CN103137533B - 静电吸持机器人系统 - Google Patents

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Abstract

一种工件传送系统具有多个连接器，每个连接器具有轴承和主变压器线圈和副变压器线圈，其中提供给每个连接器的主和副变压器线圈之一的电力在各自连接器的主变压器线圈和副变压器线圈之间产生互感，这样提供了通过每个连接器的无接触电力。至少第一对臂通过第一对连接器分别可旋转地连接至刀片状件，第一对连接器的每一个的主变压器线圈可操作地连接至相应的第一对臂，第一对连接器的每一个的副变压器线圈可操作连接至刀片状件及其电介质工件保持表面下的电极。因此，通过连接器的主变压器线圈和副变压器线圈给电极无接触供电，并且刀片状件可通过反转电流方向以及调整控制吸持力的电压来吸持和去吸持工件。本发明还公开了静电吸持机器人系统。

Description

静电吸持机器人系统
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体地，涉及静电吸持机器人系统。
背景技术
在半导体器件制造中，机器人经常被用来在不同的加工装置之间传送工件（例如，硅晶圆）。在一些系统架构中，工件运载工具被安装至机器人的臂上，其中工件运载工具被配置成在加工装置之间运送工件。
一个常见的工件运载工具包括连接至机器人端部的机器人刀片状件，其中工件在机器人运送期间置于工件刀片状件上。通常，万有引力保持工件相对于机器人刀片状件的位置。因此，工件相对于机器人刀片状件的惯性力趋于限制机器人刀片状件的移动速度。因此，真空源已引入到机器人臂上，其中机器人刀片状件利用真空源来保持工件相对于机器人刀片状件的位置。例如，真空源垂直于机器人刀片状件以便于为工件和机器人刀片状件之间的连接选择性地提供真空，即选择性地固定工件相对于机器人刀片状件的位置。
然而，这样的真空源经常使机器人的结构复杂化，其中真空管路和关联的结构增加了机器人的重量和成本，并且潜在地限制了机器人刀片状件的移动。
发明内容
下面描述了本发明的简化的概略以便于提供本发明的一个或者多个方面的基本理解。该概略不是本发明的全面概述，并且既不是用来确定本发明的重要或者关键元素，也不是用来描述本发明的范围。相反概略的主要目的是以简化的形式提出本发明的一些概念以作为之后给出的更详细描述的前序。
在一实施方式中，本发明涉及工件传送系统，其中，工件传送系统，例如机器人系统，包括用于选择性保持或者保留工件的刀片状件。例如，刀片状件包括与电介质工件保持表面关联的一个或者多个电极，其中，对一个或者多个电极施加电压并配置成将工件（例如半导体晶圆）静电吸附在电介质工件保持表面。
进一步提供多个连接器，其中多个连接器中的每一个都包括轴承，主变压器线圈以及副变压器线圈。每个连接器的轴承将各自连接器的主变压器线圈可旋转地连接至副变压器线圈。电力或电压提供至每个连接器的主变压器线圈和副变压器线圈之一，例如，从而产生在相应连接器的主变压器线圈和副变压器线圈之间的互感，这样提供了通过每个连接器的无接触电力。
根据一个具体实例，第一对臂通过多个连接器中的第一对连接器分别可旋转地连接至刀片状件。例如，对于多个连接器中的第一对连接器的每一个，其主变压器线圈被可操作地连接至相应的第一对臂并且其副变压器线圈被可操作地连接至刀片状件。因此，第一对臂无接触地电连接至一个或者多个电极。
在一具体实例中，每个连接器的主变压器线圈通常是环形的并且限定了外线圈，该外线圈具有贯穿其的孔，并且每个连接器的副变压器线圈通常是杆形的并且限定了内线圈，该内线圈被配置成在外线圈内部旋转。轴承通常位于每个连接器的外线圈和内线圈之间。可选地，每个连接器的主变压器线圈通常是杆形的并且限定了内线圈，并且每个连接器的副变压器线圈通常是环形的并且限定了外线圈，该外线圈具有其的孔并且该外线圈被配置成围绕内线圈旋转。
根据另一实例，提供了电源和控制器，其中所述控制器被配置成通过激活电源为一个或者多个电极选择性地供电。每个连接器的主变压器线圈和副变压器线圈之间的互感提供了通过每个连接器的从电源到一个或者多个电极的无接触电力，这样在电介质工件保持表面选择性地静电充电。例如，控制器被配置成转换电源的极性，从而对电介质工件保持表面选择性地充电和放电。
