防止头部单元50与周围碰撞的情况。

另外，可动限位器37的与头部单元50的轴55抵接的抵接部42为向头部单元50的移动区域突出的尺寸从X方向轨道34的中心侧朝向端侧逐渐减少的倾斜面。由此，能利用可动限位器37顺利地将头部单元50推回到X方向轨道34的中心侧。

＜其它实施方式＞

本发明不限于通过所述记载和附图说明的实施方式，例如如下实施方式也包含于本发明的技术范围。

(1)在所述实施方式中，示出了将本发明的基板处理装置用于对基板安装电子元件的元件安装装置10例子。但是本发明不限于元件安装装置10，能广泛应用于对基板利用头部单元50进行任意处理的各种装置。

(2)在所述实施方式中，示出了将本发明应用于具备多个头部单元50的元件安装装置10的例子。但是本发明不限于此，本发明也能应用于例如仅具备一个头部单元的元件安装装置。

(3)在所述实施方式中，举例示出了臂30呈悬臂状被框架20支撑的情况。但是本发明不限于此，例如也可以是臂从元件安装装置的天井部垂下的情况。

(4)在所述实施方式中，示出了头部单元50从X方向滑块35的一方端面35A突出的例子。但是本发明不限于此，也可以是头部单元从X方向滑块的两方端面向两侧突出。

(5)在所述实施方式中，示出了设定为在元件安装作业时可动限位器37设置于移动限制位置，头部单元50在通常移动范围内移动的例子。但是本发明不限于此，也可以设定为在元件安装作业时中也将可动限位器设置在移动允许位置，使头部单元在扩张移动范围内移动。通过这样设定，例如能根据基板的尺寸等将电子元件搭载于位于基台的中心的区域，或者将电子元件吸附于位于基台的中心的区域。

(6)在所述实施方式中，示出了当对基板的作业停止时，可动限位器37移动到移动限制位置而与位于X方向轨道34的端部的头部单元50的轴55抵接，将头部单元50推回向X方向轨道34的中心侧的例子。本发明不限于此，也可以是可动限位器抵接于X方向滑块，将X方向滑块推回向X方向轨道的中心侧，由此来推回头部单元。

(7)在所述实施方式中，示出了可动限位器37的抵接部42为倾斜面的例子。本发明不限于此，例如也可以在头部单元侧设置倾斜面。另外，也可以在可动限位器和头部单元两方设置倾斜面。

(8)在所述实施方式中，示出了可动限位器37仅具备臂30的端部的例子。本发明不限于此，也可以将可动限位器设于臂的多个部位，由此使头部单元的移动范围多级可变。

所述具体实施方式中主要包括具有以下结构的发明。

本发明所涉及的基板处理装置包括：头部单元，对基板进行规定的作业；移动装置，具有导轨和沿着所述导轨移动的滑动部，并且使所述头部单元沿着一轴方向移动；其中，所述头部单元以至少一部分从所述滑动部的移动方向的端面向外侧突出的状态固定于所述滑动部。

根据该结构，在滑动部移动到导轨的端部时，至少头部单元的一部分相对于导轨的端面突出在外侧。另外，移动装置是滑动部移动的1级式的装置，因此不需要复杂的控制就能将头部单元移动到相对于导轨的端面突出在外侧的位置。

上述结构中较为理想的是，所述移动装置包括：第1移动装置，具备(作为所述滑动部的)第1滑动部和具有第1端面的(作为所述导轨的)第1导轨；第2移动装置，具备(作为所述滑动部的)第2滑动部和具有第2端面的(作为所述导轨的)第2导轨；其中，所述第1移动装置和所述第2移动装置以所述第1端面与所述第2端面相对的方式设置，由所述第1移动装置移动的所述头部单元以该头部单元的至少一部分从所述第1滑动部的端面向所述第2端面突出的状态固定于所述第1滑动部，由所述第2移动装置移动的所述头部单元以该头部单元的至少一部分从所述第2滑动部的端面向所述第1端面突出的状态固定于所述第2滑动部。

根据该结构，在所述第1滑动部或所述第2滑动部移动到第1导轨的第1端面或第2导轨的第2端面时，被所述第1移动装置或被所述第2移动装置移动的头部单元的至少一部分突出在所述第1端面和所述第2端面之间，因此能防止这之间成为死角。

所述结构中较为理想的是，还包括：框架，设置在所述导轨的一端侧且垂直于所述导轨；其中，(俯视下)所述导轨以与所述框架的侧面交叉的方式延伸。在此，在导轨不与框架的侧面交叉而是延伸至其跟前而止的情况下，头部单元的移动范围被限制为至框架的跟前为止。然而，由于导轨以与框架的侧面交叉的方式延伸，因此头部单元能在更大的范围中移动。另外，在该结构中，框架垂直于导轨是指框架正垂直于导轨的配置关系之外，在能够消除移动装置的自由端侧的头部单元的死角的前提下，还指框架大致垂直于导轨的配置关系。

所述结构中较为理想的是，还包括：框架，设置在所述导轨的一端侧且垂直于所述导轨；其中，所述移动装置呈悬臂状支撑在所述框架上，所述头部单元以该头部单元的一部分从所述滑动部的与该滑动部的所述框架侧的端面相反侧的端面突出的方式固定于所述滑动部。在该结构中，在该结构中，框架垂直于导轨是指框架正垂直于导轨的配置关系之外，在能够消除移动装置的自由端侧的头部单元的死角的前提下，还指框架大致垂直于导轨的配置关系。