在另一实例中，第二对臂通过多个连接器中的第二对连接器分别可旋转地连接至第一对臂。多个连接器中的第二对连接器的每一个的主变压器线圈可操作地连接至相应的第二对臂，并且多个连接器中的第二对连接器的每一个的副变压器线圈可操作地连接至相应的第一对臂。同样地，通过连接器提供了无接触电连接。
在另一实例中还提供了机器人基座，其中机器人基座通过多个连接器中的第三对连接器被可旋转地连接至第二对臂。多个连接器中的第三对连接器的每一个的主变压器线圈可操作地连接至机器人基座，并且多个连接器中的第三对连接器的每一个的副变压器线圈可操作地连接至相应的第二对臂，这样通过连接器提供了无接触电连接。
在可选实施方式中，所述一个或者多个电极被设置在所述电介质工件保持表面下。
本发明还提供了一种工件传送系统，包括：
电源；
刀片状件，所述刀片状件具有被配置成选择性地保持工件的电介质工件保持表面，其中所述刀片状件包括与所述电介质工件保持表面关联的一个或者多个电极；
多个连接器，所述多个连接器中的每一个包括轴承、主变压器线圈以及副变压器线圈，其中每个所述连接器的所述轴承将各自连接器的所述主变压器线圈可旋转地连接至所述副变压器线圈，并且其中提供给每个所述连接器的所述主变压器线圈和所述副变压器线圈中之一的电力在各自连接器的所述主变压器线圈和所述副变压器线圈之间产生互感，这样提供了通过每个所述连接器的无接触电力；
第一对臂，所述第一对臂通过所述多个连接器中的第一对连接器分别可旋转地连接至所述刀片状件，其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述主变压器线圈可操作地连接至相应的所述第一对臂并且通过相应的所述第一对臂电连接所述电源，以及其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述副变压器线圈可操作地连接至所述刀片状件并且电连接所述一个或者多个电极；以及
控制器，其中所述控制器被配置成通过激活所述电源为所述一个或者多个电极选择性地供电，其中所述多个连接器中的第一对连接器的所述主变压器线圈和所述多个连接器中的第一对连接器的所述副变压器线圈之间的互感提供了通过所述第一连接器的从所述电源到所述一个或者多个电极的无接触电力。
在一可选实施方式中，每个所述连接器的所述主变压器线圈通常是环形并且限定了外线圈，所述外线圈具有贯穿其的孔；并且，每个所述连接器的所述副变压器线圈通常是杆形并且限定了内线圈，所述内线圈被配置成在所述外线圈内旋转；并且，所述轴承通常位于每个所述连接器的所述外线圈和所述内线圈之间。
在另一可选实施方式中，每个所述连接器的所述主变压器线圈通常是杆形并且限定了内线圈；并且，每个所述连接器的所述副变压器线圈通常是环形并且限定了外线圈，所述外线圈具有贯穿其的孔并且被配置成围绕所述内线圈旋转；并且，所述轴承通常位于每个所述连接器的所述外线圈和所述内线圈之间。
在可选实施方式中，每个所述连接器的轴承包括无油轴承。
在可选实施方式中，所述控制器被配置成转换所述电源的电源极性，从而对所述电介质工件保持表面选择性地充电和放电。
在可选实施方式中，工件传送系统进一步包括第二对臂，所述第二对臂通过所述多个连接器中的第二对连接器分别可旋转地连接至所述第一对臂，其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述主变压器线圈可操作地连接至相应的所述第二对臂，并且其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述副变压器线圈可操作地连接至相应的所述第一对臂。
在可选实施方式中，工件传送系统进一步包括机器人基座，所述机器人基座通过所述多个连接器中的第三对连接器可旋转地连接至所述第二对臂，其中所述多个连接器中的第三对连接器的每一个的所述主变压器线圈可操作地连接至所述机器人基座，并且其中所述多个连接器中的第三对连接器的每一个的所述副变压器线圈可操作地连接至所述相应的第二对臂。
在可选实施方式中，所述一个或者多个电极被设置在电介质工件保持表面下。
本发明还提供了一种选择性地保持工件的方法，所述方法包括：
提供通过连接器可旋转地连接至机器人臂的刀片状件，所述连接器包括主变压器线圈、副变压器线圈以及设置在两者之间的轴承，所述刀片状件具有电介质工件保持表面以及设置在所述电介质工件保持表面下的一个或者多个电极；以及，
采用预确定的电极给所述主变压器线圈提供电力，以通过在所述连接器的主变压器线圈和副变压器线圈之间的互感为所述一个或者多个电极无接触供电，这样将所述工件静电吸附到所述电介质工件保持表面。
在可选实施方式中，方法进一步包括将提供给所述主变压器线圈的电源的极性反转，从而对所述电介质工件保持表面放电。
下面的描述和附图详细阐述了本发明的某些示例说明的方面和实施。这些示例说明的方面和实施表示但仅是多种可应用于本发明原理的方式中的一些。
附图说明
图1示出了根据本发明一方面的工件传送系统的一个实例的俯视图。
图2示出了根据本发明另一方面的示例性静电吸盘的截面图。
图3A和图3B示出了根据本发明又一方面的示例性连接器的相应的平面视图。
图4示出了根据本发明再一方面的示例性感应线圈的示意图。
图5示出了根据本发明另一示例性方面的用于将工件选择性地保持在工件传送系统上的方法流程图。
具体实施方式
下面结合附图作进一步的描述，其中在全文中相同的标号通常用于指代相同的元件，并且其中各种结构不必成比例绘制。在下面的描述中，为了说明目的，阐述了许多具体细节以便于理解。然而，对本领域技术人员来说很明显的是，可以根据这些具体细节中的较少的一些来实现本文描述的一个或者多个方面。在其他例子中，已知的结构和设备以框图形式表示以便于理解。
现在参考附图，图1示出了本发明的一方面，其中提供了工件传送系统100。例如，工件传送系统100被配置成选择性地将工件102从一个位置传送到另一个位置，例如，位于加工装置之间（未示出）。在本发明的一个实施方式中，工件传送系统100包括如下讨论的机器人104。
例如，工件传送系统100包括刀片状件106，其中刀片状件被配置成选择性地保持或者保留工件102。根据本发明的一个示例性方面，刀片状件106包括与电介质工件保持表面110关联的一个或者多个电极108。一个或者多个电极108和电介质工件保持表面110大体上限定了静电吸盘112。如图2中的示意性示出的，静电吸盘112的一个或者多个电极108通常被嵌入电介质层114（例如，陶瓷），其中供应给一个或者多个电极的电压将工件102静电吸附到电介质工件保持表面110。
根据本发明的一个示例性方面，机器人104包括第一对臂116A，116B，通过多个连接器120中的第一对连接器118A，118B分别可旋转地连接到刀片状件106。例如，多个连接器120中的每个都包括轴承122，主变压器线圈124以及副变压器线圈126，如图3A和图3B中更详细示出的。每个连接器120的轴承122将各自连接器的主变压器线圈124可旋转地连接至副变压器线圈126。在一实例中，提供给每个连接器120的主变压器线圈124和副变压器线圈126中的一个的电力（例如，来自图1中的电源128的电压）在相应的连接器的主变压器线圈和副变压器线圈之间产生互感，这样提供了通过每个连接器的无接触电力。
在图3A中示出的实例中，每个连接器120的主变压器线圈124通常是环形并且限定了外线圈130，外线圈130具有贯穿其的孔132。在本实例中，每个连接器120的副变压器线圈126通常是杆形并且限定了内线圈134，该内线圈134被配置成在外线圈130内部旋转，其中轴承122通常置于每个连接器的外线圈和内线圈之间，并且使得能够在外线圈和内线圈之间自由旋转。例如，轴承122是无油脂的以便限制与之关联的污染。
在另一实例中，如图3B所示出的，每个连接器120的主变压器线圈124通常是杆形并且限定了内线圈130，并且副变压器线圈126通常是环形并且限定了外线圈134，该外线圈134被配置成围绕内线圈旋转。类似地，轴承122通常位于每个连接器的外线圈134和内线圈130之间，并且能在外线圈134和内线圈130之间自由旋转。尽管本实例描述了杆形和环形线圈，应当理解各种其他构造是可能的并且也认为落入本发明的范围内。
图4从理论上示出了主变压器线圈124（也称为主感应器）以及副变压器线圈126（也称为副感应器），其中L1表示主变压器线圈124的感应系数，并且L2表示副变压器126的感应系数。当一个感应器中的电流变化使得在另一附近感应器中感应出电压时，互感系数M出现。互感系数M还是两个感应器之间的耦合度的量度。互感系数M具有关系：
M21=N1N2P21（1）