根据该结构，在呈悬臂状支撑在所述框架上的所述移动装置的自由端侧，能使头部单元的一部分相对于导轨的端面向外侧突出。因此，能消除所述移动装置的自由端侧的头部单元的死角。

所述结构中较为理想的是，所述移动装置包括能在移动限制位置和移动允许位置之间移动的可动限位器，其中，所述移动限制位置是所述可动限位器突出到所述滑动部或所述头部单元的移动区域而限制所述滑动部或所述头部单元的移动的位置，所述移动允许位置是所述可动限位器从所述滑动部及所述头部单元的移动区域退避而允许所述滑动部及所述头部单元的移动的位置。

根据如此结构，能通过使可动限位器移动来恰当变更头部单元的移动区域。

另外，较为理想的是，所述可动限位器设置在所述导轨的端部，当对所述基板的规定作业停止时，所述可动限位器移动到所述移动限制位置并与位于所述导轨的端部的所述滑动部或所述头部单元抵接，从而所述滑动部或所述头部单元被推回所述导轨的中心侧。

根据如此结构，在停止对基板的规定作业时，头部单元被引入导轨的中心侧，因此例如在作业员手动使移动装置移动的情况下，能防止头部单元与周围碰撞的情况。

另外，较为理想的是，所述可动限位器具备与所述滑动部或所述头部单元抵接的抵接部，所述抵接部是随着从所述导轨的中心侧向端侧延伸而向所述滑动部或所述头部单元的移动区域突出的突出尺寸逐渐增加的倾斜面。

根据如此结构，能利用可动限位器将滑动部或者头部单元顺畅地推回导轨的中心侧。

所述结构中较为理想的是，所述滑动部能够在其移动方向的端面不从所述导轨的端面突出的范围内沿着所述导轨在该导轨的全长范围移动，在所述滑动部的移动方向的端面移动到所述导轨的端面位置的状态下，所述头部单元的一部分从所述导轨的端面向外侧突出。根据该结构，能使头部单元的一部分切实地从导轨的端面向外侧突出。

在这种情况下较为理想的是，所述头部单元具备多个吸嘴，该头部单元的宽度方向的中心位置固定在所述滑动部的端部近傍，在所述滑动部的移动方向的端面移动到所述导轨的端面位置的状态下，所述头部单元的部分所述吸嘴从所述导轨的端面向外侧突出。根据该结构，能利用头部单元的从所述导轨的端面向外侧突出的吸嘴来进行死角处的作业。

根据以上说明的本发明所涉及的基板处理装置，能提供不需要复杂的控制就能使头部单元移动到相对于导轨的端面向外侧突出的位置的基板处理装置。

Claims (8)

1.一种基板处理装置，其特征在于包括：

头部单元，对基板进行规定的作业；

移动装置，具有导轨和沿着所述导轨移动的滑动部，并且使所述头部单元沿着一轴方向移动；其中，

所述移动装置包括：第1移动装置，具备第1滑动部和具有第1端面的第1导轨；第2移动装置，具备第2滑动部和具有第2端面的第2导轨；其中，所述第1移动装置和所述第2移动装置以所述第1端面与所述第2端面相对的方式设置，

由所述第1移动装置移动的所述头部单元以该头部单元的至少一部分从所述第1滑动部的端面向所述第2端面突出的状态固定于所述第1滑动部，

由所述第2移动装置移动的所述头部单元以该头部单元的至少一部分从所述第2滑动部的端面向所述第1端面突出的状态固定于所述第2滑动部。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于还包括：

框架，设置在所述导轨的一端侧且垂直于所述导轨；其中，

所述导轨以与所述框架的侧面交叉的方式延伸。

3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于还包括：

框架，设置在所述导轨的一端侧且垂直于所述导轨；其中，

所述移动装置呈悬臂状支撑在所述框架上，

所述头部单元以该头部单元的一部分从所述滑动部的与该滑动部的所述框架侧的端面相反侧的端面突出的方式固定于所述滑动部。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述移动装置包括能在移动限制位置和移动允许位置之间移动的可动限位器，其中，所述移动限制位置是所述可动限位器突出到所述滑动部或所述头部单元的移动区域而限制所述滑动部或所述头部单元的移动的位置，所述移动允许位置是所述可动限位器从所述滑动部及所述头部单元的移动区域退避而允许所述滑动部及所述头部单元的移动的位置。

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，

所述可动限位器设置在所述导轨的端部，

当对所述基板的规定作业停止时，所述可动限位器移动到所述移动限制位置并与位于所述导轨的端部的所述滑动部或所述头部单元抵接，从而所述滑动部或所述头部单元被推回所述导轨的中心侧。

6.在权利要求5所述的基板处理装置中，其特征在于，

所述可动限位器具备与所述滑动部或所述头部单元抵接的抵接部，

所述抵接部是随着从所述导轨的中心侧向端侧延伸而向所述滑动部或所述头部单元的移动区域突出的突出尺寸逐渐增加的倾斜面。

7.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

所述滑动部能够在其移动方向的端面不从所述导轨的端面突出的范围内沿着所述导轨在该导轨的全长范围移动，

在所述滑动部的移动方向的端面移动到所述导轨的端面位置的状态下，所述头部单元的一部分从所述导轨的端面向外侧突出。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，

所述头部单元具备多个吸嘴，该头部单元的宽度方向的中心位置固定在所述滑动部的端部近傍，

在所述滑动部的移动方向的端面移动到所述导轨的端面位置的状态下，所述头部单元的部分所述吸嘴从所述导轨的端面向外侧突出。