其中M21是互感系数，并且下标指示由于主变压器线圈124中电流与该电流感应出的在副变压器线圈126中的电压的关系。N1是主变压器线圈124的匝数，N2是副变压器线圈126的匝数，并且P21是通量占用的空间磁导。
当一个感应器通过互感与另一感应器紧耦合时，例如在变压器中，电压、电流以及匝数可以以下列方式关联：
VS=(NS/NP)VP（2）
其中，VS是穿过副变压器线圈126的电压，VP是穿过主变压器线圈124的电压（例如，连接至电源128），NS是副变压器线圈126的匝数，并且NP是主变压器线圈124的匝数。
再参考图1，例如，第一对臂116A，116B通常允许刀片状件106相对于第一对臂旋转。多个连接器120中的第一对连接器118A，118B的每一个的主变压器线圈124可操作地连接至相应的第一对臂116A，116B，并且多个连接器中的第一对连接器的每一个的副变压器线圈126被可操作地连接至刀片状件106。因此，一个或者多个电极108以无接触方式电连接第一对臂116A，116B。
例如，如图1所示的工件传送系统100还包括控制器136，其中控制器被配置成通过选择性地激活电源128来为一个或者多个电极108选择性地供电。因此，每个连接器120的主变压器线圈124和副变压器线圈126之间的互感提供通过每个连接器的从电源128至一个或者多个电极108的无接触电力，这样对静电吸盘112的电介质工件保持表面110选择性地静电充电。例如，控制器136进一步被配置成转换来自电源128的电源极性（例如，从直流电压的正极到负极），这样将为电介质工件保持表面110选择性地充电和放电。
根据另一实施例，工件传送系统100的机器人104还包括第二对臂138A，138B，通过多个连接器120中的第二对连接器140A，140B分别可旋转地连接至第一对臂116A，116B。因此，多个连接器120中的第二对连接器140A，140B的每一个的主变压器线圈124可操作地连接至相应的第二对臂138A，138B，并且多个连接器中的第二对连接器的每一个的副变压器线圈126可操作地连接至相应的第一对臂116A，116B。
根据另一实例，机器人104还包括机器人基座142，通过多个连接器120中的第三对连接器144A，144B可旋转地连接至第二对臂138A，138B。因此，多个连接器120中的第三对连接器144A，144B的每一个的主变压器线圈124可操作地连接至机器人基座142，并且多个连接器中的第三对连接器的每一个的副变压器线圈126被可操作地连接至相应的第二对臂138A，138B。因此，类似地，每个连接器120的主变压器线圈124和副变压器线圈126之间的互感提供通过每个连接器的从电源128至一个或者多个电极108的无接触电力，从而对静电吸盘112的电介质工件保持表面110选择性地静电充电。
图5示出了用于选择性地保持工件的方法200的另一示例性实例。尽管本申请提供的方法200在下面被作为一系列步骤或者事件来阐述和描述，应当理解示例的这些步骤或者事件的顺序不会以限制理解的方式来解释。例如，一些步骤可以以不同的顺序出现和/或与除本申请中示出和/或描述的那些之外的其他步骤或者事件同时出现。另外，实施本申请描述的一个或者多个方面或者实施方式可以并非需要所有示例的步骤。再者，本申请描述的一个或者多个步骤可以以一个或者多个单独步骤和/或阶段的方式实施。
如在图5的步骤202示出的，方法200开始于提供通过连接器可旋转地连接至机器人臂的刀片状件，例如图1中示出的机器人104，其中连接器包括主变压器线圈，副变压器线圈和置于两者之间的轴承。根据所述方法，刀片状件具有电介质工件保持表面以及设置在电介质工件保持表面下的一个或者多个电极（例如，示出在图2的静电吸盘112内的）。
在步骤204，电力以预确定的极性提供给主变压器线圈，这样通过连接器的相应的主变压器线圈和副变压器线圈之间的互感为一个或者多个电极无接触供电。因此，工件被静电吸附到电介质工件保持表面。
在步骤206，反转提供给主变压器线圈的电源的极性，这样电介质工件保持表面放电，并且允许将工件从电介质工件保持表面移除。
应当理解，尽管在整个申请文件描述的示例性结构被用作参考来讨论方法的各个方面，但那些方法并不局限于给出的相应结构。相反，方法（以及结构）被考虑为相互之间是独立的，并且能够独立使得在不考虑图中描述的任何具体方面的情况下也能够实施。另外，本文描述的层可以任何适合的方式形成，例如，旋涂，溅射，生长和/或沉积技术等等。
此外，本领域技术人员根据说明书和附图的阅读和/或理解可以得到等同的替换和/或修改。本发明包括所有这些修改和/或替换并且通常不用于限制本发明。另外，尽管仅参照若干实施方式的一种可能已经公开了的具体特征或者方面，如所期望的这种特征或者方面可结合其他实施方式的一种或者多种其他特征和/或方面。而且，在某种程度上使用术语“包括”、“具有”、“带有”和/或它们的变形，这些术语用于表示意思“包括”，如包含。此外，“示例性”仅意指实例，而不是最佳实施例。还应当理解，为了简单和便于理解的目的用相对于彼此的具体尺寸和/或方向示例说明本申请中描述的特征、部件、层和/或元件，并且实际的尺寸和/或方向可不同于本文示例说明的尺寸和/或方向。

Claims (13)

1.一种工件传送系统，包括：
刀片状件，其中所述刀片状件包括与电介质工件保持表面关联的一个或者多个电极；
多个连接器，所述多个连接器中的每一个包括轴承、主变压器线圈以及副变压器线圈，其中每个所述连接器的所述轴承将各自连接器的所述主变压器线圈可旋转地连接至所述副变压器线圈，并且其中提供给每个所述连接器的所述主变压器线圈和所述副变压器线圈中之一的电力在各自连接器的所述主变压器线圈和所述副变压器线圈之间产生互感，这样提供了通过每个所述连接器的无接触电力；
其中：
每个所述连接器的所述主变压器线圈是环形并且限定了外线圈，所述外线圈具有贯穿该外线圈的孔；并且，
每个所述连接器的所述副变压器线圈是杆形并且限定了内线圈，所述内线圈被配置成在所述外线圈内旋转；并且，
所述轴承位于每个所述连接器的所述外线圈和所述内线圈之间；
第一对臂，所述第一对臂通过所述多个连接器中的第一对连接器分别可旋转地连接到所述刀片状件，其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至相应的所述第一对臂，以及其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至所述刀片状件并且电连接所述一个或者多个电极；
第二对臂，所述第二对臂通过所述多个连接器中的第二对连接器分别可旋转地连接至所述第一对臂，其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至所述相应的第二对臂，并且其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至相应的所述第一对臂。
2.如权利要求1所述的工件传送系统，其中每个所述连接器的所述轴承包括无油轴承。
3.如权利要求1所述的工件传送系统，进一步包括电源和控制器，其中所述控制器被配置成通过激活所述电源为所述一个或者多个电极选择性地供电，其中在每个所述连接器的所述主变压器线圈和所述副变压器线圈之间的互感提供了通过每个所述连接器的从所述电源至所述一个或者多个电极的无接触电力，这样对所述电介质工件保持表面选择性地静电充电。
4.如权利要求3所述的工件传送系统，其中所述控制器被配置成转换所述电源的电源极性，从而对所述电介质工件保持表面选择性地充电和放电。
5.如权利要求1所述的工件传送系统，进一步包括机器人基座，所述机器人基座通过所述多个连接器中的第三对连接器可旋转地连接至所述第二对臂，其中所述多个连接器中的第三对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至所述机器人基座，并且其中所述多个连接器中的第三对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至相应的所述第二对臂。
6.如权利要求1所述的工件传送系统，其中所述一个或者多个电极被设置在所述电介质工件保持表面下。
7.一种工件传送系统，包括：
电源；
刀片状件，所述刀片状件具有被配置成选择性地保持工件的电介质工件保持表面，其中所述刀片状件包括与所述电介质工件保持表面关联的一个或者多个电极；
多个连接器，所述多个连接器中的每一个包括轴承、主变压器线圈以及副变压器线圈，其中每个所述连接器的所述轴承将各自连接器的所述主变压器线圈可旋转地连接至所述副变压器线圈，并且其中提供给每个所述连接器的所述主变压器线圈和所述副变压器线圈中之一的电力在各自连接器的所述主变压器线圈和所述副变压器线圈之间产生互感，这样提供了通过每个所述连接器的无接触电力；
第一对臂，所述第一对臂通过所述多个连接器中的第一对连接器分别可旋转地连接至所述刀片状件，其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至相应的所述第一对臂并且通过相应的所述第一对臂电连接所述电源，以及其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至所述刀片状件并且电连接所述一个或者多个电极；
第二对臂，所述第二对臂通过所述多个连接器中的第二对连接器分别可旋转地连接至所述第一对臂，其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至相应的所述第二对臂，并且其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至相应的所述第一对臂；
其中：
每个所述连接器的所述主变压器线圈是环形并且限定了外线圈，所述外线圈具有贯穿该外线圈的孔；并且，
每个所述连接器的所述副变压器线圈是杆形并且限定了内线圈，所述内线圈被配置成在所述外线圈内旋转；并且，
所述轴承位于每个所述连接器的所述外线圈和所述内线圈之间；
控制器，其中所述控制器被配置成通过激活所述电源为所述一个或者多个电极选择性地供电，其中所述多个连接器中的第一对连接器的所述主变压器线圈和所述多个连接器中的第一对连接器的所述副变压器线圈之间的互感提供了通过所述第一对连接器的从所述电源到所述一个或者多个电极的无接触电力。
8.如权利要求7所述的工件传送系统，其中每个所述连接器的轴承包括无油轴承。
9.如权利要求7所述的工件传送系统，其中所述控制器被配置成转换所述电源的电源极性，从而对所述电介质工件保持表面选择性地充电和放电。
10.如权利要求7所述的工件传送系统，进一步包括机器人基座，所述机器人基座通过所述多个连接器中的第三对连接器可旋转地连接至所述第二对臂，其中所述多个连接器中的第三对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至所述机器人基座，并且其中所述多个连接器中的第三对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至所述相应的第二对臂。
11.如权利要求7所述的工件传送系统，其中所述一个或者多个电极被设置在电介质工件保持表面下。
12.一种选择性地保持工件的方法，所述方法包括：
提供通过多个连接器可旋转地连接至机器人臂的刀片状件，每个所述连接器包括主变压器线圈、副变压器线圈以及设置在两者之间的轴承，所述刀片状件具有电介质工件保持表面以及设置在所述电介质工件保持表面下的一个或者多个电极；以及，
采用预确定的电极给所述主变压器线圈提供电力，以通过在所述连接器的主变压器线圈和副变压器线圈之间的互感为所述一个或者多个电极无接触供电，这样将所述工件静电吸附到所述电介质工件保持表面；
其中，所述机器人臂包括第一对臂和第二对臂；
其中，所述第一对臂通过所述多个连接器中的第一对连接器分别可旋转地连接到所述刀片状件，其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至相应的所述第一对臂，以及其中所述多个连接器中的第一对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至所述刀片状件并且电连接所述一个或者多个电极；
第二对臂，所述第二对臂通过所述多个连接器中的第二对连接器分别可旋转地连接至所述第一对臂，其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述主变压器线圈连接至所述相应的第二对臂，并且其中所述多个连接器中的第二对连接器的每一个的所述副变压器线圈连接至相应的所述第一对臂。
13.如权利要求12所述的方法，进一步包括将提供给所述主变压器线圈的电源的极性反转，从而对所述电介质工件保持表面放电。
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